JPH0411308A - 磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は磁気ヘッド及びその製造方法に係り、特にギャ
ップ長をより高精度に管理できるよう構成した磁気ヘッ
ド及びその製造方法に関する。

従来の技術 例えばビデオテープレコーダ、デジタル・オディオ・テ
ープレコーダ等て使用される磁気ヘッドでは、第１３図
〜第１７図に示すような工程で製造されている。第１３
図において、第１、第２のコアブロック１．２は、例え
ばＦｅ−Ａ１？−３土合金、あるいはＭｎ−Ｚｎ−Ｆｅ
ｒｒｉｔｅ等の磁性体により形成され、その突き合せ面
１ａ、２ａにはスパッタリング等により磁性薄膜３，４
が被覆形成されている。第１６図に拡大して示すように
第１のコアブロックｌの磁性薄膜３の表面にはギャップ
形成用の非磁性薄膜（Ｓ　ｉ　０２系ガラス）５か堆積
される。そして、第１．第２のコアブロック１，２は第
１４図に示す如（夫々突き合せ面１ａ、２ａを対向させ
た状態で接合し低融点のガラス６を介して接着される。

さらに、第１、第２のコアブロック１．２を一体化して
なるブロック７のギャップ形成面７ａ側にトラック幅に
応じたギャップ７ｂが形成されるようギャップ延在方向
（Ｘ方向）と直交するＸ方向に溝（図示せず）を切削加
工し、この溝内にギャップ補強用のガラス８を充填する
。そして、第１５図に示すようにブロック７をＸ方向に
切断して薄板状の磁気ヘッド９を得る。

発明か解決しようとする課題 ところか、上記のように製造される磁気ヘッドては、第
１７図に拡大して示すように■磁性体の突き合せ面１ａ
のソリあるいはうねり、■大気中に浮遊する塵埃、■非
磁性薄膜のソリあるいはうねり等により第１のコア半体
１′側のギャップ形成用の非磁性薄膜５と第２のコア半
体２側の磁気薄膜４との間には隙間Ｓが介在してしまう
。そのため、従来はギャップ長Ｇ１が非磁性薄膜５の厚
さ１、と上記隙間Ｓとの厚さｔｓとの合計となってしま
い、当初ギャップ長Ｇ　ｉ”　ｔ　Ｍで設計されていて
も実際のギャップ長はＧＡ＝ｔ、　十ｔ　ｓとなるため
上記隙間Ｓの厚さｔｓ分大きくなり、その分高密度記録
できなくなってしまうといった課題がある。しかも、上
記隙間Ｓの厚さｔｓは一定でなく、前記■〜■の原因に
よりバラツクため、ギャップ長Ｇ！！の正規分布（３σ
値）は例えば０．４８〜０．６μｍの範囲でバラライで
いた。

そこで、本発明は上記課題を解決した磁気ヘッド及びそ
の製造方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段 本発明は、第１のコア半体の突き合せ面に非磁性薄膜を
形成し、第２のコア半体の突き合せ面に磁性薄膜を形成
し、第１のコア半体の突き合せ面と第２のコア半体の突
き合せ面とを接合してなる磁気ヘッドにおいて、 前記第２のコア半体の突き合せ面にギャップ形成面側か
前記第１のコア半体の突き合せ面より離間するよう段部
を設け、 前記段部と前記第１のコア半体に形成された非磁性薄膜
との間に形成された溝内に磁性薄膜を堆積させてなる。

又、本発明は、第１のブロックの突き合せ面に非磁性薄
膜を形成し、第２のコアブロックの突き合せ面にはギャ
ップ形成面側が前記第１のコアブロックの突き合せ面よ
り離間するよう段部を形成し、続いて第１のコアブロッ
クの突き合せ面と第２のコアブロックの突き合せ面とを
接合して前記非磁性薄膜と前記段部との間に溝を形成し
てなり、次いで前記ギャップ形成面及び溝内に磁性薄膜
を堆積させた後、前記ギャップ形成面に堆積させた磁性
薄膜を削除し、さらに前記ギャップ形成面か所定トラッ
ク幅寸法となるように接合された第１、第２のコアブロ
ックを前記溝の延在方向と直交する方向に切断して薄板
状としてなる。

