JPS63192894A - プレート状加工物用電気めつき装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、通過路の上方に少なくとも１個また下方に少
なくとも１個の該通過路に並行して配置された陽極を有
する、水平状態で通過する処理すべきプレート状加工物
、特に穿孔プリント基板用の電気めっき装置に関する。

〔従来の技術〕

この種の電気めっき装置はドイツ連邦共和国特許出願公
開第３２３６５４５号明細書から公知である。この明細
書に記載されている装置の場合プレート状加工物は電解
浴を水平に導かれる。プレート状加工物の送りは駆動接
触軸を介して行われるが、これは電解浴中の片側に設置
されており、また同時に加工物を陰極に接触させる作用
をも有する。接触軸が設置されている側とは逆の側に加
工物を搬送しかつ保持するために電解浴中に特殊な滑り
防止装置が設置されている。電解浴中に設置された陽極
は、通過路に対して横方向でまた通過路の上方のみなら
ず下方にも配置されている可溶性陽掻棒である。しかし
１つの変形として上方及び下方陽極は、可溶性陽極材料
を球の形で含んでいるチタン製のかごとして形成されて
いてもよい、電気めっき装置の収納槽には通過路の上方
及び下方に通過方向に並んだノズル基幹が配置されてお
り、これには電解液が貯蔵タンクから多数の液浸ポンプ
により供給される。ノズル基幹を通る電解液の高い流動
速度は電解浴域を所望のレベルに追加補充する他に電解
液を十分に混合し、これにより均質な組成及び均一な電
流密度が保証される。を解浴に更に大きな乱流を起こす
ために、ノズル基幹は水平にか又は通過方向で往復運動
させることも可能である。

〔発明が解決しようとする課題］ 本発明は冒頭に記載した形式の電気めっき装置において
、電気的に析出される層の品質を更に改良することをそ
の根本課題とする。この場合特に穿孔プリント基板のス
ルーホールの製造及び電気めっきに際して一層高い電流
密度で常に優れた延性、高い接着強度及び均一な層配置
を有する銅層を析出し得るものでなければならない。

〔課題を解決するための手段］ この課題は本発明によれば前記形式の電気めっき装置に
おいて、通過路とその上方又は下方の陽極との間に向け
られた電解液供給用及び／又は排出用開口を有する電解
液貯蔵室が、導入側及び取り出し側でそれぞれ通過路の
上方及び下方に、該通過路に対して横方向に配置される
ことによって解決される。

〔作用効果］ 本発明は、電気的に析出される層の質的に優れた表面は
加工物の通過方向に向けられた電解液の流動成分だけに
よって保証され、また長手方向へのこの種の流動成分は
本発明による電解液貯蔵室の配列によって実現可箭であ
るという認識に基づく、シかしこの場合加工物表面に垂
直に向けられた流動成分は除去されるべきではない、な
ぜならこの流動成分は穿孔プリント基板にスルーホール
を１！！ａするのに依然として重要であるからである。

長手方向の流動成分は電解液貯蔵室の開口を介して電解
液を供給並びに排出することによって得ることができる
。しかし特に好ましい結果は、少なくとも一つの電解液
貯蔵室を電解液供給用として定めることによって達成さ
れる。

本発明の優れた実施態様の１つによれば２つの電解液貯
蔵室は電解液供給用であり、また２つの電解液貯蔵室は
電解液排出用として定められている。電気的に析出され
る層高質の一層の改良は、この場合取り出し側に配置さ
れた双方の電解液貯蔵室を電解液供給用として定めるこ
とにより達成される。これは言い換えれば、流動成分が
長手方向で加工物の通過方向に逆らって流れることを意
味する。

更に電解液が供給用として定められた２つの電解液貯蔵
室に固有のポンプを介して供給可能である場合には、こ
れが特にプリント基板の孔を良好に貫流するのに極めて
適していることが判明した。

特に効果的な孔の貫流は、通過路の上方に配置された電
解液貯蔵室には通過路の下方に配置された電解液貯蔵室
よりも多量の電解液が供給可能であることにより達成す
ることができる。このことは加工物の下から付加的に噴
射されることにより特に有利である。

