JPS5848401A - 感湿素子 - Google Patents
感湿素子Info
- Publication number
- JPS5848401A JPS5848401A JP56147133A JP14713381A JPS5848401A JP S5848401 A JPS5848401 A JP S5848401A JP 56147133 A JP56147133 A JP 56147133A JP 14713381 A JP14713381 A JP 14713381A JP S5848401 A JPS5848401 A JP S5848401A
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- JP
- Japan
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- moisture
- sensitive
- sensitive element
- humidity sensitive
- humidity
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
こ、ｒ１発明は、湿度によ、つ１て電気抵抗が変化する
感温物質を利、用した感湿素子に−する１のである。
感温物質を利、用した感湿素子に−する１のである。
感湿素子としては一従埼１よ伽壌化リチウムを感漏物ｇ
！を七するものが汎用されているが一近、哄−金属酸化
物を用い、た感湿素子が開角・１終ている。この金属水
化物系の５感湿素子、仲、上岬塩偉１４チウム系の感湿
素子に比較し、て特性ｒ＞、＠、時変体や適用で１晶相
対湿度領域の大きさの面で優れるが・濃度サイクル中で
感湿抵抗体層の表面で安定な金属水酸化物！が形成言わ
で感度低下を自た！竜め、弯期的ｒ加熱タリー＝ンダを
行ｊ’３＊要ｔ！−る・ま声、温＊１イタルやＳＸＸダ
イタル中一板と感湿抵抗体層と一讐着が暖（ｌｋ″″′
０・、−濡抵抗体竺工・従来０金属酸化物鼻０感！−子
では・上記１″れ「よって構造が複雑となゐことから電
量産性や製造価格℃点で大亀な関−を残している。。
！を七するものが汎用されているが一近、哄−金属酸化
物を用い、た感湿素子が開角・１終ている。この金属水
化物系の５感湿素子、仲、上岬塩偉１４チウム系の感湿
素子に比較し、て特性ｒ＞、＠、時変体や適用で１晶相
対湿度領域の大きさの面で優れるが・濃度サイクル中で
感湿抵抗体層の表面で安定な金属水酸化物！が形成言わ
で感度低下を自た！竜め、弯期的ｒ加熱タリー＝ンダを
行ｊ’３＊要ｔ！−る・ま声、温＊１イタルやＳＸＸダ
イタル中一板と感湿抵抗体層と一讐着が暖（ｌｋ″″′
０・、−濡抵抗体竺工・従来０金属酸化物鼻０感！−子
では・上記１″れ「よって構造が複雑となゐことから電
量産性や製造価格℃点で大亀な関−を残している。。
１２〜
濃度領域≧わたって高い感度と安定しｔＩｓ濠性能を有
し・、かつ基板と一濡竺抗体層と−ＷＩ！ＩＩ竺が良能
７、−湿素−子１ａ供″ｒ″ことを！−と烹６．・すな
わち、こ０発＠０感温素子は７七ラミツタ−虻わ声為−
ｐ ！！隼一層や一形！シれ、この感湿抵抗体層が、Ｌ
ｉ１ｌｅＯｓおよび一１τ＆Ｏ１より選ばれ′、。
し・、かつ基板と一濡竺抗体層と−ＷＩ！ＩＩ竺が良能
７、−湿素−子１ａ供″ｒ″ことを！−と烹６．・すな
わち、こ０発＠０感温素子は７七ラミツタ−虻わ声為−
ｐ ！！隼一層や一形！シれ、この感湿抵抗体層が、Ｌ
ｉ１ｌｅＯｓおよび一１τ＆Ｏ１より選ばれ′、。
、、Ｔｉ、、ｏ、、、−一、？ｓ−−−ばれる少な（と
−４１１ｊｆ）化合物粉末とを含む組成物の焼結体から
なることを特徴とする感湿素子に係る１０である。上記
Ｌ１ＭｂＯｓおよびＬｌＴａＯｌの代りぼり、チウムを
含む複合金属酸化物例えば、Ｌｉ１１０４ 、 Ｉ＋１
１Ｍ０Ｏ４、ＬｉＺｒＯ３、ｌ１１ａ−Ｔ ｉ ｏｓ
でもよい。後者の添加金属酸化物粉末は５−７０モル憾
となる範囲で適当に１択することが碩ましい。感湿抵抗
体層を形成するでは、上記の混合粉末和−ビータルなと
えばエチル七ルローズやテクリル樹脂とブチル・カルピ
