JPS63292506A - 誘電体共振器材料の製造方法 - Google Patents
誘電体共振器材料の製造方法Info
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- JPS63292506A JPS63292506A JP62127211A JP12721187A JPS63292506A JP S63292506 A JPS63292506 A JP S63292506A JP 62127211 A JP62127211 A JP 62127211A JP 12721187 A JP12721187 A JP 12721187A JP S63292506 A JPS63292506 A JP S63292506A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はマイクロ波用誘電体共振器材料の製造方法に関
する。
する。
衛星通信用等の誘電体共振器材料にはＱ値の高いものが
望まれている。この様な材料としては、Ｂａ（Ｚｒ＋＋
ｚ：＋Ｎｂｚｚｚ）Ｏｚ 、 Ｂａ（Ｚｒ＋＋／＊Ｔａ
ｚｚ＋）０３等のペロブスカイト型セラミックスがあり
良好なＱ値ヲモつ。
望まれている。この様な材料としては、Ｂａ（Ｚｒ＋＋
ｚ：＋Ｎｂｚｚｚ）Ｏｚ 、 Ｂａ（Ｚｒ＋＋／＊Ｔａ
ｚｚ＋）０３等のペロブスカイト型セラミックスがあり
良好なＱ値ヲモつ。
しかし、これらのセラミックス材料は一般の乾式法にお
いては、焼成困難のため本来の特性を得ることが困難で
ある。
いては、焼成困難のため本来の特性を得ることが困難で
ある。
すなわち、Ｎｂ、Ｔａ等５価の金属をＭｅとして化学式
Ｂａ（Ｚｎ＋ｚ：＋Ｍｅｚｚａ）Ｏ：＋で表わされるペ
ロブスカイト型セラミックス（以下場合によりＢＺＮま
たはＢＺＴ等と略称する）は一般的に、原料粉末として
たとえばＢａＣＯ３粉末、ＺｎＯ粉末、Ｎｂ２Ｏ５粉末
、Ｔａ、０．、粉末等を所望のペロブスカイト組成とな
るように必要に応じて配合して、これをボールミル等に
よって乾式法で混合した後、たとえば１２００°Ｃ程度
で仮焼してペロブスカイト組成粉末とし、この仮焼粉末
を加圧成形し、たとえば１４００℃程度で最終的に焼成
して得られる。
Ｂａ（Ｚｎ＋ｚ：＋Ｍｅｚｚａ）Ｏ：＋で表わされるペ
ロブスカイト型セラミックス（以下場合によりＢＺＮま
たはＢＺＴ等と略称する）は一般的に、原料粉末として
たとえばＢａＣＯ３粉末、ＺｎＯ粉末、Ｎｂ２Ｏ５粉末
、Ｔａ、０．、粉末等を所望のペロブスカイト組成とな
るように必要に応じて配合して、これをボールミル等に
よって乾式法で混合した後、たとえば１２００°Ｃ程度
で仮焼してペロブスカイト組成粉末とし、この仮焼粉末
を加圧成形し、たとえば１４００℃程度で最終的に焼成
して得られる。
得られたペロブスカイト型セラミックスの共振特性すな
わちＱ値を高めるためには該セラミックスの密度を高め
る必要がある。粉末を加圧成形後セラミックスに焼成す
る単なる乾式法においては、セラミックスの密度は焼成
前の加圧成形状態での充填密度に強く依存している。し
たがってセラミックスの密度向上のためにはこの充填密
度の向上が必要であり、そのためには加圧成形前のペロ
ブスカイト組成仮焼粉末をより微細化する必要がある。
わちＱ値を高めるためには該セラミックスの密度を高め
る必要がある。粉末を加圧成形後セラミックスに焼成す
る単なる乾式法においては、セラミックスの密度は焼成
前の加圧成形状態での充填密度に強く依存している。し
たがってセラミックスの密度向上のためにはこの充填密
度の向上が必要であり、そのためには加圧成形前のペロ
ブスカイト組成仮焼粉末をより微細化する必要がある。
しかし、ＢａまたはＺｎを含有する原料粉末は微細化の
進行によって粒子間の凝集傾向が急速に強まるため、微
細化は飽和してしまい、結局仮焼後のペロブスカイト組