本発明の他の実施態様によれば、開口は小さな入射角で
通過路に対して傾斜して配置されている。

更にこの構造的に簡単に実現し得る方法により、開口の
排出口又は導入口は通過する加工物の表面に極めて密接
に近づけることができる。

開口を通過路の全幅にわたって均一に設置された孔とし
て電解液貯蔵室に形成することも有利である。この種の
開口は横方向に連続するスリットに比べて僅かな構造費
で、所望の流動成分を均一に配分することを可能にする
。

穿孔プリント基板の孔を最適に貫流させるには、通過路
の下方に配置された２つの電解液貯蔵室の間でかつふる
い状又は格子状に構成された不溶性の下方陽極の下方に
、通過路に対して横方向に配置されまた電解液で付勢さ
れる多数の噴射ノズルを配置することも有利である。こ
の場合電解浴中への噴射ノズルの取り付けは、不溶性の
下方陽極をふるい状又は格子状に構成することによって
極めて容易になる。噴射ノズルはスリット管として構成
するのが有利であり、これは貫流処理にとっては孔の場
合よりも好ましいことを示す、噴射ノズルが固有のポン
プを介して電解液で付勢可能な場合には、電解液の運動
条件を総合的に一層好適なものとすることができ、また
処理される加工物の個々の特性に適合させることが可能
である。

更に上方陽極をふるい状又は格子状支持体上に配置した
可溶性陽極材料を有する可溶性陽極として構成すること
が特に有利であることが明らかとなった。すなわち可溶
性陽極の利点を得ることができ、その際同時に通過する
加工物に対して同じ間隔が保証される。特にこの種の上
方陽極と不溶性の下方陽極とを組み合わせることによっ
て、加工物表面への層厚の拡散及び層厚の配分に関して
最適の条件が電気めワき装置の簡単な処置で達成される
。

〔実施例〕

本発明の実施例を図面に示し、以下これに基づき詳述す
る。

図面はプリント基板にスルーホールを施しまた電気めっ
きするための水平通過路を有する電気めっき装置を、著
しく簡略化して示すものである。

個々の電気めっきすべき穿孔プリント基板ｔ、ｐは順次
、水平の通過路上を経て詳細には示されていない電解液
（これはＡｗで表した収容槽中に存在する）に通される
０通過方向Ｄｒに見てプリント基板ｔ、ｐは、収容槽Ａ
ｗの水平な導入側スリットＳｚを介して２個の導入側圧
搾ローラＡｑに供給され、次いで詳細には図示されてい
ない運搬手段を用いて上方陽極Ａｏと下方陽極Ａｕとの
間を電解液を通って搬送され、最後に電気めっき装置か
ら再び収容槽Ａｗの取り出し側圧搾ローラＡｑ及び水平
な取り出し側スリットＳｚを介して除去される。少なく
とも上方陽極Ａｏと下方陽極Ａｕとの間の範囲内で個々
のプリント基板ｔ、ｐは同じく詳細には示されていない
接触装置を介して陰掻的に接触する。僅かな間隔でプリ
ント基板ｔ、ｐの通過路の上方に水平に配置された上方
陽極Ａｏは、かごＫｂとその中に単層又は数層で配置さ
れた陽極材料Ａｍとからなる可溶性の陽極である。全体
的にチタンからなるかごＫｂのエクスパンド・メタルか
ら形成された底は、電解液を容易に通すことのできる陽
極材料Ａｍ用支持体を構成する。この場合電解液は銅浴
であり、また陽極材料Ａｍは銅球である（これはしばし
ばＣｕペレットとも称されている）、水平に配列された
下方陽ｉＡｕは不溶性陽極として形成され、僅かな間隔
でプリント基板ＬＰの通過路の下に配設されている。白
金めっきチタンからなるエクスパンド・メタルふるいと
して形成することにより、この場合にも電解液の交換及
び電解液の流れの障害は阻止される。

その他に可溶性上方陽極ＡＯと不溶性下方陽極ＡＵとか
らなる上記の組み合わせは、その間を通過するプリント
基板ＬＰに対する間隔をコンスタントに保ち、その結果
表面への層厚の分散および層厚配分に関して最適の条件
が得られるという利点を有する。

