JPS5811722B2 - カンシツソシ - Google Patents
カンシツソシInfo
- Publication number
- JPS5811722B2 JPS5811722B2 JP50099834A JP9983475A JPS5811722B2 JP S5811722 B2 JPS5811722 B2 JP S5811722B2 JP 50099834 A JP50099834 A JP 50099834A JP 9983475 A JP9983475 A JP 9983475A JP S5811722 B2 JPS5811722 B2 JP S5811722B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- moisture
- present
- sintered body
- sensing element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、酸化物半導体からなり湿度を電気抵抗の変化
として検出する感湿素子に関する。
として検出する感湿素子に関する。
周知のように、一般に金属酸化物（Ｆｅ３０４−Ｆｅ２
０３．Ａｔ２０３−Ｃｒ２０Ｂ等）は吸水性にすぐれて
いるため感湿素子として利用できる。
０３．Ａｔ２０３−Ｃｒ２０Ｂ等）は吸水性にすぐれて
いるため感湿素子として利用できる。
すなわちこの種の金属酸化物の微粉末を一対の対向電極
を有する無機質絶縁基板の表面に被着してなる層が、湿
度の変化に応じてその電気抵抗が大幅に変化することを
利用したものである。
を有する無機質絶縁基板の表面に被着してなる層が、湿
度の変化に応じてその電気抵抗が大幅に変化することを
利用したものである。
上記金属酸化物の微粉末を利用した感湿素子は物理的、
化学的、熱的に安定であるが、一般に固有抵抗が高いた
め吸脱湿現象によって多少の抵抗変化があってもこれを
電気的に高精度に検出することはむずかしい。
化学的、熱的に安定であるが、一般に固有抵抗が高いた
め吸脱湿現象によって多少の抵抗変化があってもこれを
電気的に高精度に検出することはむずかしい。
そこで固有抵抗を低下させる試みがいくつかなされてお
り、たとえばアルカリ金属酸化物（Ｌｉ２０．に２０．
Ｎａ２Ｏ等）を添加含有せしめることが行なわれている
。
り、たとえばアルカリ金属酸化物（Ｌｉ２０．に２０．
Ｎａ２Ｏ等）を添加含有せしめることが行なわれている
。
しかしながらこの場合湿度サイクルの履歴が著るしく太
き（なる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かったり
、経時変化も大きいなどの欠点がある。
き（なる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かったり
、経時変化も大きいなどの欠点がある。
従って、本発明は上記欠点の除去された感湿素子を提供
しようとするものである。
しようとするものである。
以下、本発明の感湿素子はＬｉＭｅＴｉＱ４（Ｍｅ＝４
ｔ、Ｃｒ、ＦｅｓＧａｙＭｎｐＲｈｐＶから選ばれた少
な（とも一種）からなる焼結体を用いるものであり、ま
たＬｉＭｅＴｉＱ、５モ泣係以上（ただし１００モ泣係
を含まず）、Ｚｎ０９５モ泣係以下（ただし０モ泣係を
含まず）の組成の焼結体を用いるものである。
ｔ、Ｃｒ、ＦｅｓＧａｙＭｎｐＲｈｐＶから選ばれた少
な（とも一種）からなる焼結体を用いるものであり、ま
たＬｉＭｅＴｉＱ、５モ泣係以上（ただし１００モ泣係
を含まず）、Ｚｎ０９５モ泣係以下（ただし０モ泣係を
含まず）の組成の焼結体を用いるものである。
即ち本発明の感湿素子は酸化アルミニウム、酸化クロム
、酸化鉄、酸化カリウム、炭酸マンガン、酸化ロジウム
、酸化バナジウムのうち少なくとも一種と炭酸リチウム
、酸化チタンを組成品として焼結してなる疑スピネル構
造をもつ酸化物を主体とし要すれば酸化亜鉛を混合し、
プレス成形し焼結して得られた焼結体に少なくとも一対
の電極を設けて成るものである。
、酸化鉄、酸化カリウム、炭酸マンガン、酸化ロジウム
、酸化バナジウムのうち少なくとも一種と炭酸リチウム
、酸化チタンを組成品として焼結してなる疑スピネル構
造をもつ酸化物を主体とし要すれば酸化亜鉛を混合し、
プレス成形し焼結して得られた焼結体に少なくとも一対
の電極を設けて成るものである。
ＺｎＯを添加することにより焼結体の抵抗値を下げ、所
望の値に制御することができる。
望の値に制御することができる。
しかしＺｎＯ成分を添加混合する場合にはその組成比は
９５モル係以下に選択する必要がある。
９５モル係以下に選択する必要がある。
その理由はＺｎＯの組成比が９５モル％以上を占めると
湿度に対する抵抗値の変化幅が小さくなり実用上適さな
くなるからである。
湿度に対する抵抗値の変化幅が小さくなり実用上適さな
くなるからである。