トール・アセテート、七ｔレビネオールなどからなるビ
ークルを加え一璽−ラ、やボールミルなどで、充分（混
合すること虻よって適度な粘度を有するペースト状とし
たｌｌ１ｍ物を使用すればよい。
−４１１ｊｆ）化合物粉末とを含む組成物の焼結体から
なることを特徴とする感湿素子に係る１０である。上記
Ｌ１ＭｂＯｓおよびＬｌＴａＯｌの代りぼり、チウムを
含む複合金属酸化物例えば、Ｌｉ１１０４ 、 Ｉ＋１
１Ｍ０Ｏ４、ＬｉＺｒＯ３、ｌ１１ａ−Ｔ ｉ ｏｓ
でもよい。後者の添加金属酸化物粉末は５−７０モル憾
となる範囲で適当に１択することが碩ましい。感湿抵抗
体層を形成するでは、上記の混合粉末和−ビータルなと
えばエチル七ルローズやテクリル樹脂とブチル・カルピ
トール・アセテート、七ｔレビネオールなどからなるビ
ークルを加え一璽−ラ、やボールミルなどで、充分（混
合すること虻よって適度な粘度を有するペースト状とし
たｌｌ１ｍ物を使用すればよい。
）「（・この発明の感湿素子ｎ具体的な構造を図面［Ｌ
ｌがって説明する。
ｌがって説明する。
第１図は、この発明の感湿素子・ｎ−例を示す−のであ
〜、図中１１はセラミツタなどからなる絶縁基板、１２
および１ｓはそれぞれ櫛形Ｆ）形状を有して対向する一
対のｍｍであ軸、この電極１２と１３Ｉｎそれぞれり−
ｒアウト部１２ｂと１５％を除（主要部唱２＆と１３＆
ｆｔたがって既述した焼結体よりなる４１抵抗体層１４
が被覆されている。唱５および１４は、電極１２と１３
とをおｎおｎ外部リード１７および１８ｆ接続す為ｔめ
０電極である。第［１は、ｌ１１ｖ！Ｊｆ’ｊ２−２断
［Ｗｔ示す・ こｎような感湿素子は−たとえばつぎり方法ｒよって構
造１れる。１ず−あらかじめ電極１５および１６が設け
られた絶縁基板１１を用い、この表＃ａｃ＃形の電極１
２および１５をスクリーン印Ｉｇｃ ｘツて形成し、焼
成炉中で９５０〜１０５０℃糧度でて電極焼成す為、つ
いで、既述し逢ペースト状の組成物全層いて、電極１２
と１！＆の主要部１２＆と１３ｍとを完全に−うように
均一な厚みでスクリーン印刷を行なって被一層を形成し
、続いて絶縁基板１１と感温抵抗体層との密着性を増す
ためＣ＠ａ炉中で、ガラスの溶融す為温度、念と先ば９
００〜１３００℃の適当な温度で焼１する。この情戊後
ｎ冷１過程で、感湿抵抗体暦本は硬化するとともに絶縁
基板１１（坩する密着性が良好マしかも一度１に細孔分
布を有する一１１＃［とな轟。
〜、図中１１はセラミツタなどからなる絶縁基板、１２
および１ｓはそれぞれ櫛形Ｆ）形状を有して対向する一
対のｍｍであ軸、この電極１２と１３Ｉｎそれぞれり−
ｒアウト部１２ｂと１５％を除（主要部唱２＆と１３＆
ｆｔたがって既述した焼結体よりなる４１抵抗体層１４
が被覆されている。唱５および１４は、電極１２と１３
とをおｎおｎ外部リード１７および１８ｆ接続す為ｔめ
０電極である。第［１は、ｌ１１ｖ！Ｊｆ’ｊ２−２断
［Ｗｔ示す・ こｎような感湿素子は−たとえばつぎり方法ｒよって構
造１れる。１ず−あらかじめ電極１５および１６が設け
られた絶縁基板１１を用い、この表＃ａｃ＃形の電極１
２および１５をスクリーン印Ｉｇｃ ｘツて形成し、焼
成炉中で９５０〜１０５０℃糧度でて電極焼成す為、つ
いで、既述し逢ペースト状の組成物全層いて、電極１２
と１！＆の主要部１２＆と１３ｍとを完全に−うように
均一な厚みでスクリーン印刷を行なって被一層を形成し
、続いて絶縁基板１１と感温抵抗体層との密着性を増す
ためＣ＠ａ炉中で、ガラスの溶融す為温度、念と先ば９
００〜１３００℃の適当な温度で焼１する。この情戊後
ｎ冷１過程で、感湿抵抗体暦本は硬化するとともに絶縁
基板１１（坩する密着性が良好マしかも一度１に細孔分
布を有する一１１＃［とな轟。
この冷却後、外部リーロ７むよび１ ’Ｗを−り付は一
続いて特性の安定化ｒｉｂめｔ高温高湿下で負荷エーシ
ングを行なう。 ′ □ ° “なお−上述
した第一図およυ第２図の構成の感：Ｓ装置とそｆ）Ｉ
ＩＩａ操作ｎ操作語例ては、１対の電極１−および唱３
を被覆する状態で感湿抵抗体層１４）＠成した構６．ｃ
