JPS63210666A - 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 - Google Patents
流速センサ及びそれを用いた流速測定装置Info
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- JPS63210666A JPS63210666A JP62044440A JP4444087A JPS63210666A JP S63210666 A JPS63210666 A JP S63210666A JP 62044440 A JP62044440 A JP 62044440A JP 4444087 A JP4444087 A JP 4444087A JP S63210666 A JPS63210666 A JP S63210666A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 11
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 claims description 10
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 206010037651 Pyometra Diseases 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 201000002765 pyometritis Diseases 0.000 description 1
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- Measuring Volume Flow (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は流速感知部の構造に特徴を有する無指向性の流
速センサ及びその流速センサを用いた流速測定装置に関
するものである。
速センサ及びその流速センサを用いた流速測定装置に関
するものである。
第６図は従来の無指向性の球状の流速センサ１の一例を
示すものである。本図に示すように従来の流速センサ１
はアルミニウムの球体２とその内部に固定されたガラス
管３及びガラス管３に保持されて球体２の中心に位置す
る極細の白金抵抗体４が設けられている。白金抵抗体４
は正の温度特性を有するものであって、耐熱性と安定度
の点から温度センサとして多く用いられている。白金抵
抗体４の両端には被覆リード線５ａ、５ｂが接続され、
球体２の表面部分で接着剤６によって固定されている。
示すものである。本図に示すように従来の流速センサ１
はアルミニウムの球体２とその内部に固定されたガラス
管３及びガラス管３に保持されて球体２の中心に位置す
る極細の白金抵抗体４が設けられている。白金抵抗体４
は正の温度特性を有するものであって、耐熱性と安定度
の点から温度センサとして多く用いられている。白金抵
抗体４の両端には被覆リード線５ａ、５ｂが接続され、
球体２の表面部分で接着剤６によって固定されている。
このような白金抵抗体４を用いた流速センサ１によって
例えば定温度型の流速計を構成する場合には、白金抵抗
体４と固定抵抗によりブリッジ回路を形成する。このブ
リッジ回路の一対の端子間の電位差を帰還電流として供
給する帰還増幅器を接続することによりブリッジを平衡
に保つようにしている。そして流体が流速センサ１の周
囲を流れ球体２を介して白金抵抗体４の温度が変化する
と、その温度変化を補償するような電流がブリッジ回路
に流れてブリッジトップ電圧が変化するため、帰還増幅
器の出力に基づいて流体の流速を測定することができる
。
例えば定温度型の流速計を構成する場合には、白金抵抗
体４と固定抵抗によりブリッジ回路を形成する。このブ
リッジ回路の一対の端子間の電位差を帰還電流として供
給する帰還増幅器を接続することによりブリッジを平衡
に保つようにしている。そして流体が流速センサ１の周
囲を流れ球体２を介して白金抵抗体４の温度が変化する
と、その温度変化を補償するような電流がブリッジ回路
に流れてブリッジトップ電圧が変化するため、帰還増幅
器の出力に基づいて流体の流速を測定することができる
。
又他の流速センサとしては正の温度特性を有するサーミ
