JPS5897819A - コンデンサ用半導体磁器 - Google Patents

コンデンサ用半導体磁器

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JPS5897819A
JPS5897819A JP56197312A JP19731281A JPS5897819A JP S5897819 A JPS5897819 A JP S5897819A JP 56197312 A JP56197312 A JP 56197312A JP 19731281 A JP19731281 A JP 19731281A JP S5897819 A JPS5897819 A JP S5897819A
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    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/01Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
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    • C04B35/462Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates
    • C04B35/465Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates based on titanates based on alkaline earth metal titanates
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
本発明11、粒界絶11型の5rTiO,糸;ンデンサ
用半尋体磁器及びその製造方法に関し、更に詳細には、
見!lIけの比誘電率(#]が大きく、その比I電車の
温度変化率tqb)が小さく、シかも誘電体損失(ta
nlりが少ない半導体磁器及びその製造方法に関する。 特公昭55−22932号公報に、SrTl0g、Ta
gOいCuOから成る半導体a@の結晶粒界にPbO1
Pb01B1 BmOa t’金含有せ九粒界絶縁型の
5rTi01系コンデンサ用半導゛体aisMJち半導
体磁器ffi成物が開示されている。この磁器組成物の
見拘けの比誘電率(#)昏″X50.000〜62.0
00であり、この比誘電率の温度特性11ま]5%(−
25℃〜+85℃)以内であり、誘電体損失tan a
 k”X O−9憾 以下であるので、比軟的特性の優
れた磁器コンデンサな提供することができる。しかし、
半導体磁器の結晶粒子の平均粒径會140〜60μmで
あり、これに対応した見働けの比誘電率しか得られない
。 このたt1今日費求されている見損けの比誘電率の極め
て高い磁器組成物な提供することができないO そこで、本発明の目的は、見mけの比誘電率(glが極
めて高い5rTi01系コンデンサ用牛導体磁器及びそ
の製造方法を提供することにある。 上記目的を達成するための本願の第1番目の発明t’z
、5rTiO,95,18〜99.65重量部とTa1
O。 0.33〜3.32重ii参とCu00.02〜1.5
0重量部とで】00重重量部なる主成分】00重量部、
StO。 0−02〜0.] OJ[f 1ilS−AI宏010
−03〜0−031量部、(但し、前記5inHの重量
部及び前記AI、0.のlk t s&X、SiO鵞〕
ILtfn/ AlvOs ノN置部iE ]−5〜5
.0となる範囲内である)を含有し、更に、前記主成分
と前記sio、と前記^1,0.との合計重量に対して
、0.03〜2.75重量部のpboと、0.11〜4
.22重量部のBl鵞0.と、0.001〜0.18重
重量部B、O,とを含有していること1%黴とするコン
デンサ用半導体磁器に係わるものである。 上記発明によれば、見mけの比誘電率が約so、ooo
以上%tan Iが】4以下、抵抗率が1.0×】0Ω
・cm以上のような良品基準を上回るコンデンサ用半導
