JPS63277567A - 高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は、窒化アルミニウム焼結体に関し、さらに詳し
くは、主相が窒化アルミニウムであり、副相が（希土類
元素）−Ｎ化合物よりなる高熱伝導性を有する窒化アル
ミニウム焼結体に関する。

（従来技術） 窒化アルミニウム（ＡｆｆＮ）は高温まで強度低下が少
なく、化学的耐性にも優れているため、耐熱材料として
用いられる一方、その高熱伝導性、高電気絶縁性を利用
して半導体装置の放熱板材料、回路基板用絶縁体材料と
しても有望視されている。

こうした窒化アルミニウムは常圧下では融点を持たず、
２５００℃以上の高温で分解するため、薄膜などの用途
を除いては焼結体として用いられる。

かかる窒化アルミニウム焼結体は通常、窒化アルミニウ
ム粉末を成形、焼結して得られる。超微粉（０，３，以
下程度）のｉＮ粉末を用いた場合には単独でも緻密な焼
結体が得られるが、原料粉末表面の酸化層中の酸素が焼
結時にＡ１２Ｎ格子中に固溶したり、ＡＱ−０−Ｎ化合
物を生成し、その結果無添加焼結体の熱伝導率はたかだ
か１００１／ｄ程度ある。

また粒径０．５−以上のＯＮ粉末を用いた場合は焼結性
が良好でないために、ホットプレス法による以外には無
添加では緻密な焼結体を得ることは困難である。そこで
常圧で焼結体を得ようとする場合、焼結体の高密度化お
よびＡｆｆＮ原料粉末の不純物酸素のＡｌ２Ｎ粒内への
固溶を防止するために、焼結助剤として希土類酸化物、
アルカリ土類金属酸化物等を添加することが一般に行な
われている（特開昭６０−１２７２６７号、特開昭６１
−１００７１号、特開昭６０−７１５７５号等）、これ
らの焼結助剤はＡｌ２Ｎ［料粉末の不純物酸素と反応し
液相を生成し焼結体の緻密化する。

結果的にかなり多量の粒界相が残存するために。

焼結体が不均一な微細構造を持ち、結果的に機械的特性
の不拘−１色調の不均一等の問題が有った。

また、この粒界相（主相であるＡＩＮ相に対し副相）の
存在、完全にトラップしきれなかった酸素等の存在によ
り窒化アルミニウム焼結体のそれは高々１７０ｗ／ｍＫ
程度とＯＮの理論熱伝導率３２０ｖ／ｄに対し低いもの
であった。

そのため、緻密かつ均一な高熱伝導性窒化アルミニウム
焼結体を得ることを目的として種々の試みがなされてい
るが、未だ十分満足すべきものは得られていない。

（発明が解決しようとする問題点） 現在半導体搭載用の回路基板、放熱基板等ではより高い
熱伝導率を有する材料が望まれている。

しかしながら酸素その他の不純物特に、助剤添加の結果
として粒界に生成する多量の粒界相の存在本発明は１以
上の点を考慮してなされたもので。

熱伝導性に優れた窒化アルミニウム焼結体を提供するこ
とを目的とする。

本発明者等は上記目的を達成すべく窒化アルミニウム粉
末に添加する焼結助剤や焼結条件、焼結体組成、焼結体
微細構造等と熱伝導率の関係にっいて実験・検討を進め
た結果、以下に示す新規事項を発見し１本発明を完成す
るに至った。

すなわち、焼結助剤としてイツトリウム化合物をＡＱＮ
粉末に添加し、窒素ガスを含む還元性雰囲気中で３時間
以上の長時間焼成したところ、従来知られていたＹ−Ａ
ｆｉ−０系化合物粒界相に代わって微量のＹ−Ｎ系化合
物、またはこれに加えＹ２Ｏ３も同様に認められた。

