JPS63228551A - 陰極線管の磁界集束レンズ - Google Patents

陰極線管の磁界集束レンズ

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Publication number
JPS63228551A
JPS63228551A JP4764988A JP4764988A JPS63228551A JP S63228551 A JPS63228551 A JP S63228551A JP 4764988 A JP4764988 A JP 4764988A JP 4764988 A JP4764988 A JP 4764988A JP S63228551 A JPS63228551 A JP S63228551A
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JP
Japan
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magnetic field
cathode ray
focusing lens
ray tube
magnets
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JP4764988A
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Inventor
テーク・ヘリット・スパンイェル
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Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/46Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/58Arrangements for focusing or reflecting ray or beam
    • H01J29/64Magnetic lenses
    • H01J29/68Magnetic lenses using permanent magnets only

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は陰極線管に関連し、これは電子ビームを発生す
る少なくとも1つの電子銃と、電子ビームの偏向コイル
系と、電子ビームを集束する磁界を生成し、そして電子
ビームを取り巻きかつ磁界を発生する少なくとも実質的
に反対の磁気配向(magnetic orienta
tion)を存する2つの永久磁石からなる磁界集束レ
ンズを具え、この磁界が偏向の前に電子ビームの軸に少
なくとも実質的に同軸的な軸に対して少なくとも実質的
に対称的でありかつ磁界集束レンズを越えてお互いに減
衰している。
そのような陰極線管は、黒白テレビジョン、カラーテレ
ビジョン、投影テレビジョン、データ表示装置および陰
極線管が使用されている他の装置において使われている
冒頭の記事に記載された構造の陰極線管は米国特許明細
書第3387158号に開示されている。この構造では
表示スクリーン上にスポットを形成するために電子ビー
ムを集束する磁界集束レンズはその磁界が少なくとも実
質的に同一な2つのリング状同軸永久磁石から構成され
ている。この磁石は同軸的に磁化され、すなわち軸に平
行な磁化方向に磁化されている。この既知の構造におい
て、磁界集束レンズを越えて存在する上記のレンズの磁
界、すなわちレンズの漂遊磁界は、1つの単一磁石から
なる磁界集束レンズに対してかなり減少されている。
表示スクリーン上のスポットの寸法、従って鮮明度(d
efinition)は倍率によって決定される。
これを可能な限り小さくするために、レンズと表示スク
リーン間の距離であるスポット距離は可能な限り小さく
なくてはならない。偏向コイル系と表示スクリーンの間
の距離は固定されているから、従って偏向コイル系と磁
界集束レンズとの間の距離も可能な限り小さくなくては
ならない。しかし、磁界集束レンズを越えて存在する磁
界集束レンズの磁界、すなわち磁界集束レンズの漂遊磁
界と、電子ビームが偏向°されている空間(゛すなわち
偏向空間)の偏向コイル系の偏向磁界との重なりによっ
て画像偏向が生じている。特に言及しない限り、磁界集
束レンズは前部磁石および後部磁石(frontand
 rear magnet )の前面および後面によっ
てそれぞれ制限されていると考えられている。磁界集束
