JPH0664080B2 - フローセンサ用の温度補償回路 - Google Patents
フローセンサ用の温度補償回路Info
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- JPH0664080B2 JPH0664080B2 JP1059266A JP5926689A JPH0664080B2 JP H0664080 B2 JPH0664080 B2 JP H0664080B2 JP 1059266 A JP1059266 A JP 1059266A JP 5926689 A JP5926689 A JP 5926689A JP H0664080 B2 JPH0664080 B2 JP H0664080B2
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- JP
- Japan
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- temperature
- sensitive
- sensitive resistor
- voltage
- circuit
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/696—Circuits therefor, e.g. constant-current flow meters
- G01F1/698—Feedback or rebalancing circuits, e.g. self heated constant temperature flowmeters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/028—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
- G01D3/036—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves
- G01D3/0365—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure on measuring arrangements themselves the undesired influence being measured using a separate sensor, which produces an influence related signal
-
- G—PHYSICS
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- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6845—Micromachined devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P1/00—Details of instruments
- G01P1/006—Details of instruments used for thermal compensation
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は温度補償回路、例えばチップ上の２点間の温
度差を測定し、この測定結果から流量を検出するフロー
センサ用の温度補償回路に関するものである。
度差を測定し、この測定結果から流量を検出するフロー
センサ用の温度補償回路に関するものである。
〔従来の技術〕 第４図はフローセンサを示す斜視図であり、チップ１０
の上面中央部にヒータ抵抗ＲＨを挟んで第１，第２の感
温抵抗ＲＸ，ＲＹが設けられている。なお、図中の矢印
は流体の流れ方向を示している。第５図乃至第７図は上
記第１，第２の感温抵抗ＲＸ，ＲYを含む従来の感温抵
抗駆動回路を示す。第５図は感温抵抗ＲＸ，ＲＹにそれ
ぞれ直列に定電流源１，２を接続してブリッジ回路を構
成し、その感温抵抗ＲＸ，ＲＹと定電流源１，２の接続
点Ｐ１，Ｐ２に差動アンプ３の入力端を接続したもの
で、差動アンプ３にはＶ２＝Ｉ（ＲＸ−ＲＹ）の信号が
