JP3802443B2 - 流速センサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、気体や液体等の流体の流速測定に用いられる流速センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
出願人は、特開平2−259527号公報で、高精度かつ高速応答を実現する半導体微細加工構成の流速センサを提案した。図1は本発明の代表的な流速センサの平面図及び断面図であるが、従来の流速センサもその基本構成は同様であるので、図1を用いて特開平2−259527号公報の流速センサの構成を説明する。
【0003】
流速センサは、単結晶シリコンなどからなる基台1上に形成され、この基台1の中央部には空隙部2が形成されている。また、基台1上には、空隙部2によって基台1から空間的に隔離された薄膜層3が形成されている。薄膜層3には、空隙部2を介して連通する対をなすスリット4a,4bが互いに所定の間隔をおいて設けられている。さらに、これらのスリット4a,4bの間には、スリット4a,4bの間を結ぶ直線と直交する方向に延びるスリット5が設けられており、このスリット5により、スリット4a,4bの間に2つの配設部6a,6bが形成されている。配設部6a,6bは、スリット5により互いに熱的に絶縁されている。
【0004】
配設部6aには、発熱体兼温度センサとして機能する測温抵抗エレメントAが形成され、同様に、配設部6bには、発熱体兼温度センサとして機能する測温抵抗エレメントBが形成されている。また、薄膜層3と基台1とが熱的に接する部分、すなわち空隙部2が設けられていない部分には、周囲温度により抵抗値が変化する周囲温度測温抵抗エレメントCが形成されている。
【0005】
図6は特開平2−259527号公報で提案した流速センサの電気回路図である。流速センサの電気回路は、基台1上を移動する気体の流速を測定するためのものであり、温度差検出回路100と、定電流回路200と、スイッチング回路300とで構成されている。温度差検出回路100は、測温抵抗エレメントA,Bとそれより大きな抵抗値を持つ抵抗R101,R102とで構成されるブリッジ回路と、このブリッジ回路の出力電圧を増幅する増幅器A101,A102と、この増幅器A101,A102の出力電圧の差分値を出力する差分増幅器A103とで構成されている。ブリッジ回路は、周囲温度測温抵抗エレメントCとトランジスタTR201,TR202と抵抗R201で構成される定電流回路200から定電流を供給されるとともに、トランジスタTR301と抵抗R301とで構成されるスイッチング回路300により間欠的に駆動されることになる。
【0006】
ここで、周囲温度測温抵抗エレメントCは、周囲温度の変化を補償するために設けられている。測温抵抗エレメントA,Bは、定電流回路200から供給される定電流によって発熱する。ここで、抵抗R101,R102は、測温抵抗エレメントA,Bに比べてかなり大きな抵抗値を有することから、測温抵抗エレメントA,Bは一定電流で駆動されるものと見なすことができる。
【0007】
流速センサの表面で気体が流れると、その上流側に位置する測温抵抗エレメントAは、その下流側に位置する測温抵抗エレメントBに比べて、より強く冷やされる。これにより、2つの測温抵抗エレメントA,B間に温度差が現れ、この温度差は抵抗変化となり、前記ブリッジ回路はその平衡を失って、差分増幅器A103はその温度差に応じた電圧を出力する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
