JP2531968B2 - 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 - Google Patents
流速センサ及びそれを用いた流速測定装置Info
- Publication number
- JP2531968B2 JP2531968B2 JP63174133A JP17413388A JP2531968B2 JP 2531968 B2 JP2531968 B2 JP 2531968B2 JP 63174133 A JP63174133 A JP 63174133A JP 17413388 A JP17413388 A JP 17413388A JP 2531968 B2 JP2531968 B2 JP 2531968B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow velocity
- sensor
- temperature
- velocity sensor
- bridge circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はボロン・ワイヤを熱線として用いた流速セン
サ及びそれを用いた流速測定装置に関するものである。
サ及びそれを用いた流速測定装置に関するものである。
従来熱線流速計は熱線となる流速センサとして主に白
金やタングステン線のワイヤが用いられる。このような
白金やタングステン線は通常の温度領域ではその抵抗値
と温度の関係はほぼ直線的であり次式に示すものとなっ
ている。
金やタングステン線のワイヤが用いられる。このような
白金やタングステン線は通常の温度領域ではその抵抗値
と温度の関係はほぼ直線的であり次式に示すものとなっ
ている。
Ｒ＝Ra｛１＋α（Tw−Tf）｝ ……（１） ここでRa:温度Tfでの熱線の抵抗値 Tw:熱線温度 Tf:周囲温度 α：抵抗率 しかしながらこのような従来の白金線として用いた熱
線風速計では、抵抗率αの値が例えば0.004程度と極め
て小さく、温度変化によって抵抗値の変化が小さいもの
となっていた。そして熱線流速計は第７図に示すように
このような白金線を風速センサ１及び温度補償センサ２
としてブリッジ回路３の二辺に用いて構成する。温度補
償センサ２は風速センサ１と同一の温度特性を有し、流
体温度によってのみその抵抗値が変化する感温センサと
して用いる。このブリッジ回路３の偏差を差動増幅器４
及びトランジスタ５を介してブリッジ回路３にフィード
バックし、ブリッジ回路を平衡させ、風速センサ１を風
温に対して一定の温度差に保つようにしている。そして
風速センサ１を風速測定領域に配置するとその温度は風
速によって変化するため、その温度変化を抵抗値として
検出することによって風速を測定するようにしている。
（１）式に示すように白金線の抵抗の温度特性は温度差
に対して直線的に変化するため、差動増幅器４の出力は
そのまま風速値に対応するものとなっている。従って流
体温度の影響が除かれ差動増幅器４より風速値のみをブ
リッジ回路の出力より得ることができる。
線風速計では、抵抗率αの値が例えば0.004程度と極め
て小さく、温度変化によって抵抗値の変化が小さいもの
となっていた。そして熱線流速計は第７図に示すように
このような白金線を風速センサ１及び温度補償センサ２
としてブリッジ回路３の二辺に用いて構成する。温度補
償センサ２は風速センサ１と同一の温度特性を有し、流
体温度によってのみその抵抗値が変化する感温センサと
して用いる。このブリッジ回路３の偏差を差動増幅器４
及びトランジスタ５を介してブリッジ回路３にフィード
バックし、ブリッジ回路を平衡させ、風速センサ１を風
温に対して一定の温度差に保つようにしている。そして
風速センサ１を風速測定領域に配置するとその温度は風
速によって変化するため、その温度変化を抵抗値として
検出することによって風速を測定するようにしている。
（１）式に示すように白金線の抵抗の温度特性は温度差
に対して直線的に変化するため、差動増幅器４の出力は
そのまま風速値に対応するものとなっている。従って流
体温度の影響が除かれ差動増幅器４より風速値のみをブ
リッジ回路の出力より得ることができる。
しかしながらこのような従来の熱線風速計では白金や
タングステン線の温度に対する抵抗値変化が小さいた
め、低風速領域では高い感度の風速計が得られなかっ
た。そして感度を上昇させようとすれば熱線自体の温度
を高く保つ必要があるが、熱線温度を上昇させれば熱線
の自己発熱によって生じる対流に伴う風速を検出してし
まうため、正確な風速測定ができなくなるという欠点が
あった。
