JPS6348678A - 表面清掃装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は表面清掃装置に関するものでろる、〔従来の技
術〕 従来の表面清掃装置は特開昭５９−２０１２２９号公報
に記載されているように、被清掃物の表面に気体を吹き
付け、塵埃を吹き飛ばしている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上記従来技術は、吹き飛ばされた塵埃によって再び被清
掃物の表面が汚染されるのと、吹き付けられた気体が形
成する視界層内に存在する微小な塵埃が除去し雌い欠点
があった。すなわち境界層内に穏れ易い微小な塵埃を除
去することができないばかシでなく、被清掃物の表面か
ら取シ去られた塵埃が空気中に浮遊し、表面を２次汚染
することが防止できない。

本発明は以上の点に鑑みなされたものでち見微小な塵埃
を除去し、かつ２次汚染を防止すると共に、効率向上を
可能とじ７’（表面清掃装置を提供することを目的とす
るものである。

〔問題点を解決するための手段」 上記目的は、除去手段を、被清掃物を挾んで対向配置さ
れ、かつ被清掃物をカロ圧する加圧手段が設けられた一
対の加圧ローラと、この刀り圧ローラの両側に対向配置
された一対の駆動ローラおよび超音波発振器および循環
フィルタを有する洗浄槽と、これら夫々の洗浄槽内から
夫々の駆動ローラおよび〃０圧ローラに跨る一連の、か
つ回転自任な一対の粘着ベルトとで形成し、粘着ベルト
で被清掃物表面の４埃の捕獲、この捕１した践埃の洗浄
槽での除去を、頂に繰返し連続して行うことにょう、達
成される。

〔作用〕

粘着ベルトは被清掃物の表面に接触して塵埃を付着捕獲
するので、微小な塵埃も捕ｊ！される。粘着ベルトに付
着した塵埃は洗浄槽で除去される。

従って従来のように塵埃が空気中に浮遊することがなく
、被清掃物の表面が２次汚染されることがない。そして
粘着ベルトは一７清掃物表面のｉ塵埃を捕獲したら、そ
の捕獲した塵埃は洗浄槽で除去、洗浄されて繰返し使用
されるので、清掃の効率が向上する。

〔実施例〕

以下、図示した実施例に基づいて本発明を説明する。第
１図には本発明の一実施クリが示されている。本実施例
では被清掃物例えば磁気ディスクｌの表面の塵埃を除去
する除去手段を有する表面清掃装置の除去手段を磁気デ
ィスク１を挾んで対向配置し、かつ磁気ディスクｌを加
圧する加圧手段２を設けた一対の加圧ローラ３，３ａ、
このＤ口圧ａ−ラ３，３ａの両側に対向配置した一対の
駆動ローラ４，４ａおよび超音波発振器５および循環フ
ィルタ６を有する洗浄槽７，７ａ、これら夫々の洗浄槽
７，７ａから夫々の駆動ローラ４．４ａおよび却圧ロー
ラ３，３ａに跨る一連の、かつ回転自任な一対の粘着ベ
ルト８．８ａ等で形成した、そして、粘着ベル）８．８
ａで磁気ディスク１表面の１埃の捕獲、この捕獲した塵
埃の洗浄槽７゜７ａでの除去を順に繰返し連続して行う
ようだした。このようにすることにより粘着ベルト８゜
８ａで磁気ディスク１弐面の塵埃の（ｆｌ、　この捕獲
した塵埃の洗浄槽７．７ａでの除去が順に繰返し連続し
て行われるようになって、微小な塵埃が除去され、磁気
ディスク１戒面の２次汚染が防止され、かつ清掃の効率
が向上するようになり、微小な塵埃を除去し、かつ２次
汚染を防止すると共に、効率向上を可能とした表面清掃
装置を得ることができる。

すなわち塵埃除去効果を有する粘着ベルト８゜ｓａｕ駆
ｔｂローラ４，４ａによって回転１駆動される。加圧手
段２を介して叉持さ几た加圧ローラ３゜３ａにより、粘
着ベル）８．８ａは磁気ディスク１の表面と夫々接触す
る。粘着ベルト８，８ａは超音波発振器５と循環フィル
タ６とを有する洗浄槽７，７ａに夫々導かれ、捕獲した
１埃が洗浄除去される。洗浄後の粘着ベルト８，８ａは
再び駆動ローラ４，４ａＫよって磁気ディスク１の表面
に送り込まれる。このように本実施例によれば粘着ベル
）８，８ａＫダストトラッピング作用の大きなプラスチ
ックを受用したので、粘着ベルト８゜８ａの粘着性は長
時間安定な状、報を保持する。加えて水中で超音波発振
器５による超音波洗浄を受けるまでは捕獲した塵埃が脱
落することがなく、磁気ディスク１の表面ｆ！：２次汚
染することがない。

また、粘着ベルト８，８ａ自身が粘着性を有しているの
で、磁気ディスクＩＣ０表面に粘着性、ｍ質が移着する
ことがない。このように粘着性を有する粘着ベルｌ−８
，８ａで磁気ディスク１の表面の塵埃捕獲と、粘着ベル
ト８．８ａの洗浄を連続的に行うことができるので、上
述の効果を奏するのみならず、高速、低価格の表面清掃
装置を得ることができる。

〔発明の効果〕

上述のように本発明は微小な塵埃が除去され、かつ２次
汚染が防止されると共に、効率が向上するようになって
、微小々塵埃を除去し、かつ２次汚染を防止すると共に
、効率向上を可能とした表面清掃装置を得ることができ
ろう

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の表面清掃装置の一実施例の正面図でろ
る。 １・・・磁気ディスク（被清掃物）、２・・・力ロ圧手
段、３．３ａ・・・加圧ローラ、４．４ａ・・・駆動ロ
ーラ、５・・・超音波発振器、６・・・循環フィルタ、
７，７ａ。 ・・・洗浄槽、８　＋　８　ａ・・・粘着ベルト。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被清掃物の表面の塵埃を除去する除去手段が設けら
   れている表面清掃装置において、前記除去手段を、前記
   被清掃物を挾んで対向配置され、かつ被清掃物を加圧す
   る加圧手段が設けられた一対の加圧ローラと、この加圧
   ローラの両側に対向配置された一対の駆動ローラおよび
   超音波発振器、循環フィルタを有する洗浄槽と、これら
   夫々の洗浄槽内から夫々の、駆動ローラおよび加圧ロー
   ラに跨る一連の、かつ回転自在な一対の粘着自在な一対
   の粘着ベルトとで形成し、前記粘着ベルトで前記被清掃
   物表面の塵埃の捕獲、この捕獲した塵埃の前記洗浄槽で
   の除去を順に繰返し連続して行うようにしたことを特徴
   とする表面清掃装置。 ２、前記被清掃物が、磁気ディスクまたは半導体基板で
   ある特許請求の範囲第１項記載の表面清掃装置。 ３、前記粘着ベルトが、プラスチックで形成されたもの
   である特許請求の範囲第１項記載の表面清掃装置。