本発明において主成分をなすＬｉＭｅＴＯ４粉末は列え
ばＬｉ２Ｃｏ３ｊＭｅ２Ｌｉ２Ｃｏ５ｊ／、ＣｒｓＦｅ
ｓＧａｓＭｎＲｈ、Ｖのうち少なくとも一種）ＭよびＴ
ｉＯ２を１：２：２のモル比に正確に秤取し、これがボ
ールミルによってよく混合し、７００℃程度の温度で１
時間前後予備焼成し、粉砕することによって容易に得ら
れる。
ばＬｉ２Ｃｏ３ｊＭｅ２Ｌｉ２Ｃｏ５ｊ／、ＣｒｓＦｅ
ｓＧａｓＭｎＲｈ、Ｖのうち少なくとも一種）ＭよびＴ
ｉＯ２を１：２：２のモル比に正確に秤取し、これがボ
ールミルによってよく混合し、７００℃程度の温度で１
時間前後予備焼成し、粉砕することによって容易に得ら
れる。
しかして本発明の感湿素子の焼結体は上記ＬｉＭｅＴｉ
０４粉末のみ又はＬｉＭｅＴｉ０４粉末にＺｎＯ粉末を
添加混合してプレス成形焼成を施して得ることができる
。
０４粉末のみ又はＬｉＭｅＴｉ０４粉末にＺｎＯ粉末を
添加混合してプレス成形焼成を施して得ることができる
。
次に本発明について具体列を挙げて説明する。
Ｌｉ２Ｃｏ３＃Ｍｅ２０３（Ｍｅ＝ＡｔｓＣｒ、Ｆｅｗ
Ｇａ磨Ｍｎ５Ｒｈａｖのうち少なくとも一種）およびＴ
ｉＯ２をモル比で１：２：２の組成比に正確に秤取し、
ボールミルによってよく混合した。
Ｇａ磨Ｍｎ５Ｒｈａｖのうち少なくとも一種）およびＴ
ｉＯ２をモル比で１：２：２の組成比に正確に秤取し、
ボールミルによってよく混合した。
しかる後この混合物を７００℃で１時間予備焼成しぞか
らボールミルによって粉砕して、ＬｉＭｊＴｆ０４（Ｍ
ｅ＝Ａｌ、ＣｒｙＦｅｅＧａｓＭｎｓＲｈｓＶのうち少
なくとも一種）を得た。
らボールミルによって粉砕して、ＬｉＭｊＴｆ０４（Ｍ
ｅ＝Ａｌ、ＣｒｙＦｅｅＧａｓＭｎｓＲｈｓＶのうち少
なくとも一種）を得た。
かくして得たＬｉＭｅＴｉ０４粉末とＺｎＯ粉末とを次
表に示す如き組成比（モルチ）に選び混合したりして比
較例を含め５５種の原料を調製用意した。
表に示す如き組成比（モルチ）に選び混合したりして比
較例を含め５５種の原料を調製用意した。
次いで上記原料粉末にポリビニルアルコール（粘結剤）
を加え１トン／ｃｄｌの圧力でプレス成形してから８０
０〜１３００℃の温度で２時間加熱焼結して厚さ１ｍｍ
、径２０ｍｍの円板形焼結体を得た。
を加え１トン／ｃｄｌの圧力でプレス成形してから８０
０〜１３００℃の温度で２時間加熱焼結して厚さ１ｍｍ
、径２０ｍｍの円板形焼結体を得た。
この円板形焼結体の主面に銀ペーストを焼付は一対の電
極を設ける一方リード整を半田付けして感湿素子をそれ
ぞれ作成した。
極を設ける一方リード整を半田付けして感湿素子をそれ
ぞれ作成した。
第１図は上記感湿素子を平面的に示したもので１は焼結
体を、２．７′は電極を、３．３’はリード線を示す。
体を、２．７′は電極を、３．３’はリード線を示す。
上記によってそれぞれ得た感湿素子について、相対湿度
と抵抗値との関係を表に併せて示す。
と抵抗値との関係を表に併せて示す。
第２図に実施例３３の相対湿度−抵抗値特性を示す。
湿度サイクルによるずれが認められず安定した特性を示
した。
した。
また第２図には参考までに従来例としてマグネタイトコ
ロイド型の場合も併せて示した。
ロイド型の場合も併せて示した。
さらに実施例２４，３４．４４について４０℃相対湿度
９５％下１０００Ｈｒ放置１特性（抵抗値−湿度関係）
の経時変化を求めたところ、第３図に示す如くであった
。
９５％下１０００Ｈｒ放置１特性（抵抗値−湿度関係）
の経時変化を求めたところ、第３図に示す如くであった
。
図から明らかなように、本発明に係る
ＬｉＭｅＴｉＯ，系の感湿素子は、抵抗値の変化がほと
んどみられず経時に対しても安定している。
んどみられず経時に対しても安定している。
このように本発明に係る感湿素子は常に所要の特性を示
し湿度サイクルによるずれもなく、且つ湿度変化に対す
る抵抗変化も大きいので、正確に湿度を測定しうろこと
になるので、その製造の容易さ、取扱品さなどの点と相
俟って実用上多くの利点をもたらすものと云える。
し湿度サイクルによるずれもなく、且つ湿度変化に対す
る抵抗変化も大きいので、正確に湿度を測定しうろこと
になるので、その製造の容易さ、取扱品さなどの点と相
俟って実用上多くの利点をもたらすものと云える。
第１図は本発明に係る感湿素子の構成列を示す平面図、
第２図は本発明に係る感湿素子について相対湿度と蝋抗
値との関係例を示す特性図、第３図は本発明に係本感湿
素子についての経時特性同図である。
第２図は本発明に係る感湿素子について相対湿度と蝋抗
値との関係例を示す特性図、第３図は本発明に係本感湿
素子についての経時特性同図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｉ ＬｉＭｅＴｉＱ４（Ｍｅ＝Ａ４．ＣｒｐＦｅｐＧａ
ｙＭｎ、ＲｔｔＶから選ばれた少なくとも一種）からな
る焼結体に少なくとも一対の電極を設けてなる感湿素子
