JPS6325562A - 指向性を有する熱作用型風速測定トランスジュ−サ - Google Patents

指向性を有する熱作用型風速測定トランスジュ−サ

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JPS6325562A
JPS6325562A JP62126856A JP12685687A JPS6325562A JP S6325562 A JPS6325562 A JP S6325562A JP 62126856 A JP62126856 A JP 62126856A JP 12685687 A JP12685687 A JP 12685687A JP S6325562 A JPS6325562 A JP S6325562A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明が属する技術分野〕 本発明は、トランスジューサを取巻く流体の運動、ある
いは反対に流体中のトランスジューサの運動を判定する
ための改善された熱作用の風速計の検出装置に関する。
本発明は特に、トランスジューサが浸漬される液体また
は気体の如き流体の特性および流体の運動の速度および
方向を検出するための指向性を有する熱損失型風速計ト
ランスジューサに関する。本発明はまた、トランスジュ
ーサの付勢および作用ならびにトランスジューサ信号の
読出しのためのアナログおよびディジタル方式の両装置
に関する。
〔従来の技術およびその問題点〕
風速計トランスジューサとしての熱線および熱フィルム
の使用は従来技術において公知である。このような装置
においては、加熱された抵抗素子が検出用素子として機
能し、その形態が衝突する流体の流れに対するその空間
的応答を定義するため使用される。この検出用素子は、
抵抗のゼロでない温度係数を有し、一定の抵抗値従って
一定温度に維持される。
従来技術の熱損失型風速計トランスジューサ、熱形風速
計センサおよびそのための作動回路の事例は、米国特許
第3,363,462号、同第:l、352,154号
、同第3,604,261号、同第3,677.085
号、同第3,900,819号、同第 4,024.7
61号、同第 4,206,638号、同第 4,17
9,147号および同第4,549,433号に記載さ
れている。
米国特許第3,352,154号および同第3,677
.085号は、トランスジューサの円筒状または円形縁
部に置かれた細片またはワイヤを備えた放射状トランス
ジューサについて記載している。米国特許第3,352
,154号によれば、細い方向検出片が円筒部材の軸心
に対して平行に示され、細片が円筒部材の澱み領域内に
置かれている。このような取付は場所は、トランスジュ
ーサの形状の軸心の次元に沿って変化する衝突する流れ
のベクトルに曝されるトランスジューサにおいては全く
使用できない。細長い薄膜片またはワイヤは半径方向の
流れにおいては使用できるが軸方向の流れにおいては役
に立たない。米国特許第3,677.085号は、胴部
中尉胴部の厚さの比が略々3対1のアスペクト・レシオ
を有する胴部上に対をなして広い巾で隔てられた埋設ワ
イヤ、細片および膜について記載している。記載された
並行流量計の形態は、トランスジューサに当る半径方向
の流れは拘束するが指向されない自由な流れは拘束され
ない束縛ダクト即ち管において使用されるように構成さ
れている。この明納置によれば、障壁として作用する際
胴部自体の存在により支持胴部における流れから各検出
素子を隠蔽するための工夫がなされていることが知られ
る。
米国特許第3,604,261号は、半径方向流と衝突
するように構成されたトランスジューサ形!息における
広い区分を設は円筒状に支持され、熱伝達の分布の変化
が方向については支持円筒部の動的な分難点の背後の乱
流の陰に落込む検出面の部分による検出に依有する検出
膜について記載している。
運動部分を用いる従来技術の熱作用による風速計トラン
スジューサは、特徴として、「理想的な」余弦波特性と
共に流れの一方向から反対方向への壬滑で連続的な遷移
に対する望ましい緊密な一致を達成することがある程度
難しかった。電気的な「ディザ」信号および側方の人為
的な「ローブ切換え」の使用が、軸心に交わる方向の不
規則性の低減を助けた。米国特許第4.206.638
号および同第4,179,147号は、1TiIh交差
領域における自然に生じる「空気力学的なディザ」信号
として自ら誘起する乱流の伴流を使用することにより更
なる改善がもたらされたことを教示している。米国特許
第4,549,433号は、熱作用型風速計については
記載していないが、応力を生じない方法で個々の平坦な
板で支持した検出素子を支持する方法について教示して
いる。
〔問題を解決する手段〕
本発明は、熱作用型風速計トランスジューサの角度応答
即ち方位角応答性における著しい改善と共に、トランス
ジューサの認識された信号対ノイズ比、即ち加熱電力の
入力に対する有効信号出力における改善、ならびにその
ための改善された制御および読出し手段を提供するもの
である。
本発明による指向性のある熱作用型風速計トランスジュ
ーサは、相互に実質的に熱的に絶縁されかつ抵抗性の検
出用導体で覆われた少なくとも2つの領域を備えた電気
的に非伝導性の基体を含み、前記導体は結合流の領域内
にのみ延長している。前記基体が1対の円筒状素子を含
み、その各々が結合流の領域のみを覆う抵抗性の検出用
導体を有する実施例が開示される。別の実施例は、単一
の円筒状基体を使用する。別の重要な実施例は、2つの
対向面上の抵抗性のある検出用導体を備えた矩形状の柱
体の基体を使用する。更に別の実施例は、トランスジュ
ーサ素子の上方または上下に配置された1つ以上のバー
を使用して、これら素子を支持しかつ保護し、また流入
する流体の流れに対する小さな角度応答性を改善するた
め自ら生じる空気力学的な乱流即ちディザを生じる。抵
抗性の検出用導体を作動させかつ有効な出力信号を生じ
るためのアナログ/ディジタル回路もまた開示される。
本発明の1つの重要な特質においては、トランスジュー
サのいずれか一方の端部に取付けられた板が乱流を生じ
、この乱流が抵抗性の検出用導体上に流れて空気力学的
なディザ信号を生じるように作用して、トランスジュー
サの軸心に対して略々平行な流入する流れに対するセン
サの作用を強化する。
(実施例) 次に図面において、特に第1図においては、番号20は
本発明の原理に従って構成された指向性を有する熱作用
型風速計トランスジューサを全体的に示している。この
トランスジューサ20は、番号2]aおよび21bによ
り全体的に示される2つの円筒状の平行な検出素子即ち
検出部材を含み、これら部材はその長さがその直径より
もかなり大きな抵抗性を有する検出素子である。
典型的には、この検出部材21a、21bは外径が0.