スタを用いた流速センサが提案されている（特公昭４９
−３８７０号）。
スタを用いた流速センサが提案されている（特公昭４９
−３８７０号）。
このような従来の流速センサ及びその流速センサを用い
た流速測定装置では、無指向性とするために温度センサ
である白金抵抗体４は球体２によって被われている。そ
のため球体２の熱容量が無視できず、球体２の表面の温
度変化が白金抵抗体４に伝播するのに時間がかかるため
応答速度が遅いという問題があった。
た流速測定装置では、無指向性とするために温度センサ
である白金抵抗体４は球体２によって被われている。そ
のため球体２の熱容量が無視できず、球体２の表面の温
度変化が白金抵抗体４に伝播するのに時間がかかるため
応答速度が遅いという問題があった。
又球体表面の一定方向からの流体の流速を検出する場合
には球体の表面に温度分布が生じることがあり、白金抵
抗体の抵抗値が風速に対応して変化せず流体の正確な流
速が測定できなくなる恐れがあるという問題点があった
。
には球体の表面に温度分布が生じることがあり、白金抵
抗体の抵抗値が風速に対応して変化せず流体の正確な流
速が測定できなくなる恐れがあるという問題点があった
。
又正特性サーミスタを用いた流速センサによれば、サー
ミスタはビード型であるため抵抗値が大きく、その温度
を上昇させるために大きな電力を要するという欠点があ
った。又白金抵抗体と同様に球体内に保持する場合には
、温度分布が一様にならないという欠点もあった。
ミスタはビード型であるため抵抗値が大きく、その温度
を上昇させるために大きな電力を要するという欠点があ
った。又白金抵抗体と同様に球体内に保持する場合には
、温度分布が一様にならないという欠点もあった。
本発明はこのような従来の流速センサ及びその流速セン
サを用いた流速測定装置の問題点に鑑みてなされたもの
であって、流速測定の応答速度が速く、流速を指向性な
く高精度で測定できるようにすることを技術的課題とす
る。
サを用いた流速測定装置の問題点に鑑みてなされたもの
であって、流速測定の応答速度が速く、流速を指向性な
く高精度で測定できるようにすることを技術的課題とす
る。
本願の第１の発明は流体の流速を測定する球状の流速セ
ンサであって、第１図に示すように、球状の電気絶縁体
と、電気絶縁体の表面に形成された第１の薄膜電極と、
第１の薄膜電極の表面に均一に形成され、正の温度特性
を有する薄膜のサーミスタと、サーミスタの表面に形成
された第２の薄膜電極と、を具備することを特徴とする
ものである。又本願の第２の発明はその流速センサを用
いた流速測定装置であって、第４図に示すように、球状
の電気絶縁体、該電気絶縁体の表面に形成された第１の
薄膜電極、該第１の薄膜電極の表面に均一に形成され、
正の温度特性を有する薄膜のサーミスタ、及び該サーミ
スタの外側に形成された第２の薄膜電極が設けられた流
速センサを一辺に有するブリッジ回路と、ブリッジ回路
の一対の端子が入力端に接続され、ブリッジ回路に帰還
電流を供給することによりブリッジを平衡に保つ帰還増
幅器と、を具備し、帰還増幅器の出力に基づいて流速セ
ンサを通過する流体の流速を検出することを特徴とする
ものである。
ンサであって、第１図に示すように、球状の電気絶縁体
と、電気絶縁体の表面に形成された第１の薄膜電極と、
第１の薄膜電極の表面に均一に形成され、正の温度特性
を有する薄膜のサーミスタと、サーミスタの表面に形成
された第２の薄膜電極と、を具備することを特徴とする
ものである。又本願の第２の発明はその流速センサを用
いた流速測定装置であって、第４図に示すように、球状
の電気絶縁体、該電気絶縁体の表面に形成された第１の
薄膜電極、該第１の薄膜電極の表面に均一に形成され、
正の温度特性を有する薄膜のサーミスタ、及び該サーミ
スタの外側に形成された第２の薄膜電極が設けられた流
速センサを一辺に有するブリッジ回路と、ブリッジ回路
の一対の端子が入力端に接続され、ブリッジ回路に帰還
電流を供給することによりブリッジを平衡に保つ帰還増
幅器と、を具備し、帰還増幅器の出力に基づいて流速セ
ンサを通過する流体の流速を検出することを特徴とする
ものである。
このような特徴を有する本願の第１発明による流速セン
サは球状に構成されており、正の温度特性を有するサー
ミスタが第１．第２の薄膜電極に囲まれて薄く構成され
る。従って流体との接触面積が大きく流体と薄膜電極を