が本発明であり、ＡＩＮ相を主相とし、副相として（希
土類元素）−Ｎ系化合物相（これに加えて（希土類元素
）−〇系化合物相を含む場合もある）を含有し、希土類
元素量が２重量％以下であり、不純物酸素量が２重量％
以下であることを特徴とする高熱伝導性窒化アルミニウ
ム焼結体である。

従来の副相としてＹＮおよびＹ、　０．を含有するＡＱ
Ｎ焼結体は、酸素およびイツトリウムをそれぞれ少なく
とも２重量％程度含有しており、多量の粒界相がＡＱＮ
焼結体中に存在すると考えられるため熱伝導率は最高で
も１７０％ｉ／ｌａＫ程度と低い値で頭打ちとなってい
る（特開昭６０−１８０９６５号、特開昭６１−９１０
６８号、特開昭６１−１５５２６３号、特開昭６１−２
１９７６３号）、また、Ｙ以外の希土類助剤に関して（
希土類元素）−Ｎ化合物を副相として含む、窒化アルミ
ニウム焼結体は、全く新規なものである。

本発明の窒化アルミニウム焼結体は従来に比べ高い１８
０ｗ／ｍＫ以上の熱伝導率を有していた。この焼結体を
Ｘ線回折及び電子顕微鏡を用いて構成相を観察すると、
清浄なＡＱＮ結晶粒が互いに面接触しており、三粒子以
上が接する稜および三重点に極わずかの（希土類元素）
−Ｎ化合物（またこれに加えた（希土類元素）−〇化合
物）が非常に均一に存在している。また成分分析を行な
ったところ、Ａｌ１．　Ｎが主成分で、希土類元素２重
量％以下、不純物酸素２重量％以下を含有する。新規な
窒化アルミニウム焼結体であった。熱伝導率向上の観点
から希土類元素は８０００Ｐｐ履以下が好ましく、さら
に好ましくは５０００　ｐｐｍ以下である。また、不純
物酸素は５０００ｐｐｍ以下が好ましく、さらに好まし
くは３０００ｐｐｍ以下である。なお本発明焼結体にお
いては不純物酸素量は極力少ないことが望ましく、また
原料粉に起因する不純物陽イオンも熱伝導率低下の原因
となるため極力少ないことが望まれ１１０００ｐｐ以下
が好ましい。

また１本発明における副相は微量であり、多量の存在は
熱伝導性の低下を伴うため焼結体の密度３．１０〜３．
３１ は、’−Ｍ−←→甲ｄｇ　ｉ　ａｄであることが好まし
い、好ましくは３．２５〜３゜３０ｇ／ｃｉであり、さ
らに好ましくは３．２６〜３．３０ｇ／ａ１である。ま
た、焼結体の粒子径は、熱伝導率を考慮して３−以上で
あることが好ましい、さらに好ましくは５−―以上であ
る。

ついで１本発明の高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体の
製造方法について述べる。

本発明の製造方法は、窒化アルミニウム原料粉末の純度
および平均粒径、焼結助剤、焼結容器、焼成時間および
焼成雰囲気を骨子とするものである。

主成分である窒化アルミニウム原料粉末としては、焼結
性、熱伝導性を考慮して酸素を７重量％以下、実用上は
０．０１〜７重量％含有し、平均粒径が０．０５〜５Ｉ
Ｊａのものを使用する。

添加物としては希土類元素化合物（特にイツトリウム化
合物が好ましい）を用いる。希土類元素の化合物として
は、酸化物、窒化物、フッ化物、酸フッ化物、酸窒化物
、もしくは焼成によりこれらの化合物となる物質が最適
である。焼成によって例えば酸化物となる物質としては
、これら元素の炭酸塩、硝酸塩、シュウ酸塩、水酸化物
などをあげることができる。