。 ２ ＬｉＭｅＴｉＱ４５モル％ｌ上（ただし１００モ泣
係を含まず）Ｚｎ０９５モ泣係以下（ただし０モ泣係を
含まず）（Ｍｅ”ＡｔｐＣｒｓＦｅｐＧａｐＭｎｐＲｈ
ｐＶから選ばれた少なくとも一種）の組成の焼結疹に少
なくとも一対の電極を設けてなる感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50099834A JPS5811722B2 (ja) | 1975-08-19 | 1975-08-19 | カンシツソシ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50099834A JPS5811722B2 (ja) | 1975-08-19 | 1975-08-19 | カンシツソシ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5223694A JPS5223694A (en) | 1977-02-22 |
| JPS5811722B2 true JPS5811722B2 (ja) | 1983-03-04 |
Family
ID=14257832
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50099834A Expired JPS5811722B2 (ja) | 1975-08-19 | 1975-08-19 | カンシツソシ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5811722B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6123950U (ja) * | 1984-07-18 | 1986-02-13 | 東芝熱器具株式会社 | 電気ポツト |
| JPH0354730Y2 (ja) * | 1987-05-27 | 1991-12-04 |
-
1975
- 1975-08-19 JP JP50099834A patent/JPS5811722B2/ja not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6123950U (ja) * | 1984-07-18 | 1986-02-13 | 東芝熱器具株式会社 | 電気ポツト |
| JPH0354730Y2 (ja) * | 1987-05-27 | 1991-12-04 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5223694A (en) | 1977-02-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4647895A (en) | Ceramic temperature sensor | |
| JPS5811722B2 (ja) | カンシツソシ | |
| JPS5811721B2 (ja) | カンシツソシ | |
| JPS5855641B2 (ja) | カンシツソシ | |
| JP4548431B2 (ja) | サーミスタ組成物及びサーミスタ素子 | |
| JPS5855642B2 (ja) | カンシツソシ | |
| JPS5813004B2 (ja) | カンシツソシ | |
| JPS5855643B2 (ja) | カンシツソシ | |
| JPS5813003B2 (ja) | カンシツソシ | |
| JPS5813002B2 (ja) | カンシツソシ | |
| JP3140124B2 (ja) | 厚膜サーミスタ組成物、その製造方法、厚膜サーミスタおよびその製造方法 | |
| JPS5867001A (ja) | 正特性半導体磁器の製造方法 | |
| JPS5840801A (ja) | 湿度センサ素子とその製造法 | |
| JPS622681B2 (ja) | ||
| JPS6024565B2 (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6241401B2 (ja) | ||
| JPS581523B2 (ja) | サ−ミスタ組成物 | |
| JPS60235760A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6161241B2 (ja) | ||
| KR840000260B1 (ko) | 감습소자 | |
| JPS6150362B2 (ja) | ||
| JPS59155901A (ja) | 感湿抵抗素子 | |
| JPS6161242B2 (ja) | ||
| JPS58107603A (ja) | 正特性半導体磁器の製造方法 | |
| JPH06204003A (ja) | 負特性サーミスタ材料 |