JPS63275127A - 半導体チップの実装体 - Google Patents
半導体チップの実装体Info
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- JPS63275127A JPS63275127A JP11102287A JP11102287A JPS63275127A JP S63275127 A JPS63275127 A JP S63275127A JP 11102287 A JP11102287 A JP 11102287A JP 11102287 A JP11102287 A JP 11102287A JP S63275127 A JPS63275127 A JP S63275127A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/30—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
- H05K3/32—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
- H05K3/321—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives
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- Wire Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はICチップに代表される、電気マイクロ回路を
基板上の端子電極群と接続するために用いる電気的接続
接点に関するものである。
基板上の端子電極群と接続するために用いる電気的接続
接点に関するものである。
従来の技術
従来、電気マイクロ回路の接点領域と回路基板上の導体
端子部との接続には、半田付けがよく利用されていた。
端子部との接続には、半田付けがよく利用されていた。
近年、たとえばICフラットパッケージ等の小型化と、
接続端子の増加により、接続端子間、いわゆるピッチ間
隔が次第に狭くなり従来の半田付は技術で対処すること
が困難になってきた。また、最近では電卓、電子時計あ
るいは液晶ディスプレイ等にあっては、裸のICチップ
をガラス基板上の電極に直付けして実装面積の効率的使
用を図ろうとする動きがある。裸の半導体チップを半田
付けに代わり有効かつ微細な電気的接続を得る手段とし
て、たとえば半導体チップの入出力電極パッド上に公知
のメッキ技術により電気的接続接点を構成したり、特願
昭61−128653号公報に示されているように、金
属ワイヤを用い前記の入出力電極上に平坦な電気的接続
接点を構成し電気的接続接点と回路基板上の導体端子部
との間に導電性接着剤を設けて、接合することにより電
気的接続を得ようとする方法が提案されている。
接続端子の増加により、接続端子間、いわゆるピッチ間
隔が次第に狭くなり従来の半田付は技術で対処すること
が困難になってきた。また、最近では電卓、電子時計あ
るいは液晶ディスプレイ等にあっては、裸のICチップ
をガラス基板上の電極に直付けして実装面積の効率的使
用を図ろうとする動きがある。裸の半導体チップを半田
付けに代わり有効かつ微細な電気的接続を得る手段とし
て、たとえば半導体チップの入出力電極パッド上に公知
のメッキ技術により電気的接続接点を構成したり、特願
昭61−128653号公報に示されているように、金
属ワイヤを用い前記の入出力電極上に平坦な電気的接続
接点を構成し電気的接続接点と回路基板上の導体端子部
との間に導電性接着剤を設けて、接合することにより電
気的接続を得ようとする方法が提案されている。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のような構成では半導体チップの入出
力電極パッド上に形成された電気的接続接点の上部が平
坦な台形上に構成されており電気的接続接点と回路基板
上の導体端子部との間に形成した導電性接着剤は、押圧
接着した時界面で支え押し広げられるので導電性接着剤
が前記導体端子部の外へにじみ出し、広がり易いという
問題を有していた。
力電極パッド上に形成された電気的接続接点の上部が平
坦な台形上に構成されており電気的接続接点と回路基板
上の導体端子部との間に形成した導電性接着剤は、押圧
接着した時界面で支え押し広げられるので導電性接着剤
が前記導体端子部の外へにじみ出し、広がり易いという
問題を有していた。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、そ
の目的とする所は、微細かつ密に形成されている電気マ
イクロ回路上の入出力電極パッドと回路基板上の導体端