希土類元素化合物の添加は、希土類元素の重量換算で０
．０１〜１５重量％の範囲で添加する。この添加量が、
　ｏ、ｏｉ重量％未満であると、添加物の効果が十分に
発揮されず、焼結体が緻密化されなかったり、　　ＡＱ
Ｎ結晶中に酸素が固溶し高熱伝導焼結体が得られない、
また、添加量が過度に多いと、過多な粒界相が焼結体中
に残ったり、熱処理により除去される粒界相の体積が大
きいため、焼結体中に空孔が残ったりして、収縮率が非
常に大きくなり、形状がくずれる等の不利な点が生ずる
。好ましくは、０．１〜１５重量％であり、より好まし
くは０．５〜１０重量％である。

本発明方法においてはこの様なＯＮ粉と希土類元素化合
物の混合された成形体を後述の条件で焼結しても良いし
、また、従来の方法（例えば特開昭６１−１１７１６０
号）で、希土類元素含有量が０．０１〜１５重量％で、
酸素含有量が０．０１〜２０重量％であり、ＡＲＭを主
相としく希土類元素）−Ａｌ１−０化合物相および／ま
たは（希土類元素）−〇化合物相から成る焼結体を製造
し、上記成形体の代りに用いてもよい。

焼成雰囲気に関しては、窒素ガスを含む還元性雰囲気中
で行なう、還元性雰囲気はＣｏ、　Ｈ，ガスおよびＣ（
ガスそして同相）などを、一種または２種以上存在させ
ることによって作ることができる。

最も簡便なのは、Ｎ２雰囲気中でカーボン製容器るだけ
の目的ならば、窒化アルミニウム、アルミナ、　Ｎｏ製
等でも十分である（特公昭５８−４９５１０号、特開昭
６１−１４６７６９号等）、シかし、これらの容器を用
いたものでは、かなり多量の（希土類元素）　−ＡＱ−
〇化合物相などが不均一に焼結体に存在したままの状態
となり、高熱伝導なＡｇＮ焼結体は得られしては容器全
体がカーボン製の物、容器全体がカーボン製で試料を設
置する箇所にＡｌ２Ｎ板、ＢＮ板、Ｗ板等を敷いたもの
、窒化アルミニウム製の容器で上部蓋がカーボン製の物
等を用いることができる０本発明でいうカーボンガス雰
囲気とは、　１５５０〜２０５０℃の焼結に蒸気圧でＩ
×１０″″″〜５×１０−″Ｐａ程度生成するガスをさ
す、このカーボンガスが焼成中の窒化アルミニウムを還
元するという作用が得られ、さらに具体的には（希土類
元素）−Ａｇ−０三元系化合物等の粒界相を焼結体中よ
り除去する作用が働き、同時に（希土類元素）−ＡＱ−
０からなる粒界相は還元窒化され粒界には、微量の（希
土類元素）−Ｎ化合物、またはこれに加えて（希土類元
素）−〇化合物が残るだけとなり、高熱伝導性の焼結体
に変化していく。

この容器の内容積は、その内容積と窒化アルミな容積を
用いた場合、試料近傍におけるカーボン蒸気圧が低く、
カーボンによる粒界相除去効果が小さくなる。この容積
比は】Ｘ１０°〜ｌＸｌ０’が好ましい。

焼結時間については、一般的に行われている２時間未満
の短時間では上記焼成容器中で焼成したとしても多量の
（希土類元素）−Ａｌ２−０系化合物相られない　　　
　　　　−場合は、焼成時間によらず本発明の効果は得
られない、焼結温度および助剤添加量にもよるが１本発
明では３時間以上の焼成時間が必要である。より好まし
くは、６時間以上でさらに好ましくは１０時間以上であ
る。

焼成温度については、１５５０〜２０５０℃が好ましい
。

なくなり、従来と同様の（希土類元素）−■−〇系化合
物粒界相を多量に残したままとなる。また２０５０℃よ
り高温で焼成すると、　ＡＱＮ自体の蒸気圧が高くなり
、緻密化が困難になる。焼成温度はより好ましくは１７
００〜２０００℃である。さらには１８００〜２０００
℃が好ましい。

