JPS63255823A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は強磁性金属薄膜層を磁気記録層とする磁気記
録媒体の製造方法に関し、さらに詳しくは、強磁性金属
薄膜層を形成した磁気記録媒体原反の裁断を高精度で行
えるようにした磁気記録媒体の製造方法に関する。

〔従来の技術〕

一般に、強磁性金属薄膜層を磁気記録層とする磁気テー
プや磁気ディスクなどの磁気記録媒体は、金属もしくは
それらの合金などを真空蒸着あるいはスパッタリングな
どの方法で、基体上に被着して強磁性金属薄膜層を形成
し、これをスリッタ装置のカッタ等で所定の巾のテープ
、あるいは所定の径のディスクに裁断してつくられてい
る。

ところが、このようなスリッタ装置のカッタ等を用いて
強磁性金属薄膜層を形成した磁気記録媒体原反を裁断す
ると、基体と強磁性金属薄膜層の機械的伸び特性が相違
するため、裁断面近傍の強磁性金属薄膜層が破断、剥離
し、この剥離片が記録再生装置内を走行中に強磁性金属
薄膜層の表面に付着してドロップアウトを生じたり、ま
たヘッドギャップに付着積層して出力を低下させたりす
る。

そこで、近年、強磁性金属薄膜層を形成した磁気記録媒
体原反を、レーザ光線により裁断してドロップアウトや
出力の低下を抑制することが試みられ、たとえば、第４
図（ａ）に示すように、レーザ発振管からのレーザ光線
１７を、ガスノズル状の加工ヘッド１８内に取り付けた
集光レンズ１９で収束し、収束光２０を加工ヘッド１８
の下方を走行する磁気記録媒体原反１６ａに照射して、
レーザ光線照射面２１を極部的に数百〜数千度の高温に
発熱させ、液化、気化あるいはプラズマ化して、遊離、
除去し、裁断することが行われている。（特開昭６１−
１８０９３２号） 〔発明が解決しようとする問題点〕 ところが、このようにレーザ光線の照射により強磁性金
属薄膜層を形成した磁気記録媒体原反を裁断すると、裁
断面近傍の強磁性金属薄膜層の破断、剥離は防止できる
ものの、強磁性金属薄膜層の光反射率が高いため、裁断
に要するレーザ光線のエネルギーが強大になり、ざらに
レーザ光源の光エネルギー分布特性、モード特性、発振
安定性などの問題から、実際には、第４図（ａ）の一点
鎖線で示したような収束外周光２２を無視できず、裁断
しろの外側にも広い加熱域２６を生じる。

その上、強磁性金属薄膜層中の熱伝導率が良好なため、
第４図（ｂ）に示すように磁気記録媒体原反１６ａの裁
断面２３に、熱ダメージによる太きな盛り上がり２７や
だれ２８が生じてしまい、高精度な加工ができないとい
う致命的欠点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明はかかる欠点を解消するため、種々検討を行っ
た結果なされたもので、基体上に金属もしくはそれらの
合金からなる強磁性金属薄膜層を設けるとともに強磁性
金属薄膜層より光反射率が低い光吸収部を強磁性金属薄
膜層と混在させて設け、レーザ光線を光吸収部に照射し
て所定の形状に裁断することによって、裁断面の熱ダメ
ージをなくして、高精度な裁断が行えるようにしたもの
である。

以下、この発明の磁気記録媒体の製造装置の実施例を示
す図面を参照しながら説明する。

第１図は、この発明の強磁性金属薄膜層を磁気記録層と
する磁気記録媒体原反を製造するのに使用するスパッタ
リング装置の一例を示したものであり、１は真空槽で、
この真空槽１の内部は排気系２により真空に保持される
。３は真空槽１の中央部に配設された円筒状キャンであ
り、ポリイミドフィルム等の基体４は、真空槽１の上部
に配設した原反ロール５からガイドロール６を介して円
筒状キャン３の周側面に沿って移動され、ガイドロール
７を介して巻き取りロール８に巻き取られる。９は円筒
状キャン３の直下に配設されたシャドウマスクで、円筒
状キャン３の円周方向に沿って形成されている。１０は
真空槽１の下部に配設されたターゲットで、この上にセ
ットされた強磁性材からなる電極１１に高周波を印加し
てスパッタリングが行われるが、シャドウマスク９が配
設されているため、円筒状キャン３の周側面に沿って移
動する基体４上に、このシャドウマスク９に対応する部
分だけスパッタリングが行われず、強磁性金属薄膜層が
形成されない。

