JPS5813003B2 - カンシツソシ - Google Patents
カンシツソシInfo
- Publication number
- JPS5813003B2 JPS5813003B2 JP50089173A JP8917375A JPS5813003B2 JP S5813003 B2 JPS5813003 B2 JP S5813003B2 JP 50089173 A JP50089173 A JP 50089173A JP 8917375 A JP8917375 A JP 8917375A JP S5813003 B2 JPS5813003 B2 JP S5813003B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- moisture
- liznnb04
- powder
- present
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、酸化物半導体からなり、湿度を電気抵抗の変
化として検出する感湿素子こ関する。
化として検出する感湿素子こ関する。
周知のように、一般こ金属酸化物（Ｆｅ３０４ｙＦｅ２
０３，ＡＡ２０３，Ｃｒ２０３等）は吸水性こすぐれて
いるため感湿素子として利用できる。
０３，ＡＡ２０３，Ｃｒ２０３等）は吸水性こすぐれて
いるため感湿素子として利用できる。
すなわちこの種の金属酸化物の微粉末を一対の対向電極
を有する無機質絶縁基体の表面こ被着してなる層が、湿
度の変化こ応じてその電気抵抗が犬幅こ変化することを
利用したものである。
を有する無機質絶縁基体の表面こ被着してなる層が、湿
度の変化こ応じてその電気抵抗が犬幅こ変化することを
利用したものである。
上記金属酸化物の微粉末を利用した感湿素子は物理的、
熱的こ安定であるが、一般に固有抵抗が高いため吸脱湿
現象によって多少の抵抗変化があってもこれを電気的に
高精度こ検出することはむずかしい。
熱的こ安定であるが、一般に固有抵抗が高いため吸脱湿
現象によって多少の抵抗変化があってもこれを電気的に
高精度こ検出することはむずかしい。
そこで、固有抵抗を低下させる試みがいくつかなされて
おり、たとえば、アルカリ金属酸化物（Ｌｌ２０，Ｋ２
０，Ｎａ２０等）を添加含有せしめることが行なわれて
いる。
おり、たとえば、アルカリ金属酸化物（Ｌｌ２０，Ｋ２
０，Ｎａ２０等）を添加含有せしめることが行なわれて
いる。
しかしながら、この場合、湿度サイクルの履歴が著るし
く大きくなる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かっ
たり、経時変化も太きいなどの欠点がある。
く大きくなる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かっ
たり、経時変化も太きいなどの欠点がある。
従って本発明は上記欠点の除去された感湿素子を捉供し
ようとするものである。
ようとするものである。
本発明の感湿素子は、ＬｉＺｎＮｂ０４からなる焼結体
に少なくとも一対の電極を設けてなる感湿素子及びＬｉ
ＺｎＮｂ０４５モル係以下（ただし１００モル係を除＜
）、Ｚｎ０９５モル喰以下（ただし０モル係を除く）の
組成を採る焼結体こ少なくとも一対の電極を設けてなる
感湿素子である。
に少なくとも一対の電極を設けてなる感湿素子及びＬｉ
ＺｎＮｂ０４５モル係以下（ただし１００モル係を除＜
）、Ｚｎ０９５モル喰以下（ただし０モル係を除く）の
組成を採る焼結体こ少なくとも一対の電極を設けてなる
感湿素子である。
即ち本発明の感湿素子は酸化亜鉛と、炭酸リチウム、酸
化ニオプを組成分とし焼結してなるスピネ構造をもつＬ
ｉＺｎＮｂ０４を必須成分とし、要すれば酸化亜鉛を混
合し、プレス成形し焼結して得られたものを本体として
なるものである。
化ニオプを組成分とし焼結してなるスピネ構造をもつＬ
ｉＺｎＮｂ０４を必須成分とし、要すれば酸化亜鉛を混
合し、プレス成形し焼結して得られたものを本体として
なるものである。
本発明において主成分をなすＬｉＺｎＮｂ０４粉末は例
えばＬｉ２ＣＯ３，ＺｎＯおよびＮｂ２０，を１：２：
のモル比に正確こ秤取し、これをボールミルこよってよ
く混合し、７００℃程度の温度で１時間前後予備焼成し
、粉砕することこよって容易こ得られる。
えばＬｉ２ＣＯ３，ＺｎＯおよびＮｂ２０，を１：２：
のモル比に正確こ秤取し、これをボールミルこよってよ
く混合し、７００℃程度の温度で１時間前後予備焼成し
、粉砕することこよって容易こ得られる。
しかして本発明の感湿素子は、上記ＬｉＺｎＮｂ０４粉
末のみまたはＬＩＺｎＮｂ０４粉末こＺｎＯ粉末を添加
混合したものを原料としてプレス成形、焼成して得るこ
とができる。
末のみまたはＬＩＺｎＮｂ０４粉末こＺｎＯ粉末を添加
混合したものを原料としてプレス成形、焼成して得るこ
とができる。
しかしＺｎＯ成分を添加混合する場合こは、その組成比
は９５モル係以下に選択する必要がある。
は９５モル係以下に選択する必要がある。
その理由はＺｎＯの組成比が９５モル％以上を占めると
湿度こ対する抵抗値の変化幅が小さくなり実用上適さな
くなるからである。
湿度こ対する抵抗値の変化幅が小さくなり実用上適さな
くなるからである。
次こ本発明こついて具体例を挙げて説明する。
先ずＬｉ２ＣＯ３，ＺｎＯおよびＮｂ２０，をモル比で
１：２：１の組成比こ正確こ秤取しボールミルによって
よく混合した。
１：２：１の組成比こ正確こ秤取しボールミルによって
よく混合した。
しかる後この混合物を７００Ｃこ１時間予備焼成を施し
てからボールミルこよって紛砕してＬｉＺｎＮｂ０４粉
末を得た。