なお焼結は、減圧、加圧及び常圧を含む雰囲気圧下で行
なう。

次いで本発明の窒化アルミニウム焼結体の製造方法の一
例を以下に述べる。

まず、Ａｌ２Ｎ粉末に焼結添加物として希土類元素化合
物を所定量添加したのちボールミル等を用いて混合する
。焼結には常圧焼結法を使用する。この場合、混合粉末
にバインダーを加え、混線、造粒、整粒を行なったのち
成形する。成形法としては、金型ブレス、静水圧プレス
或いはシート成形などが適用できる。続いて、成形体を
非酸化性雰囲気中、例えば窒素ガス気流中で加熱してパ
イン出す１例えばカーボン製容器で、容器内容積と成形
体体積の比が、ｌＸｌ０＠〜ｌＸｌ０’のものを用いる
。焼結温度は１５５０〜２０５０℃に、焼結時間は３時
間以上に設定する。この様な方法により本発明焼結体を
得ることができる。

次に本発明の窒化アルミニウム焼結体の均一性あるいは
熱伝導性の向上効果および（希土類元素）−Ｎ系化合物
、（希土類元素）−〇系化合物の生成について説明する
。厳密なメカニズムは現在のところ完全に解明されてい
るわけではないが、本発明者らの研究によれば均一化、
高熱伝導率化の要因として次のように推定される。

まず、希土類元素添加によるＡＱＮｆＭ料粉末の不純物
酸素のトラップ効果である。すなわち、希土類元素化合
物を焼結助剤として添加することにより、不純物酸素を
（希土類元素）−Ａ４−０化合物等の形でＡＩＮ粒界の
稜および三重点に固定するため、＾ＱＮ格子中への酸素
の固溶が防止され、Ａａの酸窒化物（ＡＱＯＮ）、そし
テＡｊ１Ｎ　（７）ポリタイプ（２７Ｒ型）の生成を防
止する０発明者らの研究結果によれば、ＡＱＯＮそして
２７Ｒ型が生成した焼結体は、いずれもの−因として挙
げられる。

希土類元素としてＹを選んだ場合は原料粉末の不純物酸
素が、３Ｙ、０３・５ＡらＯ，、Ｙ、０．・ＡらＯ，，
２Ｙ、Ｏａ。

１．０３．　Ｙ、０□なとの化合物としてトラップされ
粒界相としてｉＮ焼結体中に固定される。この状態は、
焼結初期、すなわち通常焼結時間の０〜１時間以内に起
こる。

これ以降の焼結過程では、焼結体中に存在する（希土類
元素）−ＡＱ−０化合物は、雰囲気中に存在する窒素ガ
ス、そしてカーボンガスおよび／またはＣＯガスなどの
還元作用を有する物質により還元窒化され、（希土類元
素）−Ｎ化合物（例えば、ＹＮ。

ＳｃＮなど）および／又はＡ２Ｎに変化する。

このような、焼結体表面および内部での還元窒化反応に
より（特に表面での反応がよく進む）、焼結体内部での
（希土類元素）−〇化合物および／または（希土類元素
）−Ａａ２−０化合物での濃度勾配が生じ、これが駆動
力となって、副相は粒界を経由して焼結体表面に移動す
る。

そして最終的に焼結体は、微量の（希土類元素）−Ｎ、
またはこれに加えてＹ２Ｏ，を含有するＡＩＮ焼結体と
なり、熱伝導率は大幅に上昇する。これは熱伝導率が小
さく熱抵抗として働いていた粒界相が除去され、熱抵抗
が非常に小さくなったためである。また、長時間焼成に
より、焼結体の粒子が成長し、熱抵抗となる粒界の数が
結果的に少なくなることを意味し、フォノンの散乱が小
さな焼結体になる。

また、上述のような副相の除去そして粒成長以外に還元
雰囲気下で長時間焼成することにより、ＡｉＮ結晶粒の
純化、例えば不純物酸素固溶による格子欠陥の減少によ
る熱伝導率上昇効果も考えられる。