しかして、このようなスパッタリングが行われると、第
２図および第３図に示すように、基体４上に強磁性金属
薄膜層１４と、強磁性金属薄ｌｊ！層が形成されない帯
状の光吸収部１５とが混在して形成された磁気記録媒体
原反１６が形成される。

なお、第１図中１２は真空槽１の側壁に取り付けられた
ガス導入管であり、１３はターゲット１０上にセットさ
れた強磁性材からなる電極１１に高周波を印加するため
の高周波電源である。

このようにして形成された磁気記録媒体原反１６の裁断
は、レーザ発振管からのレーザ光線１７を、ガスノズル
状の加工ヘッド１８内に取り付けた集光レンズ１９で収
束し、収束光２０を加工ヘッド１８の下方で走行させる
磁気記録媒体原反１６に照射し、レーザ光線照射面２１
となる光吸収部１５を極部的に数百〜数千度の高温に発
熱させて、液化、気化あるいはプラズマ化することによ
り、遊離、除去して行われる。

このように、磁気記録媒体原反１６の裁断は、レーザ光
線照射面２１となる光吸収部１５に、収束光２０を照射
して行われるため、裁断に要するレーザ光線のエネルギ
ーを少なくすることができ、レーザ光線１７の収束光２
０の外周に一点鎖線で示されるような収束外周光２２が
、同時に強磁性金属薄膜層１４上に照射されても、レー
ザ光線のエネルギーが少ないため、このレーザ光線の収
東外周光２２は、高い光反射率を有する強磁性金属薄膜
層１４によって反射されてしまう。従って、磁気記録媒
体原反１６の裁断面２３は、熱ダメージをほとんど受け
ず、磁気記録媒体原反１６の裁断面２３に熱ダメージに
よる大きな盛り上がりやだれが生じることもなく、高精
度の裁断が行える。また、裁断予定線に沿った光吸収部
１５が裁断加工のためのガイドとしても働くため、裁断
時のテープ走行時の蛇行やレーザ光線軸のふらつきに対
しても加工精度の低下を防ぐことができる。

２４は加工ヘッド１８の側壁に取り付けられたガス導入
管であり、磁気記録媒体原反１６の裁断と同時にこのガ
ス導入管２４から加工ヘッド１８内に窒素ガス等のガス
が導入され、ガス流がレーザ光線１７の収束光２０の方
向に噴出されて、液化、気化あるいはプラズマ化した磁
気記録媒体原反１６が効率よく除去され、熱化学反応お
よび酸化反応が良好に抑制される。

このように基体４上に強磁性金属薄膜層を形成しない光
吸収部１５を混在させて強磁性金属＄１１１層１４を形
成した後、これを裁断するのに用いるレーザ光線として
は、ＹＡＧレーザ、Ｃ０２レーザ、アルゴンレーザ等の
大出力レーザが好ましく使用される。このようなレーザ
光線の出力は切削スピードに合わせて適宜調整すれば良
い。

なお、以上は、強磁性金属薄膜層１４を形成する際、未
蒸着部分を形成してこの部分を光吸収部としたものにつ
いて説明したが、この発明はこれに限定されるものでは
なく、たとえば、第５図に示すように磁気記録媒体原反
１６の基体４上に光反射率の高い強磁性金属薄膜層１４
を形成した後、この強磁性金属薄膜層１４上にさらに光
吸収率の高い光吸収材を被着させて光吸収部２５を積層
形成してもよい。

強磁性金属薄膜層を形成する強磁性材としてはコバルト
、ニッケル、鉄などの金属単体の他、これらの合金ある
いは酸化物、およびＣｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃｏ−Ｐ
％　Ｃｏ−Ｎｉ　−Ｐなどが好適なものとして使用され
、強磁性金属薄膜層の形成はスパッタリングによる他、
真空蒸着、イオンブレーティング、メッキ等の手段によ
っても形成される。