レンズの磁界と偏向コイル系の偏向磁界との重なり、従
ってそれによって生じた画像欠陥は磁界集束レンズと偏
向コイル系の間の距離が減少するにつれ、かつ漂遊磁界
が増大するにつれて増大する。従って偏向コイル側の磁
界集束レンズの漂遊磁界は、所与の画像欠陥に対して磁
界集束レンズと偏向コイル系の間の距離を効果的に減少
できるように、可能な限り減少されねばならない。
米国特許出願第3387158号で開示された構造の磁
界集束レンズの漂遊磁界は2つの永久磁石間の距離を減
少することにより減少できる。しかし、これはまたレン
ズ強度の減少という結果になる。
要求されたレンズの強度は電子銃とレンズの間の距離お
よびレンズと表示スクリーンとの間の距離、(対物とス
ポットの距離)、によって決定されるから、磁化の増大
によって生成されたレンズの増大された強度あるいは磁
石の寸法はレンズの強度のそのような減少に対して補償
するよう使われねばならぬであろう。
磁石の間の距離を減少する付加的な欠点は、上記の磁石
が磁石の減磁を妨げるように磁気的に硬い材料から作成
されねばならぬということである。
本発明の目的はレンズの強度を著しく減少すること無し
に偏向空間のレンズの漂遊磁界をかなり減少することで
ある。
本発明の基礎となる根本的な考えは、2つの異なる永久
磁石によって発生されている2つの本質的に非同−な磁
界から構成されている磁界集束レンズによってこの目的
が達成できることである。
冒頭の記事で述べられたタイプの陰極線管は、本発明に
よって、集束レンズの軸磁界がレンズの中心に対して本
質的に非対称であり、かつ電子ビームが集束レンズの他
の側の空間におけるよりも偏向コイル系の磁界によって
偏向されている空間で磁石の磁界がお°互いにもっと強
く減衰することを特徴としている。
本発明の重要な態様は、偏向空間のレンズの漂遊磁界が
これまで説明された磁界集束レンズの使用によってかな
り減少されるという事実に存在している。画像欠陥はレ
ンズの強度がかなり減少されること無しにかなり減少さ
れている。
一実施例は、偏向空間に最も近く存在する磁石の軸磁界
の絶対極値(absolute extremum )
が磁界集束レンズの内側の他の磁石の軸磁界の同符号の
極値と少なくとも実質的に一致していることを特徴とし
ている。磁石の磁界は可能な限り小さく磁気レンズ内で
お互いに中和している。
種々の画像欠陥を区別すべきである。すなわち生起する
第1の画像欠陥はコマである。この画像欠陥は電子ビー
ムが偏向磁界によって軸からそれて偏向され、同時に電
子ビームがまた磁界集束レンズの漂遊磁界によって集束
されることから生じている。
生起する第2の画像欠陥は画像回転である。これは移動
電子上のローレンツ力の結果として磁界集束レンズの漂
遊磁界がビームを回転させ、同時に上記のビームが既に
偏向されていることによって生成される。
別の実施例は磁石が実質的にコマを最小にするよう適応
されていることを特徴としている。
さらに別の実施例は磁石が実質的に画像回転を最小にす
るよう適応されていることを特徴としている。
実質的にコマを最小にし、従って画像鮮明度を実質的に
最適化する構造は高解像度データ表示に対し有利である
。実質的に画像回転を最小にする構造は画像表示を改善
する。
本発明の範囲内で、磁石はネック上あるいはネック内に
組立てられたあとで磁化されることが有利である。
その場所での(in 5itu )磁化の利点は、磁界
集束レンズの性質が磁石の磁化の選択によってアプリオ
リに制限されず、その結果、磁石の不変的組立て(pe
r、manent a、ssembly)のあとで、本
発明による陰極線管に遺している磁界集束レンズが形成
されるように磁石を磁化することが可能であるという点
である。磁石の少なくとも実質的に最適な磁化は実験的
に決められている。
本発明の少数の実施例を図面を参照して詳細に説明する
第1図は本発明による陰極線管、この場合は投影テレビ
ジョン管の一部分を切り欠いた斜視図である。本発明は
またカメラ、黒白テレビジョンおよびカラーテレビジボ
ン、データ表示装置、および陰極線管が使用されている
他の装置にも適用されよう。この管は表示管2を持つガ
ラス外囲器1、コーン3とネック4、電子ビーム6を発
生するために上記のネック4にある電子銃5を具えてい
る。
上記の電子ビーム6はスポット8を形成するよう表示ス
クリーン7上に集束されている。表示スクリーン7は表
示窓2の内側に備えられている。電子ビーム6は偏向コ
イル系9を用いて2つのお互いに垂直な方向X、yに表
示スクリーン7にわたって偏向されている。電子ビーム
