JPS5813002B2 - カンシツソシ - Google Patents
カンシツソシInfo
- Publication number
- JPS5813002B2 JPS5813002B2 JP50089172A JP8917275A JPS5813002B2 JP S5813002 B2 JPS5813002 B2 JP S5813002B2 JP 50089172 A JP50089172 A JP 50089172A JP 8917275 A JP8917275 A JP 8917275A JP S5813002 B2 JPS5813002 B2 JP S5813002B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- moisture
- present
- powder
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、酸化物半導体からなり、湿度を電気抵抗の変
化として検出する感湿素子こ関する。
化として検出する感湿素子こ関する。
周知のようこ、一般に金属酸化物（Ｆｅ３０４，Ｆｅ２
０３，Ａｌ２０３，Ｃｒ２０３等）は吸水性こすぐれて
いるため感湿素子として利用できる。
０３，Ａｌ２０３，Ｃｒ２０３等）は吸水性こすぐれて
いるため感湿素子として利用できる。
すなわちこの種の金属酸化物の微粉末を一対の対向電極
を有する無機質絶縁基板の表面に被着してなる層が、湿
度の変化こ応じてその電気抵抗が犬幅こ変化することを
利用したものである。
を有する無機質絶縁基板の表面に被着してなる層が、湿
度の変化こ応じてその電気抵抗が犬幅こ変化することを
利用したものである。
上記金属酸化物の微粉末を利用した感湿素子は物理的、
化学的、熱的こ安定であるが、一般に固有抵抗が高いた
め吸脱湿現象こよって多少の抵抗変化があってもこれを
電気的に高精度こ検出することはむずかしい。
化学的、熱的こ安定であるが、一般に固有抵抗が高いた
め吸脱湿現象こよって多少の抵抗変化があってもこれを
電気的に高精度こ検出することはむずかしい。
そこで、固有抵抗を低下させる試みがいくつかなされて
おり、たとえば、アルカリ金属酸化物（Ｌｉ２０，Ｋ２
０，Ｎａ２０等）添加含有せしめることが行なわれてい
る。
おり、たとえば、アルカリ金属酸化物（Ｌｉ２０，Ｋ２
０，Ｎａ２０等）添加含有せしめることが行なわれてい
る。
しかしながら、この場合、湿度サイクルの履歴が著るし
く大きくなる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かっ
たり、経時変化も大きいなどの欠点がある。
く大きくなる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かっ
たり、経時変化も大きいなどの欠点がある。
従って本発明は上記欠点の除去された感湿素子を提供し
ようとするものである。
ようとするものである。
本発明の感湿素子は、ＬｉＣｏＳｂ０４からなる焼結体
に少なくとも一対の電極を設けてなる感湿素子及びＬｉ
ＣｏＳｂ０４５モル％以上（ただし１００モル係を除＜
）、Ｚｎ０９５モル係以下（ただしＯモル％を除く）の
組成を採る焼結体こ少なくとも一対の電極を設けてなる
感湿素子である。
に少なくとも一対の電極を設けてなる感湿素子及びＬｉ
ＣｏＳｂ０４５モル％以上（ただし１００モル係を除＜
）、Ｚｎ０９５モル係以下（ただしＯモル％を除く）の
組成を採る焼結体こ少なくとも一対の電極を設けてなる
感湿素子である。
即ち本発明の感湿素子は炭酸コバルトと、炭酸リチウム
，酸化アンチモンを組成分とし焼結してなるスピネ構造
をもつＬｉＣｏＳｂ０４を必須成分とし、要すれば酸化
亜鉛を混合し、プレス成形し焼結して得られたものを本
体としてなるものである。
，酸化アンチモンを組成分とし焼結してなるスピネ構造
をもつＬｉＣｏＳｂ０４を必須成分とし、要すれば酸化
亜鉛を混合し、プレス成形し焼結して得られたものを本
体としてなるものである。
本発明こおいて必須成分をなすＬｉＣｏＳｂ０４粉末は
例えばＬ１２ＣＯ３，ＣＯＣＯ３およびＳｂ２０３を１
：２：１のモル比に正確こ秤取ひ、これをボールミ少こ
よってよく混合し、７００℃程度の温度で１時間前後予
備焼成し、粉砕することこよって容易こ得られる。
例えばＬ１２ＣＯ３，ＣＯＣＯ３およびＳｂ２０３を１
：２：１のモル比に正確こ秤取ひ、これをボールミ少こ
よってよく混合し、７００℃程度の温度で１時間前後予
備焼成し、粉砕することこよって容易こ得られる。
しかして本発明の感湿素子は、上記ＬｉＣｏＳｂＯ＋粉
末のみまたはＬｉＣｏＳｂ０４粉末こＺｎＯ粉末を添加
混合したものを原料としてプレス成形、焼成して得るこ
とができる。
末のみまたはＬｉＣｏＳｂ０４粉末こＺｎＯ粉末を添加
混合したものを原料としてプレス成形、焼成して得るこ
とができる。
しかしＺｎＯ成分を添加混合する場合こは、その組成比
は９５モル％以下こ選択する必要がある。
は９５モル％以下こ選択する必要がある。
その理由はＺｎＯの組成比が９５モル係以上を占めると
湿度に対する抵抗値の変化幅が小さくなり実用上適さな
くなるからである。
湿度に対する抵抗値の変化幅が小さくなり実用上適さな
くなるからである。
次に本発明について具体例を挙げて説明する。
先ずＬｉ２ＣＯ３ＣｏＣＯ３およびＳｂ２０，をモル比
で１：２：１の組成比に正確に科取しボールミルによっ
てよく混合した。
で１：２：１の組成比に正確に科取しボールミルによっ
てよく混合した。
しかる後この混合物を７００Ｃこ１時間予備焼成を施し
てからボールミルこよって粉砕してＬｉＣｏＳｂ０４の
粉末を得た。
