JPS58103117A - コンデンサ用半導体磁器 - Google Patents

コンデンサ用半導体磁器

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JPS58103117A
JPS58103117A JP56201695A JP20169581A JPS58103117A JP S58103117 A JPS58103117 A JP S58103117A JP 56201695 A JP56201695 A JP 56201695A JP 20169581 A JP20169581 A JP 20169581A JP S58103117 A JPS58103117 A JP S58103117A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明を1、粒界1ml!ml内縁rTiO,糸コンデ
ンサ用半導体a器及びその製造方法に関し、更に詳細に
は、見損けの比誘電率Ct)が大きく、その比誘電率の
m1IL変化亭(優)が小さく、しかも籾電体偵矢(t
an J鳴)が少ない半導体磁器及びその製造方法に関
する。
特公昭55−44445号公報に、5rTiOa、Nb
、U、、CuOから成る半導体磁器f)結晶粒界にPb
02Hj、0.、H,01j’含有させた粒界絶縁fJ
 IF) 5rTiO,糸37デンサ用半導体a器即ち
半導体磁器組成物が開示されている。このa器組成物の
見摺けの比誘電率(glは47.000〜62.000
であり、この比誘電率の温度特性は土151(−25℃
〜+85℃)以内であり、自電体損失tan Iは0.
9参以下であるので、比戦的%注の優れた磁器コンデン
サV提供することができる。しかし、半導体a s #
) 1jfj晶粒子の平均粒@は4o〜601mであり
、これに対応した見殉けの比誘電率しか得られない。こ
のため。
今日要求されている見ahの比鋳S率の極めて高いa@
組成物ン提供することができない。
そこで、本発明の目的は、見!Iけの比誘電率(@)が
極めて高い5rTi01系コンデンサ用牛導体m器及び
その製造方法V提供することにある。
上記目的な達成するための本願の第1番目の発明を1.
8r’l’i0.93−38〜99.85富貴畳とNb
、0゜0.13〜5.32電量部とCuOO,02〜]
 −50電量部とで30031量鳴となる主成分100
重量部、SiO,0,02〜0.10菖量部、AI、0
.0.03〜0.03m童部、(但し、前記Sin、の
電量部及び前記AI、O。
の電量部は、S j O,の電量部/ Al、0.の重
量部が1.5〜5.0となる範囲内である)i−含有し
、更に、前記主成分と前記S;0.と前記AI、0.と
の合計重量に対して0−03〜2.75 N量11 (
1) PbOト、0.12〜4.231[i[のBi、
01と、0.001〜0.18菖量鳴のH,0,とY含
有していることV%黴とするコンデンサ用半導体a器に
係わるものηある。
上記発明によれば、見損けの比誘電率が約g o、o 
o o以上、檀iが1憾以下、抵抗率が1・OX 30
 (1・cm以上のような良品基準Y上回るコンデンサ
用半導体磁器を得ることができる。
本願の第2番目の発明は、半導体磁器t’[造する方法
に保わるものであり、第1番目の発明と同一の組成比で
sr’t’io、 、 Nb、0.、CuO1alt)
、、 AI、01を含む円職又を1円筒等の半導体磁器
を作製し、しカル後、Pb02Hj、0.及びB、O,
又に’X Cn等Y得ることが出来る@質?含むii!