タングステン線の温度に対する抵抗値変化が小さいた
め、低風速領域では高い感度の風速計が得られなかっ
た。そして感度を上昇させようとすれば熱線自体の温度
を高く保つ必要があるが、熱線温度を上昇させれば熱線
の自己発熱によって生じる対流に伴う風速を検出してし
まうため、正確な風速測定ができなくなるという欠点が
あった。
本発明はこのような従来の熱線流速計の問題点に鑑み
てなされたものであって、低流速域でも高感度で正確に
測定することができる流速センサ及び流速測定装置を提
供することを技術的課題とする。
てなされたものであって、低流速域でも高感度で正確に
測定することができる流速センサ及び流速測定装置を提
供することを技術的課題とする。
本願の請求項１の発明は熱線流速計のセンサであっ
て、一定の径を有し、線状に形成されたボロン半導体ワ
イヤの中央の所定範囲を除く両側に金属メッキを施し、
該金属メッキ部分を電極として構成したことを特徴とす
るものである。
て、一定の径を有し、線状に形成されたボロン半導体ワ
イヤの中央の所定範囲を除く両側に金属メッキを施し、
該金属メッキ部分を電極として構成したことを特徴とす
るものである。
又本願の請求項２の発明は請求項１のセンサを用いた
流速測定装置であって、この流速センサを一辺に有する
ブリッジ回路と、ブリッジ回路の一対の端子が入力端に
接続されブリッジ回路に帰還電流を供給することにより
流速センサの温度を一定に保つ帰還増幅器と、を具備
し、帰還増幅器の出力に基づいて流速センサを通過する
流体の流速を検出することを特徴とするものである。
流速測定装置であって、この流速センサを一辺に有する
ブリッジ回路と、ブリッジ回路の一対の端子が入力端に
接続されブリッジ回路に帰還電流を供給することにより
流速センサの温度を一定に保つ帰還増幅器と、を具備
し、帰還増幅器の出力に基づいて流速センサを通過する
流体の流速を検出することを特徴とするものである。
更に本願の請求項３の発明は請求項１のセンサを用い
た流速測定装置であって、この流速センサ及び流速セン
サと同一の構造を有し流速測定領域に配置した感温セン
サを含みこれらをいずれも電源の一端に接続したブリッ
ジ回路と、ブリッジ回路の一対の端子が入力端に接続さ
れブリッジ回路に帰還電流を供給することにより流体温
度と流速センサとの温度差を一定に保つ帰還増幅器と、
を具備し、帰還増幅器の出力に基づいて流速センサを通
過する流体の流速を検出することを特徴とするものであ
る。
た流速測定装置であって、この流速センサ及び流速セン
サと同一の構造を有し流速測定領域に配置した感温セン
サを含みこれらをいずれも電源の一端に接続したブリッ
ジ回路と、ブリッジ回路の一対の端子が入力端に接続さ
れブリッジ回路に帰還電流を供給することにより流体温
度と流速センサとの温度差を一定に保つ帰還増幅器と、
を具備し、帰還増幅器の出力に基づいて流速センサを通
過する流体の流速を検出することを特徴とするものであ
る。
このような特徴を有する本願の請求項１の発明によれ
ば、ボロン半導体ワイヤを流速センサとして用いており
その両端を電極としている。このセンサは特に低温度域
で温度変化に対する抵抗値の変化が大きいものとなって
いる。従ってこの流速センサに電圧を印加し抵抗値の変
化を検出することによって流速を高感度で検知すること
ができる。
ば、ボロン半導体ワイヤを流速センサとして用いており
その両端を電極としている。このセンサは特に低温度域
で温度変化に対する抵抗値の変化が大きいものとなって
いる。従ってこの流速センサに電圧を印加し抵抗値の変
化を検出することによって流速を高感度で検知すること
ができる。
本願の請求項２の発明では、この流速センサをブリッ
ジ回路の一辺に用いてそのブリッジを平衡させるように
している。そうすれば流速センサが流体に奪われる熱量
と発熱量とが等しくなり、流速センサの温度が一定温度
に保たれる。そしてそのときのブリッジ回路に流れる電
圧又は電流値を流速出力としている。
ジ回路の一辺に用いてそのブリッジを平衡させるように
している。そうすれば流速センサが流体に奪われる熱量
と発熱量とが等しくなり、流速センサの温度が一定温度
に保たれる。そしてそのときのブリッジ回路に流れる電
圧又は電流値を流速出力としている。
又本願の請求項３の発明によれば、この流速センサ、
及びこれと同一の構成を有するセンサを温度センサとし
てブリッジの同一の電源端に接続された一辺に用いてい
る。こうすれば流体の温度が変化する場合にも温度変化
分が相殺されることとなり、流速センサの温度と周囲温
度との差が常に一定に保たれる。そして流速センサが流
体に奪われる熱量とその発熱量とをブリッジ回路によっ