”＞いて説明しているが、こｎ発明の温湿素子は４者の
一一順序を逆−して感湿−抗体漬上ｔ＊ｉ４ｒ＞電極を
ｉ成した一ｒｔｉ電極でサンドイッチ状にレナ対向電極
をも−ｊｔム、゛つ「に−このｍ＠ｒ実施例を示讐、下
記ｎ表−１に示す一合比でエオプーリチウ＾の微粉末と
、各種金属酸化物粉末とをボールミル中ヤ混合し、−、
ヤ、ヤ、ヮーズ、プ、ヤヵＡ−１’ ） −ｋアヤヶ−
）テレビ本オールからなるビータル？−え、同’Ｑ −
＜ 、ボールミルｆて陶工な粘度のベニスト状−酸物と
した。 ′ この組成物を、第１図および嬉２図で示す構成に９いて
、電極１２および１３がｐｔ電−１電極１５および１６
がムｇ−ｐａ 電極であるアルミナ製絶縁ＭｆＥ上（膜
厚が５０〜Ｓ ＯＯ／１１Ｅｌとなるようにスクリーン
印刷し、空気中で約３５０′ｃｆて加熱してピータル１
分を揮散除去しなｎち、９５０’Ｃで焼結させ、冷却後
ＦＡＧ℃、９０％Ｒ’ｌｌｆで通電下のエージ〜ンダ′
を行ない一常法に準じて感湿素子２しな。
続いて特性の安定化ｒｉｂめｔ高温高湿下で負荷エーシ
ングを行なう。 ′ □ ° “なお−上述
した第一図およυ第２図の構成の感：Ｓ装置とそｆ）Ｉ
ＩＩａ操作ｎ操作語例ては、１対の電極１−および唱３
を被覆する状態で感湿抵抗体層１４）＠成した構６．ｃ
”＞いて説明しているが、こｎ発明の温湿素子は４者の
一一順序を逆−して感湿−抗体漬上ｔ＊ｉ４ｒ＞電極を
ｉ成した一ｒｔｉ電極でサンドイッチ状にレナ対向電極
をも−ｊｔム、゛つ「に−このｍ＠ｒ実施例を示讐、下
記ｎ表−１に示す一合比でエオプーリチウ＾の微粉末と
、各種金属酸化物粉末とをボールミル中ヤ混合し、−、
ヤ、ヤ、ヮーズ、プ、ヤヵＡ−１’ ） −ｋアヤヶ−
）テレビ本オールからなるビータル？−え、同’Ｑ −
＜ 、ボールミルｆて陶工な粘度のベニスト状−酸物と
した。 ′ この組成物を、第１図および嬉２図で示す構成に９いて
、電極１２および１３がｐｔ電−１電極１５および１６
がムｇ−ｐａ 電極であるアルミナ製絶縁ＭｆＥ上（膜
厚が５０〜Ｓ ＯＯ／１１Ｅｌとなるようにスクリーン
印刷し、空気中で約３５０′ｃｆて加熱してピータル１
分を揮散除去しなｎち、９５０’Ｃで焼結させ、冷却後
ＦＡＧ℃、９０％Ｒ’ｌｌｆで通電下のエージ〜ンダ′
を行ない一常法に準じて感湿素子２しな。
上記実總例ｒて得られな感湿素子でついて、電極間ｎｔ
ｚ抵抗を２５℃でおいて濶定雰１８Ｉ％の相対湿度を変
化させて測定しな値を下記表−２ｒ示す・こ０発明ｎ５
ｉＩ素子は高瀉雰Ｉ！Ｉｇｋ下での放置Ｋ”＃Ｌ、て非
常で安定であり−“かつ素子が汚染しな場合（水洗が可
能であ本ことも確認されてい−る′。
ｚ抵抗を２５℃でおいて濶定雰１８Ｉ％の相対湿度を変
化させて測定しな値を下記表−２ｒ示す・こ０発明ｎ５
ｉＩ素子は高瀉雰Ｉ！Ｉｇｋ下での放置Ｋ”＃Ｌ、て非
常で安定であり−“かつ素子が汚染しな場合（水洗が可
能であ本ことも確認されてい−る′。
また、この素子は厚膜技４Ｆよって生産で［−シか４Ｆ
！４述した従来の金属酸化物：ＪＡａ湿装ｆｋお行るよ
うな１Ｓｌ−加熱用と一タの付設も：不要であり、素子
構成が簡単で量産化と低゛価格化ｔ’適する七いう工業
的利用価値の高い利点を有する。
！４述した従来の金属酸化物：ＪＡａ湿装ｆｋお行るよ
うな１Ｓｌ−加熱用と一タの付設も：不要であり、素子
構成が簡単で量産化と低゛価格化ｔ’適する七いう工業
的利用価値の高い利点を有する。
表−１
衷 −２
第１図はこの発明の感湿素子の例を示す平面図、第２図
は第１図０２−２断面１である。 １１・・・絶縁基板、（２，１！Ｓ・・・対ＩＲＩする
１対の電極、１４・・・感湿抵抗体層。
は第１図０２−２断面１である。 １１・・・絶縁基板、（２，１！Ｓ・・・対ＩＲＩする
１対の電極、１４・・・感湿抵抗体層。
Claims (1)
- （１）ニオブ酸すチウ、ムおよびタンタル酸すチウ５ム
より迩ばれる少〈生も１檎の化合物の粉末５〜９０モル
％と％ ＰｂＯ，Ｚ！１０． ’１１＊Ｏ，Ｍｕ（Ｌ
？ＬＯ１、ａｎｏｎより選ばれる少、（々も１穏り化合
物粉、率、と！含む組成物の焼結体からなることを特徴
