JPS6243521B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6243521B2 JPS6243521B2 JP55184791A JP18479180A JPS6243521B2 JP S6243521 B2 JPS6243521 B2 JP S6243521B2 JP 55184791 A JP55184791 A JP 55184791A JP 18479180 A JP18479180 A JP 18479180A JP S6243521 B2 JPS6243521 B2 JP S6243521B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sno
- mol
- moisture
- humidity
- resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 19
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 17
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 10
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 claims description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 claims description 4
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- DSSYKIVIOFKYAU-XCBNKYQSSA-N (R)-camphor Chemical compound C1C[C@@]2(C)C(=O)C[C@@H]1C2(C)C DSSYKIVIOFKYAU-XCBNKYQSSA-N 0.000 description 2
- 241000723346 Cinnamomum camphora Species 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229960000846 camphor Drugs 0.000 description 2
- 229930008380 camphor Natural products 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000007791 dehumidification Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 239000012266 salt solution Substances 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
本発明は微粒子のAl2O3，SnO2の混合物に焼結
助剤なしで成形体とし焼成して感度の優れた抵抗
素子及び、その抵抗素子の製造法に関するもので
ある。 従来よりAl2O3粉末成形体の電気抵抗が湿度に
依存することから、粒径１〜５μの高純度の
Al2O3粉末に水を加えて撹拌し、泥漿にし、平衡
電極のついたガラス板等の絶縁基板の表面に薄く
塗布して自然乾燥した後、100℃で乾燥して酸化
物の薄膜を造つた湿度センサーが知られていた。
又、これを更に改良して、粒径１〜５μのAl2O3
粉末60〜90重量％と遷移金属元素を含むガラス40
〜10重量％との混合物をプレス成形し、焼成した
ものが特公昭53―10677号に述べられている。併
し前者は機械的強度が小さく、感湿抵抗素子が剥
れ易く50％の相対湿度（以下RHと略す）で104M
Ωcmと電気抵抗が高く、低湿度では測定下可能で
あつた。又、後者も結合剤としてガラス分が入つ
ているため、90％RHというような高湿度側でも
５×105Ωcmと電気抵抗が高く、又、実用的な機
械的強度を有する抵抗体としては、ガラス分を多
く加えなければならず、必然的に湿度による抵抗
率の変化が小さいものとなり、且つ応答性も遅い
ものとならざるを得ず、更に高湿から低湿にした
時ヒステリシスが残るという難点があつた。 本発明はこれらを改善するためになされたもの
で感湿抵抗体成分として、Al2O35〜99モル％と
SnO21〜99モル％よりなる混合物の焼結体であ
り、その結晶粒径が３μｍ以下を主体となし、気
孔率が25〜45％であることを特徴とする感湿抵抗
体素子と、純度99・０％以上のAl2O3及びSnO2の
微粉末を使用して、上記モル％に配合し合計100
モル％として混合后、造粒する。この造粒粉末を
