JPS5855641B2 - カンシツソシ - Google Patents
カンシツソシInfo
- Publication number
- JPS5855641B2 JPS5855641B2 JP50102066A JP10206675A JPS5855641B2 JP S5855641 B2 JPS5855641 B2 JP S5855641B2 JP 50102066 A JP50102066 A JP 50102066A JP 10206675 A JP10206675 A JP 10206675A JP S5855641 B2 JPS5855641 B2 JP S5855641B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- mol
- moisture
- sensing element
- sintered body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、酸化物半導体からなり、湿度を電気抵抗の変
化として検出する感湿素子に関する。
化として検出する感湿素子に関する。
周知のように、一般に金属酸化物（ｐ ｅ ａ ０４、
Ｆｅ２Ｏ３１Ａｌ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３等）は吸水性にす
ぐれているため感湿素子として利用できる。
Ｆｅ２Ｏ３１Ａｌ２Ｏ３、Ｃｒ２Ｏ３等）は吸水性にす
ぐれているため感湿素子として利用できる。
すなわちこの種の金属酸化物の微粉末を一対の対向電極
を有する無機質絶縁基板の表面に被着してなる層が、湿
度の変化に応じてその電気抵抗が大幅に変化することを
利用したものである。
を有する無機質絶縁基板の表面に被着してなる層が、湿
度の変化に応じてその電気抵抗が大幅に変化することを
利用したものである。
上記金属酸化物の微粉末を利用した感湿素子は物理的、
化学的、熱均に安定であるが、一般に固有抵抗が高いた
め吸脱湿現象によって多少の抵抗変化があってもこれを
電気的に高精度に検出することはむずかしい。
化学的、熱均に安定であるが、一般に固有抵抗が高いた
め吸脱湿現象によって多少の抵抗変化があってもこれを
電気的に高精度に検出することはむずかしい。
そこで固有抵抗を低下させる試みがいくつかなされてお
り、たとえばアルカリ金属酸化物（Ｌｉ２０ 、に２０
．Ｎｏ２０等）を添加含有せしめることが行なわれてい
る。
り、たとえばアルカリ金属酸化物（Ｌｉ２０ 、に２０
．Ｎｏ２０等）を添加含有せしめることが行なわれてい
る。
しかしながら、この場合、湿度サイクルの履歴が著るし
く大きくなる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かっ
たり、経時変化も太きいなどの欠点がある。
く大きくなる欠点があるばかりでなく、再現性が悪かっ
たり、経時変化も太きいなどの欠点がある。
従って、本発明は上記欠点の除去された感湿素子を提供
しようとするものである。
しようとするものである。
本発明の感湿素子は、ＬＩ２ＭｅＧｅ３０８からなる焼
結体に少なくとも一対の電極を設けてなる感湿素子及び
Ｌ＋２ＭｅＧｅ３０８５モル％以上（ただし１００モル
％を除く）、Ｚｎ０９５モル％以下（ただし０モル％を
除く）の組成を採る焼結体に少なくとも一対の電極を設
けてなる感湿素子である。
結体に少なくとも一対の電極を設けてなる感湿素子及び
Ｌ＋２ＭｅＧｅ３０８５モル％以上（ただし１００モル
％を除く）、Ｚｎ０９５モル％以下（ただし０モル％を
除く）の組成を採る焼結体に少なくとも一対の電極を設
けてなる感湿素子である。
（ただし、ＭｅはＺｎ、Ｎｉ、Ｃｏのうち少なくとも一
種）即ち本発明の感湿素子は酸化亜鉛、酸化ニッケル炭
酸コバルトのうち少なくとも一種と、炭酸リチウム、酸
化ゲルマニウムを組成分として焼結してなる疑スピネル
構造をもつＬ＋２ＭｅＧｅ３０８を必須成分とし、要す
れば酸化亜鉛を混合し、プレス成形し焼結して得られた
ものを本体としてなるものである。
種）即ち本発明の感湿素子は酸化亜鉛、酸化ニッケル炭