作用 第１のコア半体と第２のコア半体とが夫々突き合せ面を
接合した状態で第１のコア半体の突き合せ面に形成され
た非磁性薄膜と第２のコア半体の突き合せ面に形成され
た段部との間に形成された溝内に磁性薄膜を堆積させる
ことにより、第１のコア半体の非磁性薄膜と第２のコア
半体の磁性材との間に隙間が介在しないようにする。

実施例 第１図及び第２図に本発明になる磁気ヘッドの一実施例
を示す。

第１図において、磁気へラドＩＩは例えばＦｅ−Ａｌ−
３ｉ合金、あるいはＭｎ−Ｚｎ−Ｆｅｒｒｉｔｅ等の磁
性材よりなる第１のコア半体１２と第２のコア半体１３
とを接合して一体化したものである。第１のコア半体１
２の両側及び第２のコア半体１３の右側面にはコイル巻
回用の凹部１２ａ、１２ｂ及び１３ａが設けられている
。

又、磁気ヘッド１１のギャップ１４を有するギャップ形
成面１１ａはトラック幅ｔとなるようにＹ方向の寸法が
切削加工により決められている。

１５は低融点のガラスで、ギャップ形成面１１ａをＹ方
向で挟持するようにコア半体に１２．１３の段部１２ｄ
、１３ｄに充填され、コア半体１２゜１３を接着すると
ともにギャップ１４を補強する。

尚、コア半体１３の底部側には面取部１３ｂが形成され
、この面取部１３ｂには低融点のガラス１６が充填され
ている。よって、コア半体１２と１３とはガラス１５．
１６によりその上、下部分が接着固定されている。

又、第１のコア半体１２の突き合せ面１２ｃには磁性薄
膜１７がスパッタリング等により被覆形成されている。

さらに、この磁性薄膜１７の表面にはギャップ形成用の
非磁性薄膜（Ｓ　ｉ　０２系ガラス）１８かスパッタリ
ング等により形成される。

第２図はギャップ１４部分を拡大して示す。第２図にお
いて、第２のコア半体１３の突き合せ面１３ｃにはギャ
ップ形成面１１ａ側か第１のコア半体１２の突き合せ面
１２ｃより離間する段部１９が設けられている。この段
部１９は上記の如く第１のコア半体１２の非磁性薄膜１
８と所定距離離間し、ギャップ１４側が開口となるよう
に上下方向に延在する壁１９ａと、壁１９ａの下部より
非磁性薄膜１８に当接するように傾斜した底部１９ｂと
よりなる。従って、この段部１９と非磁性薄膜１８との
間には有底溝２０か形成される。

この有底溝２０内には磁性薄膜２１かスパッタリグ等に
より堆積される。

このように、第２のコア半体１３の突き合せ面１３ｃに
は段部１９か設けられているので、第１のコア半体１２
と第２のコア半体１３とを互いに突き合せて加圧して接
合した後、有底溝２０に上部開口より磁性薄膜２１を隙
間なく充填することができる。そのため、ギャップ１４
のギャップ長Ｇ７は非磁性薄膜１８のＸ方向の厚さ寸法
ｔ１１と等しくなる。よって、ギャップ１４のギャップ
長Ｇ７の寸法管理をより高精度に行うことかでき、例え
突き合せ面１２ｃ、１３ｃにソリあるいはうねりが生じ
ていたり、大気中の塵埃等が非磁性薄膜１８に付着して
いても非磁性薄膜１８に磁性薄膜２１を密着させられる
ので、ギャップ長ＧＩ！が厚くならず、より高密度な磁
気記録が可能となる。

