JPS6229101A - 感湿抵抗体 - Google Patents
感湿抵抗体Info
- Publication number
- JPS6229101A JPS6229101A JP60166906A JP16690685A JPS6229101A JP S6229101 A JPS6229101 A JP S6229101A JP 60166906 A JP60166906 A JP 60166906A JP 16690685 A JP16690685 A JP 16690685A JP S6229101 A JPS6229101 A JP S6229101A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- sensitive resistor
- oxide
- resistor
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 claims description 10
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 5
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 8
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 6
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 3
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M Acetate Chemical compound CC([O-])=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 description 2
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910011312 Li3VO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JOLAHDPIECFDDR-UHFFFAOYSA-N [O-2].[Zn+2].[O-2].[Ti+4].[O-2].[Cr+3] Chemical class [O-2].[Zn+2].[O-2].[Ti+4].[O-2].[Cr+3] JOLAHDPIECFDDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- VBCXZDZOLCUZGT-UHFFFAOYSA-N magnesium chromium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[O--].[Mg++].[Cr+3] VBCXZDZOLCUZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 235000014366 other mixer Nutrition 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ADCBRSDRBJKLFK-UHFFFAOYSA-N zinc chromium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Cr+3].[O-2].[Zn+2] ADCBRSDRBJKLFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DCRSYTGOGMAXIA-UHFFFAOYSA-N zinc;oxygen(2-);titanium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Ti+4].[Zn+2] DCRSYTGOGMAXIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野′〕
本発明は温度によって電気抵抗が変化する物質を利用し
た感湿抵抗体に関する。
た感湿抵抗体に関する。
湿度センサーとしては従来経時変化も少なく安定であり
、広い相対湿度領域で使用可能であるＬｉ５ＶＯ，−Ｚ
ｎＯ系などの金属酸化物を感湿抵抗体として用いたもの
が知られている。
、広い相対湿度領域で使用可能であるＬｉ５ＶＯ，−Ｚ
ｎＯ系などの金属酸化物を感湿抵抗体として用いたもの
が知られている。
このＬ １３ＶＯ，−Ｚ ｎ Ｏ系の感湿抵抗体は常温