子部を信頼性よく接続しようとするものである。
の目的とする所は、微細かつ密に形成されている電気マ
イクロ回路上の入出力電極パッドと回路基板上の導体端
子部を信頼性よく接続しようとするものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解説するために本発明の電気的接続接点1
よ、半導体チップの電極パッド上に構成した突起状電極
の接点頂部が接点底部から見て突出しかつ小径という段
差をもった接点構造を備えていることを特徴とするもの
である。
よ、半導体チップの電極パッド上に構成した突起状電極
の接点頂部が接点底部から見て突出しかつ小径という段
差をもった接点構造を備えていることを特徴とするもの
である。
作用
しかして本発明の上記した接点構造によれば、先端部が
小径でかつ突出した段差構成の接点領域を備えているの
で接続接点に設けた接点頂部と導体端子部とが当接し接
点底部の段差によって導電性接着剤層の厚みが規制され
、導電性接着剤のにじみ、広がりがなく微細かつ密に形
成された電極間の接続を信頼性良く形成することができ
る。
小径でかつ突出した段差構成の接点領域を備えているの
で接続接点に設けた接点頂部と導体端子部とが当接し接
点底部の段差によって導電性接着剤層の厚みが規制され
、導電性接着剤のにじみ、広がりがなく微細かつ密に形
成された電極間の接続を信頼性良く形成することができ
る。
実施例
以下本発明の一実施例の電気的接続接点について図面を
参照しながら説明する。
参照しながら説明する。
第1図は本発明の第1の実施例における電気的、 接続
接点の構成を示す断面図、第2図は電気的接続接点を回
路基板上の導体端子部に接合した時の構成を示す断面図
である。
接点の構成を示す断面図、第2図は電気的接続接点を回
路基板上の導体端子部に接合した時の構成を示す断面図
である。
第1図および第2図において、1は半導体チップ、2は
入出力端子パッド、3は電気的接続接点、3aは接点底
部、3bは接点頂部、4は導電性接着剤層、5は回路基
板、6は導体端子部である。
入出力端子パッド、3は電気的接続接点、3aは接点底
部、3bは接点頂部、4は導電性接着剤層、5は回路基
板、6は導体端子部である。
以上のように構成された電気的接続接点について以下第
1図および第2図を用いて詳細に説明する。
1図および第2図を用いて詳細に説明する。
本発明の実施例では半導体チップ1上の入出力端子パッ
ド2に公知のホトエツチング法やメッキ技術を用いて、
材質が金からなる電気的接続接点3を構成する。この電
気的接続接点3は入出力端子パッド2に相当する接点底
部3a、および接点頂部3bからなり、接点頂部3bは
接点底部3aの外径から見て小径でかつ接点底部3aか
ら階段状に突出しており、その接点底部3aと接点頂部
3bの高さは、数10ミクロンに構成しである。
ド2に公知のホトエツチング法やメッキ技術を用いて、
材質が金からなる電気的接続接点3を構成する。この電
気的接続接点3は入出力端子パッド2に相当する接点底
部3a、および接点頂部3bからなり、接点頂部3bは
接点底部3aの外径から見て小径でかつ接点底部3aか
ら階段状に突出しており、その接点底部3aと接点頂部
3bの高さは、数10ミクロンに構成しである。
なお前記突出部の高さについては、階段状の構造を有す
るものであれば、その高さは特に制限を加えるものでは
なく、さらに前記電気的接続接点3の外径形状としては
、円、角状など任意の形状による構成が可能である。
るものであれば、その高さは特に制限を加えるものでは
なく、さらに前記電気的接続接点3の外径形状としては
、円、角状など任意の形状による構成が可能である。
上記のように構成された電気的接続接点3は第2図に示
すように導電性接着剤層4を介して回路基板5上の導体
端子部6と接着し電気的接続をする。接続方法としては
、まず導電性接着剤層4を電気的接続接点3上にスタン
ピング法などにより転写して構成する。次いで電気的接
続接点3に導電性接着剤層4を構成した半導体チップ1
と回路基板5とを第2図に示すように導電性接着剤層4
を回路基板5の導体端子部6と対向させ位置合せした後
フリソプチソプボンタニ等を用いて押圧接着する。この
時前記導電性接着剤の硬化はホントプレートやオーブン
により加熱し実施する。
すように導電性接着剤層4を介して回路基板5上の導体
端子部6と接着し電気的接続をする。接続方法としては
、まず導電性接着剤層4を電気的接続接点3上にスタン
ピング法などにより転写して構成する。次いで電気的接
続接点3に導電性接着剤層4を構成した半導体チップ1
と回路基板5とを第2図に示すように導電性接着剤層4
を回路基板5の導体端子部6と対向させ位置合せした後