（実施例） 去１１１Ｌ 不純物としての酸素を１．２重量％含有し、平均粒径が
０．８ｊｓのＡＱＮ粉末に、添加物として平均粒径０．
９ｐのＹ２Ｏ，をイツトリウム元素の重量換算で４重量
％添加し、ボールミルを用いて混合を行ない原料を調整
した。ついで、この原料に有機系バインダーを４重量％
添加して造粒したのち５００％ｃｇ／！の圧力でプレス
成形して３８　Ｘ　３８　Ｘ　ｌｏｗの圧粉体とした。

この圧粉体を窒素ガス雰囲気中で７００℃まで加熱して
バインダーを除去した。更に、　ＢＮ粉末を塗布したＡ
ａ板を底抜としてひいたカーボン製容器（焼成用容１１
Ａ）に脱脂体を収容した。このとき容器Ａの形状および
大きさは、１０ｃｘφＸ　５．５０１で内容積が４３０
ａ１程度である。すなわちこの容器Ａの内容積とＯＮ成
形体の体積の比が約３Ｘ１０１程度となっている。この
容器を用い窒素ガス雰囲気中（１気圧）１９５０℃、２
４時間の条件で常圧焼結した。

得られたＯＮ焼結体の密度および粒径を測定した。

また焼結体から、直径１０■、厚さ３．３ｍの円板を研
削し、これを試験片としてレーザーフラッシュ法により
熱伝導率を測定した（真空理工製ＴＣ−３０００使用）
、８１定した温度は２５℃である。

さらに、この焼結体の分析を行なった。イツトリウムは
ＩＣＰＣ光発光分光法イコー電子工業！ｌｌ５ＰＳ−１
２０ＯＡ使用）により、陽イオン不純物の分析は化学分
析により行い、不純物酸素に関しては速中性子放射化分
析により行なった（理化学研究所１６０ａｉサイクロン
使用）、上記焼結条件および得られた焼結体の特性を第
１表に示した。また、この焼結体のＸ線回折（理学電機
製ロータフレックスＲＵ−２００。

ゴニオメータＣＮ２１７３Ｄ５　、線ｗＸｃｕ　５０ｋ
Ｖ、　１００ｍＡ使用）を行なった結果を第１図に示す
、副相としてＹＮのみが観察された。

去１］し辷二１ 焼結添加物の添加物の添加量を種々に変えて上記実施例
１と同様にしてＡＩＮ焼結体を製造し、それぞれについ
て、同様に評価を行なった。

失凰舅旦 ＡｆｆｉＮ原料粉末の粒径、不純物酸素量および焼結温
度を変えて上記実施例１と同様にしてＡＩＮ焼結体を製
造し、同様の評価を行なった。

去１自１Ｌ二」− 焼結温度を種々に変えて上記実施例１と同様にしてＡＱ
Ｎ焼結体を製造し、同様の評価を行なった。

スＪＮＪＩ−虹二刀ユ 焼結時間を種々に変えて上記実施例１と同様にしてＡＩ
Ｎ焼結体を製造し、同様の評価を行なった。

大五五旦二用 焼結雰囲気を種々に変えて上記実施例１と同様にしてＡ
ｉＮ焼結体を製造し、同様の評価を行なった。

Ａを使用した点を除き、上記実施例１と同様にしてムＱ
Ｎ焼結体を製造し、同様の評価を行なった。

用した点を除き、上記実施例１と同様にしてＡ２Ｎ焼結
体を製造し、同様の評価を行なった。

叉凰莢■ 上記実施例１と同様にしてＡＱＮ焼結体を製造し、同様
の評価を行なった。

容器Ｂ）を用いたことを除いて上記実施例１と同様にし
てＡｆｆｉＮ焼結体を製造し、同様の評価を行なった。

を用いたことを除いて上記実施例１と同様にしてＡｆｆ
ｉＮ焼結体を製造し、同様の評価を行なった。

１９５０℃、　２ｈｒ、　Ｎ、気流中で常圧焼結し、焼
結体を得た。これらの焼結体の特性を表１に示す。

このように焼結時間が３時間未満と短い場合、カーボン
製容器を用いる二部による粒界相の還元窒化および粒界
相の除去が十分でないことがわかり、高熱伝導率（ｆ８
０１１／ｍＫ以上）を有するＡＱＮ焼結体を得るために
は長時間（３時間以上）の焼結が必要であることがわか
る。