介して接触するため、表面に温度分布が生じることがな
く流速を高感度で検知することができる。
サは球状に構成されており、正の温度特性を有するサー
ミスタが第１．第２の薄膜電極に囲まれて薄く構成され
る。従って流体との接触面積が大きく流体と薄膜電極を
介して接触するため、表面に温度分布が生じることがな
く流速を高感度で検知することができる。
又本願の第２発明によれば、このように構成された球体
の流速センサをブリッジ回路の一辺に設けてそのブリッ
ジを平衡させるようにしている。
の流速センサをブリッジ回路の一辺に設けてそのブリッ
ジを平衡させるようにしている。
そのためサーミスタを定温度に保つようにした帰還増幅
器の出力によって流速を検出することができる。
器の出力によって流速を検出することができる。
（第１発明の詳細な説明）
第１図は本願の第１の発明による球体の風速センサの一
実施例を示す断面図である。本図において風速センサ１
０は、風速センサ自体を保持する球状の電気絶縁体１１
を有している。電気絶縁体１１の全表面には第１の薄膜
電極１２が均一に形成され、その一部を除く全表面に正
の温度係数を存する薄膜のＰ Ｔ Ｃ（Ｐｏｓｉｔｉｖ
ｅ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ
）サーミスタ１３が形成される。電気絶縁体１１はＰＴ
Ｃサーミスタ１３と実質的に同一の体膨脹率を有するも
のを選択することによりその膨張によってＰＴＣサーミ
スタ１３を破壊しないようにすることが好ましく、例え
ばセラミック材料を用いるものとする。ＰＴＣサーミス
タ１３の表面には更に第２の薄膜電極１４を形成する。
実施例を示す断面図である。本図において風速センサ１
０は、風速センサ自体を保持する球状の電気絶縁体１１
を有している。電気絶縁体１１の全表面には第１の薄膜
電極１２が均一に形成され、その一部を除く全表面に正
の温度係数を存する薄膜のＰ Ｔ Ｃ（Ｐｏｓｉｔｉｖ
ｅ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ
）サーミスタ１３が形成される。電気絶縁体１１はＰＴ
Ｃサーミスタ１３と実質的に同一の体膨脹率を有するも
のを選択することによりその膨張によってＰＴＣサーミ
スタ１３を破壊しないようにすることが好ましく、例え
ばセラミック材料を用いるものとする。ＰＴＣサーミス
タ１３の表面には更に第２の薄膜電極１４を形成する。
そして第１．２の薄膜電極１２．１４に夫々電極リード
線１５ａ、１５ｂを接続して風速センサ１０を構成する
。ここでＰＴＣサーミスタ１３の抵抗値Ｒ１とＰＴＣサ
ーミスタ１３の温度Ｔｗとの間には以下の関係が成り立
っている。
線１５ａ、１５ｂを接続して風速センサ１０を構成する
。ここでＰＴＣサーミスタ１３の抵抗値Ｒ１とＰＴＣサ
ーミスタ１３の温度Ｔｗとの間には以下の関係が成り立
っている。
Ｒ１＝−αｅｘｐ（Ａ（Ｔｗ−Ｔｃ）） −−−−
−−−（１１＝ Ｒｃ ｅｘｐ （Ａ（Ｔｗ−Ｔｃ））
ｔ ：ＰＴＣサーミスター３の厚み（ｍｍ）ｒ ：
ＰＴＣサーミスター３の半径（ｍｍ）α ：定数 Ｔｗ ： ＰＴＣサーミスター３の温度（”Ｃ）Ｔｃ：
ＰＴＣサーミスター３のキュリ一温度（”Ｃ） Ａ ：定数 例えば０．０９２３５ このようにＰＴＣサーミスター３の抵抗値Ｒ１はその温
度Ｔｗによって変化する。第２図はその一例を示すもの
であって、キュリ一温度Ｔｃ （この場合には約８２
℃）以上では指数的に抵抗値が上昇している。このよう
にＰＴＣサーミスター３の温度Ｔｗが定まると、弐（１
）に基づいてその抵抗値Ｒ１が定まる。ここでＰＴＣサ
ーミスター３に電流を流す場合にはその抵抗値Ｒ１とＰ
ＴＣサーミスター３に流れる電流１（Ａ）、風速ｕ（ｍ
／５ｅｃ）との間に、クラマーによって示された以下の
式が成立つ。
−−−（１１＝ Ｒｃ ｅｘｐ （Ａ（Ｔｗ−Ｔｃ））
ｔ ：ＰＴＣサーミスター３の厚み（ｍｍ）ｒ ：
ＰＴＣサーミスター３の半径（ｍｍ）α ：定数 Ｔｗ ： ＰＴＣサーミスター３の温度（”Ｃ）Ｔｃ：
ＰＴＣサーミスター３のキュリ一温度（”Ｃ） Ａ ：定数 例えば０．０９２３５ このようにＰＴＣサーミスター３の抵抗値Ｒ１はその温
度Ｔｗによって変化する。第２図はその一例を示すもの
であって、キュリ一温度Ｔｃ （この場合には約８２
℃）以上では指数的に抵抗値が上昇している。このよう