特開平2−259527号公報で提案した流速センサは、測温抵抗エレメントA,Bを熱絶縁した薄膜層3上に形成していることから、流体の流速を高精度に検出できるという特徴を有している。しかしながら、この流速センサでは、流速が増加すると、下流側の測温抵抗エレメントBから奪われる熱エネルギーが増大して温度が低下し、上流側と下流側の測温抵抗エレメントA,Bの抵抗値の差が減少する。このため、特開平2−259527号公報で提案した流速センサでは、流速が増加すると、感度が低下し、高流速における測定が困難になるという問題点があった。また、この流速センサでは、測温抵抗エレメントA,Bを定電流駆動しているため、流速によって測温抵抗エレメントA,Bおよびその近傍の薄膜層3の平均温度が変化する。つまり、測温抵抗エレメントA,Bの直列抵抗が変化する。この温度、つまり測温抵抗エレメントA,Bの直列抵抗が変化すると、測温抵抗エレメントA,Bおよびその近傍の薄膜層3が持つ熱容量のための熱的遅れとともに測温抵抗エレメントA,Bでの発熱量変化による温度変化がこれと干渉することによる遅れが生じ、結果として応答速度が遅くなるという問題点があった。
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、広範囲な流速を測定することができる高速応答の流速センサを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明は、流体の流れ方向に並べて配置された発熱体と温度センサとにより、その流体の流れに起因する熱移動を求めることによって流体の流速を測定する流速センサにおいて、前記発熱体兼温度センサである第1の測温抵抗エレメントと、この第1の測温抵抗エレメントよりも下流側に配設され前記第1の測温抵抗エレメントと直列に接続された、前記発熱体兼温度センサである第2の測温抵抗エレメントと、前記第1および第2の測温抵抗エレメントに流される電流をそれらの平均温度が周囲温度より常に一定温度だけ高くなるように制御する制御回路と、前記直列に接続された第1および第2の測温抵抗エレメントの両端電圧を受けるボルテージフォロア回路と、このボルテージフォロア回路の出力電圧を分圧する、直列に接続された2つの抵抗と、前記第1および第2の測温抵抗エレメントの接続点の電圧と前記2つの抵抗によって得られた前記両端電圧の分圧との差を取り出す出力回路とを有し、前記第1および第2の測温抵抗エレメントの温度差に基づいて流速を求めるようにしたものである。
また、本発明の流速センサは、前記温度センサである第1の測温抵抗エレメントと、この第1の測温抵抗エレメントよりも下流側に配設され前記第1の測温抵抗エレメントと直列に接続された、前記温度センサである第2の測温抵抗エレメントと、前記第1の測温抵抗エレメントの近傍に配設された第1の発熱体と、前記第2の測温抵抗エレメントの近傍に配設され前記第1の発熱体と直列に接続された第2の発熱体と、前記第1および第2の測温抵抗エレメントの平均温度が周囲温度より常に一定温度だけ高くなるように前記直列に接続された第1および第2の発熱体に流す電流を制御する制御回路と、前記直列に接続された第1および第2の測温抵抗エレメントの両端電圧を受けるボルテージフォロア回路と、このボルテージフォロア回路の出力電圧を分圧する、直列に接続された2つの抵抗と、前記第1および第2の測温抵抗エレメントの接続点の電圧と前記2つの抵抗によって得られた前記両端電圧の分圧との差を取り出す出力回路とを有し、前記第1および第2の測温抵抗エレメントの温度差に基づいて流速を求めるようにしたものである。
【0010】
また、本発明の流速センサの1構成例は、前記直列に接続された第1および第2の測温抵抗エレメントを一辺とするブリッジ回路を構成し、この一辺以外の他の一辺に流体の流れに影響されない周囲温度を測定する周囲温度センサを含ませ、前記制御回路は、前記ブリッジ回路の各中点の電圧差を一定にするように前記第1および第2の測温抵抗エレメントに流す電流を制御する差動増幅回路を含むものである。
また、本発明の流速センサの1構成例は、前記直列に接続された第1および第2の測温抵抗エレメントを一辺とするブリッジ回路を構成し、この一辺以外の他の一辺に流体の流れに影響されない周囲温度を測定する周囲温度センサを含ませ、前記制御回路は、前記ブリッジ回路の各中点の電圧差を一定にするように前記第1および第2の発熱体に流す電流を制御する差動増幅回路を含むものである。
