JPS63202002A - 湿度センサ - Google Patents
湿度センサInfo
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- JPS63202002A JPS63202002A JP62033542A JP3354287A JPS63202002A JP S63202002 A JPS63202002 A JP S63202002A JP 62033542 A JP62033542 A JP 62033542A JP 3354287 A JP3354287 A JP 3354287A JP S63202002 A JPS63202002 A JP S63202002A
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- JP
- Japan
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- humidity sensor
- humidity
- present
- metal oxide
- raw material
- Prior art date
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- Granted
Links
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は金属酸化物半導体を使用して湿度を電気抵抗の
変化として検出する湿度センサに関するものである。
変化として検出する湿度センサに関するものである。
一般に、ある種の金属酸化物半導体は、水の分子が金属
酸化物半導体に吸脱着することによりその金属酸化物半
導体の抵抗値が変化する性質があることが知られている
。
酸化物半導体に吸脱着することによりその金属酸化物半
導体の抵抗値が変化する性質があることが知られている
。
そこで発明者らは、ＴｉＯ２を主体とする各種金属半導
体焼結体の湿度センサへの応用について鋭意研究し、こ
れまでに、特開昭５５−１６３８０１号公報に示される
Ｔ ｉ Ｏ２を主体とし、ｖ２０．を０．１〜１．０モ
ル％含む焼結体を、さらに特開昭５８−１０１４０２号
公報、特開昭６１−１１５３０１号公報で提示した厚膜
型湿度センサなど感湿特性の優れたセンサを見出してき
た。
体焼結体の湿度センサへの応用について鋭意研究し、こ
れまでに、特開昭５５−１６３８０１号公報に示される
Ｔ ｉ Ｏ２を主体とし、ｖ２０．を０．１〜１．０モ
ル％含む焼結体を、さらに特開昭５８−１０１４０２号
公報、特開昭６１−１１５３０１号公報で提示した厚膜
型湿度センサなど感湿特性の優れたセンサを見出してき
た。
しかるに、近年のセンサデバイスへのニーズは用途の多
様化と相俟って耐久性の向上、信顛性の改善、小型化に
対応できる優れたセン°すの開発が急務となっている。
様化と相俟って耐久性の向上、信顛性の改善、小型化に
対応できる優れたセン°すの開発が急務となっている。
このような現状に鑑み、本発明者らはさらに鋭意検討の
結果、Ｔｉ０ｔを主体とする焼結体を用いることにより
、新規な極めて、耐蝕性及び長期信鯨性に優れた湿度セ
ンサが得られることを見出したのでここに提供しようと
するものである。
結果、Ｔｉ０ｔを主体とする焼結体を用いることにより
、新規な極めて、耐蝕性及び長期信鯨性に優れた湿度セ
ンサが得られることを見出したのでここに提供しようと
するものである。
即ち、本発明はＴｉｅ、を主体としこれに副成分として
５価の金属酸化物を１種以上と１価の金属酸化物を１種
以上およびリンを含む原料を混合した後、焼成して得た
焼結体に電極を設げた湿度センサである。
５価の金属酸化物を１種以上と１価の金属酸化物を１種
以上およびリンを含む原料を混合した後、焼成して得た
焼結体に電極を設げた湿度センサである。
以下本発明による実施例を説明するが、本発明は下記の
実施例のめに限定されるものではない。
実施例のめに限定されるものではない。
５価の金属酸化物としてＮ））２０６．１価の金属酸化
物およびリンを含む原料として、Ｋ２ＨＰＯ４。
物およびリンを含む原料として、Ｋ２ＨＰＯ４。
ＫＨ２ＰＯ４を用いた。
ＴｉＯ２に対し６て０．５ ｗｔ％のＮｂ２Ｏ，を添加
したものに、さらにＫｚ ＨＰＯ＝ 、ＫＨ□Ｐ○。
したものに、さらにＫｚ ＨＰＯ＝ 、ＫＨ□Ｐ○。
を第１表に示した割合にて混合し、１ ｔｏｎ／ｃｍ”
で円板状（１０闘φｘ１ｍｍ）に加圧成形し、温度９０
０°Ｃ，ＩＱＯＯｏＣ，１１００℃で１時間焼成した。
で円板状（１０闘φｘ１ｍｍ）に加圧成形し、温度９０
０°Ｃ，ＩＱＯＯｏＣ，１１００℃で１時間焼成した。
そして、焼結体の両面に電極を焼付けて湿度センリ・素
子とした。
子とした。
第 １ 表
下記第２表は第１表に示した混合原料を種々の温度で焼
成して得た湿度センサ素子の２５℃における１１％ＲＨ
，５３％ＲＨ，８５％ＲＨ雰囲気における抵抗値を示し
たものである。この表から分かるように副生分の種類と
焼成温度を変えることにより素子の抵抗値と感湿特性（
湿度に対する抵抗値変化の大きさ）を所望のものとする
ことが可能である。
成して得た湿度センサ素子の２５℃における１１％ＲＨ
，５３％ＲＨ，８５％ＲＨ雰囲気における抵抗値を示し
たものである。この表から分かるように副生分の種類と
焼成温度を変えることにより素子の抵抗値と感湿特性（
湿度に対する抵抗値変化の大きさ）を所望のものとする
ことが可能である。
また、本発明による湿度センサは、何れも経時変化が少
なく、さらに、タバコ試験やオイルミスト試験、温度サ
イクル試験などの過酷な試験において信顛性が高いこと
が確認された。
なく、さらに、タバコ試験やオイルミスト試験、温度サ
イクル試験などの過酷な試験において信顛性が高いこと
が確認された。
第 ２ 表
〔発明の効果〕
以上説明した如く、本発明による湿度センサは副成分の
種類と焼成温度を変えることにより素子の抵抗値と感湿
特性を所望のものとすることが可能であり、また信顛性
も高いので各方面での湿度測定や湿度制御に用いること
ができるため工業的価値の極めて高いものである。
種類と焼成温度を変えることにより素子の抵抗値と感湿
特性を所望のものとすることが可能であり、また信顛性
も高いので各方面での湿度測定や湿度制御に用いること
ができるため工業的価値の極めて高いものである。
Claims (1)
- ＴｉＯ＿２を主体としこれに副成分として５価の金属
酸化物を１種以上と１価の金属酸化物を１種以上および
リンを含む原料を混合した後、焼成して得た焼結体に電
極を設けたことを特徴とする湿度センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62033542A JPS63202002A (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 湿度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62033542A JPS63202002A (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 湿度センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63202002A true JPS63202002A (ja) | 1988-08-22 |
| JPH043082B2 JPH043082B2 (ja) | 1992-01-22 |
Family
ID=12389454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62033542A Granted JPS63202002A (ja) | 1987-02-18 | 1987-02-18 | 湿度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63202002A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5840801A (ja) * | 1981-08-25 | 1983-03-09 | 秩父セメント株式会社 | 湿度センサ素子とその製造法 |
| JPS6057201A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-03 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 直線型変位検出装置 |
-
1987
- 1987-02-18 JP JP62033542A patent/JPS63202002A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5840801A (ja) * | 1981-08-25 | 1983-03-09 | 秩父セメント株式会社 | 湿度センサ素子とその製造法 |
| JPS6057201A (ja) * | 1983-09-09 | 1985-04-03 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 直線型変位検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH043082B2 (ja) | 1992-01-22 |
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