JPS63428A - ゲッター組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は水素を捕捉する金属組成物に関する。

より詳細には１本発明は低温度で水素を捕捉する不揮発
性の合金類、並びに前記合金類の製造方法、前記合金類
の水素捕捉能の向上方法及び前記合金類の再生方法に関
する。

〈発明の背景〉 水素の存在が望ましくない多くの装置及び工程がある。

その−例は二次オイル回収のために行なう水蒸気の噴射
注入で用いる熱絶縁された環形＃Ｎ製配管である。熱絶
縁のためには、環形チューブは真空であるか又はアルゴ
ン等の不活性ガスが充填されていることが望ましい。鋼
又は外部腐蝕による一ガス抜き（ｏｕｔｇａｓｉｎｇ）
の結果、水素が上記の熱絶縁環状部に入って来て環状部
の絶縁特性を低下させる可能性がある。もう一つの例は
、内部腐蝕工程の結果である水素のビルドアップ（滞留
による閉塞）に起因して操作上の故障が生じる可能性の
あるアンモニア加熱パイプである。別の一連の例は、広
く実験室及び工業的に使用されている「乾燥室」のよう
な多種の不活性ガス室である。

この種の室は、ときには水素又は水素の同位元素即ちト
イトリウム及びトリモウムで汚染されることがある。更
に別の例は、工業的規模のヘリウム単離操作で行なわれ
る水素から夕景の水素の分離である。真空室又は各種ガ
ス類から水素又は水素の同位元素を捕捉することが望ま
れる多くの他の例がある。

〈従来の技術〉 水素捕捉剤（水素ゲッター）を用いる多数の例を見い出
すことができるけれども、従来例には幾つかの欠点があ
る。金属チタンが使用されているが、金属チタンは少な
くとも６００℃に加熱して水素吸収活性を持つようにし
なればならず、酸素又は水のような気体状不純物の存在
によって容易に活性を失ってしまう６更に、チタンはい
ったん水素で飽和されてしまうと、真空下で６００℃程
度に加熱して水素を除去しなければ再作用できない。

よく用いられるもう一つの水素ゲッターは減損ウラニウ
ム全屈である。ウラニウムの欠点の一つは、水素化によ
って細かい粉末を形成し、これを空気に曝露すると潜在
的に発火性になることである。ウラニウムの更に別の欠
点は、減損したＵ−２３５の形である場合でも、少しは
放射性であり、特殊な取扱いと廃棄に関する配慮を要す
ることである。

一連のジルコニウム系ゲッターが、イタリアのミラン（
Ｍｉｌａｎ、Ｉｔａｌｙ）の５ＡＥＳ−ゲッターズ（Ｓ
ＡＥＡＧｅｔｔｅｒｓ）から市販されている。これらの
ゲッター類は、少くとも７０重量％のジルコニウムを含
有し、残部がアルミニウム、バナジウム、鉄及びニッケ
ル等の元素から成る。これらの市販されているゲッター
類は、広く水素捕捉の目的に用いられ良くその目的に適
合するものではあるが、多種の望ましくない欠点を持つ
。まず第１にこれら公知のゲッターは、活性化に２００
〜９００℃の高温度を要する。これらの公知のゲッター
は一般に活性化を行なわない場合には室温では水素を捕
捉しない。第二にいったん水素で活性化されてしまうと
、水素を完全に除去して水素ゲッターとして再使用する
ためには、真空下で８００℃程度の温度に加熱しなけれ
ばならない。第三に上記の公知ゲッター類はジルコニウ
ム含有率が高いため、入手の容易な空気炉又は一般的な
セラミックス類るつぼの内部で熔解することはできず、
セラミックス類るつぼ内での空気加熱熔解と比較して本
質的に高価な工程である水冷式銅製るつぼ内部での真空
アーク溶接によらねばならない。

ジャーナル・オブ・フィジカル・ケミストリー（Ｊｏｕ
ｒｎａｌ　ｏｆ　Ｐｈｙｓｉｃａｌ　Ｃｈｅｍｉｓｔｒ
ｙ）、第６２巻（１９５８年）、７６頁〜７９頁のジー
・ジー・リボウィッッ（Ｇ。