体磁器を得ることができる。 本願の第2111目の発明を1、半導体磁器Y製造する
方法に係わるものであり、第1番目の発明と同一の組成
比でSrTl0g、 Ta1O,、CuO1Sin、 
% Al、01を含む同職又は円筒等の半導体磁器を作
製し、しかるm % )’bU 、B110.及びB、
O,又11これ等を得ることができる物質を含む絶縁化
物質
【拡散物質】な半導体磁器の表面に付着させ、これ
t熱拡散することによって半導体磁器の結晶粒界にPb
O、BitO8及びB*Ost’含有させることを特徴
とするものである。この方法によれば、本発明で巨・的
とするM、招けの比誘電率の高い半導体磁器を容易に得
ることができる。 次に本発明の好ましい実施例について述べる。 実施?!I  ] 工業用の5rTi01 (不純物として、Ba %Fe
 s Mn sCm 、 Na 、 K等を微量含有)
、Ta1O,、CuO%Sing 。 及びAbus ’k @ ]表に示す組成となるように
配合し、これ勢に不純物が混入することを防止するため
にゴムライニングボール使用のゴムライニングミルで湿
式混合をし、乾燥させた後、有機バインダとしてポリビ
ニルアルコールを加え、加圧成形機にて内職状に成形し
、1000℃1時間の熱処理によりバインダを除去し九
後、99畳へ−】鳴H!t′III還元性の雰囲気中に
おいて、1350〜1450℃、2〜4時間焼結し、大
きさがそれぞれ直径約8 mm、厚さ約0.4mmの内
職状半導体磁器を作製し九、な愈、原料をゴムライニン
グミルで混合し九ので、磁器製ボール等のメディアから
不純物が混入することが阻止され、Sly、とAI、O
,との量のコントロールを正確に行うことが可能になっ
た。 次に、pbo粉禾50重量藝、B110g粉末45重量
鳴、H,0,粉末5重量鳴で100重量醤となるように
配合された絶縁化物質にニトロセルロース及びブチルカ
ルピトールを加えてペーストを作物し、これt前の工程
で作製した同職状半導体磁器の片主面にスクリーン印刷
で塗布した。なお、100mgの同職状半導体磁器に対
して絶縁化物質”YIOmg (1011L’l )塗
布した。 次に、絶縁化物質を塗布した半導体磁器を酸化#−気気
中おいて】】50〜3300℃の範囲の一足温度で2時
間加熱処理し、半導体磁器の粒界層にPbO、Bi、0
い及びB、0. ’11拡散させ、粒界層の?縁体化を
図った。これにより、第1図に模式的に示す半導体結晶
粒子…と絶縁化された粒界層12;とから成る半導体磁
器(3;が得られた。しかる後・この半導体磁器13+
の両主面に銀ペーストを塗布し、焼付けることによつが
一対のコンデンサ電極141 (5)を形成し、半導体
磁器コンデンサを完成させた。 上述のような磁器コンデンサの製造に於いて、主成分、
Sin、、及びA1*Os k”X原料の組成比の状態
で完成した磁器に含まれるが、絶縁化物質とじてn p
bo%Bi、0.及びB、0.は11布後の加熱処理の
工程で全部拡散されない、即ち拡散の丸めの加熱処理時
の蒸発勢のために、塗布した絶縁化物質の一部のみが磁
器中に残存する。300mgf1i1器に対する絶縁化
物質の拡散量(!!I存量目1成分によって異なり、p
bo tΣ約0.28〜0.86電量鳴(0,28〜0
.86叫1の範囲、Bi、Ojt〕0.49〜1.50
電量鳴(0,49〜1.50町1の範囲、B!01を1
0.01〜0.06重量畳(0,01〜0.06mg 
)の範囲である。 このようにして得られ九谷に科について、見輯けの比誘
電率C1誘電体搗失を抑a、抵抗率Pを糊足したところ
、第1表に示j結果が得らnた。 尚、−とt釦#を)1kHzで調足し、−は[R50■
を印加して1分間経過した後に調定した。また第1表に
於いて、主成分の5rTi01と1’aHO,とCuO
とのijL蓄傷の総和が100重量嗟である。まえ副成
分+7) Sin、 トAI、0. トt2、主成分1
00重量部に対する電を部で示されている。また、電気
的特性は同−試料30個の半均櫃で示されている。 第】表から明らかなように、主成分の組成比が5rTi
Oa 95−] 8〜99−65111量4 、Ta1
O,0,33〜3.32菖量鳴、Cu00.02〜1.