また、本発明の流速センサの1構成例は、さらに、基台に形成されたダイアフラム部と、このダイアフラム部の流路側と反対側にある、前記流体と接しない面に形成された前記第1および第2の測温抵抗エレメント、または前記第1および第2の測温抵抗エレメントと前記周囲温度センサとを有するものである。
また、本発明の流速センサの1構成例は、さらに、基台に形成されたダイアフラム部と、このダイアフラム部の流路側と反対側にある、前記流体と接しない面に形成された前記第1および第2の測温抵抗エレメントと前記第1および第2の発熱体、または前記第1および第2の測温抵抗エレメントと前記第1および第2の発熱体と前記周囲温度センサとを有するものである。
【0011】
【発明の実施の形態】
[第1の実施の形態]
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図1(a)は本発明の第1の実施の形態となる流速センサの平面図、図1(b)は図1(a)のI−I線断面図、図2は図1(a),(b)の流速センサの電気回路図である。
【0012】
本実施の形態の流速センサは、単結晶シリコンなどからなる基台1上に形成され、この基台1の中央部には、例えば異方性エッチング等によって空隙部2が形成されている。また、基台1上には、空隙部2によって基台1から空間的に隔離された薄膜層(ダイアフラム部材)3が形成されている。ガス等の流体は、この薄膜層3上を通過する。
【0013】
薄膜層3には、空隙部2を介して連通する対をなすスリット4a,4bが互いに所定の間隔をおいて設けられている。さらに、これらのスリット4a,4bの間には、スリット4a,4bの間を結ぶ直線と直交する方向に延びるスリット5が設けられており、このスリット5により、図1に示す流体の流れる方向に沿ってスリット4a,4bの間に2つの配設部6a,6bが形成されている。配設部6a,6bは、スリット5により互いに熱的に絶縁されている。
【0014】
配設部6aには、発熱体兼温度センサとして機能する測温抵抗エレメントAが薄膜形成技術により形成され、同様に、配設部6bには、発熱体兼温度センサとして機能する測温抵抗エレメントBが薄膜形成技術により形成されている。また、薄膜層3と基台1とが熱的に接する部分、すなわち空隙部2が設けられていない部分には、周囲温度(流体の温度)により抵抗値が変化する周囲温度測温抵抗エレメントCが薄膜形成技術により形成されている。
【0015】
7,8は測温抵抗エレメントAの両端を外部の電気回路と接続するためのパッド、9,10は測温抵抗エレメントBの両端を電気回路と接続するためのパッド、11,12は周囲温度測温抵抗エレメントCの両端を電気回路と接続するためのパッドである。
【0016】
次に、本実施の形態の流速センサの電気回路を図2を用いて説明する。本実施の形態の流速センサの電気回路は、基台1上を移動する流体の流速を測定するためのものであり、ブリッジ回路21と、差動増幅回路22と、出力回路23とを有している。ブリッジ回路21は、抵抗R1と測温抵抗エレメントAと測温抵抗エレメントBとを直列に接続した第1の直列回路と、抵抗R2と抵抗R3と周囲温度測温抵抗エレメントCとを直列に接続した第2の直列回路とからなり、第1の直列回路と第2の直列回路とを並列に接続することで構成されている。
【0017】
差動増幅回路22は、反転入力端子が抵抗R1と測温抵抗エレメントAの接続点に接続され、非反転入力端子が抵抗R2と抵抗R3の接続点に接続され、出力端子が抵抗R1と抵抗R2の接続点に接続された演算増幅器A1から構成される。
【0018】
このような構成により、差動増幅回路22は、抵抗R2と抵抗R3の接続点の電位V1と、抵抗R1と測温抵抗エレメントAの接続点の電位V2との差分値を増幅した出力電圧Voをブリッジ回路21の抵抗R1と抵抗R2の接続点に印加する。
【0019】