での使用に際して、精度もよく安定した特性を示す。
での使用に際して、精度もよく安定した特性を示す。
しかし高温、高湿の雰囲気のもとて該抵抗体を長時間使
用すると感度が低下し、信頼できる湿度測定ができなか
った。
用すると感度が低下し、信頼できる湿度測定ができなか
った。
そこで従来の湿度センサーを使用して高温、高湿で測定
する場合、感湿抵抗体をヒータで加熱し、該抵抗体の表
面を初期状態に戻してから再び測定するという煩雑な方
法がとられていた。
する場合、感湿抵抗体をヒータで加熱し、該抵抗体の表
面を初期状態に戻してから再び測定するという煩雑な方
法がとられていた。
そこで本発明者らは高温、高湿条件の湿度測定をする際
、ヒータを使わないで長期間安定した測定のできる感湿
抵抗体の組成について鋭意研究した結果、下記に述べる
発明に到達した。
、ヒータを使わないで長期間安定した測定のできる感湿
抵抗体の組成について鋭意研究した結果、下記に述べる
発明に到達した。
すなわち本発明はＬｉ５ＶＯい酸化銅および前記化合物
以外の金属酸化物の混合粉末を焼成してなる感湿抵抗体
を要旨とする。
以外の金属酸化物の混合粉末を焼成してなる感湿抵抗体
を要旨とする。
本発明で使用されるＬｉ、ＶＯ，および酸化銅は通常の
ものが使用できる。ここで酸化銅としてはＣｕｂ、 Ｃ
ｕ２Ｏなど数種の酸化物があり、いずれも使用できる。
ものが使用できる。ここで酸化銅としてはＣｕｂ、 Ｃ
ｕ２Ｏなど数種の酸化物があり、いずれも使用できる。
Ｌｉ５ＶＯい酸化銅以外の金属酸化物としては、焼成し
たとき多孔質となる酸化アルミニウム、酸化マグネシウ
ム、酸化チタン、酸化クロム、酸化スズ、酸化亜鉛、酸
化マグネシウム−酸化クロムスピネル、酸化亜鉛−酸化
クロムスピネル、酸化亜鉛−酸化チタンスピネル、酸化
チタン−酸化亜鉛−酸化クロム系化合物などが挙げられ
、その中から１種あるいは２種以上を適宜に組み合わせ
て使用する。
たとき多孔質となる酸化アルミニウム、酸化マグネシウ
ム、酸化チタン、酸化クロム、酸化スズ、酸化亜鉛、酸
化マグネシウム−酸化クロムスピネル、酸化亜鉛−酸化
クロムスピネル、酸化亜鉛−酸化チタンスピネル、酸化
チタン−酸化亜鉛−酸化クロム系化合物などが挙げられ
、その中から１種あるいは２種以上を適宜に組み合わせ
て使用する。
上記化合物の配合組成範囲は特に限定されるものではな
いが、望ましくはＬｉ、ＶＯ，が０，５〜１．９モル係
、酸化銅が１．５〜１０．０モル係、前記化合物以外の
金属酸化物は８８．１〜９８．０モル係である。Ｌｉ、
ＶＯ，が０．５モル係未満では感度が低くなる傾向にあ
り、１．９モル係を超えて配合した際は湿度センサーの
高温、高湿測定時の感度はさほど改善されず、製造コス
トが上昇するのみである。
いが、望ましくはＬｉ、ＶＯ，が０，５〜１．９モル係
、酸化銅が１．５〜１０．０モル係、前記化合物以外の
金属酸化物は８８．１〜９８．０モル係である。Ｌｉ、
ＶＯ，が０．５モル係未満では感度が低くなる傾向にあ
り、１．９モル係を超えて配合した際は湿度センサーの
高温、高湿測定時の感度はさほど改善されず、製造コス
トが上昇するのみである。
なおＬ ＋ ｓ ＶＯ４に代えてＬｉ、０およびＶ２Ｏ
，を配合することが考えられるが、この方法では原料混
合粉末を焼成してもＬ ｉ ３ＶＯ，が生成しないため
、それによって得られた該抵抗体は本発明の目的を達成
できない。
，を配合することが考えられるが、この方法では原料混
合粉末を焼成してもＬ ｉ ３ＶＯ，が生成しないため
、それによって得られた該抵抗体は本発明の目的を達成
できない。
また酸化銅の配合量が１．５モル係未満では高温、高湿
での抵抗値が上昇傾向を示し、１０６０モル係を超える
と低湿度側での感度が低くなる傾向がある。
での抵抗値が上昇傾向を示し、１０６０モル係を超える
と低湿度側での感度が低くなる傾向がある。
またＬｉ、ＶＯ，と酸化銅の配合比（モル比）はμ〜％
が好ましく、狛を超えれば高温、高湿での特性はさほど
改善されず、％未満では酸化銅の効果が強く現われ低湿
度側での感度が低くなる傾向を示す。
が好ましく、狛を超えれば高温、高湿での特性はさほど
改善されず、％未満では酸化銅の効果が強く現われ低湿
度側での感度が低くなる傾向を示す。
次に本発明の感湿抵抗体を設けた湿度センサーの作製方
法について説明する。
法について説明する。
Ｌ ｉ ５ＶＯ４、酸化銅および前記化合物以外の金属
酸化物の各粉末を所望の割合に配合した混合物をつくり
、これにビヒクルとしてたとえばエチルセルロース、ブ
