JPS63259811A - 磁気ヘツドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気ヘッドおよびその製造方法に関するもので
あり、特にＶＴＲやＲ−ＤＡＴ等に用いられる磁気ヘッ
ドおよびその製造方法に関する。

従来の技術 フェライトやセンダストのようなバルク状の磁性体を用
いた磁気ヘッドでは、接着ガラスなどを用い、１対のヘ
ッドコア半体をギャップ面において突き合わせ、ギャッ
プ形成が行なわれている。

また、金属磁性体を薄膜や薄帯にして基板で挾持する構
造の磁気ヘッドにおいても、同様にギヤノ３　ヘー、゛ ブ面での突き合わせＫより、ギャップ形成が行なわれて
いる。

発明が解決しようとする問題点 磁気記録の高密度化が進む中で、磁気ヘッドにおいては
、狭ギャップ化および狭トラツク化とクロストークなど
の低減が必要とされている。

しかし、ガラス系などの接着剤を用いてギャップ面で突
き合わせを行う従来のギャップ形成では、突き合わせ時
の加圧条件のばらつきや接着剤などの流動性に起因する
ギャップ接合部のゆるみなどにより、狭ギヤツブ時のギ
ャップ長精度が得にくい。

また、狭トラツク化に関しても、トラック幅精度が、ギ
ャップ面での突き合わせ精度に依存している限り、良好
な精度を得ることが難しくなる。

第１１図および第１２図にこの様子を示す。第１１図は
バルク磁性体を用いた磁気ヘッドの正面図を示し、第１
２図は磁性膜を基板で挾持した磁気ヘッドの正面図を示
す。各々１はギャップであシ、一対のバルク磁性体２又
は磁性膜５の間に形成されている。両者の固定はガラス
４によシ行われる。

従来のギャップ面で突き合わせた磁気ヘッドでは、これ
らの図に示されるようなトランクずれを生じ易く、特に
狭トラツクになるほど要求されるトラック幅精度が厳し
くなるため対応が困難になる。

トラック幅精度の向上を図るため、第１３図に示す方法
が考えられている。第１３図はバルク磁性体２を用いた
磁気ヘッドの正面図を示す。この場合、トラック幅は片
側のへソドコアによシ規制されるためトラック幅精度は
良い。しかし、摺動、面上においては、トラック内のギ
ャップ１ばがってなく、トラックの両側にもギャップと
一直線をなす磁性体のコアエッヂ３が露出している。こ
のコアエッヂ３の部分は磁極となり、クロストークおよ
び記録時のトラック外への漏れ磁界を増加させる。

高密度記録が進行する中では狭トラツク化などによシヘ
ノド出力が低くなるため、相対的にクロストークをはじ
めとするノイズの低減が必要となる。ところが、記録媒
鉢土のトラックピッチが狭５べ−７・ くなると、ガートバンドも狭くなシ、隣接トラック間の
クロストークなどは増加する。特に１磁気ヘツドのトラ
ック両側にコアエッヂ３が存在する場合、再生時のクロ
ストークと、記録時のトラック外への漏れ磁界は著しく
増加する。

本発明は以上のような各種磁気ヘッドの構造を考えて、
ＶＴＲなどの高密度記録用磁気ヘッドとして、狭ギャッ
プ化および狭トラツク化が容易に高精度で達成できる構
造を有しつつ、クロス）−りおよびトラック外への漏れ
磁界の低減を図った磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを歩
留シ良く製造する製造方法を提供することを目的とする
。

問題点を解決するだめの手段 少くとも一部に磁気コアを有するとともに巻線穴を有す
るヘッドコア半体と、そのヘッドコア半体上に順次被着
積層して形成されたギャップ材層と磁性膜とを備え、磁
気コア部と磁性膜とはギャップ材層を介して磁気回路を
構成する。磁気テープと摺動する面においてギャップ材
層の厚み方向に磁気コア部、ギャップ部および磁性膜に
わたる６ベー、・ 切シ欠きを設けることにより、トラック幅が切や欠き部
により規制され、少なくとも摺動面上ではギャップを形
成するコアエッヂがトラック内のみに露出しているよう
構成する。

作　　用 ヘッドコア半体のギャップ面上に８１０２等の非磁性ギ
ャップ材をスパッタリングや蒸着などで形成して、さら
にそのギャップ材上に磁性膜をスパッタリングや蒸着な
どで形成すると、ギャップ部ではこれらの付着強度によ
シ、強固な接合が得られる。また、スパッタリングなど
を用いたＳｉＯ２などの薄膜は、非常に精度よぐ膜厚を
制御できるため、狭ギャップの形成が精度よく容易に達
成できる。

さらに、本発明の磁気ヘッドでは、トラック幅が２個の
切シ欠きによシ規制されてお９、その精度は切シ欠きを
入れる刃の送りピッチにより決定されるため、良好なト
ラック幅精度が得られる。