入力される。ただし、Ｖは電源電圧、Ｉは電流である。
の上面中央部にヒータ抵抗ＲＨを挟んで第１，第２の感
温抵抗ＲＸ，ＲＹが設けられている。なお、図中の矢印
は流体の流れ方向を示している。第５図乃至第７図は上
記第１，第２の感温抵抗ＲＸ，ＲYを含む従来の感温抵
抗駆動回路を示す。第５図は感温抵抗ＲＸ，ＲＹにそれ
ぞれ直列に定電流源１，２を接続してブリッジ回路を構
成し、その感温抵抗ＲＸ，ＲＹと定電流源１，２の接続
点Ｐ１，Ｐ２に差動アンプ３の入力端を接続したもの
で、差動アンプ３にはＶ２＝Ｉ（ＲＸ−ＲＹ）の信号が
入力される。ただし、Ｖは電源電圧、Ｉは電流である。
また、第６図は回路簡素化のために定電流源１，２の代
わりに抵抗Ｒ１，Ｒ２を用い、前記第５図と同一構成と
したもので、Ｒ１，Ｒ２≫ＲＸ，ＲＹとすれば電流Ｉは
ほぼ一定となり、第５図に近い動作となる。
わりに抵抗Ｒ１，Ｒ２を用い、前記第５図と同一構成と
したもので、Ｒ１，Ｒ２≫ＲＸ，ＲＹとすれば電流Ｉは
ほぼ一定となり、第５図に近い動作となる。
第７図は感温抵抗ＲＸ，ＲＹを直列に接続して、その接
続点Ｐ３から出力Ｖ２を取出するもので、この出力Ｖ２
は、 となる。
続点Ｐ３から出力Ｖ２を取出するもので、この出力Ｖ２
は、 となる。
ところで、上記感温抵抗ＲＸ，ＲＹは、第８図に示すよ
うな抵抗温度特性をもつものとする。ただし、第８図は
感温抵抗ＲＸだけの抵抗感度特性を示す。
うな抵抗温度特性をもつものとする。ただし、第８図は
感温抵抗ＲＸだけの抵抗感度特性を示す。
いま、第８図に示すように、０℃のときの抵抗値をＲX0
とすると、温度Ｔ℃のときの抵抗ＲＸは、ＲＸ＝Ｒ
X0（１＋αＴ）で表わされる。また、感温抵抗ＲＹも同
様に、ＲＹ＝ＲY0（１＋αＴ）の特性を有する。
とすると、温度Ｔ℃のときの抵抗ＲＸは、ＲＸ＝Ｒ
X0（１＋αＴ）で表わされる。また、感温抵抗ＲＹも同
様に、ＲＹ＝ＲY0（１＋αＴ）の特性を有する。
また、周囲温度ＴＡ℃のとき、流体の流れによりヒータ
の熱が伝わり、下流の感温抵抗ＲＸの温度がΔＴＤ℃だ
け上昇したとすると、感温抵抗ＲＸ，ＲＹの温度はそれ
ぞれＴＡ＋ΔＴＤ（℃），ＴＡ（℃）となる。
の熱が伝わり、下流の感温抵抗ＲＸの温度がΔＴＤ℃だ
け上昇したとすると、感温抵抗ＲＸ，ＲＹの温度はそれ
ぞれＴＡ＋ΔＴＤ（℃），ＴＡ（℃）となる。
上記の条件において、前記第５図の構成では、差動アン
プ３にブリッジ回路の出力Ｖ２が供給される。
プ３にブリッジ回路の出力Ｖ２が供給される。
Ｖ２＝Ｉ（ＲＸ−ＲＹ） ＝Ｉ〔ＲX0｛１＋α（ＴＡ＋ΔＴＤ）｝−ＲY0（１＋
αＴＡ）〕 ＝Ｉ｛ＲX0−ＲY0＋α（ＲX0−ＲY0）ＴＡ＋α×ＲX0
ΔＴＤ｝………(1) 上記出力Ｖ２の零点変動特性を見るため、ΔＴＤ＝０と
すると、(1)式は、 Ｖ２＝Ｉ｛ＲX0−ＲY0＋α（ＲX0−ＲY0）ＴＡ｝……
(2) となる。ＲX0＝ＲY0とすれば(2)式は、 Ｖ２＝０ となるが、製造上のばらつきによりＲX0≠ＲY0のときに
は出力Ｖ２は(2)式のようになり、周囲温度ＴＡによっ
て変動する。
αＴＡ）〕 ＝Ｉ｛ＲX0−ＲY0＋α（ＲX0−ＲY0）ＴＡ＋α×ＲX0
ΔＴＤ｝………(1) 上記出力Ｖ２の零点変動特性を見るため、ΔＴＤ＝０と
すると、(1)式は、 Ｖ２＝Ｉ｛ＲX0−ＲY0＋α（ＲX0−ＲY0）ＴＡ｝……
(2) となる。ＲX0＝ＲY0とすれば(2)式は、 Ｖ２＝０ となるが、製造上のばらつきによりＲX0≠ＲY0のときに
は出力Ｖ２は(2)式のようになり、周囲温度ＴＡによっ
て変動する。
第６図の回路構成では、Ｒ１，Ｒ２≫ＲＸ，ＲＹとすれ
ば、ほぼ第５図の回路構成による場合の関係が成立す
る。
ば、ほぼ第５図の回路構成による場合の関係が成立す
る。
また、第７図の回路構成では、その出力Ｖ２は次のよう
になる。
になる。
ΔＴＤ＝０とすると(3)式は、 となり、製造上のばらつきにより、ＲX0≠ＲY0であって
も、両者は比率を取るため、周囲温度ＴＡの影響を受け
にくいことがわかる。
も、両者は比率を取るため、周囲温度ＴＡの影響を受け
にくいことがわかる。
さらに第７図の回路構成においては、次に述べる方法に
よりＲX0とＲY0とが等しくなくても零点変動を除去する