成粉末の微細化も飽和してしまう。そのため、従来得ら
れているペロブスカイト組成仮焼粉末は最も小さくても
１〜２μｍ以上であった。
進行によって粒子間の凝集傾向が急速に強まるため、微
細化は飽和してしまい、結局仮焼後のペロブスカイト組
成粉末の微細化も飽和してしまう。そのため、従来得ら
れているペロブスカイト組成仮焼粉末は最も小さくても
１〜２μｍ以上であった。
そこで、ペロブスカイト組成粉末を更に微細化すること
によって、より高いＱ値を有する誘電体共振器材料を製
造する方法の出現が強く求められていた。
によって、より高いＱ値を有する誘電体共振器材料を製
造する方法の出現が強く求められていた。
本発明の目的は、この乾式法での問題を解決するため、
粒子の分散性が良いサブミクロン級の変成酸化物粉末を
湿式法にて作製し、この粉末を用いて単なる乾式法によ
って混合および仮焼し、本来希望するセラミックスと同
一組成を有する原料粉末とすることで、焼成が容易で、
しかも特性が良好なマイクロ波用誘電体共振器材料を製
造する方法を提供することである。
粒子の分散性が良いサブミクロン級の変成酸化物粉末を
湿式法にて作製し、この粉末を用いて単なる乾式法によ
って混合および仮焼し、本来希望するセラミックスと同
一組成を有する原料粉末とすることで、焼成が容易で、
しかも特性が良好なマイクロ波用誘電体共振器材料を製
造する方法を提供することである。
〔問題点を解決するための手段〕
上記の目的は、Ｍｅを５価の金属元素として化学式がＢ
ａ（Ｚｔ＋＋ｚＪｅｚｚ＋）Ｏｓで表わされるペロブス
カイト組成の誘電体共振器材料の製造方法において、（
１）該化学式中Ｚｎ以外の少なくとも１種の金属成分の
適量とＺｎとを含有する溶液、または該化学式中Ｂａ以
外の少なくとも１種の金属成分の適量とＢａとを含有す
る溶液を作成する工程、（２）該溶液の加水分解を行な
ってゾルを生成させ、該ゾルを乾燥後７００〜１３００
’ｃで仮焼して仮焼物とする工程、 （３）該仮焼物と、該ペロブスカイト組成の残りの構成
成分の化合物とを混合して７００〜１３００°Ｃで仮焼
して仮焼粉末とする工程、および（４）該仮焼粉末を成
形して１２００〜１７００℃で焼成する工程 から成ることを特徴とする誘電体共振器材料の製造方法
によって達成される。
ａ（Ｚｔ＋＋ｚＪｅｚｚ＋）Ｏｓで表わされるペロブス
カイト組成の誘電体共振器材料の製造方法において、（
１）該化学式中Ｚｎ以外の少なくとも１種の金属成分の
適量とＺｎとを含有する溶液、または該化学式中Ｂａ以
外の少なくとも１種の金属成分の適量とＢａとを含有す
る溶液を作成する工程、（２）該溶液の加水分解を行な
ってゾルを生成させ、該ゾルを乾燥後７００〜１３００
’ｃで仮焼して仮焼物とする工程、 （３）該仮焼物と、該ペロブスカイト組成の残りの構成
成分の化合物とを混合して７００〜１３００°Ｃで仮焼
して仮焼粉末とする工程、および（４）該仮焼粉末を成
形して１２００〜１７００℃で焼成する工程 から成ることを特徴とする誘電体共振器材料の製造方法
によって達成される。
本発明者は、湿式過程を含む上記工程（１）〜（２）に
よって仮焼物としてサブミクロン級の変成粉末（変成酸
化物粉末）、たとえばＢａＺｎＯ□粉末が得られ、この
変成粉末は非常に分散性が良く、従来原料粉末として用
いられていた未変成のたとえばＢａＣ０，、粉末、Ｚｎ
Ｏ粉末等で不可避的に発生した粒子の凝集が起きにくい
ことを見出した。更に、本発明者らは、工程（３）によ
って、該変成粉末（上記の場合ＢａＺｎＯ７粉末）と、
目的とするペロブスカイト組成の残りの構成成分（この
場合Ｎｂ。
よって仮焼物としてサブミクロン級の変成粉末（変成酸
化物粉末）、たとえばＢａＺｎＯ□粉末が得られ、この
変成粉末は非常に分散性が良く、従来原料粉末として用
いられていた未変成のたとえばＢａＣ０，、粉末、Ｚｎ
Ｏ粉末等で不可避的に発生した粒子の凝集が起きにくい