成形后、温度900〜1300℃の酸化雰囲気中にて焼
成することを特徴とする感湿抵抗素子の製造法と
を提供するものである。その原料として、Alア
ルコキシド及びSnアルコキシドを加水分解して
熱処理し得られた酸化物微粉末を使用するもので
あり、又、別の原料として、Al及びSnの金属塩
から得られた酸化物微粉末を使用するものであ
る。本発明はAl2O3，SnO2の原料が純度99.0％以
上であり、また、１μｍ以下の微粒子であり、そ
の混合物に焼結助剤を用いず、又、結晶成長が進
行する前に焼成が終つているため微結晶で均一な
多孔質体が形成され、そのため微結晶粒子の比表
面積が大きく活性であることから高感度で速い応
答性のものが得られる。更に、熱的にも高温まで
安定であり、機械的強度も強く、また通常の焼成
法によれば再現性もよく安定した感湿抵抗素子が
得られた。 Al2O3にSnO2の添加は、感湿抵抗素子のバルク
抵抗を下げ、湿度の変化に対し抵抗の変化巾を更
に大きくするのに寄与することが見い出された。 感湿抵抗成分として、Al2O35〜99モル％、
SnO21〜95モル％に限定した理由はAl2O399モル
％以上（SnO21モル％以下）では焼結体の湿度に
対する抵抗変化巾が小さいこと、Al2O35モル％
以下（SnO295モル％以上）では焼結体の湿度に
対する抵抗変化が直線性から大きくずれ実用性に
乏しいためである。又、気孔率25〜45％とし、結
晶粒径３μｍを主体としたのは、低温度例えば
800℃で焼成した場合に気孔率50％程度のものが
得られるが強度がないこと、又、1300℃以上のよ
うな高温で焼成すると気孔率が25％以下になり結
晶粒径も１〜４μｍとなり湿度に対する感度及び
応答性が悪く実用性に乏しいためである。 以下実施例により一そう具体的に説明する。 実施例 １ 純度99.0％以上のAl（iSoOC3H7）3とSn
（noC4H9）4を下記第１表に示すモル％になるよう
に秤量し、エタノールに溶解し温度60℃以上に加
熱した溶液にAl（isooC3H7）3及びSn（noC4H9）4
との等モル以上の純水を加え、撹拌しながら約１
時間反応させる。各組成のものが共通溶媒を使用
してAl及びSnアルコキシド混合溶液を同時に簡
単に加水分解が出来る。加水分解を終えた酸化物
微粉末を分離し乾燥すると粒径約100A゜で均一
な比表面積250〜350m2／ｇのものが得られた。こ
の微粉末100重量部に対し、エーテルで溶解した
カンフアー５重量部を加え混合し、乾燥して造粒
を行い、厚さ0.4mm、直径10mmの寸法にプレス成
形し温度1100℃で2hrにて大気中で焼成し焼結体
とした。その結果を第１表に示す。 実施例 ２ 純度99.0％以上のAlcl3とSncl4・nH2Oの金属塩
を純水に溶かし0.3mole／１の金属塩溶液を用意
し、この溶液の撹拌中にアンモニアガスと窒素ガ
スの混合ガスを導入し、溶液のPHが７程度にな
るまで導入する。充分撹拌後、沈澱した水酸化物
を採り出し水洗し700℃で乾燥する。この両超微
粒子は約100A゜で比表面積200〜350m2／ｇのも
のが出来た。これを第１表の組成に配合し充分混
合後、この微粉末100重量部に対しエーテルで溶
解したカンフアー５重量部を加え混合し、乾燥し
て造粒を行い、厚さ0.4mm、直径10mmの寸法にプ
レス成形し、実施例１と同様にして焼成を行い多
孔質焼結体とした。その結果は実施例１と同様な
値にて差違なきため同時に下表に示す。
助剤なしで成形体とし焼成して感度の優れた抵抗
素子及び、その抵抗素子の製造法に関するもので
ある。 従来よりAl2O3粉末成形体の電気抵抗が湿度に
依存することから、粒径１〜５μの高純度の
Al2O3粉末に水を加えて撹拌し、泥漿にし、平衡
電極のついたガラス板等の絶縁基板の表面に薄く
塗布して自然乾燥した後、100℃で乾燥して酸化
物の薄膜を造つた湿度センサーが知られていた。
又、これを更に改良して、粒径１〜５μのAl2O3
粉末60〜90重量％と遷移金属元素を含むガラス40
〜10重量％との混合物をプレス成形し、焼成した
ものが特公昭53―10677号に述べられている。併
し前者は機械的強度が小さく、感湿抵抗素子が剥
れ易く50％の相対湿度（以下RHと略す）で104M
Ωcmと電気抵抗が高く、低湿度では測定下可能で
あつた。又、後者も結合剤としてガラス分が入つ
ているため、90％RHというような高湿度側でも
５×105Ωcmと電気抵抗が高く、又、実用的な機
械的強度を有する抵抗体としては、ガラス分を多
く加えなければならず、必然的に湿度による抵抗
率の変化が小さいものとなり、且つ応答性も遅い
ものとならざるを得ず、更に高湿から低湿にした
時ヒステリシスが残るという難点があつた。 本発明はこれらを改善するためになされたもの