ことができる。
よりＲX0とＲY0とが等しくなくても零点変動を除去する
ことができる。
第７図の回路構成において、ヒータの電流を遮断するこ
とにより、第１，第２の感温抵抗ＲＸ，ＲＹの温度差Δ
ＴＤ＝０の状態を作り出し、このときの値を零点として
記憶しておき、ヒータ作動時の値から引いて零点補償を
行うものとする。すなわち、(3)式−(4)式を演算しその
結果をＶ３′とすると、次のように表わすことができ
る。
とにより、第１，第２の感温抵抗ＲＸ，ＲＹの温度差Δ
ＴＤ＝０の状態を作り出し、このときの値を零点として
記憶しておき、ヒータ作動時の値から引いて零点補償を
行うものとする。すなわち、(3)式−(4)式を演算しその
結果をＶ３′とすると、次のように表わすことができ
る。
流速ゼロでΔＴＤがゼロの場合、(5)式の結果はゼロと
なりＲX0≠ＲY0でも零点変動を生じないことがわかる。
しかし以下に述べるように、周囲温度の影響により測定
感度が変化してしまう特性はキャンセルされていない。
なりＲX0≠ＲY0でも零点変動を生じないことがわかる。
しかし以下に述べるように、周囲温度の影響により測定
感度が変化してしまう特性はキャンセルされていない。
ΔＴＤの変化がわずかで、１＋αＴＡ≫αΔＴＤのと
き、 のようになる。
き、 のようになる。
上記(6)式から明らかなように、Ｖ２′は周囲温度ＴＡ
により影響を受け、αが正のとき、周囲温度ＴＡが高温
になるほどＶ２′が小さくすなわち流速に対する感度が
低くなることがわかる。
により影響を受け、αが正のとき、周囲温度ＴＡが高温
になるほどＶ２′が小さくすなわち流速に対する感度が
低くなることがわかる。
そこで、第９図に示すように、前記第７図に示す構成の
感温抵抗ＲＹと直列に、順方向電圧が負の温度係数を有
するダイオードＤを接続し、周囲温度ＴＡによる影響を
小さくすることが考えられている。
感温抵抗ＲＹと直列に、順方向電圧が負の温度係数を有
するダイオードＤを接続し、周囲温度ＴＡによる影響を
小さくすることが考えられている。
従来の感温抵抗駆動回路は第９図のように構成するよう
により、周囲温度による影響を小さくすることが考えら
れているが、ダイオードＤと感温抵抗ＲＸ，ＲＹの温度
係数を正確に合わせることが困難であったり、ダイオー
ドＤの順方向電圧にばらつきがあったり、ダイオードＤ
と感温抵抗ＲＸ，ＲＹが位置的に離れて温度差がある
と、正しく温度補償が行われないという問題点があっ
た。
により、周囲温度による影響を小さくすることが考えら
れているが、ダイオードＤと感温抵抗ＲＸ，ＲＹの温度
係数を正確に合わせることが困難であったり、ダイオー
ドＤの順方向電圧にばらつきがあったり、ダイオードＤ
と感温抵抗ＲＸ，ＲＹが位置的に離れて温度差がある
と、正しく温度補償が行われないという問題点があっ
た。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、同一チップ上に設けた２つの感温抵抗の温度
差を、周囲温度に影響されることなく電圧として出力す
ることができるフローセンサ用の温度補償回路を得るこ
とを目的とする。
たもので、同一チップ上に設けた２つの感温抵抗の温度
差を、周囲温度に影響されることなく電圧として出力す
ることができるフローセンサ用の温度補償回路を得るこ
とを目的とする。
この発明に係るフローセンサ用の温度補償回路は、ヒー
タを挟んで同一チップ上に設け、直列に接続し接続点か
ら出力を取出す流速測定用の第１，第２の感温抵抗と、
周囲温度測定用の前記チップ上に設けた第３の感温抵抗
と、前記第３の感温抵抗に電流を流す給電手段と、前記
第３の感温抵抗両端の電圧を電流増幅して前記直列接続
した第１，第２の感温抵抗の一端に供給するアンプとを
具備したものである。
タを挟んで同一チップ上に設け、直列に接続し接続点か
ら出力を取出す流速測定用の第１，第２の感温抵抗と、
周囲温度測定用の前記チップ上に設けた第３の感温抵抗
と、前記第３の感温抵抗に電流を流す給電手段と、前記
第３の感温抵抗両端の電圧を電流増幅して前記直列接続
した第１，第２の感温抵抗の一端に供給するアンプとを
具備したものである。
この発明に係るフローセンサ用の温度補償回路は、第