てからボールミルこよって粉砕してＬｉＣｏＳｂ０４の
粉末を得た。
かくして得たＬｉＣｏＳｂ４粉末とＺｎＯ粉末とを次表
こ示す如き組成比（モルチ）に選び混合して６種の原料
を調製、用意した。
こ示す如き組成比（モルチ）に選び混合して６種の原料
を調製、用意した。
次いで上記原料粉末にポリビニルアルコール（粘結削）
を加え１トン／ｄｍ３の圧力でプレス成形してから８０
０〜１３００Ｃの温度で２時間加熱焼結して厚さｒｍｍ
１径２０ｍｒの円板形焼結体をそれぞれ得た。
を加え１トン／ｄｍ３の圧力でプレス成形してから８０
０〜１３００Ｃの温度で２時間加熱焼結して厚さｒｍｍ
１径２０ｍｒの円板形焼結体をそれぞれ得た。
この円板形焼結体の主面こ銀ペーストを焼付け一対の電
極を設ける一方リード線を半田付けして感湿素子をそれ
ぞれ作成した。
極を設ける一方リード線を半田付けして感湿素子をそれ
ぞれ作成した。
第１図は上記感湿素子を平面的に示したもので１はＬｉ
ＣｏＳｂ０４系焼結体を、２，２′は電極を、３，３′
はリード線を示す。
ＣｏＳｂ０４系焼結体を、２，２′は電極を、３，３′
はリード線を示す。
上記こよってそれぞれ得た感湿素子について相対湿度と
抵抗値との関係を求めたところ第２図こ示す如くであっ
た。
抵抗値との関係を求めたところ第２図こ示す如くであっ
た。
尚第２図こおいて記号の数値はいずれも試料の番号と対
応しており、またこの湿度一抵抗値関係はいずれも湿度
サイクルこよるずれが認められず安定した特性を示した
。
応しており、またこの湿度一抵抗値関係はいずれも湿度
サイクルこよるずれが認められず安定した特性を示した
。
第２図には参考までに従来例としてマグネタイトコロイ
ド型の場合も併せて示した。
ド型の場合も併せて示した。
さらここれら各試料こついて４０℃、相対湿度９５％下
１０００時間放置し特性（抵抗値一湿度関係）の経時変
化を求めたところ第３図（実施例１〜５の場合）こ示す
如くであった。
１０００時間放置し特性（抵抗値一湿度関係）の経時変
化を求めたところ第３図（実施例１〜５の場合）こ示す
如くであった。
図からも明らかのように本発明こ係るＬｉＣｏＳｂ０４
系の感湿素子はいずれも抵抗値の変化がほとんどみられ
ず経時こ対しても安定している。
系の感湿素子はいずれも抵抗値の変化がほとんどみられ
ず経時こ対しても安定している。
このように本発明こ係る感湿素子は常こ所要の特性を示
し、湿度サイクルこよるずれもなく、且つ湿度変化こ対
する抵抗変化も大きいので、正確こ湿度を測定しうろこ
とどなるので、その製造の容易さ、取扱易さなどの点と
相俟って実用上多くのオリ点をもたらすものと云える。
し、湿度サイクルこよるずれもなく、且つ湿度変化こ対
する抵抗変化も大きいので、正確こ湿度を測定しうろこ
とどなるので、その製造の容易さ、取扱易さなどの点と
相俟って実用上多くのオリ点をもたらすものと云える。
第１図は本発明こ係る感湿素子の構成例を示す平面図、
第２図は本発明に係る感湿素子こついて相対湿度と抵抗
値との関係を示す特性図、第３図は本発明こ係る感湿素
子の経時特性を示す図である。
第２図は本発明に係る感湿素子こついて相対湿度と抵抗
値との関係を示す特性図、第３図は本発明こ係る感湿素
子の経時特性を示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｉ ＬｉＣｏＳｂ０４からなる焼結体こ少なくとも一対
の電極を設けて成る感湿素子。 ２ ＬｉＣｏＳｂ０４５モル係以上（ただし１００モル
係を除＜）Ｚｎ０９５モル係以下（ただし０モル係を除
く）の組成を採る焼結体こ少なくとも一対の電極を設け
て成る感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50089172A JPS5813002B2 (ja) | 1975-07-23 | 1975-07-23 | カンシツソシ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50089172A JPS5813002B2 (ja) | 1975-07-23 | 1975-07-23 | カンシツソシ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5213693A JPS5213693A (en) | 1977-02-02 |
| JPS5813002B2 true JPS5813002B2 (ja) | 1983-03-11 |
Family
ID=13963358
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50089172A Expired JPS5813002B2 (ja) | 1975-07-23 | 1975-07-23 | カンシツソシ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5813002B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5842092A (ja) * | 1981-09-07 | 1983-03-11 | 富士通株式会社 | プラズマ・デイスプレイ・パネルの駆動方式 |
-
1975
- 1975-07-23 JP JP50089172A patent/JPS5813002B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5213693A (en) | 1977-02-02 |
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