3縁化物質(拡散物質)を半導体a器の表面に何着させ
、こt’Lv熱拡散することによって半導体m器の結晶
粒界にPbO、Bi。
()い及びH,0,V含有させることな%値とするtσ
)である。この方法によれば、本発明で目的とする見徊
けの比誘電率の高い半導体磁器を容易に得ることができ
る。
次に本発明の好ましい実施例について述べる。
実施例 1 工業用のSr’I’j01 (不純物として、Ba 、
 Fe %Mn 。
Ca 、 Na %に等v微量含有) 、Nb、o、、
CuOlSing及びAm、0. Y % 1表に示す
組成となるように配合し、こn等に不純物が混入するこ
とt防止するためにゴムライニングボール使用のゴムラ
イニングミルで湿式混合をし、乾燥させた後、有機ノ(
インダとしてポリビニルアルコールを加え、加圧成形機
にて円板状に成形し、10000℃、1時間σ)熱処理
によりバインダを除去した後、99憾N、−1鳴H1の
弱還元性の雰囲気中に8いて、1350〜1450℃、
2〜4時間焼結し、大きさがそれぞれ直径約8 mm 
、厚さ約0.4mmの円板状半導体a器馨作表した。な
お、原料ンゴムライニングミルで混合しfcI)で、磁
器製ボール轡のメディアから不純物が混入することが阻
止さn%SingとAI、0.との量のコントロールを
正確に行うことが可能になった。
次に、PbO粉禾粉床菖童参、B1101粉禾451蓋
番、B、01粉末5ム蓋畳で】00電it優となるよう
に配合された絶縁化物質にニトロセルロース及びブチル
カルピトールを加えてペーストを作製し、こttV前の
工程で作表した円板状半導体磁器v片生面にスクリーン
印刷で塗布した。なお、100mgの円職状牛導体磁器
に対して絶縁化物質YIOmg(]O重量張)塗布した
次に、絶縁化物質を塗布した半導体m器を酸化雰囲気中
において】150〜1300℃σ)範囲の一足温度で2
時間加熱処理し、半導体m器の粒界層にPbo %BI
IO1%及びH,0,v拡散させ、粒界層グ)絶縁体化
ン図った。これにより、第】図に模式的に示す半導体結
晶粒子il+と絶縁化された粒界層(2)とから成る半
導体m器(3:が得らnた。しかる後、こσ)半導体m
器(3;の両主面に銀ペーストvm布し、焼付けること
によって一対のコンデンサt 極141 +51?形成
し、半導体m器コンデンサを完成させた。
上述のような磁器コンデンサf)製造に於いて、生成分
、SiOい及びAI、0.12原料の組成比の状態で完
成し71B器に含まするが、絶縁化物質とじてのPbO
1Hi、0.及びB、01ゴ塗布後の加熱処理の工程で
全部拡散されない。即ち拡散のため#)加熱処理時の蒸
発等のために、塗布した絶縁化物質の一部f)みが磁器
中に残存する。loomgのaSに対する絶縁化物質の
拡散量(残存量) 12成分によつ1異なり、P bO
を1約0.28〜0.86mm[11%(0,28〜o
、s e mg )の範囲、Bi、01t20.49〜
1.5031量畳(0,49〜1.5 omg )の範
囲、Bi、0.・)0.0)〜0.06菖量4 (0,
01〜0.06 mg ) IF)範囲である。
このようにして得られた4!r臥科について、見知けの
比誘電率ε、銹電体損失tank、抵抗率−V欄足した
ところ、第1表に示す結果が得られた。尚、εとtan
 I t2 ] kHzで61J足し、−をゴ直fi5
0Vv印加して1分間経過した後に御1足した。f次第
】表に於いて、主成分のSr’l’10. トNb、o
、とCuOとの菖置部σ)酩和が100菖量醤である。
また副成分’) Sto、とA1鵞O易とtl、主成分
100重量部に対する1量部で示されている。また、電
気的特性は同一試料30情の平均値で示8rしている。
第1表から明らかなように、主成分の組成比がSrl’
i0@ 93.18−99.85電量1jlk%Nb、
0.0.13〜5.32電童惨、CuOO,12〜1.