Ｇ、Ｌｉｂｏｗｉｔｚ）による［ジルコニウム・ニッケ
ルと水素との系」と題する報文中に金属間化合物ＺｒＮ
ｉ　　（Ｚｒ　６０．８重量％、Ｎｉ３９．２％）の水
素吸収及び水素脱着特性が記載されている。しかしなが
ら１００℃以下のデータは示されておらず、実際のとこ
ろ、この材料は室温では望ましくないことに活性化特性
が遅い。

〈発明が解決しようとする問題点〉 従って、本発明の目的は、０．０１　Ｔｏｒｒ以下の圧
力で１８乃至２０℃、即ちほぼ室温で水素を捕捉するこ
とができる水素捕捉合金（水素ゲッター）を提供するこ
とである。

本発明のもう一つの目的は、室温下、低水素圧力で容易
に活性化することができる水素捕捉合金を提供すること
である。

本発明の更に別の目的は、セラミックス類るつぼ内部で
従来法の空気誘導加熱熔解（ＡｉｒＩｎｄｕｃｔｉｏｎ
　ｍｅｌｔｉｎｇ）により製造できる水素捕捉合金を提
供することである。

本発明の更に別の目的は、異なる組成の水素捕捉合金を
提供し、吸収／脱着、圧力／温度の関係を変える手段を
提供することである。

本発明の更に別の目的は、低温度における水素捕捉合金
の活性を増すための表面酸化処理を提供することである
。

その他の諸口的は、以下の記載から明らかになろう。

〈問題点を解決するための手段〉 本発明によれば、室温で容易に且つ迅速に活性化され、
再使用のために容易に且つ迅速に再生できる活性な水素
捕捉組成物を提供することである。

本発明による組成物は、重量百分率で約２０％〜約４５
％のニッケルと、約０．１％〜約１０％の１種又はそれ
以上の希土類金属とを含有し、残部がジルコニウムから
成る。好ましい組成物は１重量百分率で、約２０％〜約
４０％のニッケルと、約０．１％〜約６％の１種又はそ
れ以上の希土類金属とを含有し、残部がジルコニウムか
ら成る。

本発明による好ましい合金は１重量百分率で３６％のニ
ッケルと、４％の１種又はそれ以上の希土類金属と、６
０％のジルコニウムとから成る。

更に、ジルコニウム及び／又はニッケルの一部分を置換
するその他の元素類の部分置換率は最高約１５重量％ま
でにすることができる。置換元素として使用できるもの
としては多くのものが考えられるが、なかでもコバルト
、銅、鉄、アルミニウム、チタン、錫及び珪素を例とし
て挙げることができる。これらの置換物の幾つかは、捕
捉温度／圧力の関係を変えて、所期の用途により良く適
合させる。

希土類金属は、周期率のランタン系列の元素として存在
している。この種の元素の例としては、ランタン、セリ
ウム、プラセオジム、ネオジム、プロメチウム、サマリ
ウム、ユーロピウム、ガドリニウム、テルビウム、ジス
プロシウム、ホルミウム、エルビウム、ツリウム、イッ
テルビウム及びルテシウムを挙げることができる。更に
、カルシウム及び／又はイッテリウムを１種又はそれ以
上の希土類金属によって置換することもできる。

本発明組成物中で上記の２種又はそれ以上の希土類金属
を組み合わせて使用することができ、本発明者の知見に
よれば、２種又はそれ以上の上記金属を含有する合金を
使用するのがよいことがわかった。この型の合金組成物
は当業界でミツシュメタル（ｍｉｓｃｈｍｅｔａｌ　；
以下ＭＭと略記する）と呼ばれており、種々の希土類元
素の混合物を表わし、各混合物は鉱石源の組成によって
変動する組成を持つ。本発明の実施に使用する代表的な
ＭＭは４８〜５０重最％のＣｅ、３２〜３４重量％のＬ
ａと。

１３〜１４重量％のＮｄと、４〜５重量のＰｒと約１．
５重量％の希土類金属類とから成りバストネサイト石（
ｂａｓｔｒ＋ａｓｉｔｅ）鉱石源から誘導されるもので
ある。この合金はユニオン・モリコープ・カンパニー（
Ｕｎｉｏｎ　Ｍｏ１ｙｃｏｒｐ　Ｃｏｎ＋ｐａｎｙ）が
ら製品コード番号４６０１の名で入手できる。希土類金
属の比率が上記の組成物と幾分か異なり、少量の鉄を含
有する他のＭＭ組成物がある。ＭＭ組成物の正確な組成
は本発明の実施に臨界的なものではない。