ことを見出した。更に、本発明者らは、工程（３）によ
って、該変成粉末（上記の場合ＢａＺｎＯ７粉末）と、
目的とするペロブスカイト組成の残りの構成成分（この
場合Ｎｂ。
Ｔａ等）の化合物（たとえばＮｂ２Ｏ５，Ｔａ２’５等
）とを混合すると、この混合粉末自体も凝集性がなく、
これを仮焼するとやはり分散性の良いサブミクロン級の
ペロブスカイト組成仮焼粉末が得られ、ホットプレスや
ＨＩＰ （たとえば、熱間ガス圧焼結）などの操作を省
略しても、工程（４）によってこれを成形・焼成して得
られるペロブスカイト型セラミックスは極めて高い密度
を有し誘電体共振器材料として著しく向上したＱ値を具
備することを見出した。
）とを混合すると、この混合粉末自体も凝集性がなく、
これを仮焼するとやはり分散性の良いサブミクロン級の
ペロブスカイト組成仮焼粉末が得られ、ホットプレスや
ＨＩＰ （たとえば、熱間ガス圧焼結）などの操作を省
略しても、工程（４）によってこれを成形・焼成して得
られるペロブスカイト型セラミックスは極めて高い密度
を有し誘電体共振器材料として著しく向上したＱ値を具
備することを見出した。
本発明においては、前記化学式のＢａと（Ｚｎ ｌ ７
Ｊｅｚ７ｚ）とのモル比は必ずしも厳密に１である必要
はなく、実質的にペロブスカイト型結晶構造を維持する
範囲内であれば、１より若干大きくても小さくてもよい
。
Ｊｅｚ７ｚ）とのモル比は必ずしも厳密に１である必要
はなく、実質的にペロブスカイト型結晶構造を維持する
範囲内であれば、１より若干大きくても小さくてもよい
。
工程（１）の溶液は水溶液またはアルコール溶液である
。該溶液の作成は、前記化学式中ＺｎまたはＢａ以外の
少なくとも１種の金属成分の化合物粉末を、Ｚｎまたは
Ｂａを含有する溶液中にそれぞれ溶解するか、逆に前者
を含有する溶液中に後者の化合物粉末を溶解するか、両
者共にそれぞれの成分を含有する溶液として準備し混合
するか、または両者共に化合物粉末として準備して水ま
たはアルコール中に一諸に溶解させるか、のいずれかま
たはこれらの組み合せによって行なう。
。該溶液の作成は、前記化学式中ＺｎまたはＢａ以外の
少なくとも１種の金属成分の化合物粉末を、Ｚｎまたは
Ｂａを含有する溶液中にそれぞれ溶解するか、逆に前者
を含有する溶液中に後者の化合物粉末を溶解するか、両
者共にそれぞれの成分を含有する溶液として準備し混合
するか、または両者共に化合物粉末として準備して水ま
たはアルコール中に一諸に溶解させるか、のいずれかま
たはこれらの組み合せによって行なう。
Ｚｎを含有する溶液を作成するための化合物としては、
たとえば塩化亜鉛、硫酸亜鉛、硝酸亜鉛、酢酸亜鉛等を
用いる。これらのＺｎ化合物は１種のみで用いてもよく
、あるいは互に影響しない範囲で２種以上を一緒に用い
てもよい。Ｂａを含有する溶液を作成するための化合物
としては、たとえば塩化バリウム、塩素酸バリウム、過
塩素酸バリウム、硝酸バリウム、酢酸バリウム、バリウ
ムエチレート、およびバリウムイソプロピレート等を用
いる。これらのＢａ化合物は１種のみで用いてもよく、
あるいは互に影響しない範囲で２種以上を一緒に用いて
もよい。
たとえば塩化亜鉛、硫酸亜鉛、硝酸亜鉛、酢酸亜鉛等を
用いる。これらのＺｎ化合物は１種のみで用いてもよく
、あるいは互に影響しない範囲で２種以上を一緒に用い
てもよい。Ｂａを含有する溶液を作成するための化合物
としては、たとえば塩化バリウム、塩素酸バリウム、過
塩素酸バリウム、硝酸バリウム、酢酸バリウム、バリウ
ムエチレート、およびバリウムイソプロピレート等を用
いる。これらのＢａ化合物は１種のみで用いてもよく、
あるいは互に影響しない範囲で２種以上を一緒に用いて
もよい。
工程（１）における「適量」とは、工程（２）で生成し
たゾルの凝集を抑制するのに適した量であり、溶液の作
成に用いる化合物によって異なる。
たゾルの凝集を抑制するのに適した量であり、溶液の作
