JPH05209298A - プリント配線板用電気めっき装置 - Google Patents

プリント配線板用電気めっき装置

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JPH05209298A
JPH05209298A JP4279402A JP27940292A JPH05209298A JP H05209298 A JPH05209298 A JP H05209298A JP 4279402 A JP4279402 A JP 4279402A JP 27940292 A JP27940292 A JP 27940292A JP H05209298 A JPH05209298 A JP H05209298A
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JP
Japan
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electrolyte
electrolytic solution
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ezu
ezo
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JP4279402A
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Daniel Hosten
ホステン ダニエル
Josef Puymbroeck
プイムブレツク ヨーゼフ
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Siemens AG
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    • H05K3/40—Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/42—Plated through-holes or plated via connections
    • H05K3/423—Plated through-holes or plated via connections characterised by electroplating method
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 穴あきプリント配線板のスルーホールの形成
及び電気めっきの際に析出される金属層の品質及び層厚
配分を改良する。 【構成】 電気めっき装置はプリント配線板Ｌｐの通過
軌道に横に並び通過軌道の上方に交互に配設された複数
個の上部電解液供給装置ＥＺｏ及び上部電解液排出装置
ＥＡｏ、並びに通過軌道に横に並び通過軌道の下方に交
互に配設された複数個の下部電解液供給装置ＥＺｕ及び
下部電解液排出装置ＥＡｕを有し、その際それぞれ上部
電解液供給装置ＥＺｏには下部電解液排出装置ＥＡｕが
また下部電解液供給装置ＥＺｕには上部電解液排出装置
ＥＡｏが対向している。それにより電解液の垂直及び水
平な流動分力Ｓｋｖ、Ｓｋｈが生じ、その方向はプリン
ト配線板Ｌｐの通過方向から見て絶えず変換している。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は水平通過で処理される穴
あきプリント配線板用電気めっき装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ドイツ連邦共和国特許出願公開第３２３
６５４５号公報からプリント配線板を水平通過で電解液
槽を通して処理するプリント配線板用電気めっき装置が
公知である。プリント配線板の送りは片側を電解液槽中
に配設され、同時に加工物の陰極接触をも行う被駆動接
触輪を介して行われる。接触輪に対向する側で加工物を
処理しまた保持するために特殊な滑り止めを槽中に配設
する。電解液槽中に配設される陽極は、通過軌道に横に
並べられまた通過軌道の上方にも下方にも配設される可
溶性陽極棒として構成される。しかし１変形例によれば
上部及び下部陽極を可溶性陽極材料を球形で内包するチ
タンかごに形成することも可能である。電気めっき装置
の収容槽中には通過軌道の上方及び下方に通過方向に並
べられたノズル棒が配設され、これらに貯蔵容器から電
解液を多数のプランジャポンプにより供給する。ノズル
棒を通された高流速の電解液は電解液領域に所望のレベ
ルで電解液を補給するばかりでなく、均一な組成と一様
な電流密度を要求されている電解液を十分に攪拌するこ
とになる。電解液を更に大きく渦動させるためノズル棒
を水平又は通過方向に前後に駆動してもよい。
【０００３】欧州特許出願公開第０２５４９６２号公報
