JPS5813004B2 - カンシツソシ - Google Patents
カンシツソシInfo
- Publication number
- JPS5813004B2 JPS5813004B2 JP50099833A JP9983375A JPS5813004B2 JP S5813004 B2 JPS5813004 B2 JP S5813004B2 JP 50099833 A JP50099833 A JP 50099833A JP 9983375 A JP9983375 A JP 9983375A JP S5813004 B2 JPS5813004 B2 JP S5813004B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- moisture
- sintered body
- present
- powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、酸化物半導体からなり湿度を電気抵抗の変化
として検出する感湿素子に関する。
として検出する感湿素子に関する。
周知のように、一般に金属酸化物（Ｆｅ３０４，Ｆｅ２
０３，Ａｌ２０３，Ｃｒ２０３等）は吸水性にすぐれて
いるため感湿素子として利用できる。
０３，Ａｌ２０３，Ｃｒ２０３等）は吸水性にすぐれて
いるため感湿素子として利用できる。
すなわちこの種の金属酸化物の微粉末を一対の対向電極
を有する無機質絶縁基板の表面に被着してなる層が、湿
度の変化に応じてその電気抵抗が大幅に変化することを
利用したものである。
を有する無機質絶縁基板の表面に被着してなる層が、湿
度の変化に応じてその電気抵抗が大幅に変化することを
利用したものである。
上記金属酸化物の微粉末を利用した感湿素子は物理的，
化学的．熱的に安定であるが、一般に固有抵抗が高いた
め吸脱湿現象によって多少の抵抗変化があってもこれを
電気的に高精度に検出することはむずかしい。
化学的．熱的に安定であるが、一般に固有抵抗が高いた
め吸脱湿現象によって多少の抵抗変化があってもこれを
電気的に高精度に検出することはむずかしい。
そこで固有抵抗を低下させる試みがいくつかなされてお
り、たとえばアルカリ金属酸化物（Ｌｉ２０，Ｋ２０，
Ｎａ２０等）を添加含有せしめることが行なわれている
。
り、たとえばアルカリ金属酸化物（Ｌｉ２０，Ｋ２０，
Ｎａ２０等）を添加含有せしめることが行なわれている
。
しよしながら、この場合湿度サイクルの履歴が著るしく
大きくなる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かった
り経時変化も太きいなどの欠点がある。
大きくなる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かった
り経時変化も太きいなどの欠点がある。
従って本発明は上記欠点の除去された感湿素子を提供し
ようとするものである。
ようとするものである。
以下、本発明の感湿素子はＬｉＭｅＧｅ０４（Ｍｅ＝Ｃ
ｒ，Ｒｈから選ばれた少なくとも一種）からなる焼結体
を用いるものであり、またＬｉＭｅＧｅ０４５モル％以
上（ただし１００モル％を含まず）、Ｚｕ０９５モル％
以下（ただしＯモル％を含まず）の組成の焼結体を用い
るものである。
ｒ，Ｒｈから選ばれた少なくとも一種）からなる焼結体
を用いるものであり、またＬｉＭｅＧｅ０４５モル％以
上（ただし１００モル％を含まず）、Ｚｕ０９５モル％
以下（ただしＯモル％を含まず）の組成の焼結体を用い
るものである。
即ち本発明の感湿素子は酸化クロム，酸化ロジウムのう
ち少なくとも一種と炭酸リチウム酸化ゲルマニウムを組
成分として焼結してなる疑スピネル構造をもつ酸化物を
主体とし、要すれば酸化亜鉛を混合し、プレス成形し焼
結して得られた焼結体に少なくとも一対の電極を設けて
成るものである。
ち少なくとも一種と炭酸リチウム酸化ゲルマニウムを組
成分として焼結してなる疑スピネル構造をもつ酸化物を
主体とし、要すれば酸化亜鉛を混合し、プレス成形し焼
結して得られた焼結体に少なくとも一対の電極を設けて
成るものである。
ＺｎＯを添加することにより焼結体の抵抗値を下げ、所
望の値に制御することができる。
望の値に制御することができる。
しかしｚｎｏｆｆ分を添加混合する場合にはその組成比
は９５モル％以下に選択する必要がある。
は９５モル％以下に選択する必要がある。
その理由はＺｎＯの組成比が９５モル％以上を占めると
湿度に対する抵抗値の変化幅が小さくなり実用上適さな
くなるからである。
湿度に対する抵抗値の変化幅が小さくなり実用上適さな
くなるからである。
本発明において主成分をなすＬｉＭｅＧｅＯ４粉末は例
えばＬｉ２ＣＯ３，Ｍｅ２０３（Ｍｅ−Ｃｒ，Ｒｈのう
ち少なくとも一種）およびＧｅ０２を１：２：２のモル
比に正確に秤取し、これをボールミルによってよく混合
し、７００Ｃ程度の温度で１時間前後予備焼成し、粉砕
することによって容易に得られる。
えばＬｉ２ＣＯ３，Ｍｅ２０３（Ｍｅ−Ｃｒ，Ｒｈのう
ち少なくとも一種）およびＧｅ０２を１：２：２のモル
比に正確に秤取し、これをボールミルによってよく混合
し、７００Ｃ程度の温度で１時間前後予備焼成し、粉砕
することによって容易に得られる。
しかして本発明の感湿素子の焼結体は上記Ｌｉ〜ｉｅＧ
ｅ０４粉末のみ又はＬｔＭｅＧｅ０４粉末にＺｎＯ粉末
を添加混合してプレス成形焼成を施して得ることができ
る。
ｅ０４粉末のみ又はＬｔＭｅＧｅ０４粉末にＺｎＯ粉末
を添加混合してプレス成形焼成を施して得ることができ
る。
次に本発明について具体例を挙げて説明する。
先ずＬｉ２ＣＯ３，Ｍｅ２０３（Ｍｅ＝Ｃｒ，Ｒｈのう
ち少なくとも一種）およびＧｅＯ２をモル比で１：２：