と−する感麟素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56147133A JPS5848401A (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | 感湿素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56147133A JPS5848401A (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | 感湿素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5848401A true JPS5848401A (ja) | 1983-03-22 |
Family
ID=15423304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56147133A Pending JPS5848401A (ja) | 1981-09-17 | 1981-09-17 | 感湿素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5848401A (ja) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5213694A (en) * | 1975-07-23 | 1977-02-02 | Toshiba Corp | Humidity-sensitive element |
| JPS55165509A (en) * | 1979-06-09 | 1980-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Temperature and humidity detecting elements and detector using same |
| JPS55165510A (en) * | 1979-06-09 | 1980-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Temperature and humidity detecting elements and detector using same |
| JPS5780703A (en) * | 1980-11-08 | 1982-05-20 | Kogyo Gijutsuin | Moisture sensor |
-
1981
- 1981-09-17 JP JP56147133A patent/JPS5848401A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5213694A (en) * | 1975-07-23 | 1977-02-02 | Toshiba Corp | Humidity-sensitive element |
| JPS55165509A (en) * | 1979-06-09 | 1980-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Temperature and humidity detecting elements and detector using same |
| JPS55165510A (en) * | 1979-06-09 | 1980-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Temperature and humidity detecting elements and detector using same |
| JPS5780703A (en) * | 1980-11-08 | 1982-05-20 | Kogyo Gijutsuin | Moisture sensor |
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