て平衡させるようにしてそのときの電圧もしくは電流値
を流速信号として出力するようにしている。
及びこれと同一の構成を有するセンサを温度センサとし
てブリッジの同一の電源端に接続された一辺に用いてい
る。こうすれば流体の温度が変化する場合にも温度変化
分が相殺されることとなり、流速センサの温度と周囲温
度との差が常に一定に保たれる。そして流速センサが流
体に奪われる熱量とその発熱量とをブリッジ回路によっ
て平衡させるようにしてそのときの電圧もしくは電流値
を流速信号として出力するようにしている。
第１図（ａ）〜（ｃ）は本願の請求項１の発明の一実
施例による流速センサを示す断面図，正面図及び斜視図
である。これらの図に示すように流速センサ10は中心に
細い線例えば12.5μｍの径を有するタングステン線11を
用い、その周囲に直径が100〜150μｍの径を有する円筒
形のボロン半導体を用いてセンサとする。このセンサ長
は例えば５〜15mmとし、ボロン半導体12の中央の所定
幅、例えば１〜5mmの範囲を除いてその表面の両側に金
属、例えばニッケルを用いて金属メッキ13a,13bを施
す。そしてその金属メッキ部分に電極14a,14bを取付け
て流速センサとする。こうして構成された流速センサは
第２図にセンサ長7mm,中央の非メッキ部幅2mmとしたセ
ンサの電圧／電流特性の一例を示すように、電流値が充
分小さければ電流と電圧とは比例している。又第３図に
これと同一のセンサ及びセンサ長の非メッキ幅を1mmと
したセンサの抵抗温度特性を夫々曲線C1,曲線C2として
示している。本図においては夫々のセンサに流す電流値
を１μＡとした場合の例を示しており、温度の変化によ
って抵抗値が急激に低下し、特に低温度領域で変化が大
きい特性を有するものとなっており、曲線C1では温度Tw
のときの抵抗値Rxはある温度Toの抵抗値をRoとして次式
で示される値となる。
施例による流速センサを示す断面図，正面図及び斜視図
である。これらの図に示すように流速センサ10は中心に
細い線例えば12.5μｍの径を有するタングステン線11を
用い、その周囲に直径が100〜150μｍの径を有する円筒
形のボロン半導体を用いてセンサとする。このセンサ長
は例えば５〜15mmとし、ボロン半導体12の中央の所定
幅、例えば１〜5mmの範囲を除いてその表面の両側に金
属、例えばニッケルを用いて金属メッキ13a,13bを施
す。そしてその金属メッキ部分に電極14a,14bを取付け
て流速センサとする。こうして構成された流速センサは
第２図にセンサ長7mm,中央の非メッキ部幅2mmとしたセ
ンサの電圧／電流特性の一例を示すように、電流値が充
分小さければ電流と電圧とは比例している。又第３図に
これと同一のセンサ及びセンサ長の非メッキ幅を1mmと
したセンサの抵抗温度特性を夫々曲線C1,曲線C2として
示している。本図においては夫々のセンサに流す電流値
を１μＡとした場合の例を示しており、温度の変化によ
って抵抗値が急激に低下し、特に低温度領域で変化が大
きい特性を有するものとなっており、曲線C1では温度Tw
のときの抵抗値Rxはある温度Toの抵抗値をRoとして次式
で示される値となる。
Rx＝Ro・exp｛−0.023（Ｔ−To）｝ ……（２） 従って流速センサ10の温度Twが定まると（２）式に基
づいてその抵抗値Rxが定まる。この流速センサに電流を
流す場合にはその抵抗値Rxと電流Ｉ（Ａ），風速ｕ（m/
sec）との間に以下の式が成り立っている。
づいてその抵抗値Rxが定まる。この流速センサに電流を
流す場合にはその抵抗値Rxと電流Ｉ（Ａ），風速ｕ（m/
sec）との間に以下の式が成り立っている。
Taは雰囲気温度、例えば20℃であり、定数A,Bは熱放
散係数であり、流速センサの大きさや形状によって定ま
る定数である。従って例えば第４図に示すように定電流
源15を用いてこの流速センサに一定電流を供給し、この
両端の電圧を検出して例えばリニアライザ16に与えるこ
とによって直線化された風速出力を得ることができる。
そしてこの流速センサは低温度域で温度変化に対する抵
抗値の変化が大きいため高温度で風速を測定することが
できる。
散係数であり、流速センサの大きさや形状によって定ま
る定数である。従って例えば第４図に示すように定電流
源15を用いてこの流速センサに一定電流を供給し、この
両端の電圧を検出して例えばリニアライザ16に与えるこ
とによって直線化された風速出力を得ることができる。
そしてこの流速センサは低温度域で温度変化に対する抵
抗値の変化が大きいため高温度で風速を測定することが
できる。
次に第５図は本願の請求項２の発明の一実施例による
風速測定装置の回路図である。本図において前述した流
