JPS63257236A - ワイヤボンデイング方法 - Google Patents

ワイヤボンデイング方法

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JPS63257236A
JPS63257236A JP62092716A JP9271687A JPS63257236A JP S63257236 A JPS63257236 A JP S63257236A JP 62092716 A JP62092716 A JP 62092716A JP 9271687 A JP9271687 A JP 9271687A JP S63257236 A JPS63257236 A JP S63257236A
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capillary
wire
bonding
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bonding point
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将光 岡村
Toyomi Oshige
大重　豊実
Hideo Ichimura
英男 市村
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、ワイヤボンディング装置番こおけるワイヤ
ボンディング方法で特にワイヤループコントロールに関
するものである。
〔従来の技術〕
ワイヤボンディングとは、第４ａ図に示すよう（こ電極
（１）によりワイヤ（２）の先端にボール（３）を形成
し、第４ｂ図をこ示すよう◆こキャピラリ（４）が下降
し【第１ボンディング点である半導体チップ（５）にボ
ール（３）を圧着し、第４Ｃ図に示すようにキャピラリ
（４）を移動して第２ボンディング点であるリード（６
）にワイヤ（２）を接続するという一連の作業をいう。
第１ボンディング点から第２ボンディング点に至るキャ
ピラリ（４）の軌跡すなわちワイヤループコントロール
がワイヤボンディングの品質に大きな影響を及ぼす。す
なわち、ボンディング距離、半導体チップ（５）とリー
ド（６）の段差、リードの形状、ワイヤの材質などのワ
イヤボンディング条件に応じた適切なキャピラリ軌跡を
選択しないと、第４ｄ図および第４ｅ図に示すように半
導体チップ（５）やリード＜６７とエツジショート（イ
）をおこしたり、ワイヤにストレスがかかりワイヤ強度
が低下するといった問題が発生する。
そこで従来、さまざまなキャピラリ軌跡が提案されてい
る。例えば第５図に示す山形状キャピラリ軌跡（特開昭
５７−８７１４３号公報参照）や、第６図に示す円弧状
キャピラリ軌跡（特開昭５８−２２０４３６号公報参照
）などでそれぞれ一長一短があり上記ボンディング条件
に応じて使い分ける必要がある。
〔発明が解決しようとする問題点〕
従来のワイヤボンディング装置は、以上のようにそれぞ
れのボンディング条件に応じて多くのキャピラリ軌跡を
備えておく必要があり、それらのキャピラリ軌跡を実現
するためのＸＹＺ軸の速度パターンやシーケンスといっ
たワイヤボンディング方法を複数個持たねばならないた
め、装置が複雑になるとともに、最適な方法を選択する
のに時間がかかるといった問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためをこなさ
れたもので、種々のキャピラリ軌跡が容易に実現できる
ワイヤボンディング方法を得ることを目的とする。
〔問題点を解決す宕ための手段〕
この発明に係るワイヤボンディング方法は、キャピラリ
のＸＹ、Ｚ方向の速度パターンの傾き、すなわち加速度
を変化させて第２ボンディング点上近傍へのキャピラリ
のＺ方向とＸＹ方向の到着タイミングをコントロールし
たものである。
〔作　用〕
この発明におけるワイヤボンディング方法は、第２ボン
ディング点上近傍へのキャピラリのＺ方向とＸＹ方向の
到着タイミングをコントロールすることにより、さまざ
まなワイヤボンディング条件に適応したキャピラリ軌跡
を簡単に得ることができ、ワイヤボンディングの信頼性
、生産性が向上する。
〔実施例〕
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図に示すようにキャピラリ（４）を第１ボーンディング
点（Ａ）からボンディング距離（Ｌ）だけ離れた第２ボ
ンディング点（Ｂ）に移動するにあたり、Ｂ点より上方
へ垂直距離（ａ）だけ離れた０点に達するときのＸＹ方
向と２方向の到着タイミンクヲコントロールする。その
コントロールの三悪様を第２図に示す。図において（力
はキャピラリ（４）（７）ＸＹ方向の速度波形で、（ｓ
ｒ　、　　（ｓ’）　　、　　（ｓ”）はＺ方向の速度
波形を示し、第２ａ図はＺ方向が先に０点に到着する場