チルカルピトールアセテート、テレピネオール、アクリ
ル樹脂などから適宜に選択したものをロールミル、ボー
ルミルその他の混合機で十分に混合してペーストをつく
る。
酸化物の各粉末を所望の割合に配合した混合物をつくり
、これにビヒクルとしてたとえばエチルセルロース、ブ
チルカルピトールアセテート、テレピネオール、アクリ
ル樹脂などから適宜に選択したものをロールミル、ボー
ルミルその他の混合機で十分に混合してペーストをつく
る。
そのペーストを予め一対の電極をもうけた絶縁基板上に
スクリーン印刷し成形する。この半製品を乾燥したのち
慣用の焼成炉を用いて焼成することにより、本発明の感
湿抵抗体を設けた湿度センサーが得られる。その際焼成
温度は７５０〜９００℃が望ましい。９００℃を超える
と該抵抗体の気孔率が小さくなり、感度が低下し、かつ
ヒステリシスが悪くなり、７５０℃未満では該抵抗体と
絶縁基板との接着強度が弱くなるため好ましくない。
スクリーン印刷し成形する。この半製品を乾燥したのち
慣用の焼成炉を用いて焼成することにより、本発明の感
湿抵抗体を設けた湿度センサーが得られる。その際焼成
温度は７５０〜９００℃が望ましい。９００℃を超える
と該抵抗体の気孔率が小さくなり、感度が低下し、かつ
ヒステリシスが悪くなり、７５０℃未満では該抵抗体と
絶縁基板との接着強度が弱くなるため好ましくない。
実施例１〜６．比較例１〜４
Ｌｉ３ＶＯ，、ＣｕＯおよび前記化合物以外の金属酸化
物としてＡｔ、０３、ＴｉＯ２、ＺｎＯ，ＺｎＣｒ０．
ノ各粉末原料を表１に示す配合にしたがって樹脂製ポー
ルで混合し、得られた各混合物にエチルセルロース、ブ
チルカルピトールアセテート、テレピネオールからなる
ビヒクルを加え、ロールミルを用いて均一なペーストを
つくった。
物としてＡｔ、０３、ＴｉＯ２、ＺｎＯ，ＺｎＣｒ０．
ノ各粉末原料を表１に示す配合にしたがって樹脂製ポー
ルで混合し、得られた各混合物にエチルセルロース、ブ
チルカルピトールアセテート、テレピネオールからなる
ビヒクルを加え、ロールミルを用いて均一なペーストを
つくった。
得られたペーストを予めくし形Ａｕ電極および端子取り
出し用Ａｇ−Ｐｂ電極を付設したアルミナ基板上にスク
リーン印刷し、乾燥したのち空気中８５０℃、１時間焼
成して湿度センサーをそれぞれ製造した。
出し用Ａｇ−Ｐｂ電極を付設したアルミナ基板上にスク
リーン印刷し、乾燥したのち空気中８５０℃、１時間焼
成して湿度センサーをそれぞれ製造した。
以上のようにして得られた各湿度センサーに測定器を接
続し、初期特性として２０℃における３ ０４ ＲＨ１
次いで同温度、９０ ％ Ｒ，Ｈのときの電気抵抗値を
順次測定し、その結果を同表に併記した。
続し、初期特性として２０℃における３ ０４ ＲＨ１
次いで同温度、９０ ％ Ｒ，Ｈのときの電気抵抗値を
順次測定し、その結果を同表に併記した。
次いで各湿度センサーを６０℃、９０ ％ ＲＨの高温
、高湿雰囲気下に１０００時間放置した後、再び温度を
２０℃に下げて３０４ＲＨ１次いで同温度、９０ ％
ＲＩ−ｉのときの電気抵抗値を測定した。
、高湿雰囲気下に１０００時間放置した後、再び温度を
２０℃に下げて３０４ＲＨ１次いで同温度、９０ ％
ＲＩ−ｉのときの電気抵抗値を測定した。
その結果も「高温高湿放置後」として表１に併記した。
（以 下 余 白 ）
実施例７〜１０
Ｌｉ３ＶＯ４１，５モｋ ％、ＣｕＯ５，Ｑ モル％、
ＺｎＣｒ０，９３．５モルチを用いて実施例１に従って
成形した半製品を表２に示す温度で焼成した。得られた
それぞれの湿度センサーについて実施例１と同じ測定条
件で電気抵抗値を測定し得られた結果を同表に示した。
ＺｎＣｒ０，９３．５モルチを用いて実施例１に従って
成形した半製品を表２に示す温度で焼成した。得られた
それぞれの湿度センサーについて実施例１と同じ測定条
件で電気抵抗値を測定し得られた結果を同表に示した。
（以 下 余 白 ）
〔発明の効果〕
本発明の感湿抵抗体を設けた湿度センサーは高温、高湿
で長時間測定しても安定な特性を示し、その経時変化も
少なく、従来の組成のものに比べ格段に優れている。ま
た本発明の感湿抵抗体は厚膜技術を用いて作製できるた
め量産化が可能であり、しだがって価格の低廉化が可能
である。
で長時間測定しても安定な特性を示し、その経時変化も
少なく、従来の組成のものに比べ格段に優れている。ま
た本発明の感湿抵抗体は厚膜技術を用いて作製できるた
め量産化が可能であり、しだがって価格の低廉化が可能
である。
Claims (1)
- Ｌｉ＿３ＶＯ＿４、酸化銅および前記化合物以外の金属