で感湿抵抗体成分として、Al2O35〜99モル％と
SnO21〜99モル％よりなる混合物の焼結体であ
り、その結晶粒径が３μｍ以下を主体となし、気
孔率が25〜45％であることを特徴とする感湿抵抗
体素子と、純度99・０％以上のAl2O3及びSnO2の
微粉末を使用して、上記モル％に配合し合計100
モル％として混合后、造粒する。この造粒粉末を
成形后、温度900〜1300℃の酸化雰囲気中にて焼
成することを特徴とする感湿抵抗素子の製造法と
を提供するものである。その原料として、Alア
ルコキシド及びSnアルコキシドを加水分解して
熱処理し得られた酸化物微粉末を使用するもので
あり、又、別の原料として、Al及びSnの金属塩
から得られた酸化物微粉末を使用するものであ
る。本発明はAl2O3，SnO2の原料が純度99.0％以
上であり、また、１μｍ以下の微粒子であり、そ
の混合物に焼結助剤を用いず、又、結晶成長が進
行する前に焼成が終つているため微結晶で均一な
多孔質体が形成され、そのため微結晶粒子の比表
面積が大きく活性であることから高感度で速い応
答性のものが得られる。更に、熱的にも高温まで
安定であり、機械的強度も強く、また通常の焼成
法によれば再現性もよく安定した感湿抵抗素子が
得られた。 Al2O3にSnO2の添加は、感湿抵抗素子のバルク
抵抗を下げ、湿度の変化に対し抵抗の変化巾を更
に大きくするのに寄与することが見い出された。 感湿抵抗成分として、Al2O35〜99モル％、
SnO21〜95モル％に限定した理由はAl2O399モル
％以上（SnO21モル％以下）では焼結体の湿度に
対する抵抗変化巾が小さいこと、Al2O35モル％
以下（SnO295モル％以上）では焼結体の湿度に
対する抵抗変化が直線性から大きくずれ実用性に
乏しいためである。又、気孔率25〜45％とし、結
晶粒径３μｍを主体としたのは、低温度例えば
800℃で焼成した場合に気孔率50％程度のものが
得られるが強度がないこと、又、1300℃以上のよ
うな高温で焼成すると気孔率が25％以下になり結
晶粒径も１〜４μｍとなり湿度に対する感度及び
応答性が悪く実用性に乏しいためである。 以下実施例により一そう具体的に説明する。 実施例 １ 純度99.0％以上のAl（iSoOC3H7）3とSn
（noC4H9）4を下記第１表に示すモル％になるよう
に秤量し、エタノールに溶解し温度60℃以上に加
熱した溶液にAl（isooC3H7）3及びSn（noC4H9）4
との等モル以上の純水を加え、撹拌しながら約１
時間反応させる。各組成のものが共通溶媒を使用
してAl及びSnアルコキシド混合溶液を同時に簡
単に加水分解が出来る。加水分解を終えた酸化物
微粉末を分離し乾燥すると粒径約100A゜で均一
な比表面積250〜350m2／ｇのものが得られた。こ
の微粉末100重量部に対し、エーテルで溶解した
カンフアー５重量部を加え混合し、乾燥して造粒
を行い、厚さ0.4mm、直径10mmの寸法にプレス成
形し温度1100℃で2hrにて大気中で焼成し焼結体
とした。その結果を第１表に示す。 実施例 ２ 純度99.0％以上のAlcl3とSncl4・nH2Oの金属塩
を純水に溶かし0.3mole／１の金属塩溶液を用意
し、この溶液の撹拌中にアンモニアガスと窒素ガ
スの混合ガスを導入し、溶液のPHが７程度にな
るまで導入する。充分撹拌後、沈澱した水酸化物
を採り出し水洗し700℃で乾燥する。この両超微
粒子は約100A゜で比表面積200〜350m2／ｇのも
のが出来た。これを第１表の組成に配合し充分混
合後、この微粉末100重量部に対しエーテルで溶
解したカンフアー５重量部を加え混合し、乾燥し
て造粒を行い、厚さ0.4mm、直径10mmの寸法にプ
レス成形し、実施例１と同様にして焼成を行い多
孔質焼結体とした。その結果は実施例１と同様な
値にて差違なきため同時に下表に示す。
【表】
【表】
組成により異なるが上表の如く結晶粒径は0.01
〜0.15μｍであり気孔率は25〜45％の多孔質焼結
体である。第１表に示した焼成温度条件は、1100
℃で2hr焼成であるが、800℃以下ではAl2O3がア
モルフアスの状態であると共に焼結体の強度も低
く、湿度に対する抵抗変化も再現性に乏しく不安
定である。1300℃以上では結晶が粒成長し、粒径
1.0〜4.0μｍと大きくなり湿度変化に対し純感と
なり高湿度のみ感じる抵抗変化を示し直線性はな
くなる。 実施例１，２の焼結体の上下面にRu2Oペース
トを塗布し、800℃で焼付けて電極とし、リード
線を付けて感湿抵抗素子とした。その側面図を第
１図に示し、図中１は感湿抵抗体、２はRu2O電
極、３はリード線である。この各試料にAClV，
60Hzを印加した時の湿度と抵抗との関係変化を第
２図及び第３図に示し、第２図中の直線は左端上
