JPS61154001A - 感湿抵抗体 - Google Patents
感湿抵抗体Info
- Publication number
- JPS61154001A JPS61154001A JP59273424A JP27342484A JPS61154001A JP S61154001 A JPS61154001 A JP S61154001A JP 59273424 A JP59273424 A JP 59273424A JP 27342484 A JP27342484 A JP 27342484A JP S61154001 A JPS61154001 A JP S61154001A
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- JP
- Japan
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- humidity
- sensitive resistor
- moisture
- moisture sensitive
- sintering
- Prior art date
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- Granted
Links
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 6
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- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 3
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 4
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Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は低抵抗の新規な感湿抵抗体に関する。
従来用の湿度センサーに用いられる感湿抵抗体としては
、金属酸化物の焼結体が広く利用されていた。
、金属酸化物の焼結体が広く利用されていた。
該金属酸化物としては従来Ｔｉｅ、 、 ＭｇＣｒ、０
４ 、 Ｖ、Ｏ。
４ 、 Ｖ、Ｏ。
を組合せたものが知られていた。
近年各種デバイスが小型化される傾向にあり、それに伴
ないデバイスとして用いられる湿度センサーも小型化が
要望されるようになってきた。
ないデバイスとして用いられる湿度センサーも小型化が
要望されるようになってきた。
しかし従来知られている金属酸化物を焼結して感湿抵抗
体をつくった場合、低湿度域たとえば温度２０℃相対湿
［３０１（以後３０％ＲＨと略記する〕附近での電気抵
抗値は極めて高い。
体をつくった場合、低湿度域たとえば温度２０℃相対湿
［３０１（以後３０％ＲＨと略記する〕附近での電気抵
抗値は極めて高い。
この種の湿度センサーを用いて低湿度域の湿度測定を行
なうＫは感湿抵抗体に大きな電極を取り付けて見掛けの
抵抗値を下げるかあるいは複雑な電気回路を必要として
いた。これら従来の方法では、いずれにしても湿度セン
サーおよびそれを用いたデバイスか火星になシ、かつ高
価なものになる欠点があつ九。
なうＫは感湿抵抗体に大きな電極を取り付けて見掛けの
抵抗値を下げるかあるいは複雑な電気回路を必要として
いた。これら従来の方法では、いずれにしても湿度セン
サーおよびそれを用いたデバイスか火星になシ、かつ高
価なものになる欠点があつ九。
そこで本発明者らは湿度センサーを小型化できる感湿抵
抗体即ち低抵抗であシ複雑な電気回路を要しないで測定
できる湿度センサー用感湿抵抗体につｂて鋭意研究を進
めた結果本発明に到達した。
抗体即ち低抵抗であシ複雑な電気回路を要しないで測定
できる湿度センサー用感湿抵抗体につｂて鋭意研究を進
めた結果本発明に到達した。
Ｃ問題点を解決するための手段〕
即ち本発明者らはＭｅ３ＶＯ４（ＭｅはＬｉ 、 Ｎａ
あるいはＫ）の１種ある°ハは２種以上の化合物。
あるいはＫ）の１種ある°ハは２種以上の化合物。
酸化クロムおよび酸化チタンからなる組成物を焼結して
なる感湿抵抗体にある。
なる感湿抵抗体にある。
ここでＭｅｓＶＯ４，酸比クロムおよび酸化チタンの組
成割合は特に限定されるものではないが、好ましい範囲
としてはＭｅｓＶＯａ ｏ、 １〜２０モルチ、酸化ク
ロム０．１〜２０モルチおよび酸化チタン９９．８〜６
０モル係になるようにするのがよい。
成割合は特に限定されるものではないが、好ましい範囲
としてはＭｅｓＶＯａ ｏ、 １〜２０モルチ、酸化ク
ロム０．１〜２０モルチおよび酸化チタン９９．８〜６
０モル係になるようにするのがよい。
Ｍｅ３ＶＯ４のＭｅはＬｉ 、 ＮａあるいはＫであり
またＭｅに複数の前記元素が入った化合物も本発明に含
まれる。なおＭｅにはＬｉが最も好ましい。
またＭｅに複数の前記元素が入った化合物も本発明に含
まれる。なおＭｅにはＬｉが最も好ましい。
本発明の感湿抵抗体をつくる方法は慣用の方法でよいが
、その方法を述べると以下の通シである。
、その方法を述べると以下の通シである。
まずＭｅ３ＶＯ４粉末、酸化クロム粉末および酸化チタ
ン粉末を所望の割合で配合した組成物を所定の形状の型
に詰めてプレス成形する、成形物を所定の温度で焼結す