本発明の合金は、冷却型るつぼアーク炉又は粘土・グラ
ファイト製るつぼを用いて標準型空気誘導加熱炉の内部
で不活性ガス雰囲気（又は真空）中で市販の等級の原料
を熔融することによって製造できる。固化させた後に、
インゴットを砕いて、例えば−１０メツシユ〜＋８０メ
ツシユの範囲の粒度にしてゲッターとして直接使用でき
る。場合によっては、粉砕した材料に、室温から３５０
℃の温度で空気中で表面酸化処理を施し、捕捉活性を増
大させるのが望ましい場合もある。

水素圧力及び／又は温度が充分に高い場合には、ゲッタ
ー合金の粒子を直接に意図する用途の水素捕捉のために
使用することができる。この場合には、粒状合金を所望
の装置に入れ、残留空気を除去する。雰囲気温度が低い
（たとえば室温）であるか予想される水素圧力が低い（
５０Ｔｏｒｒ未満）である場合には、ゲッターを予め活
性化しておくのが望ましい。予備活性化は試料が水素で
飽和されるまで室温で０．５気圧（絶対気圧）を越える
圧力で水素を加え、次いで動的真空化又は不活性ガスに
よる掃気を行ない、試料を３００〜４００℃に加熱して
水素を除去することによって達成できる。上記の如く活
性化した状態下では、空気又は−酸化炭素、水、硫化水
素等の他の腐蝕性ガス類に曝露されない限り、ゲッター
から水素を除去して室温で０．１　Ｔｏｒｒ未満の水準
まで下げることができる。ゲッターの使用期間中、一度
水素で飽和された合金類を上述の脱水素化物（ｄｃｈｙ
ｄｒｉｄｉｎｇ）することができる。

当業者には容易に理解できるように１本発明合金は、水
素に加えてたとえば酸素及び水蒸気のような少量の他の
ガス類を捕捉することができる。

他の全てのゲッターと同様に、水素以外の化学種（以下
、非水素化学種という）の捕捉は表面吸収に限られてお
り、体猜吸収が起こる水素の捕捉よりも更に限られてい
る。非水素化学種ガス類により過度の表面な芯層が形成
されると水素を吸収するゲッターの能力が制限されるが
、真空での不活性ガス類の存在下における高温度処理に
よって、水素に対する活性を取り戻す。

添付の図面を参照しながら、以下の実施例を読めば本発
明をより明確に理解できるものと考える。

本発明の基本的思想を逸脱することなく、下記の実施例
に多くの変更を加えることができるので、下記の実施例
及び図面は本発明の好ましい実施態様を示すものであり
、本発明を制限するものと解釈されるべきものではない
。

実施例ｒ 金属Ｚｒ、Ｎｉ及びＭＭをアルゴン・アーク熔解し、３
０グラムのボタンにすることにより、下記の組成を調製
した。（数値は重量％）Ｚｒ　　　　　Ｎｉ　　　　　
ＭＭ Ａ　　　６１，２　　３８．８　　０．ＯＢ　　　６０
，０　　３８．０　　２．ＯＣ５９，３３６，７４，０ 容易に理解できるように土たる変動因子はＭＭ含有率で
ある。８グラムの試料を空気中で粉砕して一１２メソシ
ュ、＋８０メツシユの粒子にし、粒子を別個に独立した
複数のステンレス鋼製反応器に装入する。次に、各反応
器の空気を抜いて約０．０１　Ｔｏｒｒの圧力にし、純
度９９．９９９％の水素を０．６８気圧になるまで充填
（ｂａｃｋｆｉｌｌ）　Ｉ、た、各反応器と並列に約４
リツトル容の貯槽と圧力変換器とを設置し、活性化及び
捕捉にともなう圧力の変化を測定した。圧力変化と既知
の貯槽の容積から、試料の水素含有率を時間の関数の形
で算出することができる。３例の何れの場合も、反応器
は動かない室温の空気中に吊り下げられていた。第１図
にモル／ｇ及び水素／金属化の量単位で、水素の取り込
み量を時間の関数として図示しである０図かられかるよ
うに、ＭＭを含まない試料は、水素飽和状態に達するま
で２４時間を越える時間を必要とする。室温における水
素捕捉を増大させる点に関するＭＭの能力は極めて大き
い。たとえば４％のＭＭを含有する試料が飽和状態にな
るに要する時間は０．５時間未満であり、この事実は本
発明の基本的な有用性を示すものと言える。