50菖量畳の範囲にあり、且つ100菖量部の主成分に
対してSin。
が0.02〜0.10直重s% Al諺Oaが0.01
〜0.03菖量部(但し、Slug / AlB12の
重量比は1.5〜5.0)のamにある試料番号8〜1
】、13〜16%18.20〜22.25〜27.29
、及び30の磁器によnは、結晶の平均粒径が60〜1
20μ、εが82.000〜13LOOO,tanδが
0.5曝以下、Pが1.3X]0Ω・cm以上となり、
前述の良品基準Yよ励るコンデンサV得ることが出来る
一方、不発明り)範囲外である試料番号1〜7゜】2、
】7、】9.23.24.28.3】〜34比が1.5
未満範囲でを工s o、o o o以上の#を得ること
が出来ず、また上記比が5v越えた範囲で會1tan 
aが1.04以上又t’s pが]、OX]0Ω−cm
以下と愚くなる。Sまた、Sin、が】00重量部の主
成分に*L、て0.02菖量部未満であるとεV800
00以上にすることが出来ず、fたこれが0.1菖量部
を越丁と、大きなCが得られなくなる。またAI、0゜
が0.01重量部未満であると、80.000以上のε
V得ることが不可能になり、これが0.03菖量sv越
えると%εがs o、o o o以下になる。従って、
8i0.及びAI、0.の好fしい範囲を1、SiO,
/Al。
0、の]i[量比が1.5〜5であると共に、S iO
,が0.02へ0.1菖菫部、A1雪01が0,01〜
0.03菖量部C)範囲である。
なお、主成分子)組成比を本発明の範囲外にした場合に
′4b、勿論良勿論率’に’s:回るコンデンサケ得る
ことが不可能になる。
1s1表に於いて、不発1jli IF)範囲に入る試
料の見損けの比誘電率go)s変時性を測定したところ
、総ての試料の兇纏けの比誘電率Cの温度変化率を1第
2図σ)斜線領域に含まれた。 Illも、20℃σ)
比誘電率を基準にして、−25℃〜+85℃σ)範囲で
の比誘電率の変化率管1±】5優以内であった。
実施例 2 央m例1に於ける絶縁化物質(拡散物質)としてのpb
u、Bi、01、及びB鵞01の比率σ)みY第2表に
示すように変化させ、製造方法t1実施?ll]と同一
として半導体釦器コンデンサY作刺し、電気的特性V測
定したところ、第2表に示す結果が得られた。なお、第
2表に於けるIP)欄を1絶畿化物質を塗布する半導体
縫器ン示す。また絶縁化物質12111!(]OOmg
)に対して】0菖量鳴(]Omg)塗布した。
この第2表の試料番号36〜40,42.43.45〜
50.53〜56.58〜64、及び67〜69から明
らかなように、PbOが35〜5411を憾、Hi10
5が40〜58菖量鳴、B、0.が2〜】0菖11憾の
@咄で會工大きな#を有し、tank及びPも優れてい
るa養を得ることが出来る。一方、本発明の範囲外であ
る試料番号35.4】、44.5】、52.57.65
.66、及び70から明らかなように、pbo、Bi、
ol、B、0.の比が上記の範囲外となれば所望の特性
V得ることが不可能になる。従って、塗布する絶縁化物
質の好ましい組成比は、pboが35〜54菖量囁、B
i、01が40〜58J[Ji4.B鵞01が2〜]0
菖量参である。
この実施例2に於ける不発明り】範囲内のに科の磁器に
対するPbO1Bi、01、及びB、U、 IF)拡散
量l求めたところ、PbO120,07〜] 76]L
量鳴、B110112 0.2 4 〜2.7 0  
Ill  量 僑 、  B諺011寥 0.0 0 
2 〜0.12真倉鳴の範囲であった。
′!J!施M3 実施例2で示した本発明の範囲内の組成比の絶縁fヒ物
質の塗布量ヶ半導体a器(重量約100mmg)に対し
て】電量4 (] mmg )〜】5重量鳴く15mm
g)の範囲で変化させ、加熱温度V]]50〜】300
℃、加熱時間t】〜4時間の範囲で変化させることによ
って絶縁化物質の拡散量が異なる多数の磁鮨ン作製し、
εがso、ooo以上、匈niが1畳以下、−が1.O
X]OΩ・cm以上の半導体磁樹′4I′得ることが可
能な絶縁化物質の拡散量を求めたところ、半導体磁器の
l量(3003に量醤)に対してPbOが0.03〜2
.75菖量鳴、B110gがm憾であった。
以上、本発明の実施例について述べたが、本発明はこれ
に限足されるもので11な(、更に変形可能なものであ
る。例えば、本発明の%像V阻害しない範囲で他の特注
改畳物lxv付加して%差支えない。また、PbPb0
1k3iいB、01の粉末にてペーストV作製せずに、
絶縁化のための拡散加熱でPPbolBflo、HIO
,に変換される例えばpb、oいPbFいPb (80
,)、、BiFl等の物質vis器の一万又を1両方の