’Ｃ，２４ｈｒ、　Ｎ、気流中で常圧焼結し、焼結体を
得た。

これらの焼結体の特性を第１表に示す、その結果より副
相として（Ｙ−ＡＱ−０）化合物が観察され、ＹＮ化合
物は見られなかった。熱伝導率も、１６０／ｍＫ以下の
比較的低い値である。

するＡ４Ｎ焼結体が得られず、カーボン雰囲気の有効さ
がわかる。

星笠■ユ 実施例１で用いたＡｇＮ粉末を、５００ｋｇ／ａｄの圧
力でプレス成形して＠、　３０　Ｘ　３０　Ｘ　Ｌｏｗ
の圧粉体とし、この圧粉体をカーボン型中に入れ窒素ガ
ス雰囲気中、温度１９５０℃、４００ｋｇ／ｃｄの圧力
下で１時間ホットプレス焼結し、焼結体を得た。この焼
結体の特性を第１表に示した。副相としてＡＱ−０−Ｎ
系化合物が観察され、結果として熱伝導率も７７１１／
ｄという低い値であった。

この様に希土類元素化合物無添加では、ＡＲＮ原料粉末
表面の不純物酸素とＡｆｆｉＮが反応し、熱伝導をさま
たげるＡｔｔ−０−Ｎ化合物が生成してしまうことから
、希土類元素化合物の添加の有効さがわかる。

去１１町到 助剤の陽イオンをＳｃに変え、平均粒径０．９ｔ！１ａ
のＳｃ、Ｏ，を添加し、上記実施例１と同様にしてＡＱ
Ｎ焼結体を製造し、同様の評価を行なった。

叉凰叢Ｕ 焼結添加物の添加量を変えて上記実施例２１と同様にし
てＡＱＮ焼結体を製造し、同様の評価を行なつた・ 失意五跨 焼結温度および焼結時間を変えて上記実施例ｚ１と同様
にしてＯＮ焼結体を製造し、同様の評価を行なった。

実施例２４ 助剤の陽イオンをＣｅに変え、平均粒径１．０−のＣｅ
％、を添加し、上記実施例１と同様にしてＡｇＮ焼結体
を製造し、同様の評価を行なった。

χ１五並 焼結添加物の添加量を変えて上記実施例２４と同様にし
てＡＩ！Ｎ焼結体を製造し、同様の評価を行なった。

去】Ｕシ狙 焼結温度および焼結時間を変えて上記実施例２４と同様
にしてＡｇＮ焼結体を製造し、同様の評価を行なった。

夫五豊ｎ 助剤の陽イオンをＤｙに変え、平均粒径１．０μｓのＤ
￥ｓ　Ｏｓを添加し、上記実施例１と同様にしてＡｇＮ
焼結体を製造し、同様の評価を行なった。

失凰涯堕 焼結添加物の添加量を変えて上記実施例２７と同様にし
てＡｇＮ焼結体を製造し、同様の評価を行なった・ 去Ｊ［狙 焼結温度および焼結時間を変えて上記実施例２７と同様
にしてＡｌ２Ｎ焼結体を製造し、同様の評価を行なった
。

失胤丘並 助剤の陽イオンをＹおよびＳｅに変え、助剤の元素重量
比がＹ：５ｅ＝１：１となるようにＹ２Ｏ３およびＳｅ
、　Ｏ，の形で４重量％添加し、上記実施例１と同様に
して＾鼎焼結体を製造し、同様の評価を行なった。