から順にNo.．２，３，４，５，１であり、第３図
中の直線は左端上からNo.．６，７，８，９，10で
曲線No.11である。尚No.１とNo.10.11を除いた本発
明の試料は90％RHで104Ωあり、20％RHで107Ω
であり直線性の傾きの差はなく、実用性の高い抵
抗域で大きな変化巾と直線性があり、脱湿の時に
おけるヒステリシスはみられなかつた。併し本発
明範囲外のNo.１，10，11は90％RHで103Ωあり、
20％RHで105Ωとなり小さな抵抗変化巾を示し、
ヒステリシスが大きくなつた。特にNo.11は直線性
がなくなる。気温30℃における応答性について
は、第４図に示す如く試料No.２〜10はほゞ同様な
値を示し20秒以内にて安定した値の速いものとな
つたが、これは焼結助剤を含まず、均一な微粒子
多孔質焼結体の効果が現われたものと考えられ
る。図中破線はRH90％より50％に変化させた場
合、実線はRH20％より50％えと変化させた場合
の相対指示湿度である。第５図には湿度80％にお
ける再現性を見たものであり、長期の使用に対
し、表面の汚れで抵抗が増加する傾向にあるので
450℃にて１分間加熱をすることにより初期抵抗
にもどり、これを10000回以上行なつても全く変
化がないことが判明した。これも焼結助剤なしで
均一な微粒子多孔質焼結体であることから熱的に
も非常に安定していることによるものである。
〜0.15μｍであり気孔率は25〜45％の多孔質焼結
体である。第１表に示した焼成温度条件は、1100
℃で2hr焼成であるが、800℃以下ではAl2O3がア
モルフアスの状態であると共に焼結体の強度も低
く、湿度に対する抵抗変化も再現性に乏しく不安
定である。1300℃以上では結晶が粒成長し、粒径
1.0〜4.0μｍと大きくなり湿度変化に対し純感と
なり高湿度のみ感じる抵抗変化を示し直線性はな
くなる。 実施例１，２の焼結体の上下面にRu2Oペース
トを塗布し、800℃で焼付けて電極とし、リード
線を付けて感湿抵抗素子とした。その側面図を第
１図に示し、図中１は感湿抵抗体、２はRu2O電
極、３はリード線である。この各試料にAClV，
60Hzを印加した時の湿度と抵抗との関係変化を第
２図及び第３図に示し、第２図中の直線は左端上
から順にNo.．２，３，４，５，１であり、第３図
中の直線は左端上からNo.．６，７，８，９，10で
曲線No.11である。尚No.１とNo.10.11を除いた本発
明の試料は90％RHで104Ωあり、20％RHで107Ω
であり直線性の傾きの差はなく、実用性の高い抵
抗域で大きな変化巾と直線性があり、脱湿の時に
おけるヒステリシスはみられなかつた。併し本発
明範囲外のNo.１，10，11は90％RHで103Ωあり、
20％RHで105Ωとなり小さな抵抗変化巾を示し、
ヒステリシスが大きくなつた。特にNo.11は直線性
がなくなる。気温30℃における応答性について
は、第４図に示す如く試料No.２〜10はほゞ同様な
値を示し20秒以内にて安定した値の速いものとな
つたが、これは焼結助剤を含まず、均一な微粒子
多孔質焼結体の効果が現われたものと考えられ
る。図中破線はRH90％より50％に変化させた場
合、実線はRH20％より50％えと変化させた場合
の相対指示湿度である。第５図には湿度80％にお
ける再現性を見たものであり、長期の使用に対
し、表面の汚れで抵抗が増加する傾向にあるので
450℃にて１分間加熱をすることにより初期抵抗
にもどり、これを10000回以上行なつても全く変
化がないことが判明した。これも焼結助剤なしで
均一な微粒子多孔質焼結体であることから熱的に
も非常に安定していることによるものである。
第１図は感湿抵抗素子の側面図、第２図及び第
３図は本発明実施例及び比較例の湿度と抵抗との
関係、第４図は本発明の応答性の経過時間と湿度
との関係、第５図は本発明品の汚れの加熱処理を
行つた回数と抵抗変化の関係を示したものであ
る。
３図は本発明実施例及び比較例の湿度と抵抗との
関係、第４図は本発明の応答性の経過時間と湿度
との関係、第５図は本発明品の汚れの加熱処理を
行つた回数と抵抗変化の関係を示したものであ
る。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 感湿抵抗体成分として、Al2O35〜99モル％
とSnO21〜95モル％よりなる混合物の焼結体であ
り、その結晶粒径が３μｍ以下を主体となし、気
孔率が25〜45％であることを特徴とする感湿抵抗
素子。 ２ 純度99.0％以上のAl2O3及びSnO2の微粉末を
使用して、Al2O35〜99モル％とSnO21〜95モル％
とを合計100モル％に配合し混合后、造粒する。
この造粒粉末を成形后、温度900〜1300℃の酸化