6mm 、全長が25mmであり、このため直径に対す
る長さの比はおよそ42:1となる。第1図および第2
図に示されるように、素子2+a、21bは物理的に相
互に別個であり、これら素子はその長手方向に沿って接
着剤その他の結合子段22により結合即ち接合されてい
るが、これら素子は画素子21a、21b間に開口した
流体の流路が許容されないことを前提とすれば、相互に
各端部で結合されるのみでよい。検出素子21a、21
bは構造的には同じものであり、またこれら素子はでき
るだけ同じものであることが望ましい。
検出素子21a、21bの胴部はそれぞれ、電気的な接
続ワイヤ23a、23bおよびその外端部に電気的な接
続ワイヤ24a、24bを有する。検出素子21a、2
1bのIH部は、衝突する流体の流れに直接曝されるそ
の表面の部分においてのみ抵抗性の膜で均一に覆われて
いる。この接続リード・ワイヤ23a 、 2:lb 
、 24a、24bは、望ましくない熱電対の接合効果
を避けるため、またこれによりトランスジューサ20の
できるだけ小さな固有の電気的ノイズ・レベルと共に最
大の長期安定性をもたらすことを助けるため同じ材料か
ら作られている。通常使用される材料はプラチナ金属で
あり、ニッケルの如き他の材料が使用できるが、本文で
はその望ましい使用法について記述することにする。検
出素子21a、21bとして使用することができる別の
材料については米国特許第3,352,154号におい
て記載されている。
リード線の結合部に対する検出素子の機械的強度および
一体性をできるだけ大きくするため、リード線23a、
23b、24a、24bは全て中空の円筒状の検出素子
21a、21bの中心孔内に同じ挿入深さに嵌められて
、厚膜回路業界で使用されるホウケイ酸塩ガラスの如き
高温度のガラス状物質により所定位置に融着される。こ
のような物質の一例は、 900℃の空気中で発火する
Engelhard社のA −3025厚膜上釉である
。常に同じ動的熱損失特性を確保するため、検出素子全
体の熱■分布が各検出素子21a、21b毎にその端部
から端部までできるだけ同じとなるように、検出素子内
へのリード線の挿入の慎重な管理が要求される。抵抗膜
は、リード線23a、24a、23b、24bが所定位
置に融着もしくは結合された後に、検出素子21a、2
1bに対して塗布される。塗布された抵抗膜は、検出素
子の胴部21a、21bおよびリード線23a、24a
、23b、24bと重合し、これにより信頼性の高い電
気的接続部を提供する。トランスジューサ20は、その
リード線23a、23bおよび24a、24bによって
物理的に支持することができる。典型的には、リード線
23および24の直径は0.25mmであり、またこれ
らは取付は上の要求に適するように折曲げられ成形する
こともできる。
指向性を有する熱作用型風速計トランスジューサ20は
、検出素子21a、21bの2つの平行な軸心により画
成されかつこれを含む面内でトランスジューサ20を横
切って流れる流体の流れに主として応答するように構成
される。応答は検出素子21a、21bに対して直角に
トランスジューサ20を横切る流れに対して最大となり
、また応答は平行流即ち検出素子21a、21bの全長
に沿う流れに対しては最小となる。適当な付勢および読
出し装置の使用により、流入する流体の速度および流体
の流れの方向の符号は共に容易に決定することができる
。感度における小さなバラ付きは、検出素子2+a、2
1bの軸心により画成される面から出るように遅動する
流入流体の流れにおいて観察することができる。
これは、トランスジューサ20が気象学的な用途におけ
る風速および風向のデカルト座標による測定に対して多
くの方法で適用することができ、またこのような3つの
トランスジューサ20を略々 360°の全象限にわた
る3次元の流れに対して応答するように指向させること
ができる理由の1つに過ぎない。例えば、船の甲板に取
付ける時、トランスジューサ20を水平に単一もしくは
直交する対で使用する計器は、非常なピッチングおよび
ローリングの条件下でさえ有効であり正確な応答を行な
う。
「理想的な」方向検出素子は単一のコヒーレントな素子
であり、これにより素子対のマツチングおよび平衡化、
トリミング等のあらゆる問題を除去するということがで
きる。こわは、2つのPjA散状の検出装置が方向の変
化と共に速度を検出することが要求されるため、不可能
ではなくとも達成が困難である。2つのこのような装置
は同じ容積を占めることはあり得ない。
有効な妥協法は、1対の検出素子の分離が最小限度とな
る単一の共通な円筒状基体上でこれら素子対を接合する
ことである。熱的な干渉を回避しなから素子相互の距離
が小さければ小さい程、最も広い速度範囲にわたって理
想的な余弦波形に対するその全体的な方向の一致が良好
となる。対向する素子に対する1つの素子の熱損失は、
この損失が無駄な発熱エネルギとなり流れに対する流入
する流体が生じる熱伝達に寄与しないため、信号対ノイ
ズのレベルを低下する傾向を有する。
第2図は、第1図の線2−2に関し矢印の方向に見た第
1図に示した指向性を有する熱作用型風速計トランスジ
ューサ20の構造を示す立面断面図である。検出素子2
1aは、電気的に不良導体である中空の管状の密度の大
きな酸化アルミニウムの耐火性を有する細い円筒状の基
体25aからなる。この基体25aの表面の一部には、
抵抗性膜即ちプラチナ金属のコーティング26aが付着
されている。支持する基体の体部25aは、石英、硬質
ガラス、ムル石、ケイ酸アルミニウムその他の耐火性物
質等の電気的に不良導体である他の適当な物質から選択
することができる。本文に述べるいくつがの基体の形状
は、標準的なカタログを調べることにより広い範囲の寸
法の酸化アルミニウム、ケイ酸アルミニウムおよび類似
の耐火性物質の単一孔および多重孔管材として Deg
uSSa社から入手可能である。
ある真空蒸着による被覆法における如く低い作動および
製造温度が膜26aの蒸着および使用において遭遇する
場合、基体25aは軟質ガラスあるいは更にプラスチッ
クの管材からも作ることができる。抵抗膜コーティング
26aは、ガラス貿エナメル、ガラス貿上釉、融解シリ
カ、シリコーン・ワニス、「テフロン」 (商標)の如
きプラスチックまたは抵抗膜26aに対する摩耗および
疲労の保護を行なう他の保護コーティング材料の更に別
の層17aを有する。保護用コーティング17aとして
選択される材料は安定しておりかつトランスジューサ2
0に対する所定の環境に長い間曝されても変化しないこ
とが重要である。
プラチナ金属および酸化アルミニウムの両者と共用し得
る不活性のガラス買上柚の一例としては、発火点が62
5℃である Engelhard社の96624スクイ
ージ上釉がある。保護層17aは、浸漬、刷毛塗りまた
は噴震塗装により検出素子の胴部21aの外面全体に塗
布するができ、あるいは性能即ち0命に悪形晋を及ぼす
ことなく抵抗膜26aにより覆われた領域のみに限定す
ることもできる。保護層17aの厚さは、通常は0.0
25mmより小さく、はとんどの場合は発火の後0.0
06mmの厚さの範囲内で使用される。保護層17aは
、抵抗を打するプラチナ膜26aがプラチナのリード線
24a、23aと重なる領域を含むように拡張され、こ
れにより検出素子胴部21aの両端部における電気的接
続部を保訝する。基体25aの典型的な大きさは、円筒
径が0.6n++++であり、内孔径が0.3mm 、
長さが略々25または30mmである。
検出素子21a全体は寸法を更に犬きくすることができ
、あるいは所期の用途が必要とするよりもかなり小さく
することもできる。抵抗膜即ち金属膜26aの厚さは、
典型的には数Ωの電気抵抗値を有する2乃至IOμ程度
である。その範囲は、選択された特定の被覆法に従って
変化し得る。いくつがの異なる被覆法が使用でき、もし
真空スパッタリング設備が使用可能ならば、相互にその
長手方向に沿って接触するように多数の組立体を並列に
並べることにより基体25aおよびリード線23a、2
4aの組立体上にプラチナもしくは他の金属膜26aを
蒸着するため使用することができる。スパッタリング法
を用いる時は、膜26aはスパッタリング・ソースに最
も近い場所で最も厚くなり、ソースから離れた縁部に沿
って最も薄くなって抵抗値が最も高くなる。
膜26aの付着のためのコストが比較的安い方法は、印
刷業もしくは比較的新しい厚膜の微小回路業界で使用さ
れる古典的な方法を借りてプラチナ・ペーストをあたか
も印刷インクの如く使用することである。
プラチナ・ペーストの一例は、 900℃のリード線の
付着温度よりも低い800乃至850℃で発火すること
ができる Enge 1hard社の$8082または
96926である。プラチナ・ペーストは研いた金属ま
たはガラス・ペースト上に押出すことができ、柔かなゴ
ム・ローラを用いてプラチナ・ペーストを基体25aの