酸コバルトのうち少なくとも一種と、炭酸リチウム、酸
化ゲルマニウムを組成分として焼結してなる疑スピネル
構造をもつＬ＋２ＭｅＧｅ３０８を必須成分とし、要す
れば酸化亜鉛を混合し、プレス成形し焼結して得られた
ものを本体としてなるものである。
本発明において主成分をなすＬ ＋ ２ Ｍｅ Ｇｅ
３０ ｇ粉末は例えばＬ １２ＣＯｓ 、 Ｍｅｎ（Ｍ
ｅ＝Ｚｎ 、 Ｎ ｉ 、 Ｃ。
３０ ｇ粉末は例えばＬ １２ＣＯｓ 、 Ｍｅｎ（Ｍ
ｅ＝Ｚｎ 、 Ｎ ｉ 、 Ｃ。
のうち少なくとも一種）およびＧｅＯ２を１：１：３の
モル比に正確に秤取し、これをボールミルによつてよく
混合し、７００’Ｃ程度の温度で１時間前後予備焼成し
、粉砕することによって容易に得られる。
モル比に正確に秤取し、これをボールミルによつてよく
混合し、７００’Ｃ程度の温度で１時間前後予備焼成し
、粉砕することによって容易に得られる。
しかして本発明の感湿素子は、上記Ｌ１２ＭｅＧｅ３０
８粉末のみまたはＬ ＋ ２ Ｍｅ Ｇｅ ３０ Ｂ粉
末にＺｎＯ粉末を添加混合したものを原料としてプレス
成形、焼成して得ることができる。
８粉末のみまたはＬ ＋ ２ Ｍｅ Ｇｅ ３０ Ｂ粉
末にＺｎＯ粉末を添加混合したものを原料としてプレス
成形、焼成して得ることができる。
しかしＺｎＯ成分を添加混合する場合にはその組成比は
９５モル％以下に選択する必要がある。
９５モル％以下に選択する必要がある。
その理由はＺｎＯの組成比が９５モル％以上を占めると
湿度に対する抵抗値の変化幅が小さくなり実用上適さな
くなるからである。
湿度に対する抵抗値の変化幅が小さくなり実用上適さな
くなるからである。
次に本発明について具体例を挙げて説明する。
先ずＬｉ２ＣＯ３，ＭｅＯ（Ｍｅ＝Ｚｎ、Ｎｉ、Ｃｏの
うち少なくとも一種）およびＧｅＯ２をモル比で１：１
：３の組成比に正確に秤取し、ボールミルによってよく
混合した６ しかる後この混合物を７００℃で１時間予
備焼成を施してからボールミルによって粉砕してＬ ＋
２ ＭｅＧｅ３０ｓ （Ｍｅ ＝Ｚｎ 、Ｎ ｒ 。
うち少なくとも一種）およびＧｅＯ２をモル比で１：１
：３の組成比に正確に秤取し、ボールミルによってよく
混合した６ しかる後この混合物を７００℃で１時間予
備焼成を施してからボールミルによって粉砕してＬ ＋
２ ＭｅＧｅ３０ｓ （Ｍｅ ＝Ｚｎ 、Ｎ ｒ 。
Ｃｏのうち少なくとも一種）を得た。
かくして得たＬ ＋ ２ Ｍ ｅ Ｇ ｅ ３０ Ｂ粉
末とＺｎＯ粉末とを次表に示す如き組成比（モル％）に
選び混合したりして、比較例を含め３５種の原料を調製
用意した。
末とＺｎＯ粉末とを次表に示す如き組成比（モル％）に
選び混合したりして、比較例を含め３５種の原料を調製
用意した。
次いで上記原料粉末にポリビニルアルコール（粘結剤）
を加え１トン／ｃｒＡの圧力でプレス成形してから８０
０〜１３００℃の温度で２時間加熱焼結して厚さ１山、
径２０１ｎｒｆｔの円板形焼結体を得た。
を加え１トン／ｃｒＡの圧力でプレス成形してから８０
０〜１３００℃の温度で２時間加熱焼結して厚さ１山、
径２０１ｎｒｆｔの円板形焼結体を得た。
この円板形焼結体の主面に銀ペーストを焼付は一対の電
極を設ける一方リード線を半田付けして感湿素子をそれ
ぞれ作成した。
極を設ける一方リード線を半田付けして感湿素子をそれ
ぞれ作成した。
第１図は上記感湿素子を平面的に示したもので、１は焼
結体２．２′は電極を、３，３′はリード線を示す。
結体２．２′は電極を、３，３′はリード線を示す。
上記によってそれぞれ得た感湿素子について相対湿度と
抵抗値との関係を表２．に示す。
抵抗値との関係を表２．に示す。
第２図に実施例１９の相対−抵抗値特性を示す。
湿度サイクルによるずれが認められず、定器した特性を
示した。
示した。
第２図には参考までに従来例として、マグネタイトコロ
イド型の場合も併せて示した。
イド型の場合も併せて示した。
さらに実施例２１．２４．２６について、４０°Ｃ相対
湿度９５％下１０００Ｈｒ放置し、特性（抵抗−湿度関
係）の経時変化を求めたところ、第３図に示す如くであ
った。
