JPS63289706A - セラミック形成組成物及びこれを用いた半導体磁器基体と誘電体磁器基体並びにコンデンサー - Google Patents

セラミック形成組成物及びこれを用いた半導体磁器基体と誘電体磁器基体並びにコンデンサー

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はセラミック形成組成物及びこれを用いた半導体
磁器基体、誘電体磁器基体並びにコンデンサーに関する
〔従来の技術〕
結晶粒界に絶縁層を形成した半導体磁器は、一般に大き
な誘電率を有する。この様な半導体磁器を用いて大きな
容量を有するコンデンサーを構成し得ることが知られて
いる。従来、この種の半導体磁器としては、チタン酸バ
リウムを主体成分とする磁器が多用されていた。このも
のは、誘電率が70.000と大きいものの、誘電損失
(tanδ)が5〜6%(1kHz)と大きく、また、
誘電率の温度変化も+20℃を基準として一25〜+8
5℃の範囲で±50%と大きいものである。
一方、チタン酸バリウムのt a nδや誘電率の温度
変化を改良する磁器としてチタン酸ストロンチウムを主
体成分とする磁器が知られている。例えば特公昭60−
48897で試料番号5として5rTiO397,5モ
ル%から成る主成分に?VinO21、7モル%、Y2
O30,8モル%を添加せしめた磁器で、tanδが0
.6%、−25〜+85℃の誘電率の温度変化が一7〜
+6%以内と良好であるが、誘電率が15000程度と
低い。
〔発明の解決すべき問題点〕
本発明は、前記従来の問題点を解決し、誘電率が太き(
、且つ温度特性も良好であり、誘電損失の小さなコンデ
ンサーを構成することのできるセラミック形成組成物、
及びこれを用いた半導体磁器基体と誘電体磁器基体並び
にコンデンサーを提供すべくなされたものである。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明によって提供されるセラミック形成組成物(以下
、本発明のセラミック形成組成物という)はTiO。5
0.20〜53.50モル%及びSrO49.80〜4
6.50モル%から成る主成分100モル部に対し、〜
1nO22,0〜5.0モル部、並びにY2O30,0
5〜0.30モル部が含有されていることを特徴とする
ものである。
本発明によって提供される半導体磁器基体(以下、本発
明の半導体磁器基体という)は、本発明のセラミック形
成組成物の焼成体から成ることを特徴とするものである
本発明によって提供される誘電体磁器基体(以下、本発
明の誘電体磁器基体という)は、本発明のセラミック形
成組成物の焼成体から成る半導体磁器の結晶粒界に絶縁
層が存在していることを特徴とするものである。
本発明によって提供されるコンデンサー(以下、本発明
のコンデンサーという)は、一対の電極と;該電極に挟
持された本発明のセラミック形成組成物の焼成体から成
る半導体磁器の結晶粒界に絶縁層が存在している誘電体
磁器と;を有していることを特徴とするものである。
本発明のセラミック形成組成物には、前記TiO2゜S
rO,MnO2及びY2O3以外の成分としてSiO2
が含有され得る。Sio2の好適な含量は、前記TiO
250,20〜53.50モル%及びSrO49.80
〜46.50モル%から成る主成分100モル部に対し
て0.01〜2.00モル部である。
以下、本発明の構成について更に詳しく説明する。
本発明のセラミック形成用組成物において、主成分であ
るTiO2とSrOは、固溶体等の複合酸化物、TiO
2,SrO夫々の単独酸化物、あるいはこれらの混合物
として組成物中に存在し得る。組成物中におけるTiO
3とSrOの量比を、TiO250,20〜53.50
モル%に対しSrO49.80〜46.50モル%とし
たのは、TiO2の量が多くなると、即ちSrOの量が
少なくなると、所望する誘電体磁器の誘電率が低下し、
誘電損失と誘電率の温度変化が大きくなり、しかも磁器
の絶縁抵抗が減少する。TiO2の量が少なくなると、
即ちSrOの量が多くなると、所゛望する誘電体磁器の
誘電率が低下し、誘電率の温度変化が太き(なる。本発
明組成物中におけるT IO2とSrOのm比は、これ
らの誘電率、誘電損失、誘電率の温度変化、磁器の絶縁
抵抗、半導体可能といった所望特性をバランス良く最適
に発現させるために決定される。
このように本発明では、TiO2とSrOの量比を特に
TiO2過剰側の一定範囲内に設定することを1つの特
徴とする。
本発明のセラミック形成組成物においてMnO2は磁器
を形成するための焼結助剤の役割を有するものであり、
その使用量を前記TiO□及びSrOから成る主成分1
00モル部に対して2.0モル部以上に限定したのは、
MnO□が2.0モル部未満であると所望する誘電体磁
器の誘電率が低下すると共に誘電率の温度変化が大きく
なるからである。前記TiO3及びSrOから成る主成
分100モル部に対して5.0モル部以下に限定したの
は、MnO2が5.0モル部を越えると誘電損失の増加
が顕著となるためである。
以上のように本発明ではTiO□とS r ’Oの量比
をTiO3過剰側に設定しかつ、多量(2モル部以上)
のMnO2を添加することにより、焼結が促進され、更
には、過剰Tio2により還元されやすい状態が作り出
されているものと思われる。
次に、本発明のセラミック形成組成物において、Y2O
3は磁器の半導体化に効果を有するものであり、その使
用量を前記T+02及びSrOから成る主成分100モ
ル部に対して0.05モル部以上に限定したのは、Y2
O3が0.05モル部未満であると磁器の半導体化が不
十分となり、誘電率が低下するためである。前記TiO
2及びSrOから成る主成分100モル部に対して0.