失五籐ｌ スポンジ状ジルコニウムと、電解ニッケルと、ＭＭのイ
ンゴットとから充填組成として５８．８％Ｚ　ｒ　−３
６，２％Ｎ　ｉ　−４，０％ＭＭ（重量％）の組成物５
８０　ｋｇ（１２８０ポンド）を粘土／グラファイト製
るつぼの内部で空気中で熔解し、内径１５ａｎの鋳鉄製
インゴット型に流し込んだ（ヒートＤと呼ぶ）６固化・
冷却後、８グラムの試料を−１２、＋８０メツシユの粒
子に粉砕し、実施例■に記載したと同じ室温度活性化を
行なった。試料は迅速に活性化され、１時間以内に飽和
濃度である０、００９５モル／ｇの飽和値に達した。飽
和後に試料を２３２℃（４５０下）に加熱し０．５　Ｔ
ｏｒｒ未滴の真空を印加することにより、水素の大部分
を除去した。次に、試料を２３２℃で絶対水素圧力１ｏ
気圧にして再び水素で飽和させた。再飽和後に、第２図
に示した２３２℃における脱着等１線が得られ、試料の
最終脱着により４００℃における測定低圧力偏位値はＩ
　Ｔｏｏｒ未満になった。この図は好ましい合金類の２
３２℃における基本説着圧カを示すとともに、本発明に
よる水素で飽和されたゲッターを再使用のために処理で
きることを示す図でもある。サイクルが一回だけの場合
でも水素化／脱水素化サイクル中に粒子のクランキング
によってゲッターの表面積が増大し、その後の室温にお
ける水素の捕捉が著しく早く且つ効果的になる（実施例
■および■参照）。

去ｉ匹」− 活性化及び４００℃でＩ　Ｔｏｒｒ未満へのバックアウ
ト（ｂａｃｋｏｕｔ）を含む実施例■と同様の手順でヒ
ートＤから８ｇの試料を＊ｍした。次に試料を真空上室
温で冷却した。次いで、約Ｉ　Ｔｏｒｒの水素圧力で約
４リツトルの試料を充填し、弁を開口して低圧力の水素
と試料とを連通させた。圧力を時間の関数として記録し
た。３５分間以内に、室温での操作により、試料が水素
を捕捉して、水素の圧力が０．０１　Ｔｏｒｒ未満に下
がった。

実施例■ 実施例■と同様にして、空気誘導加熱熔解（ＡｉｒＩｕ
ｄｕｃｔｉｏｎ　Ｍｅｌｔｉｎｇ）により、重量比で５
８．８％のＺｒと、３７．２％のＮｉと、４．０％のＭ
Ｍとから成るヒート（ヒートＥと呼ぶ）の８ｋｇを準備
した。

試料Ｌｏｇを一３５メツシュに磨砕し、流過型反応器に
装入した。実施例ＩＩに記載したと同様の方法で、加熱
及びポンプ圧送を交互に繰り返して、試料を室温で３サ
イクル交互に水素化・脱水素化した・。第３回目の脱水
素サイクル時に、試料は部分的に脱水素化されて２５８
℃で４４Ｔｏｒｒの圧力、即ち第２図に示すようなプラ
ト一部（平らになったほぼ一定の値を示す部分）の直ぐ
下の圧力になった。次に、試料を２５°Ｃに冷却し、制
御された温度の水浴を用いて２５℃に保持した。この時
点で０．７５容量％の水素を含有するヘリウムと水素の
混合物を準備し、この混合物１１９．５　リットルを４
１気圧の圧力で１．５時間にわたり試料に通じて、水素
を選択的に捕捉させた。混合物の通過が完了した後、試
料から再び脱ガスを行なって可能な限り所期状態（２５
８℃で４４　Ｔｏｒｒ　）にして、捕捉されていた水素
を槃めた。測定の精度の範囲内で、回収された水素は０
．７５容量％の水素を含有するヘリウム・水素混合物の
うち通過型反応器に入った水素の少なくとも９９％が回
収された。この結果は水素含有率が１回の通過で０．７
５％の水準から０．００７５％以下になる程度まで水素
が捕捉されたことを示し、活性化された状態にあるとき
には本発明品が低水素レベルになるまで不活性ガスから
室温で水素を捕捉できる能力を持つことを示すものであ
る。