てからボールミルこよって紛砕してＬｉＺｎＮｂ０４粉
末を得た。
かくして得たＬｉＺｎＮｂ０４粉末とＺｎＯ粉末とを次
表こ示す如き組成比（モル係）こ選び混合し、６種の原
料を調製、用意した。
表こ示す如き組成比（モル係）こ選び混合し、６種の原
料を調製、用意した。
次いで上記原料粉末こポリビニルアルコール（粘結削）
を加え１トン／ｄｍ３の圧力でプレス成形してから８０
０〜１３００℃の温度で２時間加熱焼結して厚さ１ｍｎ
，径２０ｍｍの円板形焼結体をそれぞれ得た。
を加え１トン／ｄｍ３の圧力でプレス成形してから８０
０〜１３００℃の温度で２時間加熱焼結して厚さ１ｍｎ
，径２０ｍｍの円板形焼結体をそれぞれ得た。
この円板形焼結体の主面こ銀ペーストを焼付け一対の電
極を設ける一方リード線を半田付けして感湿素子をそれ
ぞれ作成した。
極を設ける一方リード線を半田付けして感湿素子をそれ
ぞれ作成した。
第１図は上記感湿素子を平面的こ示したもので１はＬＩ
ＺｎＮｂ０４系焼結体を、２，２′は電極を、３，３′
はリード線を示す。
ＺｎＮｂ０４系焼結体を、２，２′は電極を、３，３′
はリード線を示す。
上記こよってそれぞれ得た感湿素子について相対湿度と
抵抗値との関係をそれぞれ求めたところ第２図こ示す如
くであった。
抵抗値との関係をそれぞれ求めたところ第２図こ示す如
くであった。
尚第２図こおいて記号の数値はいずれも試料の番号と対
応しており、またこの湿度一抵抗値関係はいずれも湿度
サイクルこよるずれが認められず安定した特性を示した
。
応しており、またこの湿度一抵抗値関係はいずれも湿度
サイクルこよるずれが認められず安定した特性を示した
。
第２図こは参考までに従来例としてマクネタイトコロイ
ド型の場合も併せて示した。
ド型の場合も併せて示した。
さらここれら各試料こついて４０Ｃ１相対湿度９５％下
１０００時間放置し特性（抵抗値一湿度関係）の経時変
化を求めたところ第３図（実施例１〜５の場合）こ示す
如くであった。
１０００時間放置し特性（抵抗値一湿度関係）の経時変
化を求めたところ第３図（実施例１〜５の場合）こ示す
如くであった。
図からも明らかのようこ本発明こ係るＬｉＺｎＮｂ０４
系の感湿素子はいずれも抵抗値の変化がほとんどみられ
ず経時に対しても安定している。
系の感湿素子はいずれも抵抗値の変化がほとんどみられ
ず経時に対しても安定している。
このようこ本発明こ係る感湿素子は常こ所要の特性を示
し、湿度サイクルこよるずれもなく、且つ湿度変化こ対
する抵抗変化も大きいので、正確に湿度を測定しうろこ
とどなるので、その製造の容易さ、取扱易さなどの点と
相俟って実用上多くの利点をもたらすものと云える。
し、湿度サイクルこよるずれもなく、且つ湿度変化こ対
する抵抗変化も大きいので、正確に湿度を測定しうろこ
とどなるので、その製造の容易さ、取扱易さなどの点と
相俟って実用上多くの利点をもたらすものと云える。
第１図は本発明こ係る感湿素子の構成例を示す平面図、
第２図は本発明こ係る感湿素子こついて相対湿度と抵抗
値との関係を示す特性図、第３図は本発明こ係る感湿素
子の経時特性を示す図である。
第２図は本発明こ係る感湿素子こついて相対湿度と抵抗
値との関係を示す特性図、第３図は本発明こ係る感湿素
子の経時特性を示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｉ ＬｉＺｎＮｂ０４からなる焼結体こ少なくとも一対
の電極を設けて成る感湿素子。 ２ ＬｉＺｎＮｂｏ４５モル以上（ただし１００モル係
を除＜）Ｚｎ０９５モル係以下（ただしＯモル係を除く
）の組成を採る焼結体こ少なくとも一対の電極を設けて
成る感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50089173A JPS5813003B2 (ja) | 1975-07-23 | 1975-07-23 | カンシツソシ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50089173A JPS5813003B2 (ja) | 1975-07-23 | 1975-07-23 | カンシツソシ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5213694A JPS5213694A (en) | 1977-02-02 |
| JPS5813003B2 true JPS5813003B2 (ja) | 1983-03-11 |
Family
ID=13963382
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50089173A Expired JPS5813003B2 (ja) | 1975-07-23 | 1975-07-23 | カンシツソシ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5813003B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5848401A (ja) * | 1981-09-17 | 1983-03-22 | オムロン株式会社 | 感湿素子 |
-
1975
- 1975-07-23 JP JP50089173A patent/JPS5813003B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5213694A (en) | 1977-02-02 |
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