3モル部以下に限定したのは、Y2O3が0.3モル部
を越えると結晶の粒成長が抑制され、誘電率が低下し、
誘電損失が大きくなるためである。
このように本発明は、前記特公昭60−48897号に
比較し、多量のMnO2と比較的微量のY2O3を添加
することが特異点の1つである。つまり本発明では、M
nO2とY2O3更には前述の過剰TiO2との相互作
用により粒径、粒界に関する特性が制御さし極メて大き
な誘電率と良好な誘電損失特性等が得られるものと考え
られる。
また、本発明のセラミック形成組成物に所望により加え
られる成分であるSiO3は半導体磁器の粒界面改良剤
としての作用を有するものである。
この粒界面改良剤とは、半導体磁器の表面に結晶粒界へ
の拡散成分となる添加剤を添布した後、空気等の酸化雰
囲気中で焼成し、結晶粒界に添加剤を拡散させる際に、
該添加剤の粒界面への拡散を均一にすることにより、絶
縁抵抗の向上、誘電損失の低下に寄与する。但し、この
様な効果を期待して、SiO2を使用する場合に、Si
O2の使用量が前記TiO2及びSrOから成る主成分
100モル部に対し0.01モル部未満であると効果が
十分に発現されず、2.00モル部を越えると結晶粒界
の絶縁層の厚みが増し所望する誘電体磁器の誘電率が低
下し、好ましくない。SiO2の使用量のより好ましく
は、前記TiO2及びSrOか成る主成分100モル部
に対し0.20〜2.00モル部である。
この様に構成される本発明のセラミック形成組成物を用
いて本発明の半導体磁器基体を得るには、本発明のセラ
ミック形成組成物の成形体(圧粉体)を調製し、これを
焼成する方法が一般的である。例えば、TiO2、Sr
O,MnO2、Y2O3及び所望に応じて加えられるS
+02の各成分を含む原料粉末にポリビニルアルコール
などのバインダーを加え造粒を行いプレス成形にて成形
体(圧粉体)を得る。次いで、この成形体からバインダ
ーを除(ため酸化雰囲気中600〜1200℃で仮焼す
る。この仮焼体を、次いで水素と窒素の混合ガス、水素
とアルゴンの混合ガス等の還元雰囲気あるいは窒素、ア
ルゴン等の中性雰囲気中、より好ましくは還元雰囲気中
、望ましくは1320°C〜1450°Cで焼成して半
導体磁器基体を得る。
また、例えば前述した方法により得られる本発明のセラ
ミック形成組成物を用いた半導体磁器の結晶粒界に絶縁
層を形成することにより、本発明の絶縁体磁器基体を得
ることができる。絶縁層の形成方法としては、結晶粒界
への拡散成分となる添加剤を半導体磁器基体の表面に塗
布して焼成する方法が挙げられる。焼成は酸化雰囲気中
で1100〜1300°Cで行うのが望ましい。
添加剤としては、半導体磁器の結晶粒界に絶縁層を形成
するための従来公知の添加剤の何れをも使用することが
できる。例えば、鉄、コバルト、ビスマス、バナジウム
、クロム、鉛等の酸化物のほか、特に本発明において好
適に用いられるのは、酸化ビスマス及び酸化ナトリウム
であり、これらを用いた場合本発明の目的とする誘電体
磁器の誘電率、温度特性、並びに誘電損失の改良効果に
関して良好な結果が得られる。添加剤は、焼成の結果と
してこれら酸化物の形態をとればよ(、半導体磁器表面
に供給するときは、例えば酸化物、窒化物、炭酸塩等の
形態でよい。
更に、例えば前述した方法により得られる本発明のセラ
ミック形成組成物を用いた誘電体磁器を一対の電極に挟
持することにより、本発明のコンデンサーを構成するこ
とができる。
第1図及び第2図には、本発明のコンデンサーの一例が
示されている。第1図はコンデンサーの模式的斜視図、
第2図は模式的切断面部分図である。
図に示したコンデンサーは、例えば円板状の誘電体磁器
層12の上下の面に、夫々A l 、Au、Ag。
Ni等で構成される電極11(図には、上面の電極しか
示されてない)が設けられて構成されている。
誘電体磁器層12は、半導体磁器の結晶粒22の多数を
粒界に形成された絶縁層21を介在した形で含有してい
る。
結晶粒22の大きさは、要求される電気的特性と構成材
料の配合量、焼成条件等によって適宜決定されるが、通
常の場合1μm−100μm1好ましくは40μm〜8
0μmとされるのが望ましい。
〔実施例〕
以下に具体的実施例を示して、本発明を更に詳しく説明
する。
実施例1 第1表に示す組成比率の半導体磁器が得られるように、
TiO2、SrO,MnO2、Y2O3,SiO2の各
原料を秤取し、湿式ボールミルで12時間粉砕混合を行
った。このものを乾燥後少量のポリビニルアルコールを
バインダーとして加え24〜80メツシユに造粒し油圧
プレスによって直径20 m m・厚さ0 、7 m 
mの円板に成型した。次いで、この成形円板を大気中9
50℃で1時間仮焼してバインダーを燃焼させた。これ
を室温まで冷却後、水素10容量%、窒素90容量%か