主面にm布して、最終的に磁器の中に: )’bO、B
j。
011B冨01ン偏在させてもよい。また、PbO、B
1,0.、B、01に変換することが出来る物質の配合
物ケ作り、これ′Ik′例えば1000℃で焼成し、P
bO−B i、0.−B、01の組成物を作り、こrL
t粉砕した粉本ペーストな作って塗布してもよい。また
絶縁化物質を蒸着又慴浸漬尋で磁器に付着させてもよい
、また、鍛伸の原料vSrTi01 %Nb、o、、C
ub%Sin@、AI、0゜と甘ずに、これ尋Y得るた
めの物質を原料としてもよい。例えばSrl’i0.v
脚酸ストロンチウム°と酸化チタンとから得るようにし
てもよい、またゴムライニングボールに限らずに、Si
O2とAl、O,とが不純物として混入する恐れのない
他の容器を使用して主成分と副成分との原料を混合する
ようKしてもよい。
【図面の簡単な説明】
第1図a本発明′の実施例に保わる磁器コンデンサヶ模
式的に示す断面図、Is2図はilil変度に対する比
鋳電率!示す特性図である。 尚図mK用いられている符号に於いて、+1112粒子
、12142粒界層、(31t2a!、 14++51
eXIHjc’ア4#代理人 高野則次 手続補正書(1尭) 昭和57年11月 1日 1、事件の表示 昭和s6年特 許  願第8016111号2、laH
の名称 =ンデシ葉用4に部体1lIIIIk及びその
纏造方法3、 補正をする者 事件との関係  出 願 人 4、代理人 5、 補正命令の日付 自 働 6、 補正により増加する発明の数 Ul  明細@@12員第1表囚の試料誉号20引偽の
欄の「0.014 Jを「0,024 Jに補正する。 (2)明細書$114員第1表00試料省号26の8r
T10.の―の「93118Jt−[93,18Jに補
正する。 (3)  明#itl*g19負11E2表(1’JK
N11139のB輸0.の禰のr664tr58Jに補
正する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1#5rTj0193−48〜99.851jl’l
    tとNb、0.0.13〜5.32重量鳴トCu00.
    02〜L、507g@ 46とで100’JIIt噛と
    なる主成分]00菖量電量Sing  0.02〜0.
    10重量部、AI、0.0.0 ]〜0.03重量部、
    (但し、前記別0倉の1童部及び前記AI、O,の重量
    N、は、5i(Jlの電量部/ Al、01σ)電量部
    が1.5〜5・0となる範囲内である) を含有し、更に、前記主成分と前記840.と前記Al
    、0.との合計1重に対して0.03〜2.75 l量
    暢のpboと、0.12〜4.2311童畳のHi曾(
    )1と、0.001〜0.18 )i:量憾のis、O
    ,とvt有していることV%黴とするコンデンサ用半導
    体am!。 (2) 5rTiO,93、18〜99.85菖量鳴ト
    Nb、0゜0.13〜5.321量僑とCu00.02
    〜1.50X量憾とで300電量憾となる主成分】00
    菖量部、Sin、  0.02〜0.10重量部、AI
    、θ、0.0] 〜0.03菖量部、電量し、前記St
    偽の電量部及び前記AI、0.の電量部を1%Sing
    の電量部/ At、0.の電量部が1.5〜5.0とか
    らなる範囲内である) から成る半導体−器を作シすること、 前記半導体礎鮨の少なくとも一万の主面に、pbO又t
    1加熱処理によって)’bOになる物質と、 Hi、0
    ゜又を1加熱処理によってB1101 Kなる物質と、
    H,0゜又を1加熱処珈によってB、0.になる物質と
    を、Pb0に換算して35〜54]1量鳴、Bi、0.
    に換算して40〜58jl[t4、B、0.に換算(、
    て2〜10g量畳で100重量電量部るような比で含む
    絶縁化物質t、1007IIL量部の前記半導体a器に
    対して]〜】5電量部の割合で付着させ、しかる後加熱
    処理することによって前記半導体磁器の結晶粒界にPb
    O1850g、k ヒH,0,V拡散サセルコト、から
    成るコンデンサ用半導体a器の製造方法。 (31前記半導体&8器に前記絶縁化物質を付′y#さ
    せること11、前記絶縁化物質を含むペーストを塗布す
    ることである%肝請釆の範囲第2項記載tI)コンデン
    サ用牛専体磁器の製造方法。
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