実施例■ アルゴン雰囲気中でのアーク熔解により、３０グラムの
ボタン形状で以下の組成をもつ合金類を調製した。（組
成は重量％で示す。） ヒートＩＤ　　　Ｚｒ　　　　Ｎｉ　　　　ＭＭ　　　
　その他Ｆ　　　　　６０．９　３１．２　　０　　７
．９Ｃ。

Ｇ　　　　　５８．７　３０．２　　３　　８．ＩＣｕ
Ｈ６０，３３５，０３１，７ＡＩ Ｉ　　　　　５０．２　４０，３　　３　　６．５Ｔｉ
Ｊ　　　　　５４．７　３４．９　　３　　７．４Ｓｎ
Ｋ　　　　　５８．２　３７．０　　３　　１．８５１
８ｇの試料を粉砕しく−１２，＋８０メツシユ）。

室温で活性化し、１サイクルの脱水素化／百本素化サイ
クル処理を施こし、２３２℃（４５０°Ｆ）で１０気圧
の水素を充填した。２３２℃における脱着等温線を求め
た。得られた脱着等層線を第３図に示す。図示した全部
の合金は使用可能な特性を示し、多数の置換合金を使用
できることを示している。特に興味のあるものはチタン
によりジルコニウムの一部を置換したもの（ヒーｈＩ）
であり、これはプラト一部の圧力が高く、更にニッケル
の一部をコバルト及び銅で置き換えた例（ヒートＦ及び
Ｇ）も興味を惹くものであり、これはプラト一部の圧力
が低い。この実験は基本的な合金系を変性して特定の用
途に適合させ、圧力及び／又は温度に関するゲッター特
性を変えることができることを示す。

尖胤剪旦 空気誘導加熱熔解（Ａｉｒ　Ｉｎｄｕｃｔｉｏｎ　Ｍｅ
ｌｔｉｎｇ）により、以下の組成の合金類の各５ｋｇの
バッチを憎備した。（組成は重量％で示す。） ヒート１．Ｄ、　　　Ｚｒ　　　　　Ｎｉ　　　　ＭＭ
Ｌ　　　　　５９．３　　３６．７　　４Ｍ　　　　　
５９．８　　３６．２　　４空気中で−１２，＋１８メ
ツシユに粉砕した後、空気中で空気圧力０゜０１５絶対
気圧乃至１絶対気圧の圧力下、室温乃至３１６℃の温度
で試料の表面酸化処理を行なった。次いで８ｇの試料を
用いて実施例Ｉに記載したと同じ室温度での水素活性化
テストを行なった。第４図のグラフで示されている結果
によれば、第４図に示す処理試料の水素飽和に要する時
間が短いという事実によって証明されているように、表
面処理により（室温に長時間置かれたときでも）水素捕
捉活性が高くなる。

く作用及び効果〉 上記の記載及び実施例かられかるように、本発明による
ジルコニウム・ニッケル・ミツシュメタル系の合金類は
、高温度下での活性化を行なわない場合でも室温度下で
も効果的に働く水素ゲッターになる。一度水素で飽和さ
れた合金類は、所望する場合には再生して再使用できる
ことも、上述の記載から明らかである。好ましい実施例
から多数の種々の変形例及び置換物をつくることができ
ることも明示されている。本発明の合金系は、従来法の
経済的な空気加熱熔解によって製造することができ、こ
れはほとんど全ての他の反応性金属ゲッター合金類の場
合にはなかった特徴である。