その結果ギャップ長０１２寸法の正規分布（３σ値）が
０．４８〜０．５２μｍと従来よりもバラツキが１／３
に減少する。

ここで、第３図乃至第１１図を参照して上記磁気ヘッド
の製造方法について説明する。

まず、第３図に示す如く、Ｆｅ−Ａｌ−３ｉ合金あるい
はＭ　ｎ　−Ｚ　ｎ　−Ｆ　ｅｒｒｉｔｅ等によりなる
磁性材により形成された直方体形状の第１のコアブロッ
ク２２と第２のコアブロック２３とを用意する。そして
、コアブロック２２．２３の突き合せ面２２ｃ、２３ｃ
を研磨する。さらに第１のコアブロック２２にはＹ方向
に延在する。溝２２ａ。

２２ｂか切削され、第２のコアブロック２３には溝２３
ａか切削される。又、第２のコアブロック２３は突き合
せ面２３ｃの上部に段部２４が下部にガラス充填用の面
取部２３ｂかＹ方向に延在するよう切削加工される。

次に、第１のコアブロック２２の突き合せ面２２ｃには
磁性薄膜２５（第３図中、ナシ地模様で示す）がスパッ
タリング等により被覆形成される。続いて、第１のコア
ブロック２２の１２２ｂに低融点のガラス２６が充填さ
れる。そして、第４図に示す如く、磁性薄膜２５及びガ
ラス２６の表面にはギャップ形成用の非磁性薄膜３５が
スパッタリング等により形成される。

次に、第５図に示す如く、コアブロック２２゜２３の突
き合せ面２２ｃ、２３ｃが互いに対向した状態でコアブ
ロック２２．２３を当接させ、面取部２３ｂに低融点の
ガラス２７か充填された後、コアブロック２２．２３は
加圧されながらガラス２７の融着により一体的に接合さ
れる。このように、コアブロック２２．２３か一体化さ
れると、非磁気性薄膜３５と段部２４との間にはＹ方向
に延在する有底溝２８か形成される。

上記のようにコアブロック２２と２３と接合してなるブ
ロック２９は、第６図、第７図に示す如く、そのヘッド
面２９ａ側に磁性薄膜３０（ナシ地模様で示す）がスパ
ッタリング等により被覆され、同時に上記有底溝２８内
にも磁性薄膜３０が堆積する。

このようにコアブロック２２と２３との間に形成された
有底溝２８に磁性薄膜３０が堆積されるため、非磁性薄
膜３５と磁性薄膜３０との間に隙間ができず、非磁性薄
膜３５に磁性薄膜３０を密着させることができる。

次に、第８図に示す如く、ギャップ形成面２９ａｌ：Ｘ
方向に延在する溝３１を所定間隔ｔごとに切削加工する
。よって、溝３１と３１との間にはＸ方向の厚さ寸法が
土とされた突出部３２が残る。

従って、各突出部３２の中央部には非磁性薄膜３５を介
して厚さ１．のギャップ長を有し、且つトラック幅の寸
法かｔとされたギャップ３３か成形される。続いて、第
９図に示す如く、上記谷溝３１に低融点のガラス３４が
充填され、ギャップ３３はガラス３４に挟持されて補強
される。

次に、第１０図に示す如く、ギヤ・ツブ３３及びギャッ
プ形成面２９ａが露出するように上部に形成されたガラ
ス３４及び磁性薄膜３０を削除する。

その後、谷溝３１に充填された各ガラス３４の略中央部
をＸ方向に切断して第１１図に示す磁気ヘッド１１を得
る。尚、磁気へラド１１はこの後ギャップ形成面が研磨
されてベース（図示せず）接着工程か行なわれてコイル
巻線工程か行なわれる。

このようにして、第１図に示す磁気へラド１１か完成す
る。

第１２図に本発明の変形例を示す。第２図中、磁気ヘッ
ドＩｍはコア半体１２の突き合せ面１２ｃに磁性薄膜１
７が形成されていない。よって面仕上げされた突き合せ
面１２ｃの表面にはギャップ形成用の非磁性薄膜１８が
直接スパッタリングされている。そして、コア半体１３
の突き合せ面１３ｃの上部には前述の如く段部１９か設
けられており、段部１９と非磁性薄膜１８との間に形成
された有底溝２０内には磁性薄膜２１か堆積される。従
って、コア半体１２の突き合せ面１２ｃに磁性薄膜１７
を設けない構造の磁気ヘッド１１−であっても、上記の
如く、有底溝２０内に磁性薄膜２１を堆積させることに
より、非磁性薄膜１８と磁性薄膜２１との間に隙間がで
きず、磁性薄膜２１を非磁性薄膜１８に密接させること
ができ、ギャップ長を非磁性薄膜１８の厚さと等しい寸
法にすることかできる。