50重置部の範囲にあり、且つ100重量部の主成分に
対して別へが0.02〜0.10重量部、AI、0.が
0.03〜0.03菖劃1但し、Ss’、/ All0
. ノ菖量Jtt21.5〜5.0Jの範囲にある試料
番号8〜】】、13〜】6゜18.20〜22.25〜
27.29及び3oの磁器によれば、結晶の平均粒径が
60〜120μ、εが82,000〜336,000、
tan aが0.5〜0.7憾、−が1.OX ] 0
 Ω”cm以上となり、前述した良品基準をよするコン
デンサを得ることが出来る。 一万、本発明の範囲外である試料番号1〜7.12、】
7、】9.23.24.28.3】へ34の磁器から明
らかなように、810. / Al、0.の重量比が1
.5未満範囲でを280.000以上のgv得ることが
出来ず、また上記比が5を越えた範囲で+1、twlが
】、0憾以上となるか又を1−が1.OX 10”Ω−
cm以下と悪くなる@を虎、S10!が100″m童部
の主成分に対して0.02重量−未満であるとCをs 
o、o o o以上にすることが出来ず、またこnが0
・】1に置部を越すと、大きなCが得られなくなる。ま
たAI、0.が0.01重量部未満であると、go、o
oo以上の−を得ることが不可能になり、これが0.0
3重量部を越えると、0が80.000以下になる。従
って、8i0.及びAI、O,の好ましい範囲は、S 
iO@ / Al mOBの1量比が1.5〜5である
1、 と共に、別()、が0.02〜0.1重量部、AI、0
.が0.01〜0.03重量部の範囲である。 なお、主成分の組成比を本発明の範囲外にした場合にも
、勿論良品基準音上回るコンデンサを得ることが不可能
になる。 第1表に於いて、本発明の範囲に入る試料の見如けの比
誘電率Cの温度特性を測定したところ、総てのに料の見
掛けの比誘電率aF)温度変化率をゴ第215!clの
斜線領域に含まれた。即ち、20’C’の比誘電率を基
準にして、−25℃〜+85℃の範囲での比誘電率の変
化率を1±15憾以内であった。 実mN  2 実施?lJ]に於ける絶縁化物質(拡散物質)としテ1
7) PbO1Bt、o、、B、0.の比率のみを第2
表に示すように変化させ、製造方法は実施例】と同一と
して半導体iB器コンデンサを作製し、電気的特性’に
#J足したところ、![2表に示す結果が得らnた。 なお、第2表に於ける磁器の―を1絶縁化物質奢塗布す
る半導体磁器・を示す、また絶縁化物質を1磁器(10
0mg)に対して100重量部10nng)塗布した。 この#!2表の試料番号36〜4]、43〜48.50
.52.54〜64% 66.67、69〜73から明
らかなように、 PbOが35〜54重量優、at、O
,が37〜581量鳴、B、0.が2〜10重量鳴重置
部でを;大きなCを有し、tan I及びPも優れてい
る磁器を得ることが出来る。−万、本発明の範囲外であ
る試料番号35.42.49.5】、53.65.68
.74から明らかなように、pbOlBi、01%B、
0.の比が上記の範囲外となれば所W F)%性を得る
ことが不可能になる。従って、塗布する絶縁化物質の好
ましい組成比tz 、pboが38〜54重量鳴、重置
部0.が37〜58重量参、重置部2が2〜10″TL
IIk参である。 この実施例2に於ける本発明の範囲内の試料のS器に対
するpbo、Bi、UいB、0.の拡散量を求め九とこ
ろ、PbOは0.07〜1.65電量参、Hi@ 01
は0.23〜2.531量鳴、B、0.は0.002〜
0.1】重置部の範囲であった。 実#1例 3 実J111R12で示し九本発明の範囲内の組成比の絶
縁化物質の塗布量な半導体磁器(重量約100mmg)
FC対して、】重量噛t】mmgt〜】5重置部(15
mmg )の範囲で変化させ、また加熱温度t1150
〜1300℃、加熱時間を1〜4時間の範囲で質化さぜ
ることによって絶縁化物質tI)拡散量が異なる多くの
磁器を作製し、Cがs o、o o o以上、tEIが
】嗟以下、−が1.OX ] OΩ−cm以上の半導体
磁器を得ることが可能な絶縁化物質の拡散量を求めたと
ころ、半導体磁器の重量(100重量憾]に対してPb
Oが0.03〜2.75電量参、Hj、01が0.11
〜4.22電量参、B、01が0.003〜0.18電
Ili畳であった。 以上、本発明の実施例について述べたが、本発fIA目
これに限定されるものではなく、更に変形可tIeな%
g)である。例えば、本発明の特徴を阻害しない範囲で
他の特性改善物質を付加しても差支えない。また、Pb
O%Bi、0.、B、0.の粉末にてペーストを作製せ
ずに、絶縁化の九めの拡散加熱でPbO1Hi、0..