湿度９５％下１０００Ｈｒ放置し、特性（抵抗−湿度関
係）の経時変化を求めたところ、第３図に示す如くであ
った。
図からも明らかなように、本発明に係るＬ］２ＭｅＧｅ
３０ｇ係の感湿素子は抵抗値の変化かはどんとみられず
、経時に対しても安定している。
３０ｇ係の感湿素子は抵抗値の変化かはどんとみられず
、経時に対しても安定している。
このように本発明に係る感湿素子は常に所要の特性を示
し、湿度サイクルによるずれもなく、且つ、湿度変化に
対する抵抗変化も大きいので、正確に湿度を測定しうろ
ことになるので、その製造の容易さ、取扱高さなどの点
と相俟って実用上多くの利点をもたらすものと云える。
し、湿度サイクルによるずれもなく、且つ、湿度変化に
対する抵抗変化も大きいので、正確に湿度を測定しうろ
ことになるので、その製造の容易さ、取扱高さなどの点
と相俟って実用上多くの利点をもたらすものと云える。
第１図は本発明に係る感湿素子の構成例を示す平面図、
第２図は本発明に係る感湿素子について相対湿度と抵抗
値との関係例を示す特性図、第３図は本発明に係る感湿
素子についての経時特性例を示す図である。
第２図は本発明に係る感湿素子について相対湿度と抵抗
値との関係例を示す特性図、第３図は本発明に係る感湿
素子についての経時特性例を示す図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 Ｉ Ｌ ＋２ ＭｅＧｅ３０８ （Ｍｅ−Ｚｎ、Ｎｉ、Ｃｏから選ばれた少なくとも一種
）からなる焼結体に少なくとも一対の電極を具備してな
る感湿素子。 ２ Ｌ ＋ ２ Ｍｅ Ｇ ６３０ Ｂ（Ｍｅ＝Ｚｎ
、Ｎｉ 、Ｃｏから選ばれた少なくとも一種）５モル％
以上（ただし１００モル％を除く）、Ｚｎ０９５モル％
以下（ただし０モル％を除く）の組成を採る焼結体に少
なくとも一対の電極を具備してなる感湿素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50102066A JPS5855641B2 (ja) | 1975-08-25 | 1975-08-25 | カンシツソシ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP50102066A JPS5855641B2 (ja) | 1975-08-25 | 1975-08-25 | カンシツソシ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5226291A JPS5226291A (en) | 1977-02-26 |
| JPS5855641B2 true JPS5855641B2 (ja) | 1983-12-10 |
Family
ID=14317380
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP50102066A Expired JPS5855641B2 (ja) | 1975-08-25 | 1975-08-25 | カンシツソシ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5855641B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9512526B2 (en) * | 2013-12-19 | 2016-12-06 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Water oxidation catalyst including lithium cobalt germanate |
-
1975
- 1975-08-25 JP JP50102066A patent/JPS5855641B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5226291A (en) | 1977-02-26 |
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