導電路の電気めっき及びプリント基板１．ｐのスルーホ
ール形成に際して光沢のある銅層の析出を保証するため
に、電解液の運動に特殊な条件が設定される。このため
に下方陽極Ａｕの下の範囲に通過路に対して横方向に配
列された多数のスリット管Ｓｒを配設する。これらの管
は貯蔵タンク■ｂからポンプＰＬを介して電解液を付勢
され、その際その量は調節弁Ｒｖｌを介して変えること
ができる。この場合スリット管Ｓｒのスリットは、プリ
ント基板ＬＰに対しほぼ垂直方向に下から噴流するよう
に配置する。

スリット管Ｓｒ単独では光沢のある銅層の析出を保証し
得ないことから、付加的に更に導入側及び取り出し側で
それぞれ通過路の上方及び下方に、該通過路に対して横
方向に配列された電解液貯蔵室Ｅｓ１．Ｅｓ２．Ｅｓ３
及びＥｓ４を配設する。

この電解液貯蔵室Ｅｓｌ〜Ｅｓ４の各々は通過路の全幅
にわたって均一に配置された多数の孔Ｂを有しており、
これらの孔Ｂは例えば１０°の小さな入射角βで通過路
に対して傾斜して、また通過路と上方陽極Ａｏ並びに下
方陽極Ａｕとの間の空隙範囲に向けられている。

取り出し側で通過路の下方に配置された電解液貯蔵室Ｅ
ｓ４は貯蔵タンクｖｂからポンプＰ２を介して電解液を
付勢されるが、その場合その量は調節弁Ｒｖ２を介して
変えることができる０次いで供給された電解液は電解液
貯蔵室Ｅｓ４の孔Ｂからほぼ水平な速度成分で排出され
、これはプリント基板ｔ、ｐの下側を通り、通過方向Ｄ
ｒに対向して流れる。

取り出し側で通過路の上方に配置された電解液貯蔵室Ｅ
ｓ３は貯蔵タンクｖｂからポンプＰ３を介して電解液を
付勢されるが、その場合その量は調節弁Ｒｖ３を介して
変えることができる。次いで供給された電解液は電解液
貯蔵室Ｅｓ３の孔Ｂからほぼ水平な速度成分で排出され
、これはプリント基板ＬＰの上側を通り、通過方向Ｄｒ
に対向して流れる。

プリント基板ＬＰの上側及び下側における電解液流の水
平な速度成分は、導入側の電解液貯蔵室Ｅｓｌ並びにＥ
ｓ２により更に促進される。なぜならこれらの室は電解
液を排出するためのものであり、排出導管ＡＬＬ並びに
Ａｌ１を介して貯蔵タンクｖｂと連結されているからで
ある。更に電解液の循環を一層改良するために、収容槽
Ａｗもまた排出導管ＡＬ３を介して貯蔵タンクｖｂと連
結されている。

上記の実施例の場合、電解液の流動はプリント基板ｔ、
ｐの孔を極めて良好に貫流しまたプリント基板表面に沿
って強い電解液流を生ぜしめる。その際以下のパラメー
タが得られ場。

通過ポンプ（ポンプＰＩ）：　　５０００ｆ／時流出速
度’　　　　　　　　　　３．６ｍ／秒通過ポンプ（ポ
ンプＰ２）：　　８００ＯＮ／時流出速度：　　　　　
　　゛　　４．１ｍ／秒通過ポンプ（ポンプＰ３）　　
：　　１２０００ｆｆｉ／時流出速度：　　　　　　　
　　　６．２　ｍ／秒上述の実施例は電解液貯蔵室Ｅｓ
ｌ〜Ｅｓ４及びスリット管Ｓｒを用いての電解液流動に
対する優れた第１の実施態様を述べたにすぎないもので
ある。他の実施態様に関しては以下に表で示すが、なお
多くの実施態様が存在することはもちろんである。