にＰＴＣサーミスター３の温度Ｔｗが定まると、弐（１
）に基づいてその抵抗値Ｒ１が定まる。ここでＰＴＣサ
ーミスター３に電流を流す場合にはその抵抗値Ｒ１とＰ
ＴＣサーミスター３に流れる電流１（Ａ）、風速ｕ（ｍ
／５ｅｃ）との間に、クラマーによって示された以下の
式が成立つ。
Ｉ”ｘＲ１＝ （Ｂ ｕ’＋ Ｃ）ｘ （Ｔｗ−Ｔａ）
−−−−−−（２）Ｔａは雰囲気温度、例えば２８℃
であり、定数日。
−−−−−−（２）Ｔａは雰囲気温度、例えば２８℃
であり、定数日。
Ｃは熱放散係数であり、ＰＴＣサーミスタ１３の大きさ
や形状によって定まる定数、ｎは定数（通常２）である
。
や形状によって定まる定数、ｎは定数（通常２）である
。
従って例えば第３図に示すように定電圧源１６によって
風速計１０のＰＴＣサーミスタ１３に一定電圧Ｖを印加
し、そこに流れる電流を電流計１７によって検出するこ
とによりＰＴＣサーミスタ１３の抵抗変化より風速値を
測定することができる。
風速計１０のＰＴＣサーミスタ１３に一定電圧Ｖを印加
し、そこに流れる電流を電流計１７によって検出するこ
とによりＰＴＣサーミスタ１３の抵抗変化より風速値を
測定することができる。
即ち風速値Ｕが０のときのＰＴＣサーミスタ１３の抵抗
値をＲ１゜、その温度をＴｗ。、とすると、そのときに
流れる電流を１０として次式が成り立つ。
値をＲ１゜、その温度をＴｗ。、とすると、そのときに
流れる電流を１０として次式が成り立つ。
１ｏ”Ｒ１ｏ＝Ｃ（Ｔｗ−Ｔａ） −−−−−−（３
）、：、、：、でＲ１・Ｉ ＝Ｖ、Ｒ１ｏ・ｌ０＝Ｖ
Ｏとすると、式（２１，＋３１より 但しΔＴ＝Ｔ袈−Ｔ−０．Ｖ＝Ｖ。
）、：、、：、でＲ１・Ｉ ＝Ｖ、Ｒ１ｏ・ｌ０＝Ｖ
Ｏとすると、式（２１，＋３１より 但しΔＴ＝Ｔ袈−Ｔ−０．Ｖ＝Ｖ。
Ｉ Ｖ ／ ＲＲ。
■。 Ｖ／Ｒ，Ｒ
さてＰＴＣサーミスタ１３の温度と常温との差Ｔｗｏ−
Ｔａを１００℃、計数Ａを０．１． Ｂ／Ｃを０．２
、ｎをＡとすると、各値は例えば次の表のように示され
る。
Ｔａを１００℃、計数Ａを０．１． Ｂ／Ｃを０．２
、ｎをＡとすると、各値は例えば次の表のように示され
る。
表
この表より知られるように風速値Ｕが低ければΔＴは比
較的小さな値であるためほぼ定温度であり、ΔＴ ＜
＜ Ｔｗｏ −Ｔａならば以下の式が成り立つ。
較的小さな値であるためほぼ定温度であり、ΔＴ ＜
＜ Ｔｗｏ −Ｔａならば以下の式が成り立つ。
Ｉ ”−Ｉｏ（１＋Ｂ／Ｃ−ｕ’″ ）このようにして
電流値Ｉから風速値Ｕを求めることができる。このよう
に定電圧方式ではＰＴＣサーミスタ１３は金属の薄膜電
極Ｉ４により被われているが、外界の影響を受は易いの
で風速によって敏感に抵抗値が変化する。従って極めて
容易な回路構成で高感度で風速を測定することが可能で
ある。
電流値Ｉから風速値Ｕを求めることができる。このよう
に定電圧方式ではＰＴＣサーミスタ１３は金属の薄膜電
極Ｉ４により被われているが、外界の影響を受は易いの
で風速によって敏感に抵抗値が変化する。従って極めて
容易な回路構成で高感度で風速を測定することが可能で
ある。
（第２発明の実施例の構成）
第４図は本願の第２の発明による風速測定装置の一実施
例を示す回路図である。本図において風速測定装置は前
述した第１発明の実施例による風速センサ１０のＰＴＣ
サーミスタ１３と固定抵抗Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４を組合わせ
たブリッジ回路２０を有している。このブリッジ回路２
０のうち抵抗Ｒ２とサーミスタ１３の中点をａ、抵抗Ｒ
３，Ｒ４の中点をｂとし、中点ａ、ｂを夫々演算増幅器
２１の反転入力端子及び非反転入力端子に接続する。演
算増幅器２１はその間の電位差を増幅するものであって
、その出力をブリッジ回路２０の抵抗Ｒ２，Ｒ３の接続
点Ｃに与えてフィードバックループを構成している。又
演算増幅器２１の出力は電圧計２２にも与えられる。本
実施例では固定抵抗Ｒ２を２０Ω、Ｒ３を３００Ω、Ｒ
４を１５１５Ωとしている。
例を示す回路図である。本図において風速測定装置は前
述した第１発明の実施例による風速センサ１０のＰＴＣ
サーミスタ１３と固定抵抗Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４を組合わせ
たブリッジ回路２０を有している。このブリッジ回路２