によれば、搬送部及び接触部として不断に回転駆動する
ように配列されかつプリント配線板の側縁を囲むピンセ
ット型の接触端子を備えている水平通過で処理される他
のプリント配線板用電気めっき装置が公知である。
【０００４】欧州特許第０２７６７２５号明細書から公
知の水平通過で処理される穴あきプリント配線板用のめ
っき装置では、流入側及び流出側にそれぞれ通過軌道の
上方及び下方に、それに対して横に並べられ通過軌道と
上部又は下部陽極との間に向けられた電解液の取水及び
／又は排水用開口を有する電解液集水槽が配設されてい
る。電解液集水槽を配設することにより電解液の流動分
力は長手方向に形成される。しかしまた付加的に通過方
向に横に並べられた下部溢流ノズルによって電解液の垂
直方向の流動分力が形成され、これは特に穴あきプリン
ト配線板のスルーホールの形成に重要である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、穴あきプリ
ント配線板のスルーホールの形成及び電気めっきの際
に、析出される金属層の品質及び層厚配分を改良するこ
とを課題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この課題は請求高１に記
載の電気めっき装置により解決される。
【０００７】
【発明の効果】本発明により達成される利点は特に、ス
ルーホールを良好に貫流する垂直な流動分力を与えるこ
とにあるが、その際これらの垂直な流動分力の方向は通
過方向から見て絶えず変換している。同様に通過軌道の
上方及び下方に形成される水平な流動分力の場合にも通
過方向から見て絶えず方向変換が見られる。更に電気め
っき装置の長さとは全く無関係な水平及び垂直の流動分
力のこの不断の方向変換により、高い電流密度でも良好
な延性、高度の粘着性及び極めて均一な層厚配分を有す
る高品位の金属層を析出することができる。
【０００８】請求項２に基づく実施態様は少ない経費で
極めて顕著な垂直流動分力を形成させる。
【０００９】請求項３に基づく他の実施態様は陽極材料
へのアクセスが良好である場合陽極内に上部電解液供給
装置又は電解液排出装置の集積化を可能にする。この利
点は更に請求項４に基づき下部電解液供給装置又は電解
液排出装置に対しても下部陽極に関して行われる。
【００１０】
【実施例】本発明の実施例を図面に基づき以下に詳述す
る。
【００１１】図１によればめっきすべきプリント配線板
Ｌｐは、水平な位置及び水平な通過方向Ｄｒで上部陽極
Ａｏと下部陽極Ａｕとの間を詳細には図示されていない
電解液により搬送される。上部陽極Ａｏは個々の上部陽
極かごＡｋｏからなり、その中には球形の陽極材料Ａｍ
が入っている。同様に下部陽極Ａｕは個々の下部陽極か
ごＡｋｕからなり、同じく球形の陽極材料Ａｍが入って
いる。陽極かごＡｋｏ及びＡｋｕは例えばチタンから成
るが、陽極材料Ａｍは図示の実施例では銅球である。
【００１２】プリント配線板Ｌｐの通過軌道の上方には
それぞれ上部陽極かごＡｋｏの間に通過方向Ｄｒから見
て交互に上部電解液供給装置ＥＺｏ及び上部電解液排出
装置ＥＡｏが配設されている。同様にプリント配線板Ｌ
ｐの通過軌道の下方にはそれぞれ下部陽極かごＡｋｕの
間に通過方向Ｄｒから見て交互に下部電解液供給装置Ｅ
Ｚｕ及び下部電解液排出装置ＥＡｕが配設されている。
その際上部電解液供給装置ＥＺｏには常に下部電解液排
出装置ＥＡｕが向かい合っており、一方下部電解液供給
装置ＥＺｕには上部電解液排出装置ＥＡｏが向かい合っ
ている。
【００１３】溢流ノズルとして形成されまた通過軌道に
横に並ぶ上部及び下部電解液供給装置ＥＺｏ及びＥＺｕ
は、プリント配線板Ｌｐの表面に対し垂直方向に電解液
の流動分力Ｓｋｖを形成する。溢流ノズルと類似するが
しかし開口部がそれよりも大きく形成されており同様に
通過軌道に横に並ぶ上部及び下部電解液排出装置ＥＡｏ
及びＥＡｕは、プリント配線板Ｌｐの表面から垂直な流
動分力Ｓｋｖで電解液を排出する。それに応じてプリン
ト配線板ＬｐのスルーホールＤｌは、図１の２箇所から
見て取れるように、上部電解液供給装置ＥＺｏと下部電
解液排出装置ＥＡｕとの間を垂直に上から下へ、また下
部電解液供給装置ＥＺｕと上部電解液排出装置ＥＡｏと
の間を垂直に下から上へと貫流する。
【００１４】更にプリント配線板Ｌｐが電気めっき装置
を通って通過する場合、電解液は図２に示される電解液
の垂直な流動分力Ｓｋｖ及び水平な流動分力Ｓｋｈに分
配される。プリント配線板Ｌｐの表面に対して垂直方向
の流動分力Ｓｋｖは矢印Ｐｆの方向に曲げられ、その結
果水平な流動分力Ｓｋｈが形成されることが見て取れ
る。更にこれらの水平な流動分力Ｓｋｈは上部及び下部
電解液排出装置の範囲内で矢印Ｐｆの方向に曲がり、そ
の際プリント配線板Ｌｐの表面から電解液を運び去る垂
直な流動分力が生じる。