出力回路23は、非反転入力端子が抵抗R1と測温抵抗エレメントAの接続点に接続され、反転入力端子と出力端子とが接続された演算増幅器A2と、一端が演算増幅器A2の出力端子に接続された抵抗R5と、一端が抵抗R5の他端と接続され、他端が接地された抵抗R6と、非反転入力端子が測温抵抗エレメントAと測温抵抗エレメントBの接続点に接続され、反転入力端子が抵抗R5と抵抗R6の接続点に接続された演算増幅器A3とから構成される。
【0020】
ブリッジ回路21の平衡条件は、抵抗R1の抵抗値/(測温抵抗エレメントAの抵抗値+測温抵抗エレメントBの抵抗値)=抵抗R2の抵抗値/(抵抗R3の抵抗値+周囲温度測温抵抗エレメントCの抵抗値)である。なお、本実施の形態では、室温などの基準となる周囲温度において抵抗R2の抵抗値=抵抗R3の抵抗値+周囲温度測温抵抗エレメントCの抵抗値となるように、また抵抗R1の抵抗値=(測温抵抗エレメントAの抵抗値+測温抵抗エレメントBの抵抗値)の設定温度における抵抗値となるように設定されている。抵抗R3は、測温抵抗エレメントA,Bの平均温度と周囲温度測温抵抗エレメントCの温度差を維持するための調整用抵抗である。なお、流速センサの温度特性を補正する目的のため、上記温度差を一定とせずに、例えば周囲温度が高くなるほどこの差を大きくするというように変化させてもよい。
【0021】
差動増幅回路22の演算増幅器A1からブリッジ回路21の抵抗R1,R2に電圧が印加されると、測温抵抗エレメントA,Bに電流が流れてこれらが発熱し、その結果、測温抵抗エレメントA,Bの抵抗値が増加して、前記平衡条件が成立するところでバランスする。
【0022】
ここで、周囲温度が上昇して周囲温度測温抵抗エレメントCの抵抗値が増加すると、ブリッジ回路21の平衡が失われ、抵抗R2と抵抗R3の接続点の電位V1が上昇するので、差動増幅回路22は、ブリッジ回路21を再度平衡にさせるべく、ブリッジ回路21への印加電圧Voを上昇させる。これにより、測温抵抗エレメントA,Bに供給される電流が増加するので、測温抵抗エレメントA,Bの発熱量が増大し、測温抵抗エレメントA,Bの抵抗値が増加して、前記平衡条件が成立するところでバランスする。
【0023】
周囲温度が低下して周囲温度測温抵抗エレメントCの抵抗値が減少すると、抵抗R2と抵抗R3の接続点の電位V1が低下するので、差動増幅回路22は、ブリッジ回路21への印加電圧Voを低下させる。これにより、測温抵抗エレメントA,Bの発熱量が減少し、測温抵抗エレメントA,Bの抵抗値が減少して、前記平衡条件が成立するところでバランスする。
【0024】
一方、流体に流速が生じると、測温抵抗エレメントA,Bが冷やされ、測温抵抗エレメントA,Bの抵抗値が下がり、抵抗R1と測温抵抗エレメントAの接続点の電位V2が低下するので、差動増幅回路22は、ブリッジ回路21への印加電圧Voを上昇させる。これにより、測温抵抗エレメントA,Bの発熱量が増大し、測温抵抗エレメントA,Bの抵抗値が増加して、前記平衡条件が成立するところでバランスする。
【0025】
また、流速が減少して、測温抵抗エレメントA,Bの抵抗値が上昇すると、抵抗R1と測温抵抗エレメントAの接続点の電位V2が上昇するので、差動増幅回路22は、ブリッジ回路21への印加電圧Voを低下させる。これにより、測温抵抗エレメントA,Bの発熱量が減少し、測温抵抗エレメントA,Bの抵抗値が減少して、前記平衡条件が成立するところでバランスする。
【0026】
以上のように、差動増幅回路22は、測温抵抗エレメントA,Bで検出される温度(エレメントA,Bで検出される温度の平均値)が周囲温度測温抵抗エレメントCで検出される周囲温度よりも常に一定温度高くなるように、測温抵抗エレメントA,Bを発熱させる。
【0027】
次に、演算増幅器A2はボルテージフォロアを構成している。抵抗R5,R6からなる直列回路は、このボルテージフォロアA2を介して測温抵抗エレメントA,Bからなる直列回路に接続されている。ボルテージフォロアを用いることにより、ブリッジ回路21内を流れる電流が抵抗R5,R6に流出しないようにしている。
【0028】