このトラック両端の切シ欠きにより、磁気ヘッド摺動面
上においてトラック両側にギャップと〜直７へ−・ 線をなす磁性体のコアエッヂが生成されることがなく、
クロストークおよびトラック外への漏れ磁束が低減され
る。

実施例 本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。

第１図は本発明の第１実施例における磁気ヘッドの斜視
図を示し、第２図はその正面図を示す。

第１図および第２図において、一方の巻線穴１２を有す
るヘッドコア半体は非晶質合金やセンダストなどの第１
磁性膜７を非磁性基板６で挾持する構造を有し、第１磁
性膜７によす磁路を形成している。また、ギャップ面を
境にして、他方のコア半体は、ギャップ材９上にスパッ
タリングなどで形成した第２磁性膜８によシ磁路を形成
している。

この第２磁性膜８としては、非晶質合金、センダストお
よびパーマロイなどが利用でき、その膜厚方向はギヤソ
ゲ面の法線方向と同一方向をなしている。

さらに、第１図および第２図の磁気ヘッドでは、ヘッド
正面の摺動面上において、第２磁性膜８側から切り欠き
を入れて形成された非磁性材１０によってトラック幅が
規制されている。この非磁性材１ｏと段部１３などによ
シ、ヘッド摺動面上に不要な、コアエッヂが露出せず、
クロストークおよびトラック外への漏れ磁束が低減され
ている。

本実施例に示す磁気ヘッドは、以下のようにして作製さ
れる。

第３図、第４図、第５図、第６図、第７図、第８図の順
に本発明の製造方法を示す。

第３図は、第１磁性膜了と非磁性基板６が交互に積層さ
れた半体ブロックである。この半体ブロックは、セラミ
ック系やガラス系の非磁性基板６上に、スパッタリング
を用いて非晶質合金やセンダストなどの第１磁性膜７を
形成し、第１磁性膜７と非磁性基板６が交互になるよう
に接着して積層体を形成した後、短冊状に切断したもの
である。

次に、第４図に示すように磁気ヘッドのギャップ面１５
となる面に巻線穴１２用の巻線溝１４を積層方向に設け
、ヘッドコア半体とする。

次に、第６図に示すようにヘッドコア半体の巻９　へ−
７゛ 線溝１４中に充填物１６を形成し、その後ギャップ面１
５を研磨する。この充填物１６の形成は、融点が１５０
〜３ｏｏ’ｃ８度の熱可塑性樹脂もしくは低融点無機接
着剤などを巻線溝１４中に溶融させ、冷却して凝固せし
めることによって行なわれる。

次に第６図に示すように、第５図のへラドコア半体にお
いて、ギャップ面１５上にＳ　ｚ　Ｏ２などの非磁性ギ
ャップ材９と第２磁性膜８を順にスノ（ツタリングや蒸
着によって付着させ、ヘンドブロックを形成する。した
がって、第２磁性膜８の膜厚方向はギャップ面の法線方
向と同一方向になる。

また、膜厚は用途によって異なるが、磁気回路的に必要
とされる３〜１００μｍ程度必要とされる。

次に第７図に示すように、第２磁性膜８側からギャップ
面１５を越えるまで、磁気ヘッドの正面側にのみ、切シ
欠きを施して切ジ欠き部１６を形成する。切り欠きは砥
石などの刃を用いて容易に加工することができ、この切
り欠き部１６がトランク幅を規制することになる。

１０ｇ−、” 次に第８図に示すように、第７図のヘッドブロックにお
いて、切り欠き部１６中に低融点ガラスなどの非磁性材
１ｏを充填し、第２磁性膜８上に非磁性の補強材１１を
スパッタリング、蒸着もしくは接着などで形成する。こ
の段階では、巻線溝１４中に樹脂や無機接着剤などの充
填物１６が残っている状態にあシ、加熱や化学的な反応
を用いてこれを取シ除く。しかる後、磁気ヘッドの前方
となる面において、第８図のＣ−Ｃ’やｄ−ｄ’に沿っ
た切り込みを入れ、第１図に示すような段部１３を形成
する。この段部１３は、摺動面となる磁気ヘッド前面に
不要なコアエッヂが露出しないようにするためのもので
あり、第７図においてトラック以外で切り欠き部１６が
入っていない部分を削除するためのものである。

最後に、第８図のａ−ａ’やｂ−ｂ’に沿ってヘッドブ
ロックを切断して複数のへソドチソプを作製し、各ヘッ
ドチップの前面を研磨テープなどによるラッピングを行
なって、第１図および第２図に示す磁気ヘッドを複数個
得ることができる。