6はネック4上に組立てられた2個の非同−磁石13と
14からなる磁界集束レンズ12によって集束されてい
る。
第2図は軸方向に磁化されたリング状永久磁石からなる
本発明によらない磁界集束レンズの断面図である。示さ
れた例は厚さD、内径R1、外径R2を有するリング状
磁石である。この例では磁石15の回転対称軸である対
称軸はZ軸に位置している。
また第2図は上記の磁石15の若干の磁力線16を示し
ている。この図と以下の図でt′!磁石の磁気配向は矢
印で示されている。軸2で回転する上記の磁石15の軸
磁界Hz (15)が第3図に示されている。
第4図はこの例では第2図に示された永久磁石15と同
一である2個の同一のリング状永久磁石1Bと19から
なる米国特許出願第3387158号に記載されたよう
なタイプの磁界集束レンズを示している。
上記のリング状磁石18.19は磁化の反対方向に同軸
的に位置決めされている。磁石18.19はそれらの北
極(N)と南極(Z)がお互いに反対に位置決めされて
いる。上記の磁界集束レンズ17の軸磁界Hz (17
)が実線によって第5図に示されている。
磁石18の軸磁界H−z(18)および磁石19の軸磁
界H2(19)は破線によって第5図に示されている。
単一リング状磁石からなる磁界集束レンズ15の軸磁界
とこの軸磁界とを比べると、磁界集束レンズ17の両側
の漂遊磁界が減少していることが分る。磁界集束レンズ
17を越える漂遊磁界は磁石18と19の間の距離を減
少することによってさらに減少できる。
しかしこれはまたレンズ17内の磁界の強度、従ってレ
ンズ17の強度が減少するという結果となる。
第6図は本発明による磁界集束レンズ20の断面図であ
る。上記の磁気レンズは磁化の反対方向に同軸的に位置
決めされた2個の非同−永久磁石21と22から構成さ
れている。この実施例およびさらなる実施例の各々に対
して、磁石はその北極(N)およびその南極(Z)の双
方に対しお互いに反対に位置決めされることが維持され
ている。この例では、磁石20は第2図の永久磁石15
と同じである。
磁石22は磁石21と同じ磁化を有し、この例では同じ
内径と外径を有している。この例では磁石の厚さは異な
っている。上記の磁気レンズの軸磁界H2(20)は実
線によって第7図に示されている。磁石21の軸磁界H
2(21)と磁石22の軸磁界Hz (22)もまた破
線によって第7図に示されている。この例では、軸磁界
H,(21)の絶対極値Aおよび軸磁界H2(22)の
磁界集束レンズの内側に位置する同じ符号の極値Bは少
なくとも実質的に一致している。
このように磁石の磁界は磁石間でお互いに可能な限り僅
かしか違わない。この図面の軸磁界の零を通る最後の径
路(last passage)はZoによって示され
ている。2つの同一磁石18と19で構成されている第
5図の既知の磁界集束レンズ17の軸磁界と比較すると
、漂遊磁界は一方の側で減少され、他方の側で増大され
ている。最大軸磁界は実質的に等しい。本発明において
、磁石22が偏向コイルから最も離れているように磁界
集束レンズ20が位置されているので、偏向空間内の漂
遊磁界は減少される。
第8.9.10図は磁石21と22の内径R1、外径R
2および磁化が異なっている磁界集束レンズ20の代案
の実施例を示して、いる。磁化の差は第10図中で・磁
力線16の異な番密度によって表わされている。
その1つが第11a図に示されている他の可能な実施例
は第6.8,9.10図に示された磁石間の2つあるい
はそれ以上の差の組合せによって形成され、これは内径
と外径、内径と厚さ、外径と厚さ、厚さと磁化等々の双
方が異なっていることを意味している。本発明による陰
極線管に適した磁界集束レンズは軸方向に磁化された磁
石あるいは矩形断面を有する磁石からなる磁界集束レン
ズに限定されない。異なる断面積を有するかあるいは異
なる磁化を有する磁石もまたこれまで説明されたような
磁界集束レンズとして適していよう。これらの磁界集束
レンズは回転対称設計にも限定されない。
第11b、 llc、 lid、 llc図は他の若干
の可能な実施例を示している。第11b図は2個の非同
−トロイダル磁石21と22からなる磁界集束レンズの
断面図である。第11c図は2個の部分的に軸方向に、
および部分的に半径方向に磁化された非同−磁石21と
22からなる磁界集束レンズ20の断面図である。
第1id図は2個の半径方向に磁化された非同−磁石2
1と22からなる磁界集束レンズ20の断面図である。
第1ie図は対称軸2を有する2個の非同−1非回転対