１，第２の感温抵抗と同一チップ上に周囲温度検出用の
第３の感温抵抗を設け、給電によって前記第３の感温抵
抗の両端に発生する電圧を、直列に接続した前記第１，
第２の感温抵抗に印加することにより、周囲温度によっ
て第１，第２の感温抵抗に加わる電圧が自動的に変化
し、第１，第２の感温抵抗の温度差を常に一定電圧とし
て取出すことができる。
１，第２の感温抵抗と同一チップ上に周囲温度検出用の
第３の感温抵抗を設け、給電によって前記第３の感温抵
抗の両端に発生する電圧を、直列に接続した前記第１，
第２の感温抵抗に印加することにより、周囲温度によっ
て第１，第２の感温抵抗に加わる電圧が自動的に変化
し、第１，第２の感温抵抗の温度差を常に一定電圧とし
て取出すことができる。
以下、この発明の一実施例を図面について説明する。前
記第５図乃至第７図と同一部分に同一符号を付して重複
説明を省略した第１図において、ＲＲは第１，第２の感
温抵抗ＲＸ，ＲＹと同一チップ上に設けた第３の感温抵
抗、４は第３の感温抵抗ＲＲと直列に接続した給電手段
としての定電流源、５は第３の感温抵抗ＲＲの両端電
圧、つまり、第３の感温抵抗ＲＲと定電流源４の接続点
Ｐ４の電圧を入力とし、直列接続した第１，第２の感温
抵抗ＲＸ，ＲＹの一端に出力端を接続したアンプとして
のオペアンプ回路である。
記第５図乃至第７図と同一部分に同一符号を付して重複
説明を省略した第１図において、ＲＲは第１，第２の感
温抵抗ＲＸ，ＲＹと同一チップ上に設けた第３の感温抵
抗、４は第３の感温抵抗ＲＲと直列に接続した給電手段
としての定電流源、５は第３の感温抵抗ＲＲの両端電
圧、つまり、第３の感温抵抗ＲＲと定電流源４の接続点
Ｐ４の電圧を入力とし、直列接続した第１，第２の感温
抵抗ＲＸ，ＲＹの一端に出力端を接続したアンプとして
のオペアンプ回路である。
次に動作について説明する。まず、第３の感温抵抗ＲＲ
に定電流源４から定電流Ｉを流し、この第３の感温抵抗
ＲＲの両端に生じた電圧ＶＲをオペアンプ回路５で電流
増幅して電圧ＶＲ′とし、この電圧ＶＲ′を第１，第２
の感温抵抗ＲＸ，ＲＹに加え、両抵抗ＲＸ，ＲＹの接続
点ＰＳより出力Ｖ２を取出している。
に定電流源４から定電流Ｉを流し、この第３の感温抵抗
ＲＲの両端に生じた電圧ＶＲをオペアンプ回路５で電流
増幅して電圧ＶＲ′とし、この電圧ＶＲ′を第１，第２
の感温抵抗ＲＸ，ＲＹに加え、両抵抗ＲＸ，ＲＹの接続
点ＰＳより出力Ｖ２を取出している。
上記電圧ＶＲ′は次のように表わせる。
ＶＲ′＝ＶＲ＝ＩＲＲ＝ＩＲR0（１＋αＴＡ）………
(7) これにより、ＶＲ′を(6)式のＶに代入すると、 となり、周囲温度ＴＡの影響をうけなくなる。
(7) これにより、ＶＲ′を(6)式のＶに代入すると、 となり、周囲温度ＴＡの影響をうけなくなる。
このように、第３の感温抵抗ＲＲを第１，第２の感温抵
抗ＲＸ，ＲＹと同一チップ上に形成することにより、そ
の温度の違いを少なくして、温度補償の誤差を小さくで
きる。
抗ＲＸ，ＲＹと同一チップ上に形成することにより、そ
の温度の違いを少なくして、温度補償の誤差を小さくで
きる。
この場合、直接ＲＸ，ＲＹを定電流源で駆動すればよい
ように思われるが、ヒータ作動時と非作動時において正
確にＶＲ′を一致させる必要であるため、第１図の構成
が必要とされる。すなわち直接定電流源で駆動すると、
ヒータの作動，非作動によりＲＸ，ＲＹの値が代わりＶ
Ｒ′の値も変わってしまう。
ように思われるが、ヒータ作動時と非作動時において正
確にＶＲ′を一致させる必要であるため、第１図の構成
が必要とされる。すなわち直接定電流源で駆動すると、
ヒータの作動，非作動によりＲＸ，ＲＹの値が代わりＶ
Ｒ′の値も変わってしまう。
第２図は他の実施例を示すもので、前記第１図における
定電流源４の代わりに抵抗Ｒ１を接続し、オペアンプ回
路５に帰還抵抗Ｒ２，Ｒ３を接続したものである。
定電流源４の代わりに抵抗Ｒ１を接続し、オペアンプ回
路５に帰還抵抗Ｒ２，Ｒ３を接続したものである。
上記の構成によって、オペアンプ回路５の出力電圧
ＶＲ′は、Ｒ１≫ＲＲとしたとき となる。Ｒ１≫ＲＲとすれば、第３の感温抵抗ＲＲに流
れる電流Ｉはほぼ一定になり、前記第１図の実施例と同
様の機能を簡単に実現できる。第３図は第１図の出力Ｖ