軸心方向に沿って転勤することにより基体に対して転写
することができる。細い円筒部25aの表面上の膜26
aの被覆角度は、ゴム・ローラの硬度および加えられる
接触圧力により制御することができる。比較的高い接触
圧力を有する柔かなローラは 120乃至180°以上
の範囲内の更に広い被覆角度を生じ得るが、比較的低い
接触圧力は90°もしくは更に小さな被′4v角度に限
定することができる。プラチナ・ペーストの塗布の後、
素子はその材料のメーカの仕様に従って着火される。圧
着された厚膜は、中心部において最も厚くなり、またそ
の縁部において最も厚くなる。類似の、保護用の上釉1
7aは転写法により塗布することができる。膜26aの
発火温度はリード線23a、24aを2.ζ体25aに
対して固定するため用いられた高温の上釉材料の再加熱
範囲内にあることが望ましい。検出素子の材料、構造、
用法および応用についてのこれ以上の論議は、米国特許
第4,206,618号および同第4,179,147
号に見出すことができよう。
検出素子21bは21aと同様に構成され、同じ照合番
号が小文字「b」を付して用いられる。
第2図に最もよく示されるように、検出素子21a、2
1b間の交差流は、検出素子自体により、あるいはこれ
また検出素子21a、21bを機城的な整合状態に保持
するよう作用する結合材料22の使用により阻止される
。もしこの結合材料22が充分に強度が犬きくかつ安定
であるならば、円筒がその長手方向に沿って接触するこ
とにより検出素子21a、21b間の交差流が阻止され
て交差流の経路がなくなるため、これを検出素子対21
a、 21bの各端部のみに塗!5することもできる。
従って、 Eastman 910の如きシアノアクリ
レート接着材22の小滴即ち少量を検出素子対21a、
21bの各端部間に塗布することができる。接着材を各
端部のみに塗布した場合は、破tnに際して単一の素子
の修理または交換は容易に行なうことができる。結合材
22は適当な溶剤により溶かすことができ、あるいはも
し半柔軟性の材料を用いるならば、非常に薄いかみそり
の刃で切離すことができる。結合部22に対する材料は
また、Dow−Corning社のシリコーン樹脂、シ
リコーン・フェス、シリコーン・ゴム接着剤の如き半柔
軟性接着材でもよく、あるいは更に剛性の大きなエポキ
シ樹脂でもよい。加熱された検出膜26aおよび26b
が、結合部22と直接接触しないようにトランスジュー
サ20の外側に位置することに注意すべきである。この
ような構造は、この結合材料22の時間および周囲の露
出による可変性は検出素子21a、21bの性能に対す
る影晋を最小限界に抑えあるいはこれを排除するもので
ある。この構造はまた、同量の結合用接着剤22を検出
素子21a、21bの各トランスジューサ20に対して
正確に塗布する必要を減じることになる。
典型的には、前に示した規模のトランスジューサ20に
対するプラチナ膜26a、26bの抵抗値は室温で2乃
至6Ωの範囲内にある。最適の膜抵抗は、トランスジュ
ーサ20の付勢に用いられる関連する電子的制御装置の
特性により最もよく決定され、使用可能な電源、使用さ
れる増幅器の種類、選択される操作方法、作動流体等の
如き諸要因は全て計器の設計者の管理内に含まれる。
検出素子21a、21bの直径に対する長さの比が大き
くなると、衝突する流れが検出素子21a、21bの平
行な軸心により含まれる面内で360゜にわたって変化
するため、流れのベクトルが検出素子21a、21bの
円筒部軸心に対し直角をなす通常の流れから外れて運動
する時に流体の流れ即ち空気流に対する角度の感度を生
じることになる。方向の符号の向きは、検出素子21a
、21bの相対的な抵抗値が平衡状態のブリッジ回路に
おいて相互に比較される時にこれらの相対的抵抗値にお
ける変化の電気的な測定により決定することができ、あ
るいはこの符号の向きは、各検出素子21a、21bが
一定の温度で個々に作動する時、各検出素子によりその
隣りに対して発散される電力を比較することにより決定
することができる。流体の速度は、速度の増加に対する
近似的な4乗根に追従する平衡ブリッジ回路の差の出力
信号の大きさの測定により決定され、あるいは流体の速
度は、検出素子21a、21bの各々が一定の温度で作
動する時各検出素子により発散される電力を測定するこ
とにより決定することができる。
第3図は、流体の流れの速度が円筒30の軸心に対して
直角である場合の直立した円筒30を流過する低速の流
線31を示す概略図である。層流即ち乱れのない流れが
示されている。同図は、最初に円筒30と点32におい
て衝突する右側から左側への流れにおける円筒30の断
面を示している。点32は前方の澱み点として定義され
、もし流わがほとんど乱流がなければ、澱み領域として
更に正確に説明することができる。澱み点32における
相対速度は、流れ31の速度の如何に拘らず常に零であ
る。円筒30の周囲の流れの分岐が生じる澱み点32は
、流体の流れの乱流が零でなければ、特定の点に一義的
に定義されず、またこれは不可能であるため、再び澱み
領域32として更に適正に定義される。流れは円筒の面
33a、33bの周囲で維持し、速度が下がると澱み点
32から離れて約IQ8.8°で円筒30から分離する
円筒30の背後の領域は2つの乱流の渦34aおよび3
4bを含み、その大きさおよび強さは他の要因中流速に
依有する。第2図によれば、第3図の結合流33a、3
3bの領域を越えて延長する検出素子21a上の検出膜
26aは、流れの関数として把握される信号を減少しよ
うとする傾向を有する。トランスジューサ素子は、結合
流の領域を越える作用状態の検出領域を延長することな
くその性能を最適化するように作ることができる。二重
に折返された膜の結果として一端部に両方の膜のリード
線の結合部を有する片持ち型即ち端部が1つのトランス
ジューサを作るため、例えば支持円筒の1袖心に沿って
検出膜を分ける即ち分割することが要求されるならば、
澱み領域32の利点が得られる。取外された膜片は、単
に澱み領域32に配置される。
円筒の周囲における流体の流れの論議については、S、
 Goldstein著「流体力学における現代の展開
(Modern Developmenjs in F
luid Dynamics)」(1965年 Dov
er   Publicaし1ons、  Inc、、
  NewYork、 N、Y、刊、第1巻、21〜2
6頁および59〜65頁)に見出すことができる。
第4図乃至第8図は、第2図のトランスジューサ20の
断面における1つの点を除いて全ての点て類似する指向
性を有する熱作用型風速計トランスジューサ20aの第
2の実施例の断面図を示している。材料および製造法は
同じである。1つの相違点は、基体胴部25a、25b
かそれらのINI心の長手方向に沿って接線状に接触し
ていることで、保護する上釉17cが検出素子対21a
、21b全体を覆うことによりこれらをその長平方向に
沿って堅固に一緒に接合している。Engelhard
 # 6624の如き不活性の上釉が用いられる時、そ
の結果前られる結合はトランスジューサ20aの使用寿
命にわたり不偏であり、長期の安定性が確保される。第
1図および第2図の結合剤22は不要なため使用されな
い。検出素子21a、21b間の接触点における隣接す
る保護コーティング17cを貫通する基体25a、25
bの壁厚の経路を置くことにより、検出素子21bは検
出素子21bから有効に断熱される。
第5図は、対の抵抗膜26a、26bは単一の2つ孔を
設けた基体25c上に蒸着される指向性を有する熱作用
型風速計トランスジューサ20bの第3の実施例の断面
図を示す。トランスジューサ20b全体は保護コーティ
ング17cにより覆われている。製造の材料および方法
は第1図および第2図のトランスジューサ20について
説明した如くであるが、基体25cを介する熱の漏れを
少くするため単一の基体を用いて2枚の1Q26a、2
6bを密に置かれた対で支持する。考えられる特に魅力
的な材料は、ムル石の磁器、酸化アルミニウムと二酸化
ケイ素と二酸化マグネシウムの混合材であり、 100
℃における酸化アルミニウムの10分の1の熱伝導率を
有する。上記の如く、基体の内孔はリード線の取付けを
容易にするため使用することができる。1つの円筒状基
体25cにおける2つの密な間隔をおいた膜26a、2
6bの使用は、単一の物理的手段が1つ以上の検出機能
即ちトランスジューサ機能を達成するよう作用して流れ
に乱流部分がほとんど存在しないことが要求される「理
想的な」単一のコヒーレントなトランスジューサ構造に
近づく。
第6図は、第5図と類似するトランスジューサ20cの
断面図を示す。トランスジューサ20cは、その上に共
に保護コーティング17cで覆われた2つの検出膜26
a、26bが蒸着される単一の中空の管状の基体25d
を使用する。中空の円筒25dが支持基体として用いら