酸化物の混合粉末を焼成してなる感湿抵抗体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60166906A JPS6229101A (ja) | 1985-07-30 | 1985-07-30 | 感湿抵抗体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60166906A JPS6229101A (ja) | 1985-07-30 | 1985-07-30 | 感湿抵抗体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6229101A true JPS6229101A (ja) | 1987-02-07 |
| JPH0544801B2 JPH0544801B2 (ja) | 1993-07-07 |
Family
ID=15839828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60166906A Granted JPS6229101A (ja) | 1985-07-30 | 1985-07-30 | 感湿抵抗体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6229101A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5835902A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-02 | 株式会社東芝 | 感湿素子 |
| JPS6076101A (ja) * | 1983-10-03 | 1985-04-30 | 日本セメント株式会社 | 感湿素子の製造方法 |
-
1985
- 1985-07-30 JP JP60166906A patent/JPS6229101A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5835902A (ja) * | 1981-08-28 | 1983-03-02 | 株式会社東芝 | 感湿素子 |
| JPS6076101A (ja) * | 1983-10-03 | 1985-04-30 | 日本セメント株式会社 | 感湿素子の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0544801B2 (ja) | 1993-07-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6229101A (ja) | 感湿抵抗体 | |
| JPS639722B2 (ja) | ||
| JPH0378761B2 (ja) | ||
| JPS58166701A (ja) | 感湿素子の製造方法 | |
| JPS5840801A (ja) | 湿度センサ素子とその製造法 | |
| JPS61260601A (ja) | 感湿抵抗体 | |
| JPS5835901A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS6351363B2 (ja) | ||
| JPS63194307A (ja) | 感湿セラミツク | |
| JPS6028202A (ja) | 感湿素子 | |
| JPH058561B2 (ja) | ||
| JPH0828283B2 (ja) | 感湿素子組成物 | |
| JPS5832303A (ja) | 感湿誘電損失体素子 | |
| JPS60121701A (ja) | 感湿素子 | |
| JPH05264494A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS60121702A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS594102A (ja) | 感湿素子 | |
| JPH0376562B2 (ja) | ||
| JPS6161242B2 (ja) | ||
| JPH0436561B2 (ja) | ||
| JPS63194308A (ja) | 感湿セラミツク | |
| JPS60116101A (ja) | 感湿素子 | |
| JPS587041B2 (ja) | 相対湿度用感湿抵抗素子 | |
| JPH0824082B2 (ja) | 感湿組成物 | |
| JPS5891601A (ja) | 感湿抵抗体 |