速センサ10がブリッジ回路21の一辺に接続される。ブリ
ッジ回路21は電源よりトランジスタTr1を介して接続さ
れており、トランジスタTr1のエミッタ端に固定抵抗R1,
R2が並列接続され、夫々の他端には固定抵抗R3と前述し
た風速センサ10が接地端間に接続される。抵抗R1とR3,
抵抗R2と流速センサ10の中点を夫々a,bとすると、中点
a,bを演算増幅器22の反転入力端子及び非反転入力端子
に接続する。演算増幅器22はその間の電圧差を増幅する
差動増幅器であって、その出力をトランジスタTr1のベ
ースに与えトランジスタTr1と共にフィードバックルー
プを構成している。又演算増幅器22の出力はA/D変換器2
3に与えられる。A/D変換器23はこの電圧出力をデジタル
信号に変換するものであり、その出力はメモリ24に与え
られる。メモリ24は与えられたデジタル値に対応した風
速を出力するものであって、あらかじめ校正された値を
記憶しておくものとする。
風速測定装置の回路図である。本図において前述した流
速センサ10がブリッジ回路21の一辺に接続される。ブリ
ッジ回路21は電源よりトランジスタTr1を介して接続さ
れており、トランジスタTr1のエミッタ端に固定抵抗R1,
R2が並列接続され、夫々の他端には固定抵抗R3と前述し
た風速センサ10が接地端間に接続される。抵抗R1とR3,
抵抗R2と流速センサ10の中点を夫々a,bとすると、中点
a,bを演算増幅器22の反転入力端子及び非反転入力端子
に接続する。演算増幅器22はその間の電圧差を増幅する
差動増幅器であって、その出力をトランジスタTr1のベ
ースに与えトランジスタTr1と共にフィードバックルー
プを構成している。又演算増幅器22の出力はA/D変換器2
3に与えられる。A/D変換器23はこの電圧出力をデジタル
信号に変換するものであり、その出力はメモリ24に与え
られる。メモリ24は与えられたデジタル値に対応した風
速を出力するものであって、あらかじめ校正された値を
記憶しておくものとする。
次に本実施例による風速測定装置の動作について説明
する。この風速測定装置は流速センサ10の温度を常に一
定に保つように制御する定温度型の風速測定装置であっ
て、その操作量に基づいて風速を測定するようにしてい
る。さて無風状態では流速センサ10は以下のように定ま
る一定の温度に保たれている。即ち演算増幅器22によっ
てブリッジ回路21の中点a,bの電圧が等しくなるように
フィードバック電流が供給されるため、定常状態では次
式が成立している。
する。この風速測定装置は流速センサ10の温度を常に一
定に保つように制御する定温度型の風速測定装置であっ
て、その操作量に基づいて風速を測定するようにしてい
る。さて無風状態では流速センサ10は以下のように定ま
る一定の温度に保たれている。即ち演算増幅器22によっ
てブリッジ回路21の中点a,bの電圧が等しくなるように
フィードバック電流が供給されるため、定常状態では次
式が成立している。
R1・Rx＝R2・R3 このように流速センサ10の抵抗値Rxとそれに流れる電
流が定まると流速センサの温度Twが定まる。この温度Tw
は常温より充分高い温度に設定しておくものとする。そ
して流速センサが測定領域に配置され風が当たった場合
には、流速センサ10の表面が冷却され、温度が低下し抵
抗値Rxはそれに伴って上昇する。このときブリッジ回路
21の中点a,b間に電位差が生じるので演算増幅器22のフ
ィードバックループに流れる電流が変化し、ブリッジ回
路21は新たな平衡に達する。そしてこの帰還量は風速と
対応したものとなっている。従ってその電圧をデジタル
信号を変換しメモリ24を介して外部に出力することによ
って流速信号を出力することができる。
流が定まると流速センサの温度Twが定まる。この温度Tw
は常温より充分高い温度に設定しておくものとする。そ
して流速センサが測定領域に配置され風が当たった場合
には、流速センサ10の表面が冷却され、温度が低下し抵
抗値Rxはそれに伴って上昇する。このときブリッジ回路
21の中点a,b間に電位差が生じるので演算増幅器22のフ
ィードバックループに流れる電流が変化し、ブリッジ回
路21は新たな平衡に達する。そしてこの帰還量は風速と
対応したものとなっている。従ってその電圧をデジタル
信号を変換しメモリ24を介して外部に出力することによ
って流速信号を出力することができる。
次に第６図は本願の請求項３の発明による流速測定装
置を示すブロック図であり、第５図と同一部分は同一符
号を付している。さて本実施例では抵抗R3に代えて流速
センサ10と同一の構造を有するセンサを感温センサ30と
して用いる。感温センサ30は流速測定領域には配置する