れる時、トランスジューサ20c自体における最小限度
の熱容量が達成でき、ここで再び、ムル石磁愕がその低
い熱伝導率に対して考えられる。ムル石は、これがトラ
ンスジューサの基体25dの用途に決して弱い材料即ち
かろうじて使用できる材料ではないが、酸化アルミニウ
ムよりかなり低い強度を有する。リード線は、ハンダ付
けその他の手段により、保護コーティング17cが小さ
な領域には省略することができる各11x 26 a、
26bの外端部に対して取付けることができる。
第7図は、本発明の原理に従って作られた指向性を有す
る熱作用型風速計トランスジューサ7の4番目の実施例
の斜視図である。この形態においては、検出膜28a、
28bは形態的には片持ち構造即ち単一の端部を有する
構造を容易にするためそれ自体に折畳まれている。片持
ち構造は、例えば3つのこのような構造が相互に直交さ
せられて流体の流れの3つの成分を測定することができ
る幾何学的配列を形成する時に特に有効である。3つの
トランスジューサ7がそれらのリード線23a、 24
a、 2:lb、 23bにより物理的に小さな支持構
造即ち針に対して取付けらねる場合は、これらトランス
ジューサは流わの領域を乱す外部のリードを持たないピ
ラミッドの要めの縁部の形態で配置することができる。
4つの内孔を有する円筒状基体25eを用いて膜28a
、28bを支持し、これらの膜は共に第3図の論議にお
いて触れた澱み領域32に沿ってその全長の大部分にわ
たってその中心部で分割即ち分離されている。膜28b
は領域Aにおいてはそのままの状態が残され、その結果
電流経路が区分された膜28bの半部間に設けられる。
リード線23a、23b、24aおよび24bは第1図
および第2図のトランスジューサ20について述べた方
法で基体25eに対して取付けられている。IH2ab
において32で示される見えない膜片は、もし真空スパ
ッタリング・コーティング法が用いられるならば、シャ
ドウ・マスクとして酸化アルミニウム・ロッドまたは石
英ロッドの薄膜を基体25d上に設けることにより作る
ことができる。
あるいはまた、既に蒸着された膜は、レーザー・ビーム
または研摩法によって除去することもできる。
第8図は、第7図の線8−8に関して矢印の方向に見た
第7図に示した指向性を有する熱作用型風速計トランス
ジューサ構造7の立面断面図である。区分された検出素
子対28a、28bはそれぞれ他方から分離され、それ
ぞれ膜28b、28bに対して見えない区分32.32
aを有するように基体25e上に蒸着される。区分32
および32aの重要性は、第7図の記述において指摘さ
れている。保護膜17cはトランスジューサ7の全体、
および1lQ28a、28bに対するリード線23a、
24a、23b、24bの取付は領域にわたってそれぞ
れ付着されている。
第9図は、第5図と類似のトランスジューサ9の第5の
実施例の断面図であり、回倒においては検出素子対26
g、26hが単一の矩形柱体状の基体25fの対向面上
に支持されている。膜26g、26hの各面は、それぞ
れ保護膜17d、17eにより覆われている。矩形状の
断面のトランスジューサ9が縁部に対する交差流を上け
る時は、流れの分割が鋭い縁部において強制的に生じて
、中間の即ち零の流れの澱み領域は生じない。流れの分
割は、常に矩形の上下の縁部において生じる。流わの領
域は、円の形態ではなく固定された平行四辺形の形態に
よっておおよそ画成される。
トランスジューサ9の作り方は円筒状のトランスジュー
サにおいて用いたものとは異なる。酸化アルミニウムま
たは類似の耐火性材料の平坦板の基板を用いて、同時に
この板材の両辺にプラチナ・ペーストをシルク・スクリ
ーンを介して伸ばしこれをコンベア炉、間欠炉またはキ
ルン内で焼成することにより、多数の検出素子対を作る
。保護用の上釉コーティングは、ハンダ付けまたは類似
の手段によりリード線取付けのため剥離された端部領域
を残した焼成プラチナ股上にシルク・スクリーンを介し
て伸ばされる。
典型的には25.4 mmX 25.4mmX O,6
35non (1” x1″X O,025” )の酸
化アルミニウム板は、TDK社、Coors Porc
elain社および他の多くのメーカから人手可能であ
る。焼成の後、板は所要の巾、例えば0.635 mt
nの巾に切込むことができ、略々四角な断面の柱状のト
ランスジューサ9を提供する。切込みは、組になったダ
イヤモンド鋸を用いて慣例的に行なわわる。この方法は
、同じ板から切出されたトランスジューサ間の大きな均
一性をもたらすものである。板の両側の膜をできるだけ
厳密に整合することが望ましい。
第1O図は、第5図および第9図と類似のトランスジュ
ーサ10の断面図で、検出素子対21c、21dが一体
品22aに結合された2つの別個の基体25g、25h
から形成された単一の複合矩形柱体状の基体の対向面上
に支持されている。膜26i、26jの各々は、それぞ
れコーティング17f、17gにより疲労および摩耗か
ら保護されている。結合剤22aは、第1図、第2図お
よび第4図について述べたように半可撓性もしくは剛性
を有するものでよい。このような形態は第9図の形態よ
りも安いコストでできるが、これは基板25が所定寸法
に切断する前に片面のみにコーティングが施されるため
である。
製作法は第9図のトランスジューサと類似している。板
が片側のみ処理される場合には、隣接する対は素子21
c、21dが物理的および電気的特性の略々完全な整合
状態になるように選択することができる。電気リード線
の結合は、第9図のトランスジューサ9においてなされ
たように素子21c、21dの各端部に対して行なわれ
る。
7J’S11図は、第1O図と類似するトランスジュー
サの第6の実施例の断面図を示し、これにおいては第1
0図の2つの平坦な板で支持した検出素子21c、21
dが中心部の支持バー29の両側に取付けられている。
この軸心の支持バー29は、他の機械的構造に第11図
のトランスジューサを取付けて定置するため使用するこ
とができる。シリコーン・ゴム接着剤またはエポキシ樹
脂の同様に半可撓性の接着剤22aを、セラミック基板
25g、25hに対して全屈支持部29を結合するため
使用することができる。リード線の結合は、それぞれ第
9図および第1O図のトランスジューサ9および10に
おけるように検出素子21c、21dの各端部に対して
行なわれる。
第12図は第11図のトランスジューサの更に別の実施
例の断面図を示し、これにおいては、第2図に示された
検出素子対21a、21bが分割されて中心支持バー2
9aのいずれかの側に支持されている。軸心の支持バー
29aは、他の機械的構造に第12図のトランスジュー
サを取付けて定置し、また検出素子対21a、21bを
その全長に沿フて支持することによりこれを強化するた
め使用することができる。シリコーン・ゴム接着剤また
はエポキシ樹脂の如き半可撓性の接着剤22b、22c
を、全屈の支持バー29aをトランスジューサの検出素
子Ha、21bに対して結合するため使用することかで
きる。リード線の結合は、第1図および第2図において
使用された類似の素子について述べたような素子21a
、21bの各端部に対して行なわわる。検出nQ26a
、26bはそれぞれ支持する基体の円筒25a、25b
の約15(l乃至180°にわたり覆う状態で示され、
また各検・出素子Ha、21bがそれぞれ保護11i1
7a、17bにより覆われていることが知られよう。米
国特許第4,024,761号は、指向性を有する熱膜
状の風速計トランスジューサがその支持基体を完全に包
囲する2枚の円筒状に支持された検出膜を用いて作るこ
とができ、2つの円筒状検出素子は軸心の支持バーのい
ずれかの側に支持されていることを教示する。前記米国
特許第4,024,761号のトランスジューサにおい
てはかなりの検出素子の加熱電力が浪費されて中心支持
部を加熱すること、また検出膜の大きな部分がこの検出
素子を支持バーに対し結合するため用いられる材料によ
り覆われて流入する流れに対するトランスジューサの感
度を劣化させかつトランスジューサの信号対ノイズ比を
著しく低下させることを知るべきである。
第13図は、第2図および第12図のトランスジューサ
の更に別の実施例の断面図であり、これにおいては第1
2図に示された対の各素子21a、21bがそれぞれ同
じ円筒状基体25a、25b上の2つの検出素子26c
、26dおよび26e、26fから形成されている。検
出素子21c、21dは、第7図および第8図のトラン
スジューサ7について述べた方法でそれぞれ区分された
膜26c、26dおよび26e、26fを使用する。各
検出素子21c、21dは、一端部から機械的に支持す
ることができる中心部の基体バー29aのいずれか一方
の側において分割されて取付けられ、片持ち構造を容易
にしかつ必要に応じて支持する。接若刑22bおよび2