０のうち抵抗Ｒ２とサーミスタ１３の中点をａ、抵抗Ｒ
３，Ｒ４の中点をｂとし、中点ａ、ｂを夫々演算増幅器
２１の反転入力端子及び非反転入力端子に接続する。演
算増幅器２１はその間の電位差を増幅するものであって
、その出力をブリッジ回路２０の抵抗Ｒ２，Ｒ３の接続
点Ｃに与えてフィードバックループを構成している。又
演算増幅器２１の出力は電圧計２２にも与えられる。本
実施例では固定抵抗Ｒ２を２０Ω、Ｒ３を３００Ω、Ｒ
４を１５１５Ωとしている。
（動作）
次に本実施例による風速測定装置の動作について説明す
る。本発明の風速測定装置はＰＴＣサーミスタの温度１
３の温度を常に一定に保つように制御する定温度型の風
速測定装置であって、その操作量に基づいて風速を測定
するようにしている。
る。本発明の風速測定装置はＰＴＣサーミスタの温度１
３の温度を常に一定に保つように制御する定温度型の風
速測定装置であって、その操作量に基づいて風速を測定
するようにしている。
無風状態ではＰＴＣサーミスタ１３は式（２）によって
定まる一定の温度に保たれている。即ち演算増幅器２１
によってブリッジ回路２０の中点ａ、 ｂの電圧が等
しくなるようにフィードバック電流が供給されるため、
定常状態では次式が成立している。
定まる一定の温度に保たれている。即ち演算増幅器２１
によってブリッジ回路２０の中点ａ、 ｂの電圧が等
しくなるようにフィードバック電流が供給されるため、
定常状態では次式が成立している。
Ｒ１・Ｒ３＝Ｒ２・Ｒ４・・・−−−−（５）このよう
にＰＴＣサーミスタ１３の抵抗値Ｒ１゜それに流れる電
流■１が定まると、（１）式に従ってＰＴＣサーミスタ
１３の温度Ｔｗが定まる。この温度Ｔｗは常温より充分
高い温度、例えば９０℃に設定しておくものとする。
にＰＴＣサーミスタ１３の抵抗値Ｒ１゜それに流れる電
流■１が定まると、（１）式に従ってＰＴＣサーミスタ
１３の温度Ｔｗが定まる。この温度Ｔｗは常温より充分
高い温度、例えば９０℃に設定しておくものとする。
そして風速センサ１０が非測定領域に配置され風が風速
センサ１０に当たった場合には、風速センサｌＯの表面
が冷却されＰＴＣサーミスタ１３の温度Ｔｗが低下する
ため、その抵抗値Ｒ１も式（１）に従って低下する。こ
のときブリッジ回路２０の中点ａ、ｂ間に電位差が生じ
るので、帰還増幅器２１のフィードバックループに流れ
る電流１１が大きくなりブリッジ回路２０は新たな平衡
に達する。このように風速Ｕと接続点Ｃのブリッジトッ
プ電圧Ｅとは１対１に対応するため、電圧計２２の電圧
値に基づいて風速Ｕを求めることができる。第５図は風
速測定装置によって得られたブリッジトップ電圧Ｅ （
Ｖ）と風速ｕ（ｍ／５ｅｃ）の関係の一例を示すグラフ
である。
センサ１０に当たった場合には、風速センサｌＯの表面
が冷却されＰＴＣサーミスタ１３の温度Ｔｗが低下する
ため、その抵抗値Ｒ１も式（１）に従って低下する。こ
のときブリッジ回路２０の中点ａ、ｂ間に電位差が生じ
るので、帰還増幅器２１のフィードバックループに流れ
る電流１１が大きくなりブリッジ回路２０は新たな平衡
に達する。このように風速Ｕと接続点Ｃのブリッジトッ
プ電圧Ｅとは１対１に対応するため、電圧計２２の電圧
値に基づいて風速Ｕを求めることができる。第５図は風
速測定装置によって得られたブリッジトップ電圧Ｅ （
Ｖ）と風速ｕ（ｍ／５ｅｃ）の関係の一例を示すグラフ
である。
このように本実施例による風速測定装置は応答性が速く
第５図に示すように低風速における分解能が大きいので
、低風速における風速計として用いることが有効である
。
第５図に示すように低風速における分解能が大きいので
、低風速における風速計として用いることが有効である
。
尚上述した各実施例は気体の流速を測定する流速センサ
及びその流速測定装置について説明したが、本願の流速
センサ及びその流速測定装置は液体の流速測定に適用す
ることができることはいうまでもない。
及びその流速測定装置について説明したが、本願の流速
センサ及びその流速測定装置は液体の流速測定に適用す
ることができることはいうまでもない。
このように本願の第１の発明によれば、金属薄膜を介し
て球体表面に正の温度係数を有するサーミスタが設けら
れている。従ってサーミスタは流体の影響を受は易くサ
ーミスタが高温に保たれている場合には、流速の変化に