発明の効果 上述の如く、本発明になる磁気ヘッド及びその製造方法
によれば、第１のコア半体の突き合せ面に形成された非
磁性薄膜と第２のコア半体の突き合せ面との間にギャッ
プ形成面側か開口となるような溝が形成されるよう第２
のコア半体の突き合せ面に段部を設けてなるため、溝内
に磁性薄膜を堆積させることにより、非磁性薄膜と磁性
薄膜との間に隙間ができることを防止でき、磁性薄膜を
非磁性薄膜の表面に密着させることができる。

従って、例え第１．第２のコア半体の突き合せ面にソリ
、うねりか生じていても、あるいは非磁性薄膜に空気中
の塵埃等が付着しても磁性薄膜と非磁性薄膜との間に隙
間かできてギャップ長かバラツクことを防止でき、常に
ギャップ長が非磁性薄膜の膜厚で管理できるのでギャッ
プ長をより安定的に精度良く製作でき、高密度記録にも
対応することができる等の特長を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になる磁気ヘッドの一実施例の斜視図、
第２図は本発明の要部を拡大して示す斜視図、第３図乃
至第１１図は磁気ヘッドの製造方法を説明するための各
工程における斜視図、第１２図は本発明の変形例の斜視
図、第１３図乃至１７図は夫々従来の磁気ヘッド及びそ
の製造方法を説明するための斜視図である。 １１．１１−・・・磁気ヘッド、１２・・・第１のコア
半体、１３・・・第２のコア半体、１４・・・ギャップ
、１５．１６・・・ガラス、１７・・・磁性薄膜、１８
・・・非磁性薄膜、１９・・・段部、２０・・・有底溝
、２１・・・磁性薄膜、２２・・・第１のコアブロック
、２３・・・第２のコアブロック、２４・・・段部、２
５・・・磁性薄膜、２６゜ ７・・・ガラス、 ８・・・有底溝、 ０・・・磁性 薄膜、 ３・・・ギャップ、 ５・・・非磁性薄膜。 特許呂願人 ミツミ電機株式会社 第 図 第２図 第９図 第四図 第１３図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）第１のコア半体の突き合せ面に非磁性薄膜を形成
   し、第２のコア半体の突き合せ面に磁性薄膜を形成し、
   該第１のコア半体の突き合せ面と第２のコア半体の突き
   合せ面とを接合してなる磁気ヘッドにおいて、 前記第２のコア半体の突き合せ面にギャップ形成面側が
   前記第１のコア半体の突き合せ面より離間するよう段部
   を設け、 前記段部と前記第１のコア半体に形成された非磁性薄膜
   との間に形成された溝内に磁性薄膜を堆積させてなるこ
   とを特徴とする磁気ヘッド。
2. （２）第１のコアブロックの突き合せ面に非磁性薄膜を
   形成し、第２のコアブロックの突き合せ面にはギャップ
   形成面側が前記第１のコアブロックの突き合せ面より離
   間するように段部を形成し、続いて第１のコアブロック
   の突き合せ面と第２のコアブロックの突き合せ面とを接
   合して前記非磁性薄膜と前記段部との間に溝を形成して
   なり、次いで前記ギャップ形成面及び溝内に磁性薄膜を
   堆積させた後、前記ギャップ形成面に堆積させた磁性薄
   膜を削除し、さらに前記ギャップ形成面が所定トラック
   幅寸法となるように接合された第１、第２のコアブロッ
   クを前記溝の延在方向を直交する方向に切断して薄板状
   としてなる磁気ヘッドの製造方法。