2cを用いて検出素子21c、21dを支持バー29a
に対して接合する。構造は第12図のトランスジューサ
について述べた構造と類似している。
基体25a、25bは、単一孔もしくは多孔の耐火性の
円筒管でよい。電気的に接続するリード線は、前述の如
く基体の孔内もしくは検出115! 26 c、26d
、26e、26fの外表面上に取付けることができる。
第14図は第1図のトランスジューサ20の第7の実施
例を示し、これにおいては検出素子対21a、21bが
2つの平行な支持バー35a、35bの中間に支持され
ている。支持バー35aは、逆U字型に下方35cに折
曲げられて、接続するリード線を有するトランスジュー
サ20および支持バー350と接合された下方の支持バ
ー35bの取付けおよび支持を容易にする。平行な支持
バー35a、35bは、両方の機械的な保護に寄与する
と共に、バー35cおよびそのトランスジューサ20の
反対側端部における面対称と共に、風向トランスジュー
サとして空気流中に使用される時、トランスジューサ2
0の性能に空気力学的な影ツを及ぼす。米国特許第4,
206,638号は、検出素子に1本のバーを使用する
ことを教示し、また指向性を有する熱損失型風速計トラ
ンスジューサの角度が小さく略々平行な性能を改善する
ことにより、流入する風がプラスからマイナスへ、例え
ば北から南へ方向の符号を変化する軸心の交差即ち領域
を改善する自ら誘起する「空気力学的なディザ」信号の
概念を紹介している。米国特許第4,179.■7号は
、指向性を有する熱損失型風速計トランスジューサの支
持構造の2本のバー間に置かれた素子対における流れの
対称性に達するため第2のバーの使用を教示し、またこ
れに述べられた検出素子対は円筒管状の基体を完全に囲
繞する検出膜を使用する。第14図の構造は、第1図、
第2図、第4図、第5図および第6図の本文に述べたト
ランスジューサ20の諸特徴を、この素子を前記米国特
許第4,179,147号に記載された二重バー間に取
付けることにより得られる利点と組合せるものであり、
その全ての結果は風速トランスジューサの性能における
顕著な改善をもたらした。
第15図は、第14図と類似するトランスジューサの構
造の断面図であり、これにおいてはトランスジューサl
Oが第14図における如き2つの平行な支持バー35a
、35bの中間に支持されている。電気的に接続するリ
ード線24c、24dは、構造図においては支持バー3
5cの垂直部分へ通過するように見えるが、トランスジ
ューサ10の一端部における表面に結合された状態で示
されている。第9図および第11図のトランスジューサ
は、改善された空気力学的性能と共に付加的な機械的保
護作用を獲得するため、第15図の二重バーと同様に組
合せることができる。
第16図は第1図のトランスジューサ20の第8の実施
例の斜視図であり、これにおいては流れの障壁36a、
36bがトランスジューサ20の長手方向軸心に対して
直角方向にその検出素子を横切ってその各端部に取付け
られている。板36a、36bは、トランスジューサ2
0の各端部における対のリード線23a、 23bおよ
び24a、24bにより支持することができる。板36
a、36bは電気的な絶縁性を有するものでなければな
らず、あるいはもし金属から作られるならば、リード線
23a、23b、24a、 24bから絶縁されねばな
らない。トランスジューサ20の長さに応じて、板36
a、36bはトランスジューサ20の断面中の1乃至1
0倍の範囲内あり、またトランスジューサ20の端部間
に保持される限り、形状は円形、四角形もしくは不規則
形のいずれでもよい。障壁36a、36bの目的は、板
36a、36bの背後に乱流波形を生じるためトランス
ジューサ20における平行流の経路に障害即ち干渉を意
図的に生じることにあり、実際にトランスジューサ20
の軸心に沿って平行もしくは略々平行な流れを生じるよ
うに一方の側から他方へ迅速に切換ねる所謂「空気力学
的ディザ」を生じる。トランスジューサ20の一部にお
ける流れは、板:11ia、 16bにより阻害され、
板36a、36bの背後の乱流の渦流における各パルス
が左右に変動してトランスジューサ20の軸心方向に沿
って流れる。この効果は、流れのベクトルが平行流から
トランスジューサ20の軸心と直角をなす流わへ遠去る
にっわてその強さが減衰する。平板の背後の乱流渦の状
態については、先に述べた文献「流体力学における現代
の展開」の36乃至441頁において論議されている。
邪魔板35a、35bは、第7図の片持型トランスジュ
ーサ7および第9図、第10図、第11図、第12図お
よび第13図のトランスジューサの各端部に取付けられ
る時、同様に有利に使用することができる。
第7図は、第1図に示された形式の二連の検出素子21
a、21bのトランスジューサのためのアナログ型付勢
および読出し装置を示す簡単な回路図であり、これにお
いては個々の出力が方向の符号の向き54および流速5
5の読出し信号に対して与えられる。方向検出用の検出
素子対2+a、21bは、これもまた抵抗42.43に
より形成される4つの指針を有するWheatston
e型ブリッジの2つの型針リッジ結合された状態で示さ
れる。
抵抗42.43は、トランスジューサを取巻く流体の中
間部が静止状態即ち零の速度にある時、ブリッジを平衡
させるため使用される。第7図のブリッジのための付勢
が節点40.41で行なわわ、節点50と51間のブリ
ッジの平衡状態が検出されて差動増幅器53により増幅
され、これにより方向のブリッジの平衡状態もしくは不
平衡状態の程度の測定値である信号54を生じる。この
信号54は、対をなす検出素子21a、21bの一方が
更に早い速度で通気される時、正または負の極性へ揺動
することにより不平衡状態を示す。抵抗42.43によ
り形成されるブリッジは、検出素子対21a、21bと
共に、電気的に単一の抵抗と見做すことができ、これは
更に第1のWhcajstone型ブリッジ即ち方向の
ブリンジと直列をなす電力抵抗44、および抵抗45.
46により形成され、この抵抗はの値により決定される
作動点に第2のブリッジを平衡させるため使用される。
抵抗45.46のいずわが一方がブリッジの設計時点で
変更することができ、あるいはその両方ではなくどちら
が一方に可変抵抗を用いることもできる。このため、作
動点および計器の感度のオペレータの選択を可能にする
。増幅器48は、閉ループ形態で節点49におけるブリ
ッジに対しフィードバックされる高い電流出力を有15
−る差動増幅器である。増幅器イ8の入力は、節点41
.47におけるブリッジの両側から得られるが、負のフ
ィードバックが確実に使用されるため位相の変化に注意
を払わなければならない。
差動増幅器52は、節点40.41における方向のブリ
ッジの両側に結合され、またこの増幅器はあたかも単一
の素子の如く検出素子21a、21bに対する流体の速
度を判定するため使用される。
検出素子21a、21bは、抵抗42.43と共に、増
幅器52に現われて、その構成部品における変化に感応
する単一の抵抗ソースとして機能する。検出素子21a
、21bは、実際に係数が零でない抵抗であり、プラチ
ナ金属が膜として使用される時、温度係数は高い正の値
である。このため抵抗45.46の値の設定を可能にし
、その結果単一の抵抗と考えられる方向のブリッジの全
直並列抵抗値が電力抵抗44と共にブリッジのいずれか
の側において同じ抵抗比率を持たせることにより抵抗4
5.46に対して平衡する時、ブリッジの平衡のため必
要なブリッジの平衡抵抗値が満たされる。活動状態にあ
る側は、方向のブリッジと共に抵抗44からなる。基準
側は抵抗45と46とからなっている。
検出素子21a、21bが冷却状態にある即ち不作動状
態にある時、その抵抗値はその作動値よりも低く、基準
値の比率の設定を通じてその作動値を制御する際、ブリ
ッジを自己平衡させるに必要な加熱抵抗値を選択するこ
とができ、その全ては節点49におけるバッファに対し
て増幅器48を通る負のフィードバックの手段により制
御される。このフィードバック・ループは、検出用検出
素子21a、21bの抵抗がブリッジを平衡させる抵抗
値をとるまで、ブリッジの組合せ全体に流れる電流を自
動的に調整するように作動する。回路が最初に投入され
かつ各素子が周囲温度にある時増幅器48の出力側に小
さな相殺電圧が存在しなければならず、その結果相殺電
圧の結果流れる小さなブリッジ電流は節点41.47間
の小さなエラー信号を生じるには充分であり、これによ
り回路がそれ自体を作動状態に投入することを許容する
。上記の作動モードは熱線または熱膜風速計の作動の定
常温度(定常抵抗)法として記述した。
典型的な回路においては、検出素子21a、21bの各
抵抗値はそれぞれ室温において3,3Ωである。温度に
感応する抵抗値が測定される時は注意を払わなければな
らない。電力抵抗44は2Ωであり、この抵抗は低い温