よって短時間でサーミスタの抵抗が変化する。従って応
答速度の速い流速センサを得ることができる。
て球体表面に正の温度係数を有するサーミスタが設けら
れている。従ってサーミスタは流体の影響を受は易くサ
ーミスタが高温に保たれている場合には、流速の変化に
よって短時間でサーミスタの抵抗が変化する。従って応
答速度の速い流速センサを得ることができる。
又本願の第２の発明による流速測定装置では、ブリッジ
回路と帰還増幅器を用いてブリッジ回路の−辺に接続さ
れた流速センサの温度を一定に保つようにしているため
、流速センサが流速の影響を受けて敏感に抵抗値が変化
する。従ってその帰還電流に基づいて高感度で流速の変
化を検出することができる。又サーミスタには温度分布
が生じることがなくそれに基づく測定誤差を生じる恐れ
もない。そのため高感度の無指向性の流速センサ及び流
速測定装置とすることができる。
回路と帰還増幅器を用いてブリッジ回路の−辺に接続さ
れた流速センサの温度を一定に保つようにしているため
、流速センサが流速の影響を受けて敏感に抵抗値が変化
する。従ってその帰還電流に基づいて高感度で流速の変
化を検出することができる。又サーミスタには温度分布
が生じることがなくそれに基づく測定誤差を生じる恐れ
もない。そのため高感度の無指向性の流速センサ及び流
速測定装置とすることができる。
第１図は本願の第１発明の一実施例による風速センサの
断面図、第２図はＰＴＣサーミスタの温度特性を示すグ
ラフ、第３図は本実施例の風速センサの使用状態を示す
図、第４図はその風速センサを用いた本願の第２発明の
一実施例による風速測定装置を示す回路図、第５図は本
実施例の風速測定装置のブリッジトップ電圧と風速の関
係を示すグラフ、第６図は従来の流速センサの一例を示
す断面図である。 １０・−−−一−−風速センサ １１−・−・−電気
絶縁体１２・−−−−−・第１の薄膜電極 １３−・
−・−ＰＴＣサーミスタ １４−・・−・−第２の薄
膜電極 １６−・−・〜・定電圧源 １７−・・・
・・・電流計 ２２・・−・−電圧計２ （Ｌ−−−
−−−−ブリッジ回路 ２１−・−帰還増幅器第１図 １０−・−・泳しセン寸 １１−・−・ｔ４比ル休 １２−・−・′！ＡＩＱ簿謀を極 １３−・−−・−ＰＴＣ寸−ミスタ １４−−−−−・篤２り鼻膿電棧 第２図 第３図 第５図 Ｕ（ｍ／５ｅｃ） 第６図
断面図、第２図はＰＴＣサーミスタの温度特性を示すグ
ラフ、第３図は本実施例の風速センサの使用状態を示す
図、第４図はその風速センサを用いた本願の第２発明の
一実施例による風速測定装置を示す回路図、第５図は本
実施例の風速測定装置のブリッジトップ電圧と風速の関
係を示すグラフ、第６図は従来の流速センサの一例を示
す断面図である。 １０・−−−一−−風速センサ １１−・−・−電気
絶縁体１２・−−−−−・第１の薄膜電極 １３−・
−・−ＰＴＣサーミスタ １４−・・−・−第２の薄
膜電極 １６−・−・〜・定電圧源 １７−・・・
・・・電流計 ２２・・−・−電圧計２ （Ｌ−−−
−−−−ブリッジ回路 ２１−・−帰還増幅器第１図 １０−・−・泳しセン寸 １１−・−・ｔ４比ル休 １２−・−・′！ＡＩＱ簿謀を極 １３−・−−・−ＰＴＣ寸−ミスタ １４−−−−−・篤２り鼻膿電棧 第２図 第３図 第５図 Ｕ（ｍ／５ｅｃ） 第６図
Claims (3)
- （１）流体の流速を測定する球状の流速センサであって
、 球状の電気絶縁体と、 前記電気絶縁体の表面に形成された第１の薄膜電極と、 前記第１の薄膜電極の表面に均一に形成され、正の温度
特性を有する薄膜のサーミスタと、前記サーミスタの表
面に形成された第２の薄膜電極と、を具備することを特
徴とする流速センサ。 - （２）前記電気絶縁体は、前記サーミスタと実質的に同
一の体膨脹率を有するセラミックであることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の流速センサ。 - （３）球状の電気絶縁体、該電気絶縁体の表面に形成さ
れた第１の薄膜電極、該第１の薄膜電極の表面に均一に
形成され、正の温度特性を有する薄膜のサーミスタ、及
び該サーミスタの外側に形成された第２の薄膜電極が設
けられた流速センサを一辺に有するブリッジ回路と、 前記ブリッジ回路の一対の端子が入力端に接続され、前
記ブリッジ回路に帰還電流を供給することによりブリッ