ることにより感湿抵抗体が得られる。
ン粉末を所望の割合で配合した組成物を所定の形状の型
に詰めてプレス成形する、成形物を所定の温度で焼結す
ることにより感湿抵抗体が得られる。
上記の焼結温度は組成によって多少異なるがおよそ７０
０℃かそれ以上が目安となり焼結時間はおよそ３０分間
以上である。
０℃かそれ以上が目安となり焼結時間はおよそ３０分間
以上である。
実施例、比較例
Ｍｅ３ＶＯ４、酸化クロムおよび酸化チタンの各粉末を
矛１表に示すように配合したのち１０■φＸ ０．５
Ｗ ｔの大きさにプレス成形し、８５０℃で１時間焼結
してそれぞれの感湿抵抗体を得た。
矛１表に示すように配合したのち１０■φＸ ０．５
Ｗ ｔの大きさにプレス成形し、８５０℃で１時間焼結
してそれぞれの感湿抵抗体を得た。
得られた各感湿抵抗体の両面に電極ペーストをスクリー
ン印刷し焼き付けて湿度センサーを作製した。
ン印刷し焼き付けて湿度センサーを作製した。
これら湿度センサーに抵抗測定器を接続して、２０℃、
３０チＲＨおよび２０℃１．８０ＳＲＨでの電気抵抗を
測定した結果を同表に示した。
３０チＲＨおよび２０℃１．８０ＳＲＨでの電気抵抗を
測定した結果を同表に示した。
なお比較例として、従来知られている金属酸化物につい
ても焼結を１２００−１３００℃、１時間行った以外は
、前記実施例と同様の方法で湿度センサーを作製して電
気抵抗を測定し、その結果を同表に併記した。
ても焼結を１２００−１３００℃、１時間行った以外は
、前記実施例と同様の方法で湿度センサーを作製して電
気抵抗を測定し、その結果を同表に併記した。
矛１表に示す如〈従来（比較例）の感湿抵抗体の電気抵
抗値は低湿度域即ち温度２０℃、３０ＳＲＨにおいて１
０”ＫΩであるのに対し本発明品はいずれも１０２にΩ
の低い電気抵抗値を示した。
抗値は低湿度域即ち温度２０℃、３０ＳＲＨにおいて１
０”ＫΩであるのに対し本発明品はいずれも１０２にΩ
の低い電気抵抗値を示した。
そのため本発明の感湿抵抗体を用いた湿度センサーは低
湿度域の制定ができるうえ取シ付ける電極は小型化が可
能であシ、従って湿度センサー自体も小型化できる。
湿度域の制定ができるうえ取シ付ける電極は小型化が可
能であシ、従って湿度センサー自体も小型化できる。
Claims (1)
- Ｍｅ＿３ＶＯ＿４（ＭｅはＬｉ、ＮａあるいはＫ）の１
種または２種以上の化合物、酸化クロムおよび酸化チタ
ンからなる組成物を焼結してなる感湿抵抗体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59273424A JPS61154001A (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 感湿抵抗体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59273424A JPS61154001A (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 感湿抵抗体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61154001A true JPS61154001A (ja) | 1986-07-12 |
| JPH058561B2 JPH058561B2 (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=17527705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59273424A Granted JPS61154001A (ja) | 1984-12-26 | 1984-12-26 | 感湿抵抗体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61154001A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5778103A (en) * | 1980-10-31 | 1982-05-15 | Nippon Electric Co | Moisture sensitive element |
| JPS58101401A (ja) * | 1981-12-14 | 1983-06-16 | 秩父セメント株式会社 | 結露センサ |
-
1984
- 1984-12-26 JP JP59273424A patent/JPS61154001A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5778103A (en) * | 1980-10-31 | 1982-05-15 | Nippon Electric Co | Moisture sensitive element |
| JPS58101401A (ja) * | 1981-12-14 | 1983-06-16 | 秩父セメント株式会社 | 結露センサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH058561B2 (ja) | 1993-02-02 |
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