叉凰五Ｕ 助剤の陽イオンをＹおよびＣ８に変え、助剤の元素重量
比がＹ：Ｃｅ＝１：ｌとなるようにＹ２Ｏ、およびＣｏ
ｏ□の形で４重量％添加し、上記実施例１と同様にして
ＡｇＮ焼結体を製造し、同様の評価を行なつた・ 去］０１咀 助剤の陽イオンをＹおよびＤｙに変え、助剤の元素重量
比がＹ：Ｄｙ＝１：１となるようにＹ３０□およびＤＶ
２０□の形で４重量％添加し、上記実施例１と同様にし
てＡｌ１１Ｎ焼結体を製造し、同様の評価を行なった。

２１と同様にしてＡｇＮ焼結体を製造し、同様の評価を
行なった。

２４と同様にしてＡｇＮ焼結体を製造し、同様の評価を
行なった。

２７と同様にしてＡｌ１Ｎ焼結体を製造し、同様の評価
を行なった。

ル絞叢且 ３２と同様にしてＡｇＮ焼結体を製造し、同様の評価場
合、熱伝導率が１８０１／ｍ＋に以上のＡｊｌＮ焼結体
は得られず、カーボン雰囲気の有効さがわかる。

〔発明の効果〕

以上述べた如く、本発明の窒化アルミニウム焼結体は、
副相として（希土類元素）−Ｎ化合物昏°よでζｈま予
５ト０Ｈ１翁遺−ルー−０４し色物を含み高熱伝導性を
示すなど、優れた性質を有するものであり、その工業的
価値は極めて大きいものである。

（以下余白）

【図面の簡単な説明】

第１図は焼結体のＸ線回折パターン図である。 １・・・ＡＲＮの回折ピーク ２・・・ＹＮ化合物の回折ピーク 代理人　弁理士　則　近　憲　佑 同　　松山光之 言オ廿２４４唸Ｃ仔（、）

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）ＡｌＮ相を主相とし、副相として（希土類元素）
   −Ｎ化合物相を含有することを特徴とする高熱伝導性窒
   化アルミニウム焼結体。
2. （２）希土類元素が２重量％以下であり、酸素含有量が
   ２重量％以下であり、熱伝導率が１８０Ｗ／ｍＫ以上で
   あることを特徴とした特許請求の範囲第１項記載の高熱
   伝導性窒化アルミニウム焼結体。
3. （３）希土類元素がＹであることを特徴とした特許請求
   の範囲第１項乃至第２項記載の高熱伝導性窒化アルミニ
   ウム焼結体。
4. （４）希土類元素がＣｅであることを特徴とした特許請
   求の範囲第１項乃至第２項記載の高熱伝導性窒化アルミ
   ニウム焼結体。
5. （５）希土類元素がＤｙであることを特徴とした特許請
   求の範囲第１項乃至第２項記載の高熱伝導性窒化アルミ
   ニウム焼結体。
6. （６）希土類元素がＹ、Ｓｃ、Ｃｅ、Ｄｙより選ばれた
   少なくとも２種以上であることを特徴とした特許請求の
   範囲第１項乃至第２項記載の高熱伝導性窒化アルミニウ
   ム焼結体。
7. （７）焼結体平均粒径が３μｍ以上であることを特徴と
   した特許請求の範囲第１項記載の高熱伝導性窒化アルミ
   ニウム焼結体。
8. （８）焼結体密度が３．１０〜３．５０ｇ／ｃｍ＾３で
   あることを特徴とした特許請求の範囲第１項記載の高熱
   伝導性窒化アルミニウム焼結体。
9. （９）希土類元素以外の不純物陽イオンカチオンの総量
   が１０００ｐｐｍ以下であることを特徴とした特許請求
   の範囲第１項記載の高熱伝導性窒化アルミニウム焼結体
   。