成に用いる化合物によって異なる。
工程（２）において生成したゾルはろ過および洗浄によ
って回収された後乾燥される。
って回収された後乾燥される。
乾燥後のゾルの仮焼温度は７００〜１３００℃である。
仮焼温度が７００℃より低いと凝集が顕著に起り、１３
００℃を超えると粒子が粗大化する傾向がある。
００℃を超えると粒子が粗大化する傾向がある。
この様にして得られた仮焼物に、ペロブスカイト組成と
しての構成成分の不足分を加えて混合する。上記の場合
には、たとえばＢａＣＯ３粉末を更に混合して目的のペ
ロブスカイト組成となるようにすることができる。
しての構成成分の不足分を加えて混合する。上記の場合
には、たとえばＢａＣＯ３粉末を更に混合して目的のペ
ロブスカイト組成となるようにすることができる。
混合物としての凝集防止効果を得るには、原料粉末のう
ちＴａ化合物粉末以外の少なくとも１種が工程（１）〜
（２）で形成させたサブミクロン級の変成粉末であれば
よい。したがって、工程（３）において混合する残りの
構成成分の化合物としては、従来からの市販原料粉末を
使用してもよく、また工程（１）〜（２）で上記と同様
に形成させたサブミクロン級の変成粉末を使用してもよ
い。使用する市販の原料粉末はサブミクロン級の粒度で
あることが必要である。
ちＴａ化合物粉末以外の少なくとも１種が工程（１）〜
（２）で形成させたサブミクロン級の変成粉末であれば
よい。したがって、工程（３）において混合する残りの
構成成分の化合物としては、従来からの市販原料粉末を
使用してもよく、また工程（１）〜（２）で上記と同様
に形成させたサブミクロン級の変成粉末を使用してもよ
い。使用する市販の原料粉末はサブミクロン級の粒度で
あることが必要である。
混合物の仮焼温度（工程（３））については、７００°
Ｃ付近よりペロブスカイト構造が形成され、１３００°
Ｃ以１−で仮焼すると仮焼粉末粒径が大きくなり焼成特
性を著しく悪化させるので、７００〜１３００°Ｃの範
囲であることが必要である。
Ｃ付近よりペロブスカイト構造が形成され、１３００°
Ｃ以１−で仮焼すると仮焼粉末粒径が大きくなり焼成特
性を著しく悪化させるので、７００〜１３００°Ｃの範
囲であることが必要である。
この様にして得られた粉末を成型する。焼結温度はｉ訂
記の混合物の仮焼温度と同様にその構成成分の種類によ
って異なるが、一般に１２００〜１７００°Ｃの範囲で
ある。１２００℃より低いと焼結が不十分で高密度か得
られず、１７００°Ｃを超えると粒子が粗大化したり、
あるいは揮発性元素が揮発して失われる。
記の混合物の仮焼温度と同様にその構成成分の種類によ
って異なるが、一般に１２００〜１７００°Ｃの範囲で
ある。１２００℃より低いと焼結が不十分で高密度か得
られず、１７００°Ｃを超えると粒子が粗大化したり、
あるいは揮発性元素が揮発して失われる。
成型後の焼成（工程（４））における焼結性や特性の向
上のために、必要に応じ工程（２）および（３）−′の 少なくとも１つの工程において、助剤としてＺｒ。
上のために、必要に応じ工程（２）および（３）−′の 少なくとも１つの工程において、助剤としてＺｒ。
Ｍｇ、 Ｓｃ、 Ｈｆ、Ｔｈ、Ｗ、 Ｎｂ、Ｔａ、 Ｃ
ｒ、 Ｍｏ、 Ｔｉ、 Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、 Ｎｉ、
Ｃｄ。
ｒ、 Ｍｏ、 Ｔｉ、 Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃｏ、 Ｎｉ、
Ｃｄ。
Ａｊ！ 、Ｓｎ、Ａｓ、Ｂｉ、Ｚｎ、およびＳｒの１種
または２種以上の元素を微量添加する。助剤はＢａＺｒ
Ｏ３，Ｂａ５ｎＯ：＋＋５ｎＴｉＯ３、およびＲａＴｉ
（Ｌ＋のｌまたは２以上の形で黴量添加されることも可
能である。
または２種以上の元素を微量添加する。助剤はＢａＺｒ
Ｏ３，Ｂａ５ｎＯ：＋＋５ｎＴｉＯ３、およびＲａＴｉ