また、基板としてはポリエステル、ポリイミド、ポリア
ミド等のプラスチックフィルムなど、一般に磁気記録媒
体に使用されるものが特に限定されることな（使用され
る。

〔実施例〕 次に、この発明の実施例について説明する。

実施例１ 第１図に示すスパッタリング装置を使用し、ポリイミド
フィルム４を真空槽１の原反ロール５からガイドロール
６を介して円筒状キャン３の周側面に沿って移動させ、
ガイドロール７を介して巻き取りロール８に巻き取るよ
うにセットした。また円筒状キャン３の直下に円筒状キ
ャン３の円周方向に伸びる幅５０μｍのシャドウマスク
９を配設した。次いで、排気系２にて真空槽１内を真空
排気し、円筒状キャン３の温度調整によりその周側面に
沿って移動するポリイミドフィルム４の温度を１００℃
に調整した後、真空槽１に取りつけたガス導入管１２か
ら真空槽１にアルゴンガスを導入した。このアルゴンガ
スのガス圧力を２×１０４トールとし、コバルト−クロ
ム合金（重量比８：２）からなる電極１１に高周波を出
力３００Ｗで印加してスパッタリングを行い、ポリイミ
ドフィルム４上にコバルト−クロム合金からなる厚さ０
．３μｍの強磁性金属薄膜層を形成した。

次いで、このようにして得られた磁気記録媒体原反１６
を、第２図および第３図に示される加工ヘッド１８の下
方において、矢印Ａ方向に２００ｍ／１ｌｌｉｎの走行
速度で走行させ、最大４００Ｗ出力のＣＯ２ガスレーザ
を用い、レーザ光線照射面を直径７０μｍに調整して、
シャドウマスク９によって形成された幅５０μｍの未蒸
着部分である光吸収部１５に沿って収束光２０を照射し
、裁断した。

比較例１ 実施例１における磁気記録媒体の製造において、シャド
ウマスク９を省略した以外は実施例１と同様にして磁気
記録媒体原反を製造し、またレ−ザ光線１７の収束光２
０を強磁性金属薄膜層の表面から裁断予定線に沿って照
射した以外は実施例１と同様にして磁気記録媒体原反を
裁断した。

各実施例および比較例で得られた磁気テープについて、
裁断面の熱ダメージを調べた。裁断面の熱ダメージは、
裁断面の形状変化つまり第３図および第４図で示された
裁断面２３の盛り上がり２７およびだれ２８の大きさを
観察して行った。また、第６図に示すように、触針式形
状測定機２９の触針３０を裁断面に直角方向に走査する
ことによって盛り上がり２７の断面形状とその高さｈを
測定した。

下記第１表はその結果である。

第１表 また、第７図（ａ）は実施例１で裁断された磁気記録媒
体原反の裁断面を、触針式形状測定機２９の触針３０の
走査によって測定した結果を示すプロフィールであり、
第７図（ｂ）は比較例１で裁断された磁気記録媒体原反
の裁断面を、触針式形状測定機２９の触針３０の走査に
よって測定した結果を示すプロフィールである。

〔発明の効果〕 上記第１表および第７図から明らかなように、実施例１
で裁断して得られた磁気記録媒体の裁断面は、比較例１
で裁断して得られた磁気記録媒体に比し、裁断面形状が
良好で、盛りあがりの高さｈが低く、このことからこの
発明の製造方法によれば、磁気記録媒体原反の裁断を、
熱ダメージを抑えて高精度で行えることがわかる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の磁気記録媒体製造装置の一実施例を
示す概略断面図、第２図はレーザ光線によって裁断され
るこの発明の磁気記録媒体原反の一部拡大斜視図、第３
図はレーザ光線によって裁断されるこの発明の磁気記録
媒体原反の断面図、第４図はレーザ光線によって裁断さ
れる従来の磁気記録媒体原反の断面図、第５図はこの発
明の磁気記録媒体原反の他の実施例を示す断面図、第６
図は磁気記録媒体原反の裁断面形状測定法の概略説明図
、第７図（ａ）は実施例１で裁断された磁気記録媒体原
反の裁断面を、触針式形状測定機で測定した結果を示す
プロフィールであり、第７図（ｂ）は比較例１で裁断さ
れた磁気記録媒体原反の裁断面を、触針式形状測定機で
測定した結果を示すプロフィールである。 ４・・・基体、１４・・・強磁性金属薄膜層、１５．２
５・・・光吸収部、１６・・・磁気記録媒体原反、１７
・・・レーザ光線、２０・・・収束光、２３・・・裁断
面特許出願人　　日立マクセル株式会社 第１図 第２図 １６磁気記録媒体原反 第３図 （ａ） ２５裁断面 第４図 （ａ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、基体上に金属もしくはそれらの合金からなる強磁性
   金属薄膜層を設けるとともに強磁性金属薄膜層より光反
   射率が低い光吸収部を強磁性金属薄膜層と混在させて設
   け、レーザ光線を光吸収部に照射して所定の形状に裁断
   することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法