13,0.に質換8nる例えば%Pb、o、 5PbF
!、Pb (BO黛h%BiF1等の物質を磁器の一万
又11両方の主面に塗布し′て、最終的に磁器の中に)
’bU %Bi、o1、B* Di ’k 4aHt!
 f テ% ! Vs。−f7’j、PbO1B601
、Btus K f換することが出来る物質の配合物を
作り、これviPIIえは】000℃で焼成し、)’b
O−H輸0.−8,0.の組成@を作り、これを粉砕し
た粉末でペーストを作って塗布してもよい。また絶縁化
物質を蒸着又は浸漬等でaIIに付着させてもよめ、ま
九、最初のIIjL料vSrTi0g、Ta、0.、C
uO1Sin、、hl、o、 s PbOs Bi*O
a、B10.とせずに、これ等を得るための物質V原料
としてもよい。 I’ll t kt 8rTiO,を炭酸ストロンチウ
ムと酸化チタンとから得るようにしてもよい。またゴム
ライニングボールに限らずに、別0.とAI、O,とが
不純物とし℃混入する恐れのない他の容器を使用して主
成分と副成分との原料な混合するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
第1図t″x%発明の実施例に係わる磁器コンデンーV
−七換式的に示す断面図、第2図は温度変化に対する比
誘電率の変化率を水丁特性函である。 尚図面に用いられている符号に於いて、ti+t’z粒
子、121を1粒界層、13田a器、14+ 151を
1電極である。 代理人 高野則次 第2図 (0ム) 手続補正書(自発) 昭和57年11月 1日 特許庁長官 −6−和犬  殿 l 事件の表示 昭和56年 豐 奸 願第19731!i  号2、 
発明の名称 コンデンサ用半導体−器及びその勇造方法
3 補正をする者 事件との関係  山 −人 4、代理人 5 補正命令の日付 自 脅 6 補正により増加する発明の数 7、補正の対電 (1)明細書第12f4第iII囚の試料番号4のCu
Oの欄ノ「t、to J t−「o、lo J K補正
Tル。 121  +細書$119員第2表(2)の試料番号3
5のB輸0.の欄のr a6 Jt−[56JK補正す
る。 (3)明細書第19貴第2表(2)の試料番号36のB
輸0.の―のr35Jtr55Jに補正する。 (4)  明細書Ig191111E2表囚の試料番号
430B輸O虐の欄の「56」を「58」に補正する。 Φ1 明細書第20員第2表(6)の試料番号47のB
輸0.の欄の「56」を「58」に補正する。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 … Srl’10195−18〜99.65 g量部と
    Ta @ 0゜0.33〜3.3231量参とCuOO
    ,02〜] 、50重量部とで100東量鳴となる主成
    分100][置部、別0ヨ0.02〜0.301[置部
    、 AI、010.0 ] 〜0.03 ]i[置部、(但
    し・前記SjO*IF)重量部及び前記A110gの1
    童部t1%SiO鵞の電量部/ Al、O,の電量部が
    1.5.5.0となる範囲内である) を含有し、更に、前記主成分と前記Sin、と前記AI
    、U、とeI)合計II[iltに対シテ、0.03〜
    2.75 ll1sのPbOと、0.11〜4.221
    1量1k F) Hj、0.と、0.001〜0.18
    8重量部B、O,とを含有していることV%黴とする;
    ンデンサ用牛導体aS。 (2) 5rTiO195,18〜99.65重量鳴ト
    Ta1O。 0.33〜3.32重量部とCu00.02〜1.50
    31量鳴とで100東量鳴となる主成分100重量部、
    Slへ0.02〜0.30重量部、 A1m0n0.01〜0.03重量部、(但し、前記8
    1もの重量部及び前記AI、0.の重量g12、sio
    、n重量部/ A1鵞Oi’)重量部が1.5〜5.0
    となる範囲内である】 から成る半導体1iiisを作11jること、前記半導
    体磁器の少なくとも−1の主面に、PbO又は加熱処理
    によってPbOになる物質と、t3i、O,又11加熱
    処理によってBl、0.になる物質と、B、0.又は加
    熱処理によってB、Osになる物質と【、PbOに換X
    して35〜54][jil、Bi、01に換311”t
    l:37〜58N[量鳴、B、0.に換算して2〜10
    重量参重量00jlt唾となるような比で含む絶縁化物
    質を、100N童部の前記半導体磁器に対して1〜15
    電重都の割合で付着させ、しかる後加熱処理することに
    よって前記半導体磁器の結晶粒界にPbO。 Bi、0.、及びB、0.を拡散させること、から成る
    コンデンサ用半導体磁器の製造方法。 (31前記半導体磁器に前記絶縁化物質を付着させるこ
    とtl、前記絶縁化物質を含むペーストを塗Njること
    である%肝請求の範囲JIZ項記載のコンデンサ用半導
    体磁器の製造方法。
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