JP2928590B2 - ワイヤボンディング方法 - Google Patents

ワイヤボンディング方法

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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） この発明は、半導体ペレット等の第１ボンディング点
と電極等の第２ボンディング点とをワイヤで接続するワ
イヤボンディング方法に関する。
（従来の技術） 半導体装置の組立て工程において、第２図に示すよう
に、半導体ペレット等の第１ボンディング点１と電極等
の第２ボンディング点２とをワイヤ３で接続する場合に
は、まず、キャピラリ４を下降して第１ボンディング点
１にワイヤ３を接続した後、ワイヤループ５を形成する
に必要な量だけキャピラリ４を上昇させてワイヤ３を繰
り出す。つぎに、キャピラリ４を第２ボンディング点２
に移動した後、第２ボンディング点２に向かってキャピ
ラリ４を下降させてワイヤ３を第２ボンディング点２に
接続している。したがって、キャピラリ４の移動軌跡６
は、円弧状もしくは２次曲線状を成している。
しかしながら、前述のように、ワイヤループ５の途中
に歪みがないと、キャピラリ４の下降に伴ってワイヤ３
が第１ボンディング点１、つまり半導体ペレットの真上
で折曲されてしまい、形成されたワイヤループ５の高さ
は低く（例えば120〜140μｍ）、モールド時にワイヤル
ープ５が樹脂によって押されて半導体ペレットのエッジ
に接触してしまう恐れがある。
そこで、前述のような問題を解消するために、特開昭
63−42135号公報および第３図に示すように、ワイヤル
ープ５の途中に歪みを与える方法が開発された。これは
キャピラリ４を下降して第１ボンディング点１にワイヤ
３を接続した後、ワイヤループ５を形成するに必要な量
だけキャピラリ４を上昇させてワイヤ３を繰り出す。こ
のキャピラリ４の上昇途中で、キャピラリ４を第２ボン
ディング点２とは逆方向に横移動させてワイヤ３の途中
に歪み3aを付け、つぎに、第２図に示したように、キャ
ピラリ４を第２ボンディング点２に横移動した後、第２
ボンディング点２に向かってキャピラリ４を下降させて
ワイヤ３を第２ボンディング点２に接続している。この
方法によれば、ワイヤループ５の高さを高くすることが
でき、前述のように、モールド時にワイヤループ５が樹
脂によって押されて半導体ペレットのエッジに接触して
しまう心配がない。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、前述のように、第１ボンディング点に
接続した後、キャピラリを上昇させる過程で、ワイヤを
第２のボンディング点と逆方向に移動させてワイヤ歪み
を与えると、ワイヤ３は第１のボンディング点を支点と
して振れることになり、ワイヤと第１ボンディング点と
の接合部分に繰り返し応力が加わり、ワイヤが第１ボン
ディング点から外れる心配があるなど、ボンディングの
信頼性が低い。
この発明は、前記事情に着目してなされたもので、そ
の目的とするところは、ワイヤと第１ボンディング点と
の接合部分に繰り返し応力が加わることなく、理想的な
ワイヤループを形成することができ、信頼性の高いワイ
ヤボンディング方法を提供することにある。
〔発明の構成〕
（課題を解決するための手段及び作用） この発明は、前記目的を達成するために、第１ボンデ
ィング点にワイヤを接続し、キャピラリを上昇させてワ
イヤを繰り出した後、前記キャピラリを第２ボンディン
グ点に向かって下降させる際に、前記キャピラリの下降
軌跡に変曲点を複数個設け、理想的なワイヤループを形
成する。
（実施例） 以下、この発明の一実施例を図面に基づいて説明す
る。
第１図に示すように、固定的に設けられたベッド11上
には半導体ペレット12が設けられ、この半導体ペレット
12には第１ボンディング点13が設けられている。また、
前記ベッド11と電気的に絶縁された電極14には第２ボン
ディング点15が設けられている。キャピラリ17はXYテー
ブル（図示しない）に搭載されなボンディングツールに
設けられ、Ｚ方向に移動するようになっている。ここ
で、前記第１ボンディング点13と第２ボンディング点15
とをワイヤ16で接続するワイヤボンディング方法を説明
すると、まず、第１ボンディング点13に対向するキャピ
ラリ17を下降して第１ボンディング点13にワイヤ16を接
続した後、ワイヤループ18を形成するに必要な量だけキ
ャピラリ17を上昇させてワイヤ16を繰り出す。つぎに、
キャピラリ17をわずかな円弧を描きながら下降させ（下
降軌跡ｂ）、ほぼ中間部の下降点ａまで下降したら、緩
やかな円弧軌跡を描きながら略水平方向に移動させる。
さらに、さらに、その後再び緩やかな略円弧の下降軌跡
ｃを描き、その後キャピラリ17を下降軌跡ｄに示すよう
に、ほぼ垂直方向に下降させ、ワイヤ16を第２ボンディ
ング点15に接続する。したがって、キャピラリ17は軌跡
ｂ→ａ→ｃ→ｄに沿って下降することになり、軌跡ｂと
ｄとの間に変曲点16a,16bが形成され、この変曲点16a,1
6bを持った３次元曲線状を成している。このようにキャ
ピラリ17を下降することによってワイヤ16に歪みが生
じ、第１図に破線で示すように、理想的なワイヤループ
（例えば高さ150μｍ）18が形成される。
なお、キャピラリ17の下降時の軌跡を制御（軌跡の途
中にある変曲点の位置制御）することによって、ワイヤ
ループ18の形状および高さを任意に設定できる。
また、前記一実施例においては、キャピラリ17をXYテ
ーブルに搭載したボンディングツールに設け、昇降およ
び横移動させ、ベッド11を固定的としたが、キャピラリ
17をＺ方向のみ移動させ、ベッド11をXYテーブルに支持
してキャピラリ17に対して第１ボンディング点13、第２
のボンディング点15を対向させてもよい。
［発明の効果］ 以上説明したように、この発明によれば、第１ボンデ
ィング点にワイヤを接続した後、キャピラリを上昇させ
てワイヤを繰り出し、つぎに前記キャピラリを第２ボン
ディング点に向かって下降させる際に、そのキャピラリ
の下降軌跡に変曲点を複数個設けることにより、ワイヤ
の途中に歪みを与えて理想的なワイヤループを形成でき
る。また、第１ボンディング点から第２ボンディング点
にワイヤを移動させる際に、第１ボンディング点とワイ
ヤとの接合部分に繰り返し応力を加えることはなく、ボ
ンディングの信頼性を向上できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図はこの発明の一実施例を示すワイヤボンディング
方法の概略的構成図、第２図および第３図は従来のワイ
ヤボンディング方法の概略的構成図である。 13……第１ボンディング点、15……第２ボンディング
点、16……ワイヤ、16a……変曲点、17……キャピラ
リ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−241833（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−26668（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−29142（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−257236（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/60 301

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】第１ボンディング点と第２ボンディング点
    とをワイヤで接続するワイヤボンディング方法におい
    て、前記第１ボンディング点にワイヤを接続し、キャピ
    ラリを上昇させてワイヤを繰り出した後、前記キャピラ
    リを前記第２ボンディング点に向かって下降させる際
    に、前記キャピラリの下降軌跡に変曲点を複数個設けた
    ことを特徴とするワイヤボンディング方法。
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