（Ｌ＋のｌまたは２以上の形で黴量添加されることも可
能である。
以下に本発明の実施例を比較例と対比させて説明する。
塩化バリウム水溶液（１゜６ｅ／ｍｏｌａ度）８００ｃ
ｃと塩化亜鉛水溶液（１，８１／ｍｏβ濃度）９００ｃ
ｃとを混合した。この混合水溶液を１００°Ｃで１００
時間保持することで加水分解を行い、Ｂ ａ”とｚ ｎ
２ ＋を含むゾルを得た。これを洗浄、乾燥した後１
１００°Ｃで仮焼してＢａＺｎＯ□粉末を作製した。該
粉末ｌｏｇ（ＢａＺｎ０２が０．０４２６ｍｏｆｆ ）
と市販のＢａＣＯ３粉末１６．８１６ ｇ （０−０８
５２ｍｏｎ ） 、Ｎｂ２Ｏ５粉末１１．３２４ｇ（０
，０４２６ｍｏ７りとをボールミルで一昼夜混合した後
再び１０００℃で１時間仮焼してＢａ （Ｚｎ ＋ ｚ
Ｊｂ２ｚｚ）Ｏｚ粉末を得た。粒径は約０．４ ｔｔ
ｍであった。該粉末をＩｔ／−で成形したタブレットを
大気中で１４００℃で２時間焼成した。得られたペロブ
スカイト型セラミックスの特性を第１表に示す。
ｃと塩化亜鉛水溶液（１，８１／ｍｏβ濃度）９００ｃ
ｃとを混合した。この混合水溶液を１００°Ｃで１００
時間保持することで加水分解を行い、Ｂ ａ”とｚ ｎ
２ ＋を含むゾルを得た。これを洗浄、乾燥した後１
１００°Ｃで仮焼してＢａＺｎＯ□粉末を作製した。該
粉末ｌｏｇ（ＢａＺｎ０２が０．０４２６ｍｏｆｆ ）
と市販のＢａＣＯ３粉末１６．８１６ ｇ （０−０８
５２ｍｏｎ ） 、Ｎｂ２Ｏ５粉末１１．３２４ｇ（０
，０４２６ｍｏ７りとをボールミルで一昼夜混合した後
再び１０００℃で１時間仮焼してＢａ （Ｚｎ ＋ ｚ
Ｊｂ２ｚｚ）Ｏｚ粉末を得た。粒径は約０．４ ｔｔ
ｍであった。該粉末をＩｔ／−で成形したタブレットを
大気中で１４００℃で２時間焼成した。得られたペロブ
スカイト型セラミックスの特性を第１表に示す。
（比較例）
比較例として市販のＢａＣＯ３，ＺｎＯ，Ｎｂ２Ｏ５粉
末をＢａ（Ｚｎ＋ｚ３Ｎｂｚｚｔ）０３の組成になるよ
うに、ＢａＣＯ３−２’５．２２４ｇ （０，１２７８
ｍｏｎ ） 、ＺｎＯ−３，４６７ｇ（０，０４２６ｍ
ｏｊ！ ） 、Ｎｂ２Ｏ５粉末、３２４ｇ （０，０４
２６ｍｏｊ！ ）を配合し、ボールミルで１昼夜混合し
た後１２００℃で１時間仮焼した。仮焼粉末の粒径は１
．２μｍ程度であった。該粉末をＩｔ／ｃｏｔで成形し
、実施例と同し条件下で焼成した。その特性を第１表に
示す。
末をＢａ（Ｚｎ＋ｚ３Ｎｂｚｚｔ）０３の組成になるよ
うに、ＢａＣＯ３−２’５．２２４ｇ （０，１２７８
ｍｏｎ ） 、ＺｎＯ−３，４６７ｇ（０，０４２６ｍ
ｏｊ！ ） 、Ｎｂ２Ｏ５粉末、３２４ｇ （０，０４
２６ｍｏｊ！ ）を配合し、ボールミルで１昼夜混合し
た後１２００℃で１時間仮焼した。仮焼粉末の粒径は１
．２μｍ程度であった。該粉末をＩｔ／ｃｏｔで成形し
、実施例と同し条件下で焼成した。その特性を第１表に
示す。
第１表
（ε１．Ｑは９Ｇ１１アて測定）
第１表かられかるように、本発明の方法によって製造し
たペロブスカイト型セラミックスは、従来の方法による
ものにくらべて密度が著しく高く、それによってＱ値が
驚異的に向トした。しかもこのＱ値が従来材より高いε
、値と同時に達成されており、Ｑ値、ε１値の両特性値
の組合せにおいては本発明法の優位性が更に大きい。
たペロブスカイト型セラミックスは、従来の方法による
ものにくらべて密度が著しく高く、それによってＱ値が
驚異的に向トした。しかもこのＱ値が従来材より高いε
、値と同時に達成されており、Ｑ値、ε１値の両特性値
の組合せにおいては本発明法の優位性が更に大きい。
本発明の方法によると、第（１）〜（２）工程によりペ
ロジスカイＶｔ成の構成成分の一種以−トを含む粉末（
変成粉末）は、二次粒子の極めて少ないサブミクロン粒
子となし得、これを使用することによって、以後単なる
乾式法によって、容易にサブミクロン級のペロブスカイ