抵抗R5,R6は、一般的には流速が0のとき、抵抗R5の抵抗値/抵抗R6の抵抗値=測温抵抗エレメントAの抵抗値/測温抵抗エレメントBの抵抗値が成立するように設定されている。したがって、流速が0のとき、測温抵抗エレメントAと測温抵抗エレメントBの接続点の電位V3と、抵抗R5と抵抗R6の接続点の電位V4が同電位となるので、演算増幅器A3の出力電圧は0となる。なお、上記のように設定せずに、流速が0のときの出力電圧を流速0の出力電圧として校正したり、オフセットをもたせて流速0のとき任意の電圧値になるように設定してもよい。
【0029】
前述のように、流体に流速が生じると、測温抵抗エレメントA,Bが冷やされる。このとき、上流側に位置する測温抵抗エレメントAは、下流側に位置する測温抵抗エレメントBに比べてより強く冷やされるので、測温抵抗エレメントAの抵抗値が測温抵抗エレメントBの抵抗値よりも小さくなる。その結果、測温抵抗エレメントAと測温抵抗エレメントBの接続点の電位V3が上昇するので、電位V3と、抵抗R5と抵抗R6の接続点の電位V4とに差が生じる。演算増幅器A3は、流速に応じた出力電圧、すなわち(V3−V4)に比例した電圧を出力する。
【0030】
以上のように、本実施の形態では、周囲温度や流速に関係なく、測温抵抗エレメントA,Bで検出する温度の平均値が周囲温度よりも常に一定温度高くなるように測温抵抗エレメントA,Bを発熱させるので、流速が増加したときに、測温抵抗エレメントA,Bの抵抗値の差が減少して感度が低下することがなくなる。
【0031】
また、本実施の形態では、測温抵抗エレメントA,Bからなる直列回路と、抵抗R5,R6からなる直列回路とを並列に接続している。したがって、周囲温度又は流速の変化により、ブリッジ回路21への印加電圧Voが変化して、電圧V2が変化しても、これに応じて抵抗R5の端子電圧(ボルテージフォロアA2の出力電圧)も電圧V2と同じ値に変化するので、測温抵抗エレメントA,Bのリファレンス電位(電位V4)は、電圧V2に所定比R6/(R5+R6)をかけた値に常に調整される。その結果、電位差V3−V4は、流速のみを反映した値となり、流速の増大に伴ってほぼ直線的に増加する特性が得られる。
【0032】
[第2の実施の形態]
図3は本発明の第2の実施の形態となる流速センサの平面図、図4は図3の流速センサの電気回路図であり、図1、図2と同一の構成には同一の符号を付してある。本実施の形態では、配設部6aに、温度センサとして機能する測温抵抗エレメントA’と、発熱体として機能する発熱抵抗エレメントDとが薄膜形成技術により形成されている。同様に、配設部6bには、温度センサとして機能する測温抵抗エレメントB’と、発熱体として機能する発熱抵抗エレメントEとが薄膜形成技術により形成されている。
【0033】
7,8は測温抵抗エレメントA’の両端を電気回路と接続するためのパッド、9,10は測温抵抗エレメントB’の両端を電気回路と接続するためのパッド、13,14は発熱抵抗エレメントDの両端を外部の電気回路と接続するためのパッド、15,16は発熱抵抗エレメントEの両端を電気回路と接続するためのパッドである。
【0034】
本実施の形態のブリッジ回路21aは、発熱体兼温度センサとして機能する測温抵抗エレメントA,Bの代わりに、温度センサとして機能する測温抵抗エレメントA’,B’を用いている。また、本実施の形態では、ブリッジ回路21aの抵抗R1と抵抗R2の接続点に一定電圧Vsを印加し、非反転入力端子が抵抗R2と抵抗R3の接続点に接続され、反転入力端子が抵抗R1と測温抵抗エレメントA’の接続点に接続された演算増幅器A4を用いている。演算増幅器A4の出力端子には、発熱抵抗エレメントDと発熱抵抗エレメントEとが直列に接続されている。
【0035】
ブリッジ回路21aの平衡条件は、抵抗R1の抵抗値/(測温抵抗エレメントA’の抵抗値+測温抵抗エレメントB’の抵抗値)=抵抗R2の抵抗値/(抵抗R3の抵抗値+周囲温度測温抵抗エレメントCの抵抗値)である。ブリッジ回路21aに電圧Vsが印加されると、演算増幅器A4は、抵抗R2と抵抗R3の接続点の電位V1と、抵抗R1と測温抵抗エレメントA’の接続点の電位V2との差分電圧V1−V2を増幅して出力する。
