JPS58220436A - ワイヤボンデイング方法 - Google Patents

ワイヤボンデイング方法

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JPS58220436A
JPS58220436A JP57104352A JP10435282A JPS58220436A JP S58220436 A JPS58220436 A JP S58220436A JP 57104352 A JP57104352 A JP 57104352A JP 10435282 A JP10435282 A JP 10435282A JP S58220436 A JPS58220436 A JP S58220436A
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loop
bonding
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体ペレットと外部リードとの間をワイヤで
接続するワイヤボンディング方法に関する。
半導体集積回路（ＩＣ，ＬＳＩ）等の組立工程において
は、第１図（ａ）に示すようにキャピラリ１に挿通した
ワイヤ２の先端にボール３を形成し、同図（ｂ）に示す
ようにボール３を半導体基板４に設けたタブ５に溶着さ
れたペレット６の第１ボンディング点Ａにキャピラリ１
を押圧して接続し、次にキャピラリ１を移動して同図（
Ｃ）に示すように外部リード７の第２ボノデイノグ点Ｂ
ヘワイヤ２を接続する。なお、図中、８は半導体基板４
及び外部リード７を加熱する加熱体である。
ところで従来、前記第１ボノデイノグ点Ａから第２ボン
ディング点Ｂへのキャピラリ１の移動は、第２図に点線
で示す軌跡を通って行っている。即ち、第１ボンデイノ
グ点Ａより上方に０点まで上昇させ、次に斜め上方の９
点に上昇させ、続いてＥ点に水平移動させ、次に第２ボ
ンディング点Ｂの上方のＦ点まで斜め下方６ど下降させ
、最後にＢ点に下降させている。
このように、キャピラリ１を直線、的に移動させてルー
プコントロールを行っており、キャピラリ１がＥ点に移
動した時にワイヤ２が最も繰り出される。この時のワイ
ヤ長さはｙ＋ｚ、である。　ここで、′ｙは理想ループ
高さを示す。ところで、キャピラリ１がＥ点からＦ点に
移動する途中においては、即ちＥ点からＧ点に達する時
はワイヤ長がｌ、となり、ｌ、　−１，＝Δｌだけ短く
なる軌跡をとる。しかしながら、キャピラリ１から繰り
出されたワイヤ２はキャピラリ１に逆戻りしにくくなる
ため、キャピラリ１がＧ点に達した時はｌ、・−１，＝
Δｌ　だけワイヤが垂んでしまう。そして、Ｇ点からＦ
点までは前記ワイヤの垂みを伸ばす動きを行う。しかる
に、一度ワイヤに垂み癖がついてしまうと、それを伸ば
そうとしても完全ｌこは元に戻らず、また伸ばそうとす
る動き番こよりボンディングされたワイヤにストレス（
歪）がかかす弱くなってしまうという欠点があった。
本発明は上記従来技術の欠点に鑑みなされたもので、ワ
イヤにストレスをかけずにループコントロールを行い得
るワイヤボンディング方法を提供することを目的とする
。
以下、本発明を図示の実施例により説明する。
第３図は本発明になるらイヤボンディング方法の一実施
例を示す。なお、第１図と同じまたは相当部分には同一
符号を付して説明する。第３図（ａｌに示す状態よりキ
ャピラリ１が下降し、同図（ｂ）に示すようにペレット
６の第１ボンディング点Ａにボール３をキャピラリ１で
押圧して接続した後、理想的なワイヤループｔこ必要な
ワイヤ要分Ｚだけペレット６の上方のＨ点にキャピラリ
１を上昇させ、次に理想的ループ高さｙを中心として半
径ｘ　＝Ｚ　　　’−ｙの円弧運動をさせ、同図（Ｃ）
に示すように第２ボンディング点Ｂｌこワイヤを接続さ
せる。
このように、第１ボンディング点Ａの上方の１１点まで
キャピラリ１を上昇させてボンディングに必要なワイヤ
を繰り出した後、円運動をさせてキャピラリ１を第２ボ
ンディング点Ｂに導くので、ワイヤを引っばることも押
すこともなくワイヤにストレスをかけずにボンディング
することができる。またこれによりボンディングされた
ワイヤネックｌζストレスがかからないので、ネックも