称磁石21と22からなる磁界集束レンズの部分的斜視
図である。
本発明によって実現できるところの、偏向空間中の漂遊
磁界の減少、画像欠陥の関連する減少、さらに特定する
とコマと画像回転を若干の例を参照して詳細に説明する
2つの画像欠陥は磁界集束レンズの漂遊磁界と偏向コイ
ル系の偏向磁界との重なりから生じる。
生起する第1の画像欠陥はコマである。この欠陥は偏向
空間中の漂遊磁界のレンズ強度によって決められる。上
記のレンズ強度は第1近似として偏向空間の2軸にわた
って積分された軸磁界強度の自乗に比例する。
JHz”dz 偏向空間 そのような積分は今後Lcによって示される。
生起する第2の画像欠陥は画像回転である。この画像回
転は漂遊磁界の結果としてのビーム回転によって生じる
。上記のビーム回転は偏向空間の2軸にわたって積分さ
れた軸磁界強度に比例している。
JH2dz 偏向空間 に比例する。この積分は今後りと示される。
そこでこれらの積分は全強度、コマおよびレンズの画像
回転を決定する。第12b、 13b、 14b図に示
された若干のレンズのコマと画像回転が比較されている
以下の例において、とりわけ言われない限り、偏向空間
は第12b、 13b図に示された点Fで始まり、上記
の点はすべてのレンズに対して同一であることが仮定さ
れている。これはレンズが偏向コイル系から同じ距離に
位置され、かつ偏向空間が第7図に示された点Z0の近
くで始まるようになっている状態に対応している。
第12a、 13a、 14a図では、L、 Ej/L
およびLc/Lが第12b、 13b、 14b図に示
されたように3つの異なる磁気レンズ23.24および
25に対して示されており、それらはそれぞれ、第12
a図の2個の同一磁石26と27の間の距離Zの関数と
して、第13a図の磁石28の厚さSの関数として、そ
して第14a図の磁石29の内径R1の関数として示さ
れている。
これらの図面中の破線はLに対して値2、B/Lに対し
て値0.1 、t、c /l、に対して値0.01を示
している。
磁石26と28の間の距離および磁石26と29の間の
距離それぞれは、磁石28と29の軸磁界の絶対極値が
それぞれ磁気レンズ内の磁石26の軸磁界の同符号の極
値に少なくとも実質的に等しいように選ばれている。従
ってこれらの例の磁石間の距離は磁石26の軸磁界の最
大と最小の間の距離に等しい。
B/LとLc/LはSあるいはRの関数として最小値を
示す。等しいLによって、上記の最小値は第12a図と
第13a図および第14a図の比較から明かなよう憾2
個の同一磁石からなる磁界集束レンズの値より数倍小−
さい。本発明の構造によると、コマと画像回転はレンズ
強度をかなり減少すること無(既知の構造に比べてかな
りの程度減少できる。画像欠陥のこの減少は1つの磁石
の外径あるい、、は磁化を変えることにより、あるいは
2個の磁石間の差の組合せを選ぶことにより達成できる
非矩形断面を有する磁石を選ぶこともまた可能である。
既知の磁気レンズの同−磁石間の差の減少は、磁石の減
磁を妨げるよう上記の磁石が磁気的に硬く作られねばな
らぬという付加的な欠陥を有している。
実質的にコマを最小にし、従って画像鮮明度を実質的に
最適化する構造は本発明による磁界集束レンズによって
可能である。第13a図および第14a図においてこれ
は本質的にLC/Lの最小値に対応している。そのよう
な構造は高解像度データ表に不利である。画像回転は実
質的に最小にする構造は本発明による磁界集束レンズに
よってまた可能である。画像回転は望ましくないから、
これは画像表示を改善する。第13a図および第14a
図においてこれは実質的にB/Lの最小値に対応してい
る。表示スクリーン上で実質的に最適な表示を得るため
に上記のエラーの組合せを実質的に最小にする構造もま
た可能である。SあるいはRの実質的に最適な選択は一
般的にLc/LおよびB/Lの最小値によって示された
領域、あるいはそのすぐ近くの領域に存在するであろう
レンズ強度は一般的に電子銃とレンズの間の距離、およ
びレンズと表示スクリーンの間の距離によって決められ
る。当業者は所与のレンズ強度がコマ、あるいは画像回
転、あるいは磁性材料の全量あるいは磁石間の最小距離
あるいは上記の性質の組合せを実質的に最適化するよう
な本発明による磁界集束レンズの構造を選ぶことができ
る。上記の異なる規準を満足する磁界集束レンズを設計
するために本発明によって当業者にもたらされた可能性
は本発明の重要な利点である。
第15図は陰極線管のネック4の断面図であって、ここ
で本発明に従いかつ2個の非同−磁石31と32からな