ト組成原料粉末が得られ、更にこれを原料としてＱ値が
高く高密度のペロブスカイト型セラミックスが得られる
、という優れた効果が得られる。そのほか次のような効
果も得られる。
ロジスカイＶｔ成の構成成分の一種以−トを含む粉末（
変成粉末）は、二次粒子の極めて少ないサブミクロン粒
子となし得、これを使用することによって、以後単なる
乾式法によって、容易にサブミクロン級のペロブスカイ
ト組成原料粉末が得られ、更にこれを原料としてＱ値が
高く高密度のペロブスカイト型セラミックスが得られる
、という優れた効果が得られる。そのほか次のような効
果も得られる。
１）仮焼によって得られる変成粉末が十分分散されたも
のが得られるため、仮焼物の粉砕工程を特に必要としな
いで、原料粉末として供給し得られる。
のが得られるため、仮焼物の粉砕工程を特に必要としな
いで、原料粉末として供給し得られる。
２）該仮焼変成粉末から乾式法で得られるペロブスカイ
ト組成粉末も単分散状態で得られ、従って粉砕工程を除
いても十分易焼結性且つ高密度の特性を有する。
ト組成粉末も単分散状態で得られ、従って粉砕工程を除
いても十分易焼結性且つ高密度の特性を有する。
３）極めて高密度且つ高Ｑ値を要求されるマイクロ波用
誘電体共振器材料として、ペロブスカイト型セラミック
スをホットプレスやＨＩＰ （たとえば熱間ガス圧焼結
）などの操作を省略して単なる同相焼結によって、理論
密度に極めて近い高密度で得ることができる。
誘電体共振器材料として、ペロブスカイト型セラミック
スをホットプレスやＨＩＰ （たとえば熱間ガス圧焼結
）などの操作を省略して単なる同相焼結によって、理論
密度に極めて近い高密度で得ることができる。
４）優れた粉末特性を有する変成粉末を大量生産するこ
とによって、任意の組成のペロブスカイト組成物を極め
て安価に供給し得る。
とによって、任意の組成のペロブスカイト組成物を極め
て安価に供給し得る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、Ｍｅを５価の金属元素として化学式が Ｂａ（Ｚｎ＿１＿／＿３Ｍｅ＿２＿／＿３）Ｏ＿３で表
わされるペロブスカイト組成の誘電体共振器材料の製造
方法において、（１）該化学式中Ｚｎ以外の少なくとも
１種の金属成分の適量とＺｎとを含有する溶液または該
化学式中Ｂａ以外の少なくとも１種の金属成分の適量と
Ｂａとを含有する溶液を作成する工程、（２）該溶液の
加水分解を行なってゾルを生成させ、該ゾルを乾燥後７
００〜１３００℃で仮焼して仮焼物とする工程、 （３）該仮焼物と、該ペロブスカイト組成の残りの構成
成分の化合物とを混合して７００〜１３００℃で仮焼し
て仮焼粉末とする工程、および （４）該仮焼粉末を成形して１２００〜１７００℃で焼
成する工程 から成ることを特徴とする誘電体共振器材料の製造方法
。 ２、前記ＭｅがＮｂまたはＴａであることを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の誘電体共振器材料の製造方
法。 ３、前記工程（１）において、前記金属成分の化合物の
水溶液またはアルコール溶液とＺｎ化合物の水溶液また
はアルコール溶液とを混合して前記溶液を作成すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項に記載
の誘電体共振器材料の製造方法。 ４、前記Ｚｎ化合物が、塩化亜鉛、硫酸亜鉛、硝酸亜鉛
、および酢酸亜鉛の１種または２種以上から成ることを
特徴とする特許請求の範囲第３項記載の誘電体共振器材
料の製造方法。 ５、前記工程（１）において、前記金属成分の化合物の
水溶液またはアルコール溶液とＢａ化合物の水溶液また
はアルコール溶液とを混合して前記溶液を作成すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の
誘電体共振器材料の製造方法。 ６、前記Ｂａ化合物が、塩化バリウム、塩素酸バリウム