度抵抗係数および充分な物理的寸法を有し、そのため自
己熱が変化する電流レベルによりその公称抵抗値におい
て大きな変化を生じることはない。実施例により示され
る割合で形成される第1図および第2図のトランスジュ
ーサ20の場合は、典型的な零の速度の電流レベルは0
.1アンペアの範囲内にあり、最大の流速においては、
電流レベルは極端な場合でも略々1アンペアが測定され
得る。抵抗45は 499Ωであり、粒度の高い膜また
は線を巻いた抵抗でよい。抵抗42および43の値は、
検出素子21a、21bの不必要な負荷を避けるように
20,000または30,000Ωとなっている。抵抗
46の約2,245Ωの値は、方向ブリッジの総抵抗値
を9Ωまで上昇させることになり、これによりブリッジ
を平衡させる。その結果生じる検出素子21a、21b
の表面温度は、125乃至135℃となる。抵抗46は
、検出素子21a、21bの温度補償のため使用するこ
とができる。周囲温度の変化を追跡して検出し、また温
度の変化に対する風速計の感度を自動的に調整するため
、プラチナ抵抗温度検出器またはニッケル抵抗温度計ま
たは類似の温度に感応する抵抗を固定低温度係数抵抗4
6の代りに使用することができる。慣例的には、ブリッ
ジの抵抗46のアームの温度係数の増加即ちトリミング
を行なって発熱状態の検出素子21a、21bの温度抵
抗係数に対するブリッジの基準値側の温度抵抗係数を平
衡させるため、直列トリミング抵抗が使用される。
この手法の詳細な論議については、米国特許第3,36
3,462号に記載され、また熱作用型風速計技術につ
いては特に5abinの設計方程式が一般に有効である
出力54は双極性であり、どの検出素子21a、21b
が衝突する流体の流れに面しているかを示す。この流れ
に面する検出素子は、その総抵抗値が一定の状態のまま
である間抵抗値が増加する流れから離れた検出素子より
も低い抵抗値が低下させられる。出力55は単極性であ
り、非線形であり流体の流動部分に対して失われた熱即
ちエネルギ量を示す速度の測定値を与える。
増幅rlI48.52.53は集積回路の演算増幅器で
よく、これらは正および負の12または15ボルトの電
源から作動させられる。15ボルトでの作動は、出力5
4および55において少なくともIOボルトの信号の揺
動を生じ得る。第7図の複数のブリッジ回路が2つ以上
のトランスジューサのアレイと共に使用される時、トラ
ンスジューサ間の望ましくない漏洩およびその結果生じ
得る適正な作動障害を避けるために、適正な接地および
電源回路の配線を行なわなければならない。
第18図は、第14図、第15図および第16図のトラ
ンスジューサと共に使用するにも特によく適合する第1
図に示した形式の二連検出素子21a、21bのトラン
スジューサに対するアナログ型の付勢および読出し装置
を示す簡単な回路図であり、これにおいては単一の複合
流の方向および速度信号61が生じる。第7図における
如く、検出素子対21a、21bは、これもまた抵抗4
2.43により形成される4本のアームのWheats
 Lone型ブリツブリッジのアームとして結合された
状態で示されている。抵抗42.43は、トランスジュ
ーサを取巻く流動媒体が静止状態即ち零の速度である時
、ブリッジの平衡のため使用される。
第18図のブリッジの付勢は節点40.41において与
えられ、また定常抵抗ブリッジとしての方向ブリッジの
作動は第7図に関して記述した如くである。節点50.
51間のブリッジの平衡状態は、差動増幅器56により
検出されて増幅され、これにより方向ブリッジの不平衡
状態の程度の測定値である信号61を生じる。信号61
は、検出素子対21a、21bの一方または他方が衝突
する流体の流れにより比較的高い速度で通気される時、
正または負の極性に切換ねることによって不平衡状態を
示す。風下即ち「風の下手」の素子は、他方即ち「風の
上手」の素子により生じる閉塞のために比較的低い流速
を「示す」。その結果生じる差の出力信号61の大きさ
は、速度の直接の測定値である。抵抗57.59は増幅
器56に対する入力抵抗であり、抵抗58.60はフィ
ードバック抵抗である。差の利得は、それぞれ入力抵抗
57.59に対するフィードバック抵抗58.60の比
率によって設定される。典型的な増幅器の利得は、例え
ば毎秒25mの実気流の場合に20乃至25の範囲内に
ある。
第19図は、ディジタル・コンピュータ装置70による
制御下で作動状態にある個々の熱光源型トランスジュー
サの検出素子21aのための付勢および読出し装置を示
す簡単な回路図である。ディジタル・コンピュータ即ち
マイクロ・コンピュータ70は、ディジタル/アナログ
・コンバータ72(数値コードから電圧もしくは電流へ
のコンバータ)およびアナログ/ディジタル・コンバー
タ76(電圧から数値コードへのコンバータ)のルリ御
78のため使用され、これらは再びマイクロ・コンピュ
ータ70に流れて記録され、表示され、他の実時間もし
くは時間的に遅れた(オフ・ウィートストン(Whea
tン)処理を操作し制御するため更に処理されるか使用
することができる符号他出カフ9を生じる抵抗によるト
ランスジューサ検出素子21aの付勢73および読出し
75のため使用される。マイクロコンピュータ70は、
抵抗を有する検出素子21aの熱損失作動状悪または電
力散逸レベルを周期的あるいは非周期的に付勢しかつ読
出し、加熱された時流動する流体の流れに対する検出素
子21aにより置換されたエネルギ損失を測定する。マ
イクロコンピュータ70により計算された結果は、出力
回線79に与えられ、またコンピュータ70により定め
られたレベルで検出素子21aを作動させるディジタル
/アナログ・コンバータ72に対する結線71上でこれ
らを修正された形態で与えることにより使用される。ト
ランスジューサの信号レベルを意味するディジタル・コ
ードは、ディジタル/アナログ・コンバータ72に対し
て付与され(71) 、アナログ電圧または電流レベル
へ変換され、またその作動電力レベルが検出され(75
)てディジタル数値コード77をコンピュータ70に送
るアナログ/ディジタル・コンバータ76に対して送ら
れる検出素子21aに対して送られる(73) 、検出
素子21aは、ディジタル/アナログ・コンバータ72
の電力供給限度内にあり、また検出素子21aの電力処
理能力を越えない限りどんな任意の電力レベルでも作動
するように迅速に指令することができる。非常に低い電
力レベルにおいて作動する時、検出素子21aは温度検
出用トランスジューサとして使用することができ、局部
的な周囲温度の測定を容易にする。比較的高い電力レベ
ルで作動する時は、抵抗性を有する検出素子21aの零
でない温度係数は風速計の性能を示し、このことは例え
ばこの素子が熱をその周囲の流体に対して失ってこの流
体の運動速度と共に変化することである。作動電力レベ
ルが全てコンピュータ70の制御下にあり、かつ高速度
で変化し得るため、検出素子21aにおける熱伝達係数
を決定するため、いくつがの未知数における流体力学あ
るいは熱流体作用式を解くことが可能である。いくつが
の未知数における組をなす連立方程式の解は、一連の異
なる温度において検出素子21aを操作することにより
例えば、風の速度、気温、空気の密度等の数値を決定す
るため使用することができる。
第20図は、第1図に示された形式の二連式検出素子の
トランスジューサ20の付勢および読出しを示す簡単な
回路図であり、このトランスジューサはディジタル・コ
ンピュータ装置の制御下で作動状態にあり、これにより
複数の検出素子21a、21bならびに複数のトランス
ジューサ20の作動および読出しを行なう。第20図は
、マルチプレクサ74(電子/機域式スイッチの多重チ
ャネル電子スイッチ)が付加されている点を除いて第1
9図と同じものであり、このマルチプレクサは2つ以上
の検出素子21a11.21bと接続して、複数の検出
素子21a、21b、i数の熱作用風速計20の組立体
および検出素子として使用することができる他の形式の
抵抗により、ディジタル・コンピュータ70および信号
コンバータ72.76の共用動作を許容する。本文に述
べたトランスジューサの全ての変更例は第20図の回路
によって作動し得る。例えば、2つの検出素子21a、
21bが図示の如く作動する時、第20図の回路は、外
部の回路装置により検出素子21a、21bの各々を交
互にON10 F F して、同時に並行的ではなく逐
次にトランスジューサ対20の各検出素子21a、21
bにより流れに対して失った熱を検査することにより、
トランスジューサ20の信号対ノイズ・レベルを更に強
化する方法を提供する。このステップは、付勢に必要な
エネルギを直ちに50%だけ低下させる結果をもたらす
。比較的大きな流体の流量信号即ち消費ざわたエネルギ
は、流体が流れる方向に面する検出素子に起因し得る。
別の例として、第20図の回路形態を用いる場合、′f