強く高いループができる。また円運動の中心の高さ、即
ち理想ループ高さｙを変えることでワイヤループ高さを
コントロールできる。
第４図は本発明の第２実施例を示す。本実施例はキャピ
ラリ１を第１ボンディング点Ａの上方の５点で上昇させ
、その後に点まで水平移動させて理想的なワイヤループ
に必要なワイヤ要分だけワイヤを繰り出し、その後円運
動をさせてキャピラリ１を第２ボンディング点１３に導
いている。・このようにしても前記実施例と同様な効果
が得られる。
第５図は本発明の第３実施例を示す。本実施例はキャピ
ラリ１をボンディング点Ａの上方のＬ点まで上昇させた
後、第２ボンディング点Ｂと逆方向の斜め上方のＭ点ま
で上昇させて理想的なワイヤループに必要なワイヤ要分
だけワイヤを繰り出し、その後円運動をさせてキャピラ
リ１を第２ボッディング点Ｂに導いている。このように
しても前記各実施例と同様な効果が得られる。
なお、上記各実施例は本発明の一実施例を示したにすぎ
なく、本発明は要旨を逸脱しない範囲で種々の変形が考
えられることを理解されるべきである。例えば、理想的
なワイヤループに必要なワイヤ要分だけワイヤを繰り出
す軌跡は種々前えられ、第２図と同じようにＡ→Ｃ→Ｄ
→Ｅの軌跡をとってもよい。また円運動によって第２ボ
ンディング点Ｂの近傍までキャピラリ１を導き、その後
キャピラリ１を第２ボンディング点に導いてもよい。
以上の説明から明らかな如く、本発明になるワイヤボン
ディング方法によれば、ワイヤボンディング時にワイヤ
に過度のストレスをかけずにループコントロールができ
、安定した。１ループを作ることができる。
【図面の簡単な説明】
第１図（ａ）ｆｔ）＋（Ｃ）及び第２図は従来のワイヤ
ボンディング方法を示す説明図、第３図（ａ）（ｂ）（
ｅ）は本発明になるワイヤボンディング方法を示す説明
図、第４図及び第５図はそれぞれ本発明になるワイヤボ
ンディング方法の第２、第３実施例を示す説明図である
。 １・・・キャピラリ、　　　　２′・・・ワイヤ、Ａ・
・・第１ボンディング点、　　Ｂ・・・第２ボンディン
グ点。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 第１ボンデイノグ点と第２ボッディング点との間をワイ
    ヤで接続するワイヤボンディング方法において、第１ボ
    ンディング点にワイヤを接続後、キャピラリをボンディ
    ングに必要なワイヤ要分第１ボッディング点の上方に移
    動させ、第２ボンディング点の位置又は第２ボンディン
    グ点の近傍まで円運動させてワイヤを第２ボンディング
    点に接続することを特徴とするワイヤボンディング方法
    。
JP57104352A 1982-06-17 1982-06-17 ワイヤボンデイング方法 Granted JPS58220436A (ja)

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JP57104352A JPS58220436A (ja) 1982-06-17 1982-06-17 ワイヤボンデイング方法

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JP57104352A JPS58220436A (ja) 1982-06-17 1982-06-17 ワイヤボンデイング方法

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JPS58220436A true JPS58220436A (ja) 1983-12-22
JPH0126531B2 JPH0126531B2 (ja) 1989-05-24

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6342135A (ja) * 1986-08-08 1988-02-23 Shinkawa Ltd ワイヤボンデイング方法
JPS63257236A (ja) * 1987-04-14 1988-10-25 Mitsubishi Electric Corp ワイヤボンデイング方法

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