が加熱しないので周囲の温度変化のみが検知される。こ
うすれば周囲の温度の変化によっても常にブリッジ回路
21がバランスされることとなる。そして流速センサ10を
測定領域に配置すれば風速に応じて流速センサ10の抵抗
が変化するが、感温センサ30の抵抗値は風速によっては
変化しない。従って流速センサ10と流体温度との温度差
が常に一定となるように変化することとなる。そして演
算増幅器22の出力をA/D変換器23によってデジタル量に
変換し、リニアライズするためにメモリ25に与える。こ
うすればメモリ25からの出力によってデジタル化された
風速値を得ることができ、又その出力をD/A変換器26に
よりD/A変換してアナログ信号として出力することもで
きる。そしてこの場合には流体温度の影響を受けること
がないため、流速センサ10と流体温度との差を低い温
度、例えば５℃に保つようにしておくことができる。こ
うすれば流速センサ10の動作範囲が低温度領域となり、
例えば第３図に示すように抵抗の変化量が大きい領域D1
となるため高感度で流速を測定することができる。
置を示すブロック図であり、第５図と同一部分は同一符
号を付している。さて本実施例では抵抗R3に代えて流速
センサ10と同一の構造を有するセンサを感温センサ30と
して用いる。感温センサ30は流速測定領域には配置する
が加熱しないので周囲の温度変化のみが検知される。こ
うすれば周囲の温度の変化によっても常にブリッジ回路
21がバランスされることとなる。そして流速センサ10を
測定領域に配置すれば風速に応じて流速センサ10の抵抗
が変化するが、感温センサ30の抵抗値は風速によっては
変化しない。従って流速センサ10と流体温度との温度差
が常に一定となるように変化することとなる。そして演
算増幅器22の出力をA/D変換器23によってデジタル量に
変換し、リニアライズするためにメモリ25に与える。こ
うすればメモリ25からの出力によってデジタル化された
風速値を得ることができ、又その出力をD/A変換器26に
よりD/A変換してアナログ信号として出力することもで
きる。そしてこの場合には流体温度の影響を受けること
がないため、流速センサ10と流体温度との差を低い温
度、例えば５℃に保つようにしておくことができる。こ
うすれば流速センサ10の動作範囲が低温度領域となり、
例えば第３図に示すように抵抗の変化量が大きい領域D1
となるため高感度で流速を測定することができる。
尚上述した各実施例は風速測定装置について説明して
いるが、本発明風速だけでなく種々の流体の速度を測定
することができることはいうまでもない。
いるが、本発明風速だけでなく種々の流体の速度を測定
することができることはいうまでもない。
このように本願の請求項１の発明によれば、ボロン半
導体ワイヤをセンサとして用いており特に低温度領域で
抵抗値の変化が大きいため、高感度の流速センサとする
ことができる。又本願の請求項２の発明ではこのセンサ
を用いて定温度型流速測定装置を構成しており、感度が
高く熱容量が小さいため応答性が高い流速測定装置とす
ることができる。更に本願の請求項３の発明ではこの流
速センサをブリッジ回路の二辺に用いて一方を流速セン
サ、他方を感温センサとして定温度差型の流速測定装置
を構成している。こうすれば流速センサは流体温度より
わずかに高い値に保っておくことによって流速度域で高
感度の流速測定装置とすることが可能である。そして従
来の白金等による熱線流速計と異なり感度を上げるため
に動作温度を上昇させる必要がなく、自己加熱による対
流を生じる恐れがなく正確に流速を測定することができ
るという効果も得られる。
導体ワイヤをセンサとして用いており特に低温度領域で
抵抗値の変化が大きいため、高感度の流速センサとする
ことができる。又本願の請求項２の発明ではこのセンサ
を用いて定温度型流速測定装置を構成しており、感度が
高く熱容量が小さいため応答性が高い流速測定装置とす
ることができる。更に本願の請求項３の発明ではこの流
速センサをブリッジ回路の二辺に用いて一方を流速セン
サ、他方を感温センサとして定温度差型の流速測定装置
を構成している。こうすれば流速センサは流体温度より
わずかに高い値に保っておくことによって流速度域で高
感度の流速測定装置とすることが可能である。そして従
来の白金等による熱線流速計と異なり感度を上げるため
に動作温度を上昇させる必要がなく、自己加熱による対
流を生じる恐れがなく正確に流速を測定することができ
るという効果も得られる。
第１図（ａ）は本願の請求項１の流速センサの断面図，
第１図（ｂ）はその正面図，第１図（ｃ）はその斜視
図、第２図は本実施例による流速センサの電流／電圧特