雰囲気中にて焼成することを特徴とする感湿抵抗
素子の製造法。 ３ 上記のAl2O3原料としては、Alアルコキシド
を加水分解し熱処理して得られた酸化物微粉末で
あり、又、上記のSnO2原料としては、Snアルコ
キシドを加水分解し熱処理して得られた酸化物微
粉末を使用することを特徴とする特許請求の範囲
第２項記載の感湿抵抗素子の製造法。 ４ 上記のAl2O3原料としては、Alの金属塩から
得られた酸化物微粉末であり、又、上記のSnO2
原料としては、Snの金属塩から得られた酸化物
微粉末を使用することを特徴とする特許請求の範
囲第２項記載の感湿抵抗素子の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55184791A JPS57107003A (en) | 1980-12-24 | 1980-12-24 | Moisture sensitive resistance element and method of producing same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55184791A JPS57107003A (en) | 1980-12-24 | 1980-12-24 | Moisture sensitive resistance element and method of producing same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57107003A JPS57107003A (en) | 1982-07-03 |
| JPS6243521B2 true JPS6243521B2 (ja) | 1987-09-14 |
Family
ID=16159350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55184791A Granted JPS57107003A (en) | 1980-12-24 | 1980-12-24 | Moisture sensitive resistance element and method of producing same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57107003A (ja) |
-
1980
- 1980-12-24 JP JP55184791A patent/JPS57107003A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57107003A (en) | 1982-07-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4677415A (en) | Ceramic humidity sensor | |
| US4647895A (en) | Ceramic temperature sensor | |
| US4743881A (en) | Ceramic temperature sensor | |
| JPS6243521B2 (ja) | ||
| JPS6314483B2 (ja) | ||
| JPH0541589B2 (ja) | ||
| JPS6161521B2 (ja) | ||
| JPS6152422B2 (ja) | ||
| JPH0425221B2 (ja) | ||
| JPS5840801A (ja) | 湿度センサ素子とその製造法 | |
| JPH0465521B2 (ja) | ||
| JPS6246961B2 (ja) | ||
| JPS5811722B2 (ja) | カンシツソシ | |
| JPS5811721B2 (ja) | カンシツソシ | |
| JPH0122964B2 (ja) | ||
| JPS6030082B2 (ja) | 感湿素子の製造方法 | |
| JPS6055962B2 (ja) | 感湿素子 | |
| JPS58161301A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS5813003B2 (ja) | カンシツソシ | |
| JPS60247901A (ja) | 感湿材料 | |
| JPS5835901A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6390101A (ja) | 湿度センサ | |
| JPH0469104B2 (ja) | ||
| JPS5813004B2 (ja) | カンシツソシ | |
| JPH058841B2 (ja) |