【0036】
これにより、発熱抵抗エレメントD,Eに電流が流れてこれらが発熱し、その結果、発熱抵抗エレメントD,Eの近傍に配置された測温抵抗エレメントA’,B’の温度が上昇して、測温抵抗エレメントA’,B’の抵抗値が増加し、前記平衡条件が成立するところでバランスする。
【0037】
ここで、周囲温度が上昇して周囲温度測温抵抗エレメントCの抵抗値が増加すると、抵抗R2と抵抗R3の接続点の電位V1が上昇するので、演算増幅器A4は、出力電圧を上昇させる。これにより、発熱抵抗エレメントD,Eに供給される電流が増加するので、発熱抵抗エレメントD,Eの発熱量が増大し、測温抵抗エレメントA’,B’の抵抗値が増加して、前記平衡条件が成立するところでバランスする。
【0038】
周囲温度が低下して周囲温度測温抵抗エレメントCの抵抗値が減少すると、抵抗R2と抵抗R3の接続点の電位V1が低下するので、演算増幅器A4は、出力電圧を低下させる。これにより、発熱抵抗エレメントD,Eの発熱量が減少し、測温抵抗エレメントA’,B’の抵抗値が減少して、前記平衡条件が成立するところでバランスする。
【0039】
一方、流体に流速が生じると、測温抵抗エレメントA’,B’の抵抗値が下がり、抵抗R1と測温抵抗エレメントA’の接続点の電位V2が低下するので、演算増幅器A4は、出力電圧を上昇させる。これにより、発熱抵抗エレメントD,Eの発熱量が増大し、測温抵抗エレメントA’,B’の抵抗値が増加して、前記平衡条件が成立するところでバランスする。
【0040】
また、流速が減少して、測温抵抗エレメントA’,B’の抵抗値が上昇すると、抵抗R1と測温抵抗エレメントAの接続点の電位V2が上昇するので、演算増幅器A4は、出力電圧を低下させる。これにより、発熱抵抗エレメントD,Eの発熱量が減少し、測温抵抗エレメントA’,B’の抵抗値が減少して、前記平衡条件が成立するところでバランスする。
以上のようにして、第1の実施の形態と同様の効果を得ることができる。なお、出力回路23の構成とその動作は、第1の実施の形態と全く同じである。
【0041】
なお、第1、第2の実施の形態において、抵抗R3を削除して抵抗R2と周囲温度測温抵抗エレメントCを直結し、その代わりに、測温抵抗エレメントA,B(A’,B’)からなる直列回路と並列に抵抗を追加することにより、測温抵抗エレメントA’,B’と周囲温度測温抵抗エレメントCとの温度差を維持するための調整をしてもよい。また、第1、第2の実施の形態では、単結晶シリコンからなる基台1を用いているが、ステンレス、セラミック、サファイア等からなる基台を用いてもよい。
【0042】
また、第1、第2の実施の形態では、ブリッジ回路と差動増幅回路を用いて直列に接続された2つの測温抵抗エレメントの平均温度を周囲温度測温抵抗エレメントで測定された周囲温度よりもある一定温度高くなるようにする実施の形態について説明したが、マイコンなどを用いて周囲温度よりも直列に接続された2つの測温抵抗エレメントの平均温度がある一定温度高くなるように電流または電圧を制御してもよい。つまり、直列に接続された2つの測温抵抗エレメントの設定目標とする平均温度における直列抵抗値を温度と抵抗値の関係式から求め、その抵抗値になるように印加する電流または電圧を制御してもよい。なお、この場合は周囲温度の計測に外付けの一般的な温度センサを使用してもよい。さらに、図1、図3において、スリット5をなくしてもよく、1つの測温抵抗体の中点から配線を取り出すようにして、実質上2つの測温抵抗体として使用してもよい。
【0043】
[第3の実施の形態]
図5は本発明の第3の実施の形態となる流速センサの断面図であり、図1、図2と同一の構成には同一の符号を付してある。第1、第2の実施の形態では、流体の流れの中にエレメントA,B,Cを設けたが、本実施の形態は、基台32に形成された薄肉部(ダイアフラム部)33の流路側と反対側の被測定流体に直接接しない面にエレメントA,B,Cを設けたものである。