j2の抵抗性を有する検出素子を流体のサンプルされた
連続的な温度の検出のため使用しなから、単一の検出素
子21aまたはその相当する抵抗を流体の性状の検出の
ため用いることができる。
第21図は、直列接続された抵抗性の検出素子対21a
および21b1. 、 、2]xおよび21yの各々が
あたかも単一の検出素子であるかのように付勢され読出
されるこれら検出素子と共にマルチプレクサ74が交互
に使用できる方法を示している。抵抗性の検出導体21
a、21bの直列接続状態はマルチプレクサ74のスイ
ッチ・チャネルmで示されている。単一および対をなす
抵抗性検出導体の混成はこのように作動することができ
、マルチプレクサのスイッチ74を介してディジタル・
コンピュータが生成する指令78を共用する。例えば、
マルチプレクサ74のスイッチ・チャネルnと接続され
た接合点80における信号は、方向の信号の向きのみを
示すため使用することができ、抵抗性検出導体21aま
たは21bのどれが流入する流体の流れによる比較的大
きな通気を受取るかを識別する。また、2つ以上の抵抗
性の検出導体が、特定の測定用途の必要に応じて、この
ようにマルチプレクサ74に対して直列接続できること
を知るべきである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の原理に従って作られた指向性を有する
熱作用風速計トランスジューサを示す斜視図、第2図は
第1図の線2−2に関して矢印方向に見た第1図の指向
性熱作用風速計トランスジューサの構造を示す立面断面
図、第3図は円筒の軸心と直角に低速で円筒を流過する
流体の:a線を示す概略図、第4図は基体対を支持する
検出用素子が堅固に一体に接合された第2の実施例を示
す第2図と類似のトランスジューサの断面図、第5図は
検出素子対が単一の円筒状基体上に支持される第3の実
施例を示す第2図と類似のトランスジューサの断面図、
第6図は検出素子が単一の中空の円筒状基体上に支持さ
れる第5図と類似のトランスジューサの断面図、第7図
は本発明の原理に従って作られた指向性を有する熱作用
風速計トランスジューサの第4の実施例を示す斜視図、
第8図は第7図の線8−8に関して矢印の方向に見た第
7図の指向性熱作用風速計トランスジューサを示す立面
断面図、第9図は検出素子対が単一の矩形柱体状の基体
の対向面上に支持される第5図と類似のトランスジュー
サの第5の実施例を示す断面図、第1O図は同じ平坦な
板の基体が支持する検出素子の背面に対して接着された
平板の基体上に検出素子が支持されるM9図と類似のト
ランスジューサの断面図、第11図は2枚の平行な板が
支持する検出素子が中心部の支持バーのいずれかの側で
支持された第10図と類似のトランスジューサの′!F
J6の実施例を示す断面図、第12図は第2図に示され
た素子対が別個でありかつ中心部支持バーのいずれかの
側で支持された第11図のトランスジューサの更に別の
実施例を示す断面図、第13図は第12図に示した対の
各素子が同じ円筒状基体上の2つの検出素子から形成さ
れた第2図および第12図のトランスジューサの更に別
の実施例を示す断面図、第14図は検出素子対が2本の
平行な支持バーの中間に支持される第1図のトランスジ
ューサの第7の実施例を示す図、第15図は第10図の
検出素子対が2本の平行な支持バーの中間に支持された
状態で示される第14図と類似のトランスジューサを示
す断面図、第16図は流れの障害板がトランスジューサ
の各端部において検出素子対を横切って支持された第1
図のトランスジューサの第8の実施例を示す斜視図、第
7図は方向を示す符号および流速の読出し信号に対して
個々の出力が与えられる第1図に示した形式の二連の検
出素子のトランスジューサのためのアナログ型の付勢お
よび読出し装置を示す概略回路図、第18図は1つの複
合流の方向および速度の出力信号が生じる第14図、第
15図および第16図に示した形式の二連検出素子のト
ランスジューサのためのアナログ型の付勢および読出し
装置を示す概略回路図、第19図はディジタル・コンピ
ュータ装置により作動および制御状態にある個々の熱損
失トランスジューサの検出素子の付勢および読出し状態
を示す概略回路図、第20図は複数の検出素子の作動お
よび読出しを行なうディジタル・コンピュータ装置によ
り作動および制御状態にある第1図に示した形式の二連
検出素子のトランスジューサの付勢および読出し状態を
示す概略回路図、および第21図は第1図に示される形
式の直列に結合された複数の検出素子の使用状態を示す
第20図の一部の説明図である。 20−・・指向性を有する熱作用型風速計トランスジュ
ーサ、21a、21b−・・検出素子、22−・・結合
手段、23a、23b、24a 、 24b−接続ワイ
ヤ、25a、25b−・・耐火性の円筒状基体、26a
、26b−・・抵抗膜、17a、17b・・・保護用コ
ーティング、28a 、 28b−・・区分1漠、30
−・・円筒、32 ・*み点、33a、 33b−結合
流、34a、34b−・・乱流渦。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、零でない温度抵抗係数の抵抗性を有する検出導体で
    覆われた相互に実質的に熱的および電気的に絶縁された
    少なくとも2つの領域を有する非導電性の基体を設け、
    前記導体は 前記トランスジューサの基体における結合流の領域内で
    のみ延在することを特徴とする 指向性を有する熱作用型風速測定トランスジューサ。 2、前記基体が1対の円筒状の素子を含むことを特徴と
    する特許請求の範囲第1項記載の指向性を有する熱作用
    型風速測定トランスジューサ。 3、前記基体が、2つの対向面上に抵抗性の検出導体を
    有する矩形柱体状であることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項記載の指向性を有する熱作用型風速測定トラン
    スジューサ。 4、前記基体が単一の円形柱体状であることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の 指向性を有する熱作用型風速測定トランスジューサ。 5、保護用コーティングが抵抗性の検出導体上に塗布さ
    れることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の指向
    性を有する熱作用型風速測定トランスジューサ。 6、前記抵抗性の検出導体の検出素子に密接してこれに
    平行に定置された少なくとも1つの円筒状バーを更に設
    けて空気力学的な乱流を生じ、小さな角度性能を改善す
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の指向性
    を有する熱作用型風速測定トランスジューサ。 7、前記トランスジューサの各端部においてかつ前記ト
    ランスジューサの軸心を横切って取付けられた1対の障
    壁を更に設け、該障壁が空気力学的な乱流を生じて前記
    トランスジューサ軸心に対して略々平行な流入する流れ
    に対する小さな角度性能を改善するためのものであるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の指向性を有
    する熱作用型風速測定トランスジューサ。 8、前記2つの円筒状素子が接着剤により接合されるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の指向性を有
    する熱作用型風速測定トランスジューサ。 9、前記2つの円筒状素子が、抵抗性の検出導体の基体
    上に塗布された保護コーティングにより接合されること
    を特徴とする特許請求の範囲第2項記載の指向性を有す
    る熱作用型風速測定トランスジューサ。 10、前記の少なくとも2つの領域の各々における前記
    抵抗性の検出導体が前記基体の澱み領域内でその軸心長
    さの大部分にわたって分離されて、前記トランスジュー
    サの素子の片持ち支持を許容することを特徴とする特許
    請求の範囲第1項記載の指向性を有する熱作用型風速測
    定トランスジューサ。 11、前記基体の矩形柱体が、各々が1つの面上の抵抗
    性の検出導体を含む2つの接合した矩形柱体からなるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第3項記載の指向性を有
    する熱作用型風速測定トランスジューサ。 12、機械的な支持のため前記円筒状素子間に1本のバ
    ーを更に含むことを特徴とする特許請求の範囲第2項ま
    たは第11項に記載の指向性を有する熱作用型風速測定
    トランスジューサ。 13、(a)抵抗性の検出導体により覆われる複数の非