る磁石集束レンズが結合されている。
第16図は陰極線管のネック4の断面図であって、ここ
で本発明によりかつ2個の非同−磁石34と35からな
る磁界集束レンズが結合されている。
この磁石は、多分実験的に確定されるような表示スクリ
ーン上の最適表示を得るために、例えば磁石31と32
の間あるいは磁石34と35の間の距離が変化できるよ
うにすることおよび/またはレンズと偏向コイル系36
の間の距離が変化できるようにする手段を具えてもよい
。これらの手段はエレメント37と38によって第15
図と第16図に線図的に示されている。例えば、もし磁
界集束レンズの磁石の形状と磁化がアプリすりに規定さ
れるなら、磁石の相互位置および/または偏向コイルに
対するそれらの位置をコマあるいは画像回転あるいはこ
れらの特性の組合せが最小になるような態様で設定する
ことは可能である。
磁石の同軸配列を簡単化するために、双方の磁石は実質
的な同軸配列を可能にするエレメント39と40よって
第15図および第16図に線図的に示された手段を具え
てもよい。実質的に同軸でない磁石の配列は表示欠陥と
なろう。双方の磁石は例えば実質的に同一内径および/
または外径を具えてもよく、その場合、もしネックの内
側の直径あるいは外側の直径が正確に作られているなら
、簡単な態様で外囲器のネック上あるいはネック内で磁
石は実質的に同軸的に配列することができる。
半径方向の磁界集束レンズの漂遊磁界を遮蔽するために
、磁気遮蔽箱41と42がそれぞれ備えられよう。
磁石はネックに備えられる前に、あるいはその間に、あ
るいはそのあとのいずれがで磁化されよう。既に予@l
化された磁石の使用は上記の磁石のその場所での磁化よ
り簡単である。しがしその場所での磁化は磁界集束レン
ズの特性が磁石の磁化の選択によってアプリオリに制限
されないという利点を有している。例えば、もし磁界集
束レンズの磁石の1つが一定磁化を有するなら、コマ、
あるいは画像回転、あるいはこれらの特性の組合せが最
小になるような態様で他の磁石をその場所で磁化する。
ことが可能である。
(要 約) 陰極線管が表示窓2、コーン3およびネック4からなる
外囲器1中に、電子ビーム6を発生する上記のネック4
中の電子銃5を具えている。電子ビーム6はネック4に
組み立てられている2個の非同−磁石13および14か
らなる磁界集束レンズ12によって集束されている。上
記の磁界集束レンズの磁界はレンズの中心に対して本質
的に非対称であり、かつ磁石の磁界は電子ビームが偏向
されている空間で集束レンズの他の側よりももっと強く
お互いに減衰している。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による陰極線管の一部を切り欠いした斜
視図であり、 第2図は軸方向に磁化されたリング状永久磁石からなる
磁界集束レンズの断面図であり、第3図は第2図に示さ
れた磁界集束レンズの軸磁界を示し、 第4図は軸方向に磁化されかつ磁化の反対方向で位置決
めされた2つの同一リング状永久磁石からなる磁界集束
レンズの断面図であり、第5図は第4図に示された磁界
集束レンズの軸磁界を示し、 第6図は本発明による陰極線管に適合する磁界集束レン
ズの断面図であり、 第7図は第6図に示された磁界集束レンズの軸磁界を示
し、 第8.9.10およびlla、 llb、 Llc、 
lla図は本発明による陰極線管に適合する磁界集束レ
ンズの別の実施例の断面図であり、 第1ie図は本発明による陰極線管に適合した磁界集束
レンズの部分斜視図であり、 第12a図は全レンズ強度、ビーム回転、および2つの
同一永久磁石からなる磁界集束レンズの漂遊磁界のレン
ズ強度を相互距離の関数として示し、第12b図は第1
2a図に対応する磁気レンズの断面図であり、 第13a図は全レンズ強度、ビーム回転、および2つの
非同−磁石からなる磁界集束レンズの漂遊磁界のレンズ
強度を1つの磁石の内径の関数として示し、 第13b図は第13a図に対応する磁気レンズの断面図
であり、 第14a図は全レンズ強度、ビーム回転、および2つの
非同−磁石からなる磁界集束レンズの漂遊磁界のレンズ
強度を1つの磁石の厚さの関数として示し、 第14b図は第14a図に対応する磁気レンズの断面図
であり、 第15図は陰極線管のネック上に組み立てられた磁界集
束レンズを示し、 第16図は陰極線管のネック内に組み立てられた磁界集
束レンズを示している。 1・・・ガラス外囲器  2・・・表示窓3・・・コー
ン     4・・・ネック5・・・電子銃     