【0044】
図5において、31はステンレスからなる流路形成部材、32は流路形成部材31上に設置された、ステンレスからなる基台、33は基台32に形成された薄肉部(ダイアフラム部)、34は基台32上に形成された酸化シリコン、窒化シリコン、アルミナあるいはポリイミド等の電気絶縁膜である。流路形成部材31は流体の流路36を形成する2つの貫通孔37,38を有している。基台32の下面中央に長円状の凹部35が形成されることにより、この凹部35が形成されている表面側が薄肉部(ダイアフラム部)33を形成している。凹部35は、その両端部において貫通孔37,38と連通する。なお、凹部35は、流体の流れをスムーズに流すために長円状が好ましいが、これに限らず矩形状や円形状でもよい。
【0045】
基台32の上面には、電気絶縁膜34が全面にわたって形成されており、この電気絶縁膜34の表面に測温抵抗エレメントA,Bや周囲温度測温抵抗エレメントC、パッド7〜12が第1の実施の形態と同様に形成されている。電気回路は、図2に示したとおりである。また、上記とは逆に凹部35の底面に電気絶縁膜を全面にわたって形成し、この電気絶縁膜の表面に測温抵抗エレメントA,Bとパッドを同様に形成し、周囲温度測温抵抗エレメントCは、基台32の厚肉部に電気絶縁膜を介してパッドと共に同様に形成し、その反対側の面に流体を流してもよい。
【0046】
なお、第1の実施の形態の測温抵抗エレメントA,Bや周囲温度測温抵抗エレメントC、パッド7〜12の代わりに、第2の実施の形態の測温抵抗エレメントA’,B’や周囲温度測温抵抗エレメントC、発熱抵抗エレメントD,E、パッド7〜16を形成してもよいことは言うまでもない。この場合の電気回路は、図3に示したとおりである。なお、本発明の第1〜第3の実施の形態におけるエレメントA,B,C,A’,B’,D,Eはすべて白金薄膜などで形成するのが好ましいが、これに限らない。
【0047】
【発明の効果】
本発明によれば、第1の測温抵抗エレメントと第2の測温抵抗エレメントとの平均の温度(第1、第2の測温抵抗エレメントで検出される温度の平均値)が周囲温度よりも常に一定温度高くなるよう第1の測温抵抗エレメントと第2の測温抵抗エレメントとに印加する電圧を制御するので、流速が増加しても、感度の低下が少なくなる。その結果、低速から高速までの広い範囲の流速の測定が可能となる。また、本発明では、第1、第2の測温抵抗エレメントの温度を一定にすることができるため、従来よりも応答速度を速くすることができる。
【0048】
また、出力回路を、第3の直列回路と差分増幅器とから構成することにより、流体の流速に応じた値を取り出すことができる。
【0049】
また、第1の直列回路と第3の直列回路とを接続する少なくとも1つのボルテージフォロアを設けることにより、ブリッジ回路内を流れる電流が第4の抵抗と第5の抵抗に流出しないようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施の形態となる流速センサの平面図及び断面図である。
【図2】 図1の流速センサの電気回路図である。
【図3】 本発明の第2の実施の形態となる流速センサの平面図である。
【図4】 図3の流速センサの電気回路図である。
【図5】 本発明の第3の実施の形態となる流速センサの断面図である。
【図6】 従来の流速センサの電気回路図である。
【符号の説明】
1、32…基台、2…空隙部、3…薄膜層、4a、4b、5…スリット、6a、6b…配設部、7〜16…パッド、21、21a…ブリッジ回路、22…差動増幅回路、23…出力回路、31…流路形成部材、33…薄肉部(ダイアフラム部)、34…電気絶縁膜、A、B、A’、B’…測温抵抗エレメント、C…周囲温度測温抵抗エレメント、D、E…発熱抵抗エレメント、A1〜A4…演算増幅器、R1〜R3、R5、R6…抵抗。
Claims (6)
- 流体の流れ方向に並べて配置された発熱体と温度センサとにより、その流体の流れに起因する熱移動を求めることによって流体の流速を測定する流速センサにおいて、