１１、、、：。

以上のようにして作製された磁気ヘッドは、ギャップ接
合強度が強固であシ、ギャップ長精度およびトラック幅
精度ともに優れており、良好な歩留りが達成される。特
に、磁気へノド摺動面上のトラック両ＩＩＩ　Ｋ擬似ギ
ャップとなるようなコアエッヂが露出しないため、再生
時のクロストークおよび記録時のトラック外への漏れ磁
束が著しく低減された構造となっている。

丑だ、第１磁性膜７のある側のヘッドコア半体として、
バルク磁性体を用いることもできる。

第９図は本発明の第２実施例における磁気ヘッドの斜視
図を示し、第１ｏ図はその正面図を示す。

本実施例は、ヘッドコア半体を形成する第１磁性体１７
としてフェライトやセンダストなどのバルク磁性体を用
いたものである。本実施例においても、第１実施例と同
様に、ギャップ面を境にして、一方は巻線穴を有するヘ
ッドコア半体で構成され、他方はギャップ面の法線方向
と膜厚方向が同一方向となる第２磁性膜８が配されてい
る。この場合も、狭ギャップ化および狭トラツク化に適
した構造となっている。またヘッド摺動面上で、トラッ
ク内のギャップと一直線をなす磁性体のコアエッヂが露
出していないため、クロストークおよびトラック外への
漏れ磁束が低いものとなっている。

第９図および第１０図に示す第２実施例の磁気ヘッドは
、フェライトやセンダストなどのバルク磁性体を短冊状
に切断し、巻線溝加工を施してヘッドコア半体を形成し
た後、第１実施例に示した製造方法と同様にして作製さ
れる。

発明の効果 本発明による磁気ヘッドは、ＶＴＲ等に用いられる磁気
ヘッドとして、狭ギャップ化および狭トランク化が容易
に達成できる構造を有しつつ、トランク両端のコアエッ
ヂを排除することによりクロストークおよび漏れ磁束の
低減が図られているため、高記録密度用磁気ヘッドとし
て適している。

したがって、本発明の磁気ヘッドおよびその製造方法は
、極めて産業上の利用価値が高いものである。

【図面の簡単な説明】

１３、＼−７ 第１図は本発明の一実施例・における磁気ヘッドの斜視
図、第２図は第１図の磁気ヘッドの正面図、第３図、第
４図、第５図、第６図、第７図および第８図は本発明の
一実施例における磁気ヘッドの製造方法を表す斜視図、
第９図は本発明の一実施例における磁気ヘッドの斜視図
、第１０図は第９図の磁気ヘッドの正面図、第１１図、
第１２図および第１３図は従来の磁気ヘッドの正面図で
ある。 １・・・・・・ギャップ、２・・・・・バルク磁性体、
３・・・・・・コアエッヂ、４・・・・・・ガラス、５
・・・・・・磁性膜、６・・・・・非磁性基板、７・・
・・・第１磁性膜、９・・・−・・ギャノ、　　ブ材、
１０・・・・・・非磁性材、１１・・・・・・補強材、
１２・・・・・・巻線穴、１３・・・・・段部、１４・
・・・・巻線溝、１５・・・・・・ギャップ面、１６・
・・・・充填物、１７・・・・・・第１磁性体。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 第２図 、、、、−、、、、、、，８第２極性膜　　　、へ第３
図 第４図 第６図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）少くとも一部に磁気コア部を有するとともに巻線
   穴を有するヘッドコア半体と、そのヘッドコア半体上に
   順次被着積層して形成されたギャップ材層と磁性膜とを
   備え、前記磁気コア部と前記磁性膜とは前記ギャップ材
   層を介して磁気回路を構成するとともに、磁気テープと
   摺動する面において前記ギャップ材層の厚み方向に、前
   記磁気コア部、ギャップ材層及び磁性膜にわたって切り
   欠きを設けることにより、トラック幅が切り欠き部によ
   り規制され、少なくとも磁気テープ摺動面上ではギャッ
   プを形成するコアエッヂがトラック内のみに露出してい
   るよう構成した磁気ヘッド。
2. （２）磁性体もしくは磁性体と非磁性基板などからなる
   ヘッド半体ブロックのギャップ面上に巻線溝を設ける第
   １の工程と、前記巻線溝中に樹脂もしくは低融点の無機
   接着剤などを充填する第２の工程と、前記ギャップ面を
   研磨して非磁性ギャップ材の薄膜と磁性膜を順に形成し
   てヘッドブロックを形成する第３の工程と、前記ヘッド
   ブロックの摺動面となる面に切り欠き部を入れて非磁性
   材を充填する第４の工程と、前記ヘッドブロックの前記
   巻線溝中にある前記樹脂もしくは前記無機接着剤の除去
   および切断によってヘッドチップを得る第５の工程とを
   有する磁気ヘッドの製造方法。