２を増幅してＶ２″として取り出す回路構成を描いたも
ので、直列接続した固定抵抗ＲＡ，ＲＲを直列接続した
第１，第２の感温抵抗ＲＸ，ＲＹに接続してブリッジ回
路を構成し、この固定抵抗ＲＡ，ＲＲの接続点Ｐ７と第
１，第２の感温抵抗ＲＸ，ＲＹの接続点Ｐ６に差動アン
プ７の入力端を接続したものである。
ＶＲ′は、Ｒ１≫ＲＲとしたとき となる。Ｒ１≫ＲＲとすれば、第３の感温抵抗ＲＲに流
れる電流Ｉはほぼ一定になり、前記第１図の実施例と同
様の機能を簡単に実現できる。第３図は第１図の出力Ｖ
２を増幅してＶ２″として取り出す回路構成を描いたも
ので、直列接続した固定抵抗ＲＡ，ＲＲを直列接続した
第１，第２の感温抵抗ＲＸ，ＲＹに接続してブリッジ回
路を構成し、この固定抵抗ＲＡ，ＲＲの接続点Ｐ７と第
１，第２の感温抵抗ＲＸ，ＲＹの接続点Ｐ６に差動アン
プ７の入力端を接続したものである。
この場合、第１，第２の感温抵抗ＲＸ，ＲＹの温度差Δ
ＴＤ＝０のとき、ＲＹ・ＲＲ＝ＲＸ・ＲＡが成立するよ
うに、固定抵抗ＲＡまたは同ＲＲを選択調整すればよ
い。
ＴＤ＝０のとき、ＲＹ・ＲＲ＝ＲＸ・ＲＡが成立するよ
うに、固定抵抗ＲＡまたは同ＲＲを選択調整すればよ
い。
以上のように、この発明によれば、第１，第２の感温抵
抗と周囲温度検出用の第３の感温抵抗とを同一チップ上
に設け、給電によって前記第３の感温抵抗の両端に生じ
た電圧を調整した、上記第１，第２の感温抵抗に印加す
るように構成したので、周囲温度が変わっても一定の測
定感度が得られるという効果がある。
抗と周囲温度検出用の第３の感温抵抗とを同一チップ上
に設け、給電によって前記第３の感温抵抗の両端に生じ
た電圧を調整した、上記第１，第２の感温抵抗に印加す
るように構成したので、周囲温度が変わっても一定の測
定感度が得られるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例によるフローセンサ用の温
度補償回路を示す回路図、第２図は他の実施例によるフ
ローセンサ用の温度補償回路を示す回路図、第３図は出
力部の回路図、第４図はフローセンサの斜視図、第５
図，第６図，第７図は従来の温度抵抗駆動回路の種々の
回路図、第８図は感温抵抗の抵抗温度特性図、第９図は
従来の他の感温抵抗駆動回路の回路図である。 ＲＸは第１の感温抵抗、ＲＹは第２の感温抵抗、ＲＲは
第３の感温抵抗、４は定電流源、５はボルテージフォロ
ワ回路。
度補償回路を示す回路図、第２図は他の実施例によるフ
ローセンサ用の温度補償回路を示す回路図、第３図は出
力部の回路図、第４図はフローセンサの斜視図、第５
図，第６図，第７図は従来の温度抵抗駆動回路の種々の
回路図、第８図は感温抵抗の抵抗温度特性図、第９図は
従来の他の感温抵抗駆動回路の回路図である。 ＲＸは第１の感温抵抗、ＲＹは第２の感温抵抗、ＲＲは
第３の感温抵抗、４は定電流源、５はボルテージフォロ
ワ回路。
Claims (1)
- 【請求項１】ヒータを挟んで同一チップ上に設け、直列
に接続して接続点から出力を取出す流速測定用の第１，
第２の感温抵抗と、周囲温度測定用の前記チップ上に設
けた第３の感温抵抗と、前記第３の感温抵抗に電流を流
する給電手段と、堰第３の感温抵抗両端の電圧を電流増
幅して前記直列接続した第１，第２の感温抵抗の一端に
供給するアンプとを備えたフローセンサ用の温度補償回
路。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1059266A JPH0664080B2 (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | フローセンサ用の温度補償回路 |
| US07/478,611 US5072614A (en) | 1989-03-10 | 1990-02-12 | Temperature compensating circuit |
| ES90302416T ES2088963T3 (es) | 1989-03-10 | 1990-03-07 | Circuito de compensacion de temperatura. |