前記発熱体兼温度センサである第1の測温抵抗エレメントと、
この第1の測温抵抗エレメントよりも下流側に配設され前記第1の測温抵抗エレメントと直列に接続された、前記発熱体兼温度センサである第2の測温抵抗エレメントと、
前記第1および第2の測温抵抗エレメントに流される電流をそれらの平均温度が周囲温度より常に一定温度だけ高くなるように制御する制御回路と、
前記直列に接続された第1および第2の測温抵抗エレメントの両端電圧を受けるボルテージフォロア回路と、
このボルテージフォロア回路の出力電圧を分圧する、直列に接続された2つの抵抗と、
前記第1および第2の測温抵抗エレメントの接続点の電圧と前記2つの抵抗によって得られた前記両端電圧の分圧との差を取り出す出力回路とを有し、
前記第1および第2の測温抵抗エレメントの温度差に基づいて流速を求めるようにしたことを特徴とする流速センサ。 - 流体の流れ方向に並べて配置された発熱体と温度センサとにより、その流体の流れに起因する熱移動を求めることによって流体の流速を測定する流速センサにおいて、
前記温度センサである第1の測温抵抗エレメントと、
この第1の測温抵抗エレメントよりも下流側に配設され前記第1の測温抵抗エレメントと直列に接続された、前記温度センサである第2の測温抵抗エレメントと、
前記第1の測温抵抗エレメントの近傍に配設された第1の発熱体と、
前記第2の測温抵抗エレメントの近傍に配設され前記第1の発熱体と直列に接続された第2の発熱体と、
前記第1および第2の測温抵抗エレメントの平均温度が周囲温度より常に一定温度だけ高くなるように前記直列に接続された第1および第2の発熱体に流す電流を制御する制御回路と、
前記直列に接続された第1および第2の測温抵抗エレメントの両端電圧を受けるボルテージフォロア回路と、
このボルテージフォロア回路の出力電圧を分圧する、直列に接続された2つの抵抗と、
前記第1および第2の測温抵抗エレメントの接続点の電圧と前記2つの抵抗によって得られた前記両端電圧の分圧との差を取り出す出力回路とを有し、
前記第1および第2の測温抵抗エレメントの温度差に基づいて流速を求めるようにしたことを特徴とする流速センサ。 - 請求項1記載の流速センサにおいて、
前記直列に接続された第1および第2の測温抵抗エレメントを一辺とするブリッジ回路を構成し、この一辺以外の他の一辺に流体の流れに影響されない周囲温度を測定する周囲温度センサを含ませ、
前記制御回路は、前記ブリッジ回路の各中点の電圧差を一定にするように前記第1および第2の測温抵抗エレメントに流す電流を制御する差動増幅回路を含むことを特徴とする流速センサ。 - 請求項2記載の流速センサにおいて、
前記直列に接続された第1および第2の測温抵抗エレメントを一辺とするブリッジ回路を構成し、この一辺以外の他の一辺に流体の流れに影響されない周囲温度を測定する周囲温度センサを含ませ、
前記制御回路は、前記ブリッジ回路の各中点の電圧差を一定にするように前記第1および第2の発熱体に流す電流を制御する差動増幅回路を含むことを特徴とする流速センサ。 - 請求項1または3記載の流速センサにおいて、
さらに、基台に形成されたダイアフラム部と、
このダイアフラム部の流路側と反対側にある、前記流体と接しない面に形成された前記第1および第2の測温抵抗エレメント、または前記第1および第2の測温抵抗エレメントと前記周囲温度センサとを有することを特徴とする流速センサ。 - 請求項2または4記載の流速センサにおいて、
さらに、基台に形成されたダイアフラム部と、
このダイアフラム部の流路側と反対側にある、前記流体と接しない面に形成された前記第1および第2の測温抵抗エレメントと前記第1および第2の発熱体、または前記第1および第2の測温抵抗エレメントと前記第1および第2の発熱体と前記周囲温度センサとを有することを特徴とする流速センサ。
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