    導電性の基体と、  (b)前記トランスジューサの各端部においてかつ前
    記トランスジューサの軸心を横切って取付けられた1対
    の障壁を含み、該障壁は前記トランスジューサの軸心に
    対して略々平行に流入する流れに対する性能を改善する
    ため空気力学的な乱流を生じるようになっていることを
    特徴とする指向性を有する熱作用型風速測定トランスジ
    ューサ。 14、(a)前記2つの抵抗性を有する検出導体が、一
    緒に直列形態に結合され、1対の直列に接続された平衡
    抵抗が前記の直列に接続された2つの抵抗性の検出導体
    を横切って並列に接続されて、第1の4アームのウィー
    トストン(Wheat−stone)型ブリッジを形成
    し、 (b)前記第1の4アームのウィートストン型ブリッジ
    は第2のウィートストン型ブリッジを形成するため1つ
    の抵抗に直列に接続されかつ前記第1の4アームのウィ
    ートストン型ブリッジおよび前記直列に接続された抵抗
    に並列に接続された1対の直列の平衡抵抗に接続され、 (c)前記第2のウィートストン型ブリッジは、第1の
    差動誤差増幅器とその出力が負のフィードバック状態に
    おいて前記第2のウィートストン型ブリッジの上のタッ
    プにフィードバックされるブースタ増幅器に対して作用
    的に接続され、前記第2のウィートストン型ブリッジの
    上のタップは前記第1の4つのアームのウィートストン
    型ブリッジに接続された前記直列抵抗との前記対の直列
    の平衡抵抗の接合点として規定され、前記第2のウィー
    トストン型ブリッジの下のタップは前記第1の4つのア
    ームのウィートストン型ブリッジの下端部と前記直列の
    平衡抵抗の反対側端部との接合点および接地点として規
    定され、これによりブリッジの付勢およびその結果とし
    てフィードバック制御された定常温度の風速計としての
    前記方向熱作用型風速測定トランスジューサの作用を生
    じ、前記誤差信号は前記第1の4アームのウィートスト
    ン型ブリッジの上のタップと前記直列抵抗の接合点およ
    び前記第2のウィートストン型ブリッジを形成する前記
    の直列平衡抵抗の接合点とから得られ、 (d)前記第1の4アームのウィートストン型ブリッジ
    の直列に接続された抵抗性の検出導体対と前記第1の4
    アームのウィートストン型ブリッジの直列に接続された
    平衡抵抗対との間に作用的に接続されたコンパレータ装
    置がその中間点を比較することにより、前記の直列に接
    続された抵抗性の検出導体を越える流入流体の検出信号
    の向きを示す出力信号を生じるコンパレータ装置と、 (e)前記第1の4アームのウィートストン型ブリッジ
    の上のタップと下のタップを通って作用的に接続された
    第2の差動増幅器を設け、前記第2の差動増幅器は、前
    記第1の4アームのウィートストン型ブリッジ全体を通
    って 生じた電圧信号を増幅することにより更なる処理に適す
    るレベルで電気的な出力信号を生じることを特徴とする
    特許請求の範囲第1項記載の指向性を有する熱作用型風
    速測定トランスジューサ。 15、(a)前記2つの抵抗性の検出導体が直列形態に
    一緒に接続され、1対の直列に接続された平衡抵抗が前
    記直列に接続された2つの抵抗性の検出導体に並列に接
    続されて、第1の4アームのウィートストン型ブリッジ
    を形成し、 (b)該第1の4アームのウィートストン型ブリッジは
    第2のウィートストン型ブリッジを形成するため1つの
    抵抗と直列に接続されかつ前記第1の4アームのウィー
    トストン型ブリッジおよび前記直列に接続された抵抗に
    並列に接続された1対の直列平衡抵抗と接続されて、 (c)該第2のウィートストン型ブリッジは第1の差動
    誤差増幅器および電流ブースタ増幅器と作用的に接続さ
    れ、該ブースタ増幅器の出力は負のフィードバック形態
    で前記第2のウィートストン型ブリッジの上のタップに
    フィードバックされ、該第2のウィートストン型ブリッ
    ジの上のタップは前記第1の4アームのウィートストン
    型ブリッジと接続された前記直列抵抗との前記対の直列
    平衡抵抗の接合点として定義され、前記第2のウィート
    ストン型ブリッジの下のタップは前記第1の4アームの
    ウィートストン型ブリッジの下端部と前記直列平衡抵抗
    の反対側端部との接合点および接地点と定義され、これ
    によりブリッジの付勢およびその結果としてフイードバ
    ック制御された定常温度型風速計として前記指向性の熱
    作用型風速測定トランスジューサの作用を生じ、前記誤
    差信号が前記第1の4アームのウィートストン型ブリッ
    ジの上のタップと前記直列抵抗との接合点から、また前
    記第2のウィートストン型ブリッジを形成する前記直列
    平衡抵抗の接合点から得られ、 (d)前記第1の4アームのウィートストン型ブリッジ
    の反対側に作用的に接続された第2の平衡差動増幅装置
    を設け、該第2の増幅器の2つの入力信号は中間点即ち
    前記2つの抵抗性の検出導体の接合点および中間点即ち
    前記対の直列に接続された平衡抵抗の接合点から得られ
    、前記第2の平衡差動増幅器は前記2つの抵抗性検出導
    体を横切って流過する流体の流れの速度および方向の符
    号の向きの測定値である増幅された複合出力信号を生じ
    る ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の指向性を
    有する熱作用型風速測定トランスジューサ。 16、前記直列平衡抵抗の1つが第2のウィートストン
    型ブリッジを形成し、その第2のウィートストン型ブリ
    ッジは第1のウィートストン型ブリッジの反対側にあり
    かつ前記第1の4アームのウィートストン型ブリッジと
    接続されていて、零でない温度抵抗係数を有し、検出さ
    れた周囲温度における変化に従って前記第2のウィート
    ストン型ブリッジの平衡状態を修正する周囲温度センサ
    として機能することを特徴とする特許請求の範囲第14
    項または第15項に記載の指向性を有する熱作用型風速
    測定トランスジューサ。 17、(a)前記抵抗性検出導体がその付勢電力を受取
    るディジタル/アナログ・コンバータと作用的に接続さ
    れた抵抗性の検出導体を設け、 (b)該抵抗性の検出導体はまたアナログ/ディジタル
    ・コンバータ装置と作用的に接続され、これにより前記
    の抵抗性の検出導体の作動レベルの測定および検出の手
    段を提供し、 (c)前記ディジタル/アナログ・コンバータ装置と前
    記アナログ/ディジタル・コンバータ装置の双方が、前
    記抵抗性の検出導体の作動レベルの設定および読出しの
    制御のためのディジタル・コンピュータ装置に対して作
    用的に接続され、以て該ディジタル・コンピュータ装置
    を用いて前記抵抗性検出導体を取巻く作用流体に対する
    前記抵抗性検出導体の作動エネルギを計算し、前記ディ
    ジタル・コンピュータ装置が、これにより、前記の抵抗
    性の検出導体の熱作用型風速計の作動から生じる1つ以
    上の計算された熱伝達係数である読出し出力信号を生じ
    ることを特徴とする熱作用型風速測定トランスジューサ
    。 18、マルチプレクサ・スイッチング装置が、前記抵抗
    性検出導体と前記信号コンバータとの間で前記ディジタ
    ル/アナログ・コンバータおよび前記アナログ/ディジ
    タル・コンバータの前に置かれ、これにより複数の抵抗
    性の検出導体の付勢、作動および読出しのための手段を
    提供することを特徴とする特許請求の範囲第7項記載の
    指向性を有する熱作用型風速測定トランスジューサ。 19、複数の抵抗性の検出導体が、前記マルチプレクサ
    ・スイッチング装置から接地に電気的に直列に接続され
    、前記抵抗性の検出導体の接合点が前記マルチプレクサ
    ・スイッチング装置の入力チャネルと作用的に接続され
    ていることを特徴とする特許請求の範囲第18項記載の
    指向性を有する熱作用型風速測定トランスジューサ。
JP62126856A 1986-05-23 1987-05-23 指向性を有する熱作用型風速測定トランスジュ−サ Expired - Lifetime JP2511456B2 (ja)

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