、過塩素酸バリウム、硝酸バリウム、酢酸バリウム、バ
リウムエチレート、バリウムイソプロピレートの１種ま
たは２種以上から成ることを特徴とする特許請求の範囲
第５項記載の誘電体共振器材料の製造方法。 ７、前記工程（２）および（３）の少なくとも１つの工
程において、助剤としてＺｒ、Ｍｇ、Ｓｃ、Ｈｆ、Ｔｈ
、Ｗ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｃｒ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｍｎ、Ｆｅ、Ｃ
ｏ、Ｎｉ、Ｃｄ、Ａｌ、Ｓｎ、Ａｓ、Ｂｉ、Ｚｎ、およ
びＳｒの１種または２種以上の元素を微量添加すること
を特徴とする特許請求の範囲第１項から第６項までのい
ずれか１項に記載の誘電体共振器材料の製造方法。 ８、前記助剤がＢａＺｒＯ＿３、ＢａＳｎＯ＿３、Ｓｎ
ＴｉＯ＿３、およびＢａＴｉＯ＿３の１または２以上の
形で微量添加されることを特徴とする特許請求の範囲第
７項記載の誘電体共振器材料の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62127211A JPS63292506A (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 誘電体共振器材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62127211A JPS63292506A (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 誘電体共振器材料の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63292506A true JPS63292506A (ja) | 1988-11-29 |
Family
ID=14954473
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62127211A Pending JPS63292506A (ja) | 1987-05-26 | 1987-05-26 | 誘電体共振器材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63292506A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03171506A (ja) * | 1989-08-11 | 1991-07-25 | Sanyo Electric Co Ltd | マイクロ波用誘電体磁器組成物 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61269805A (ja) * | 1985-05-23 | 1986-11-29 | 松下電器産業株式会社 | マイクロ波用誘電体磁器の製造法 |
-
1987
- 1987-05-26 JP JP62127211A patent/JPS63292506A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61269805A (ja) * | 1985-05-23 | 1986-11-29 | 松下電器産業株式会社 | マイクロ波用誘電体磁器の製造法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03171506A (ja) * | 1989-08-11 | 1991-07-25 | Sanyo Electric Co Ltd | マイクロ波用誘電体磁器組成物 |
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