フリソプチソプボンタニ等を用いて押圧接着する。この
時前記導電性接着剤の硬化はホントプレートやオーブン
により加熱し実施する。
以上のようにして入出力端子パッド2に電気的接続接点
3を形成した半導体チップ1と回路基板5上の導体端子
部6とを電気的に接続できる。
3を形成した半導体チップ1と回路基板5上の導体端子
部6とを電気的に接続できる。
なお、実施例では電気的接続接点3の材質を金としたが
、その材質は金に限定されるものでなくニッケル、銅を
使用しても差支えない。
、その材質は金に限定されるものでなくニッケル、銅を
使用しても差支えない。
発明の詳細
な説明したように、本発明の電気的接続接点の構成によ
れば半導体チップの電極パッド上に先端部が小径でかつ
突出した2段構造の接点領域を備えているので回路基板
との接続に際して接続接点の先端部に設けた接点頂部と
接点底部の段差によって導電性接着剤の厚みが規制され
るため導電性接着剤のにじみ、広がりがな(微細接続が
可能となり実用上極めて価値が高い。
れば半導体チップの電極パッド上に先端部が小径でかつ
突出した2段構造の接点領域を備えているので回路基板
との接続に際して接続接点の先端部に設けた接点頂部と
接点底部の段差によって導電性接着剤の厚みが規制され
るため導電性接着剤のにじみ、広がりがな(微細接続が
可能となり実用上極めて価値が高い。
第1図は本発明の一実施例における電気的接続接点の断
面図、第2図は第1図の電気的接続接点を構成した半導
体チップを回路基板上の導体端子部と接続した時の断面
図である。 1・・・・・・半導体チップ、2・・・・・・入出力端
子部、3・・・・・・電気的接続接点、3a・・・・・
・接点頂部、3b・・・・・・接点底部、4・・・・・
・導電性接着剤、5・・・・・・回路基板、6・・・・
・・導体端子電極。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか1名6
Q
面図、第2図は第1図の電気的接続接点を構成した半導
体チップを回路基板上の導体端子部と接続した時の断面
図である。 1・・・・・・半導体チップ、2・・・・・・入出力端
子部、3・・・・・・電気的接続接点、3a・・・・・
・接点頂部、3b・・・・・・接点底部、4・・・・・
・導電性接着剤、5・・・・・・回路基板、6・・・・
・・導体端子電極。 代理人の氏名 弁理士 中尾敏男 はか1名6
Q
Claims (2)
- (1)半導体チップの電極パッド上に構成される突起状
電極の頂部が、突起状電極底部から突出し、かつ小径で
あることを特徴とする電気的接続接点。 - (2)突起状電極が金、ニッケル、銅で構成されている
ことを特徴とする特許請求の範囲第(1)項記載の電気
的接続接点。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62111022A JPH0750726B2 (ja) | 1987-05-07 | 1987-05-07 | 半導体チップの実装体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62111022A JPH0750726B2 (ja) | 1987-05-07 | 1987-05-07 | 半導体チップの実装体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63275127A true JPS63275127A (ja) | 1988-11-11 |
JPH0750726B2 JPH0750726B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=14550407
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62111022A Expired - Lifetime JPH0750726B2 (ja) | 1987-05-07 | 1987-05-07 | 半導体チップの実装体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0750726B2 (ja) |
Cited By (10)
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-
1987
- 1987-05-07 JP JP62111022A patent/JPH0750726B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0750726B2 (ja) | 1995-05-31 |
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