最後になったが、表面酸化処理により、捕捉能を太線に
高めることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、約５９．３〜６１．２重量％のＺｒと、　３
６．７〜３８．８重量％のＮｉとを含有し、残部を占め
るＭＭから成る合金類の所期水素捕捉（活性化）の室温
におけるＭＭ含有率の効果を示す３本の曲線を示す図で
ある。 第２図は、空気誘導加熱熔解（Ａｉｒ　Ｉｎｄｕｃｔｉ
ｏｎＭｅｌＬｉｎｇ）によって製造した約５９．８重量
％のＺｒと、３６．２重量％のＮｉと、４．０重量％の
ＭＭとから成る組成の合金の２３２℃の水素吸収等層線
を示す図である。 第３図は、第２図の等層線にほぼ基づいたゲッター組成
物の多数本の２３２℃における水素吸収等温線を示す図
であり、ジルコニウム及び／又はニッケルの一部をコバ
ルト、銅、アルミニウム、錫、チタン及び珪素で置換し
た組成物の等混線を示す図である。 第４図は、約５９．３％Ｚｒ−３６，７％Ｎｉ−４％Ｍ
Ｍ及び５９．８％Ｚ　ｒ−３６，２％Ｎｉ−４％ＭＭ　
（百分率は重量基準）の合金組成の室温における所期Ｈ
，捕捉（活性化）に及ぼす表面酸化の効果を示す多数の
曲線を示す図である。 特許出願人　　アージェニツクス・インコーホレイテッ
ド 代理人弁理士　　兼　　坂　　　　　具間　　　　　　
酒　　井　　　　　　−同　　　　　　兼　　坂　　　
　　　繁ｓ１図 ０　　２　　４　　６　　　Ｂ　　　＋０　　１２　　
１牛　　１６　　１８　　２０　２２　１７．５時間　
（ｈｒ５） 第２図 第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）重量百分率で約２０％乃至約４５％のニッケルと、
   約０．１％乃至１０％の一種又はそれ以上の希土類金属
   と、約０％乃至約１５％のコバルト、銅、鉄、アルミニ
   ウム、錫、チタン、珪素又はこれらの混合物から成る群
   から選択した金属とを含有し、１００％となるよう残部
   がジルコニウムであることを特徴とする水素その他のガ
   ス類を除去するためのゲッター組成物。 ２）重量百分率で約２０％乃至約４０％のニッケルと、
   約０．１％乃至約６％の１種又はそれ以上の希土類金属
   とを含有し、１００％となるよう残部がジルコニウムで
   あることを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のゲ
   ッター組成物。 ３）希土類金属がミッシュメタルの形で存在し、重量百
   分率で以下の成分を含有することを特徴とする特許請求
   の範囲第２項に記載のゲッター組成物。 セリウム　約４８％〜約５０％ ランタン　約３２％〜約３４％ ネオジム　約１３％〜約１４％ プラセオジム　約４％〜約５％ その他の希土類金属　約１．５％ ４）重量百分率で以下の成分を含有することを特徴とす
   る特許請求の範囲第３項に記載のゲッター組成物。 ニッケル　３６％ ミッシュメタル　４％ ジルコニウム　６０％ ５）重量百分率で以下の成分を含有することを特徴とす
   る特許請求の範囲第３項に記載のゲッター組成物。 ニッケル　３０％ ミッシュメタル　３％ コバルト　８％ ジルコニウム　５９％ ６）重量百分率で以下の成分を含有することを特徴とす
   る特許請求の範囲第３項に記載のゲッター組成物。 ニッケル　４０％ ミッシュメタル　３％ チタン　６．５％ ジルコニウム　５０．５％ ７）一度水素で飽和させるか又は部分飽和させた組成物
   を、真空、部分真空又は不活性ガス流下で１００〜５０
   ０℃に加熱することにより再生し再使用可能な状態にし
   たことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のゲッ
   ター組成物。 ８）粉砕し、最高４００℃までの温度で空気又は酸化性
   雰囲気に露出することから成る表面酸化を行なったこと
   を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のゲッター組
   成物。 ９）誘導加熱炉を用いて粘土／グラファイト製るつぼ内
   で空気存在下で成分元素類を熔融することによって製造
   したことを特徴とする特許請求の範囲第１項に記載のゲ
   ッター組成物。 １０）誘導加熱炉を用い、グラファイト製るつぼの内部
   で真空又は不活性ガス雰囲気下で成分元素類を熔融する
   ことによって製造したことを特徴とする特許請求の範囲
   第１項に記載のゲッター組成物。 １１）アーク加熱炉を用い、水冷式金属製るつぼの内部
   で真空又は不活性ガス雰囲気下で成分元素類を熔融する
   ことによって製造したことを特徴とする特許請求の範囲
   第１項に記載のゲッター組成物。