電解液貯蔵室の本発明による配置はｔｇ液を広範囲に作
用させまたその都度電気めっきすべき加工物に柔軟に適
応させることを可能とすることが認められる。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明による電気めっき装置の略示断面図である
。 ｔ、ｐ・・・穿孔プリント基板、　Ａｗ・・・収容槽、
Ｄｒ・・・通過方向、　Ｓｚ・・・スリット、　Ａｑ・
・・圧搾ロー与、　Ａｏ・・・上方陽極、　Ａｕ・・・
下方陽極、Ｋｂ・・・かご、　Ａｍ・・・陽極材料、　
Ｓ「・・・スリット管、　　Ｐｌ、Ｐ２．Ｐ３・・・ポ
ンプ、　ｖｂ・・・貯蔵タンク、　　Ｒｖｌ、Ｒｖ２．
Ｒｖ３・・・ｉｌｉ節弁、Ｅｓ　１．Ｅｓ２．Ｅｓ３．
　Ｅｓ４川電解液貯蔵室、β・・・入射角、　ＡＬｌ、
Ａｌ１．Ａｌ１・・・排出導管。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）通過路の上方に少なくとも１個またその下方に少な
   くとも１個の該通過路に並行して配置された陽極（Ａｏ
   、Ａｕ）を有する、水平状態で通過する処理すべきプレ
   ート状加工物（Ｌｐ）用の電気めっき装置において、通
   過路とその上方又は下方の陽極（Ａｏ、Ａｕ）との間に
   向けられた電解液供給用及び／又は排出用開口を有する
   電解液貯蔵室（Ｅｓ１、Ｅｓ２、Ｅｓ３、Ｅｓ４）が導
   入側及び取り出し側でそれぞれ通過路の上方及び下方に
   、該通過路に対して横方向に配設されていることを特徴
   とするプレート状加工物用電気めっき装置。 ２）少なくとも１つの電解液貯蔵室（Ｅｓ３、Ｅｓ４）
   が電解液供給用であることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の電気めっき装置。 ３）２つの電解液貯蔵室（Ｅｓ３、Ｅｓ４）が電解液供
   給用であり、また２つの電解液貯蔵室（Ｅｓ１、Ｅｓ２
   ）が電解液排出用であることを特徴とする特許請求の範
   囲第２項記載の電気めっき装置。 ４）取り出し側に配置されている両方の電解液貯蔵室（
   Ｅｓ３、Ｅｓ４）が電解液供給用であることを特徴とす
   る特許請求の範囲第３項記載の電気めっき装置。 ５）電解液が２つの供給用電解液貯蔵室（Ｅｓ３、Ｅｓ
   ４）に固有のポンプ（Ｐ２、Ｐ３）を介して供給可能で
   あることを特徴とする特許請求の範囲第３項又は第４項
   記載の電気めっき装置。 ６）通過路の上方に配置された電解液貯蔵室（Ｅｓ３）
   には、通過路の下方に配置された電解液貯蔵室（Ｅｓ４
   ）よりも多量の電解液が供給可能であることを特徴とす
   る特許請求の範囲第３項ないし第５項のいずれか１項に
   記載の電気めっき装置。 ７）開口が小さな入射角（β）で通過路に対して傾斜し
   て配置されていることを特徴とする特許請求の範囲第１
   項ないし第６項のいずれか１項に記載の電気めっき装置
   。 ８）開口が通過路の全幅にわたって均一に配置された孔
   （Ｂ）として電解液貯蔵室（Ｅｓ１、Ｅｓ２、Ｅｓ３、
   Ｅｓ４）に形成されていることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項ないし第７項のいずれか１項に記載の電気め
   っき装置。 ９）通過路の下方に配設された２つの電解液貯蔵室（Ｅ
   ｓ２、Ｅｓ４）の間でかつふるい状又は格子状に形成さ
   れた不溶性の下方陽極（Ａｕ）の下方に、通過路に対し
   て横方向に配置されまた電解液を付勢される多数の噴射
   ノズルが配設されていることを特徴とする特許請求の範
   囲第１項ないし第８項のいずれか１項に記載の電気めっ
   き装置。 １０）噴射ノズルがスリット管（Ｓｒ）として形成され
   ていることを特徴とする特許請求の範囲第９項記載の電
   気めっき装置。 １１）噴射ノズルが固有のポンプ（Ｐ１）を介して電解
   液を付勢されることを特徴とする特許請求の範囲第９項
   又は第１０項記載の電気めっき装置。 １２）上方陽極（Ａｏ）が、ふるい状又は格子状の支持
   体上に配置された可溶性陽極材料（Ａｍ）を有する可溶
   性陽極として構成されていることを特徴とする特許請求
   の範囲第１項ないし第１１項のいずれか１項に記載の電
   気めっき装置。