| EP90302416A EP0387025B1 (en) | 1989-03-10 | 1990-03-07 | Temperature compensating circuit |
| AT90302416T ATE140790T1 (de) | 1989-03-10 | 1990-03-07 | Temperaturkompensationsschaltung |
| DE4007480A DE4007480A1 (de) | 1989-03-10 | 1990-03-09 | Temperaturkompensationsschaltkreis |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1059266A JPH0664080B2 (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | フローセンサ用の温度補償回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02238365A JPH02238365A (ja) | 1990-09-20 |
| JPH0664080B2 true JPH0664080B2 (ja) | 1994-08-22 |
Family
ID=13108399
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1059266A Expired - Lifetime JPH0664080B2 (ja) | 1989-03-10 | 1989-03-10 | フローセンサ用の温度補償回路 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5072614A (ja) |
| EP (1) | EP0387025B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0664080B2 (ja) |
| AT (1) | ATE140790T1 (ja) |
| DE (1) | DE4007480A1 (ja) |
| ES (1) | ES2088963T3 (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0484645B1 (en) * | 1990-11-09 | 1995-04-26 | Hewlett-Packard Company | Methods and systems for fluid identification and flow rate determination |
| GB9025798D0 (en) * | 1990-11-28 | 1991-01-09 | De Beers Ind Diamond | Diamond fluid flow sensor |
| US5369994A (en) * | 1992-07-21 | 1994-12-06 | Robert Bosch Gmbh | Flow sensor |
| US5750893A (en) * | 1994-06-21 | 1998-05-12 | Ricoh Co., Ltd. | Thermally sensing type flowing velocity measuring apparatus |
| US5460039A (en) * | 1994-07-12 | 1995-10-24 | Bear Medical Systems, Inc. | Flow sensor system |
| US5522261A (en) * | 1994-11-18 | 1996-06-04 | Alnor Instrument Company | Fluid flow direction and velocity monitor and temperature compensating circuit therefor |
| JPH0989618A (ja) * | 1995-09-25 | 1997-04-04 | Smc Corp | 流量検出スイッチ |
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