合、第２ｂ図はＸＹとＺ方向が同時に到着する場合、第
２Ｃ図はＸＹ方向が先に到着する場合をそれぞれ示して
いる。なお、本例のいずれの場合でもキャピラリがＺ方
向に上昇量の半分だけ上がった時ＸＹ方向にスタートシ
ている。また第３ａ図乃至第３Ｃ図は上記第２ａ図乃至
第２Ｃ図の速度波形で移動した場合のキャピラリ（４）
の軌跡をそれぞれ示している。
これから判るように、キャピラリ（４）をＸＹ、Ｚ方向
に等加速度波形で動かし、ＸＹ方向の波形を一定にし、
２方向の波形を変化させている。かかるワイヤボンディ
ングのコントロールにより、第３ａ図に示すような三角
形に近い軌跡で第２ボンディング点手前でワイヤを距離
（８）だけ横へ引っ張るため、ワイヤループのたわみを
とりループ高さが比較的低いワイヤループ形状が得られ
るというものから、第３Ｃ図に示すような四角形に近い
軌跡で、半導体チップ（５）とのエツジショート防止用
のループ高さが比較的高いワイヤループ形状が得られる
ものまで容易に達成することができワイヤボンディング
の信頼性、生産性が向上する。
勿論、電子計算機等の電子制御装置を用いて第２ボンデ
ィング点上近４９　（Ｃ）に対するＸＹ方向の運動の到
達時点を選択できるようにプログラムしておき、適当な
選択ボタン等で前記三態様を任意に設定できるようをこ
してこの発明の方法を実施することは言うまでもない。
ｆ、ｃお、上記実施例でまキャビラリ（４）のＺ方向の
加減速度を変化させたが、第２ｂν！に示ずようにＺ方
向の波形を一定にしＸＹ方向の波形を点＋ＩＬ　（７’
）　　、　　（７“）の如く変化させてもよい。
また、上記実施例ではキャピラリ（４）を等加減速度で
動かす場合について説明したが、第２ボンデイング点上
近傍（Ｃ）への到着タイミングをコントロールするとい
う本発明の範囲内であれば、以上のように、基本となる
ＸＹ、Ｚ方向の速度゛−パターンの傾き、すなわち加速
度を変化させてキャピラリの第２ボンディング点上近傍
へのＸＹ方向とＺ方向の到着タイミングをコントロール
することにより、種々のボンディング条件をこ適したキ
ャピラリ軌跡を容易に得ることかでき、ワイヤボンディ
ングの信頼性、生産性が向上する。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例にするワイヤボンディング
方法のモデル図、第２図はキャピラリの速度波形を示す
図、第３図はキャビラリ軌跡を示す図、第４図はワイヤ
ボンディングを示すモデル図、第５図と第６図は従来の
キャピラリ軌跡を示す図である。 図に叛いて、（２）はワイヤ、（４）はキャピラリ、（
５）は半導体チップ、（６）はリードを示す。 なお図中、同一符号は同一または相当部分を示す。 代理人　弁理士　大　　岩　　増　　雄第１図 （σ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（
ｂ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
（Ｃ）第３図 ＱＩヤヤＣラリ頗Ｊｉ 第４図 （ａ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（
ｂ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（ｃ）
第５図 第６図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）ＸＹ方向に移動可能なテーブル上にあつて、内側
    にワイヤが貫通しＺ方向に移動可能なキャピラリにより
    、２点間に上記ワイヤを接続するワイヤボンディングに
    おいて、第１ボンディング点にワイヤを接続した後に、
    上記キャピラリがＺ方向に移動してワイヤをくり出しな
    がら第２ボンディング点に向かつてＸＹ方向に移動する
    とき、第２ボンディング点上近傍への上記キャピラリの
    Ｚ方向とＸＹ方向の到着タイミングをコントロールする
    ことを特徴とするワイヤボンディング方法。
JP62092716A 1987-04-14 1987-04-14 ワイヤボンデイング方法 Granted JPS63257236A (ja)

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JPS63257236A true JPS63257236A (ja) 1988-10-25
JPH0523498B2 JPH0523498B2 (ja) 1993-04-02

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JPH0523498B2 (ja) 1993-04-02

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