ジを平衡に保つ帰還増幅器と、を具備し、前記帰還増幅
器の出力に基づいて前記流速センサを通過する流体の流
速を検出することを特徴とする流速測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62044440A JPH0697233B2 (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62044440A JPH0697233B2 (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63210666A true JPS63210666A (ja) | 1988-09-01 |
| JPH0697233B2 JPH0697233B2 (ja) | 1994-11-30 |
Family
ID=12691541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62044440A Expired - Lifetime JPH0697233B2 (ja) | 1987-02-26 | 1987-02-26 | 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0697233B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5044768A (en) * | 1986-09-05 | 1991-09-03 | Daikin Industries, Ltd. | Thermal environment sensor with means to estimate the wind velocity |
| US5102230A (en) * | 1986-09-05 | 1992-04-07 | Daikin Industries, Ltd. | Thermal environment sensor with means to estimate the wind velocity |
| KR20030018345A (ko) * | 2001-08-28 | 2003-03-06 | 한국생산기술연구원 | 질량 유체 유량센서 및 질량 유체 흐름 검출장치 |
| JP2019028031A (ja) * | 2017-08-03 | 2019-02-21 | 株式会社Ｓｏｋｅｎ | 風速計および風向計 |
| WO2022004373A1 (ja) * | 2020-07-01 | 2022-01-06 | Koa株式会社 | 流量センサ素子 |
-
1987
- 1987-02-26 JP JP62044440A patent/JPH0697233B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5044768A (en) * | 1986-09-05 | 1991-09-03 | Daikin Industries, Ltd. | Thermal environment sensor with means to estimate the wind velocity |
| US5102230A (en) * | 1986-09-05 | 1992-04-07 | Daikin Industries, Ltd. | Thermal environment sensor with means to estimate the wind velocity |
| KR20030018345A (ko) * | 2001-08-28 | 2003-03-06 | 한국생산기술연구원 | 질량 유체 유량센서 및 질량 유체 흐름 검출장치 |
| JP2019028031A (ja) * | 2017-08-03 | 2019-02-21 | 株式会社Ｓｏｋｅｎ | 風速計および風向計 |
| WO2022004373A1 (ja) * | 2020-07-01 | 2022-01-06 | Koa株式会社 | 流量センサ素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0697233B2 (ja) | 1994-11-30 |
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