【００１５】また図２は、上部及び下部電解液供給装置
ＥＺｏ及びＥＺｕから、また上部及び下部電解液排出装
置ＥＡｏ及びＥＡｕの特殊な配列（図１参照）によりプ
リント配線板Ｌｐの通過方向Ｄｒに垂直な流動分力Ｓｋ
ｖと水平な流動分力Ｓｋｈに絶えず方向変換が生じるこ
とを明瞭に示す。
【００１６】図面には示されていない電解液の上部電解
液供給装置ＥＺｏへの供給は例えば共通ポンプにより行
われる。更に同様に下部電解液供給装置Ｅｚｕにも共通
ポンプを取り付ける。この２つのポンプは電解液を貯蔵
容器から吸引するが、この容器には上部及び下部電解液
排出装置ＥＡｏ及びＥＡｕの図示されていない排出管が
開口している。
【００１７】図２から見て取れる垂直な流動分力Ｓｋｖ
と水平な流動分力Ｓｋｈの不断の方向変換は電気的に析
出される層の最適な層厚配分をプリント配線板Ｌｐの表
面にもまたスルーホールＤ１内にももたらす（図１参
照）。プリント配線板Ｌｐの搬送及び陰極接触は図示さ
れていない。それには接触ドラム、接触ローラ又はプリ
ント配線板と併走するピンセット型の接触クランプを使
用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に基づく電解液供給装置及び電解液排出
装置の横断面図。
【図２】図１に基づく装置の水平及び垂直な流動分力の
構成図。
【符号の説明】
Ｌｐ プリント配線板 Ａｏ 上部陽極 Ａｕ 下部陽極 Ａｋｏ 上部陽極かご Ａｋｕ 下部陽極かご Ａｍ 陽極材料 ＥＺｏ 上部電解液供給装置 ＥＺｕ 下部電解液供給装置 ＥＡｏ 上部電解液排出装置 ＥＡｕ 下部電解液排出装置 Ｄｌ スルーホール Ｄｒ 通過方向 Ｓｋｈ 水平な流動分力 Ｓｋｖ 垂直な流動分力 Ｐｆ 矢印
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０５Ｋ 3/18 Ｇ 7511−4Ｅ 3/42 Ａ 7511−4Ｅ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 通過軌道の上方に配設された少なくとも
    １個の上部陽極（Ａｏ）、通過軌道の下方に配設された
    少なくとも１個の下部陽極（Ａｕ）、通過軌道に対して
    横に並べられかつ通過軌道の上方に交互に配設された複
    数個の上部電解液供給装置（ＥＺｏ）及び上部電解液排
    出装置（ＥＡｏ）、及び通過軌道に対して横に並べられ
    かつ通過軌道の下方に交互に配設された複数個の下部電
    解液供給装置（ＥＺｕ）及び下部電解液排出装置（ＥＡ
    ｕ）を有し、その際それぞれ上部電解液供給装置（ＥＺ
    ｏ）に対しては下部電解液排出装置（ＥＡｕ）が、また
    下部電解液供給装置（ＥＺｕ）に対しては上部電解液排
    出装置（ＥＡｏ）が対向している水平通過で処理される
    穴あきプリント配線板（Ｌｐ）用電気めっき装置。
  2. 【請求項２】 上部及び下部電解液供給装置（ＥＺｏ、
    ＥＺｕ）がプリント配線板（Ｌｐ）の表面上に垂直方向
    の流動分力（Ｓｋｖ）を有する溢流ノズルとして形成さ
    れていることを特徴とする請求項１記載の電気めっき装
    置。
  3. 【請求項３】 上部電解液供給装置（ＥＺｏ）及び上部
    電解液排出装置（ＥＡｏ）がそれぞれ上部陽極かご（Ａ
    ｋｏ）の間に配設されていることを特徴とする請求項１
    又は２記載の電気めっき装置。
  4. 【請求項４】 下部電解液供給装置（ＥＺｕ）及び下部
    電解液排出装置（ＥＡｕ）がそれぞれ下部陽極かご（Ａ
    ｋｕ）の間に配設されていることを特徴とする請求項１
    ないし３の１つに記載の電気めっき装置。
JP4279402A 1991-09-26 1992-09-22 プリント配線板用電気めっき装置 Withdrawn JPH05209298A (ja)

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DE4132145 1991-09-26
DE4132145.6 1991-09-26

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EP (1) EP0534269A3 (ja)
JP (1) JPH05209298A (ja)
CA (1) CA2079033A1 (ja)

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EP0534269A3 (en) 1993-09-01
US5211826A (en) 1993-05-18
EP0534269A2 (de) 1993-03-31
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