性を示すグラフ、第３図はその温度／抵抗特性を示すグ
ラフ、第４図はこの実施例の流速センサを用いた流速測
定装置を示す図、第５図は本願の請求項２の流速測定装
置の一実施例を示す回路図、第６図は本願の請求項３の
流速測定装置の一実施例を示す回路図、第７図は従来の
熱線流速計のブロック図である。 10……流速センサ、11……タングステン線、12……ボロ
ン半導体、13a,13b……金属メッキ、21……ブリッジ回
路、22……演算増幅器、23……A/D変換器、24,25……メ
モリ、30……感温センサ
第１図（ｂ）はその正面図，第１図（ｃ）はその斜視
図、第２図は本実施例による流速センサの電流／電圧特
性を示すグラフ、第３図はその温度／抵抗特性を示すグ
ラフ、第４図はこの実施例の流速センサを用いた流速測
定装置を示す図、第５図は本願の請求項２の流速測定装
置の一実施例を示す回路図、第６図は本願の請求項３の
流速測定装置の一実施例を示す回路図、第７図は従来の
熱線流速計のブロック図である。 10……流速センサ、11……タングステン線、12……ボロ
ン半導体、13a,13b……金属メッキ、21……ブリッジ回
路、22……演算増幅器、23……A/D変換器、24,25……メ
モリ、30……感温センサ
Claims (3)
- 【請求項１】一定の径を有し、線状に形成されたボロン
半導体ワイヤの中央の所定範囲を除く両側に金属メッキ
を施し、該金属メッキ部分を電極として構成したことを
特徴とする流速センサ。 - 【請求項２】一定の径を有し線状に形成されたボロン半
導体ワイヤの中央の所定範囲を除く両側に金属メッキを
施し該金属メッキ部分を電極として構成し、流速測定領
域に配置された流速センサを一辺に有するブリッジ回路
と、 前記ブリッジ回路の一対の端子が入力端に接続され前記
ブリッジ回路に帰還電流を供給することにより前記流速
センサの温度を一定に保つ帰還増幅器と、を具備し、 前記帰還増幅器の出力に基づいて前記流速センサを通過
する流体の流速を検出することを特徴とする流速測定装
置。 - 【請求項３】一定の径を有し線状に形成されたボロン半
導体ワイヤの中央の所定範囲を除く両側に金属メッキを
施し該金属メッキ部分を電極として構成し、流速測定領
域に配置された流速センサ及び前記流速センサと同一の
構造を有し流速測定領域に配置した感温センサを含みこ
れらをいずれも電源の一端に接続したブリッジ回路と、 前記ブリッジ回路の一対の端子が入力端に接続され前記
ブリッジ回路に帰還電流を供給することにより流体温度
と流速センサとの温度差を一定に保つ帰還増幅器と、具
備し、 前記帰還増幅器の出力に基づいて前記流速センサを通過
する流体の流速を検出することを特徴とする流速測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63174133A JP2531968B2 (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63174133A JP2531968B2 (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0224567A JPH0224567A (ja) | 1990-01-26 |
| JP2531968B2 true JP2531968B2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=15973238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63174133A Expired - Lifetime JP2531968B2 (ja) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531968B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102932735B1 (ko) | 2020-01-22 | 2026-03-05 | 필립모리스 프로덕츠 에스.에이. | 열선 유속계 기류 측정, 퍼프 검출 및 주변 온도 추적 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007526481A (ja) * | 2004-03-03 | 2007-09-13 | ウオーターズ・インベストメンツ・リミテツド | 自己発熱サーミスタ制御回路を備えるリークディテクタ |