２の組成比に正確に秤取し、ボールミルによってよく混
合した。
ち少なくとも一種）およびＧｅＯ２をモル比で１：２：
２の組成比に正確に秤取し、ボールミルによってよく混
合した。
しかる後この混合物を７００Ｃで１時間予備焼成を施し
てからボールミルによって粉砕してＬｉＭｅＧｅ０４（
Ｍｅ＝Ｃｒ，Ｒｈのうち少なくとも一種）を得た。
てからボールミルによって粉砕してＬｉＭｅＧｅ０４（
Ｍｅ＝Ｃｒ，Ｒｈのうち少なくとも一種）を得た。
かくして得たＬｉＭｅＧｅ０４粉末とＺｎＯ粉末とを次
表に示す如き組成比（モル％）に選び混合したりして比
較例を含め１９種の原料を調製用意した，次いで上記原
料粉末にポリビニルアルコール（粘結削）を加え１トン
／ｃｍ２の圧力でプレス成形してから８００〜１３００
℃の温度で２時間加熱焼結して厚さ１ｍｍ，径２０ｍｎ
の円板形焼結体を得た。
表に示す如き組成比（モル％）に選び混合したりして比
較例を含め１９種の原料を調製用意した，次いで上記原
料粉末にポリビニルアルコール（粘結削）を加え１トン
／ｃｍ２の圧力でプレス成形してから８００〜１３００
℃の温度で２時間加熱焼結して厚さ１ｍｍ，径２０ｍｎ
の円板形焼結体を得た。
この円板形焼結体の主面に銀ペーストを焼付け一対の電
極を設ける一方リード線を半田付けして感湿素子をそれ
ぞれ作成した。
極を設ける一方リード線を半田付けして感湿素子をそれ
ぞれ作成した。
第１図は、上記感湿素子を平面的に示したもので、１は
焼結体を２，２′は電極を、３，３′はリード線を示す
。
焼結体を２，２′は電極を、３，３′はリード線を示す
。
上記によってそれぞれ得た感湿素子について、相対湿度
と抵抗値との関係を表に併せて示す。
と抵抗値との関係を表に併せて示す。
第２図に実施例１０の相対湿度一抵抗値判性を示す，湿
度サイクルによるずれが認められず、安定した特性を示
した。
度サイクルによるずれが認められず、安定した特性を示
した。
また第２図には参考までに従来例としてマグネクイトコ
ロイド型の場合も併せて示した。
ロイド型の場合も併せて示した。
さらに実施例４，９，１４について４０Ｃ１相対湿度９
５％下１０００｛ｒ放置し、羽性（抵抗値一湿度関係）
の経時変化を求めたところ、第３図に示す如くであった
。
５％下１０００｛ｒ放置し、羽性（抵抗値一湿度関係）
の経時変化を求めたところ、第３図に示す如くであった
。
図からも明らかなように、本発明に係る
ＬｉＭｅＧｅＯ系の感湿素子は抵抗値の変化がほとんど
みられず、経時に対しても安定している。
みられず、経時に対しても安定している。
このように本発明に係る感湿素子は常に所要の特性を示
し湿度サイフルによるずれもなく、且つ湿度変化に対す
る抵抗変化も大きいので、正確に湿度を測定しうろこと
になるので、その製造の容易さ、取扱易さなどの点と相
俟って実用上多くの利点をもたらすものと云える。
し湿度サイフルによるずれもなく、且つ湿度変化に対す
る抵抗変化も大きいので、正確に湿度を測定しうろこと
になるので、その製造の容易さ、取扱易さなどの点と相
俟って実用上多くの利点をもたらすものと云える。
第１図は本発明に係る感湿素子の構成例を示す平面図、
第２図は本発明に係る感湿素子について相対湿度と抵抗
値との関係例を示す判性図、第３図は本発明に係る感湿
素子についての経時特性例図である。
第２図は本発明に係る感湿素子について相対湿度と抵抗
値との関係例を示す判性図、第３図は本発明に係る感湿
素子についての経時特性例図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｉ ＬｉＭｅＧｅ０４（Ｍｅ＝Ｃｒ，Ｒｈから選ばれた
少なくとも一種）からなる焼結体に少なくとも一対の電
極を設けてなる感湿素子。 ２ Ｌ＋ＭｅＧｅＯ＋５モ泣％以上（ただし１００モル
％を含まず）Ｚｎ０９５モル％以下（ただしＯモル％を
含まず）（Ｍｅ＝Ｇｒ，Ｒｈから選ばれた少なくとも一
種）の組成の焼結体に少なくとも一対の電極を設けてな
る感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50099833A JPS5813004B2 (ja) | 1975-08-19 | 1975-08-19 | カンシツソシ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50099833A JPS5813004B2 (ja) | 1975-08-19 | 1975-08-19 | カンシツソシ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5223693A JPS5223693A (en) | 1977-02-22 |
| JPS5813004B2 true JPS5813004B2 (ja) | 1983-03-11 |
Family
ID=14257804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50099833A Expired JPS5813004B2 (ja) | 1975-08-19 | 1975-08-19 | カンシツソシ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5813004B2 (ja) |
-
1975
- 1975-08-19 JP JP50099833A patent/JPS5813004B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5223693A (en) | 1977-02-22 |
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