らなる還元雰囲気中で1400℃で4時間焼成した。
こうして得られた半導体磁器に、重量比がエチルアルコ
ール: Bi203又はNa20==10 : 1とな
る懸濁液にドブ浸は後、1250℃0.5時間、酸化雰
囲気にて焼成して結晶粒界に絶縁層を形成した。
か(して得られた誘電体磁器の円板(試料Nα1〜25
)の両面に銀ペーストを塗布し、850℃、30分焼付
して電極を形成しコンデンサーを作製した。
こうして得られたコンデンサーを構成する誘電体磁器の
誘電率(ε)、誘電損失(tanδ)、絶縁抵抗(IR
)および誘電率の温度特性(25℃を基準とする一25
°C,+85℃における温度変化率)を測定し、その結
果を第2表に示した。測定条件は25℃、周波数1kH
zである。なお表1,2中の*は本発明の範囲外にある
試料である。第1表、第2表に示される通り本発明のコ
ンデンサー用のセラミック形成組成物を用いた誘電体磁
器は、従来のものと比較して、誘電率が101000〜
144000以上と高(、tanδが1%以内であり、
絶縁抵抗3000MΩ以上あり、25℃基準)−258
c〜+85°Cの誘電率の温度変化率が±10%以内で
あり極めて第1表 (*は本発明範囲外、以下の頁の表において同じ)第 
 1  表 (つづき) 第2表 第 2 表(つづき) 〔発明の効果〕 前記実施例から明らかな様に、本発明のセラミック形成
組成物によれば、誘電率(ε)が101000以上と高
(、誘電損失(tanδ)1%以下、絶縁抵抗3000
MΩ以上といった高特性にもかかわらず、誘電率の温度
変化が一25°C〜+85℃において±lO%以内と良
好な高特性の誘電体磁器を構成することができる。
この様に、本発明のセラミック形成組成物、半導体磁器
基体、′誘電体磁器基体は、高性能のコンデンサーを構
成し得る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のコンデンサーの一例を示した模式的斜
視図、第2図はその模式的切断面部分図である。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)TiO_250.20〜53.50モル%及びS
    rO49.80〜46.50モル%から成る主成分10
    0モル部に対し、MnO_22.0〜5.0モル部、並
    びにY_2O_30.05〜0.30モル部が含有され
    ていることを特徴とするセラミック形成組成物。
  2. (2)セラミック形成組成物の主成分100モル部に対
    し、更にSiO_20.01〜2.00モル部が含有さ
    れている特許請求の範囲第(1)項記載のセラミック形
    成組成物。
  3. (3)TiO_250.20〜53.50モル%及びS
    rO49.80〜46.50モル%から成る主成分10
    0モル部に対し、MnO_22.0〜5.0モル部、並
    びにY_2O_30.05〜0.30部が含有されてい
    るセラミック形成組成物の焼成体から成ることを特徴と
    する半導体磁器基体。
  4. (4)セラミック形成組成物の主成分100モル部に対
    して、更にSiO_20.01〜2.00モル部が含有
    されている特許請求の範囲第(3)項記載の半導体磁器
    基体。
  5. (5)TiO_250.20〜53.50モル%及びS
    rO49.80〜46.50モル%から成る主成分10
    0モル部に対し、MnO_22.0〜5.0モル部、並
    びにY_2O_30.05〜0.30モル部が含有され
    ているセラミック形成組成物の焼成体から成る半導体磁
    器の結晶粒界に絶縁層が存在していることを特徴とする
    誘電体磁器基体。
  6. (6)セラミック形成組成物の主成分100モル部に対
    し、更にSiO_20.01〜2.00モル部が含有さ
    れている特許請求の範囲第(5)項記載の誘電導体磁器
    基体。
  7. (7)一対の電極と;該電極に挟持され、 TiO_250.20〜53.50モル%及びSrO4
    9.80〜46.50モル%から成る主成分100モル
    部に対し、MnO_22.0〜5.0モル部、並びにY
    _2O_30.05〜0.30モル部が含有されている
    セラミック形成組成物の焼成体から成る半導体磁器の結
    晶粒界に絶縁層が存在している誘電体磁器と;を有して
    いることを特徴とするコンデンサー。
  8. (8)セラミック形成組成物の主成分100モル部に対
    し、更にSiO_20.01〜2.00モル部が含有さ
    れている特許請求の範囲第(7)項記載のコンデンサー
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