| DE102017206124A1 (de) * | 2017-04-10 | 2018-10-11 | Infineon Technologies Ag | Fluidsensor, Verfahren zum Bereitstellen desselben und Verfahren zum Bestimmen eines Bestandteils eines Fluids |
| US11910838B2 (en) * | 2020-01-22 | 2024-02-27 | Altria Client Services Llc | Hot wire anemometer air flow measurement, puff detection and ambient temperature tracking |
| US11918050B2 (en) | 2020-01-22 | 2024-03-05 | Altria Client Services Llc | Hot wire anemometer air flow measurement, puff detection and ambient temperature tracking |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP63174133A patent/JP2531968B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102932735B1 (ko) | 2020-01-22 | 2026-03-05 | 필립모리스 프로덕츠 에스.에이. | 열선 유속계 기류 측정, 퍼프 검출 및 주변 온도 추적 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0224567A (ja) | 1990-01-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2631481B2 (ja) | 質量流量計とその計測方法 | |
| KR100326479B1 (ko) | 차동전류열질량유동변환기 | |
| US4319483A (en) | Method of automated fluid flow measurement | |
| US7653503B2 (en) | Temperature-compensating sensor system | |
| US5222395A (en) | Thermal type flowmeter | |
| US4845984A (en) | Temperature compensation for a thermal mass flow meter | |
| JP2842729B2 (ja) | 感熱式流量センサ | |
| JP3802443B2 (ja) | 流速センサ | |
| JP2531968B2 (ja) | 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 | |
| JPH0625684B2 (ja) | 流体の流量検出センサー | |
| JP3761769B2 (ja) | 熱式流量センサ | |
| Oliveira et al. | Compensation of the fluid temperature variation in a hot-wire anemometer | |
| JPS63210666A (ja) | 流速センサ及びそれを用いた流速測定装置 | |
| JPH11148945A (ja) | 流速センサ及び流速測定装置 | |
| KR100244902B1 (ko) | 공기유속 센서소자 및 그 측정회로 | |
| JPS63208717A (ja) | 質量流量計 | |
| JPH11118567A (ja) | フローセンサ | |
| JP2642460B2 (ja) | 放熱式レベルセンサ | |
| JPH05215583A (ja) | 感熱式流量センサ | |
| KR100262225B1 (ko) | 유속측정회로 | |
| US5361634A (en) | Heat-sensitive flow rate sensor | |
| SU546821A1 (ru) | Термоанемометр | |
| JP3019009U (ja) | 質量流量計 | |
| KR0163621B1 (ko) | 한개의 열선센서를 이용한 유동장 내의 온도 및 속도의 측정방법 | |
| CA1051219A (en) | Temperature sensitive device for measuring the flow velocity of a medium |