6・・・電子ビーム7・・・表示スクリーン 8・・・スポット    9・・・偏向コイル系10・
・・ベース     エト・・接続12・・・磁界集束
レンズ 13、14・・・非同−磁石 15・・・リング状永久磁石 16・・・磁力線     17・・・磁界集束レンズ
18、19・・・同一リング状磁石 20・・・磁界集束レンズ 21、22・・・非同−永久磁石 23、24.25・・・磁気レンズ 26、27・・・同一磁石  28.29・・・磁石3
0・・・磁界集束レンズ 31、32・・・非同−磁石 34、35・・・非同−磁石 36・・・偏向コイル系 37、38・・・エレメント 39、40・・・エレメント 41、42・・・磁気遮蔽箱 特許出願人   エヌ・ベー・フィリップス・フルーイ
ランベンファプリケン 1゛ □ i 内 Flo 6

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、陰極線管であって、電子ビームを発生する少なくと
    も1つの電子銃と、電子ビームの偏向コイル系と、電子
    ビームを集束する磁界を生成し、そして電子ビームを取
    り巻きかつ磁界を発生する少なくとも実質的に反対の磁
    気配向を有する2つの永久磁石からなる磁界集束レンズ
    を具え、概磁界が偏向の前に電子ビームの軸に少なくと
    も実質的に同軸的な軸に対して少なくとも実質的に対称
    的でありかつ磁界集束レンズを越えてお互いに減衰する
    ものにおいて、 集束レンズの軸磁界がレンズの中心に対し て本質的に非対称であり、かつ電子ビームが集束レンズ
    の他の側の空間におけるよりも偏向コイル系の磁界によ
    って偏向されている空間で磁石の磁界がお互いにもっと
    強く減衰することを特徴とする陰極線管。 2、偏向空間に最も近い磁石の軸磁界の絶対極値が磁界
    集束レンズの内側の他の磁石の軸磁界の同符号の極値と
    少なくとも実質的に一致していることを特徴とする請求
    項1記載の陰極線管。 3、磁石が実質的にコマを最小にするよう適応されてい
    ることを特徴とする請求項1もしくは2記載の陰極線管
    。 4、磁石が実質的に画像回転を最小にするよう適応され
    ていることを特徴とする請求項1もしくは2記載の陰極
    線管。 5、請求項1ないし4のいずれか1つに記載の陰極線管
    を具えるデバイス。 6、陰極線管のネック上あるいはネック内に組み立てら
    れたあとで永久磁石がその場所で磁化されることを特徴
    とする請求項1ないし5のいずれか1つに記載の陰極線
    管の製造方法。
JP4764988A 1987-03-05 1988-03-02 陰極線管の磁界集束レンズ Pending JPS63228551A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NL8700528 1987-03-05
NL8700528A NL8700528A (nl) 1987-03-05 1987-03-05 Magnetische focusseerlens voor een kathodestraalbuis.

Publications (1)

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JPS63228551A true JPS63228551A (ja) 1988-09-22

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ID=19849657

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JP2010245520A (ja) * 2009-03-19 2010-10-28 Hitachi Metals Ltd 磁場発生装置
KR20200067754A (ko) * 2018-12-04 2020-06-12 가부시키가이샤 뉴플레어 테크놀로지 멀티 전자 빔 검사 장치

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EP0281190A1 (en) 1988-09-07
DE3866260D1 (de) 1992-01-02
EP0281190B1 (en) 1991-11-21
NL8700528A (nl) 1988-10-03

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