JPS6347794B2 - - Google Patents

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JPS6347794B2
JPS6347794B2 JP56084567A JP8456781A JPS6347794B2 JP S6347794 B2 JPS6347794 B2 JP S6347794B2 JP 56084567 A JP56084567 A JP 56084567A JP 8456781 A JP8456781 A JP 8456781A JP S6347794 B2 JPS6347794 B2 JP S6347794B2
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JP
Japan
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plating
nozzle
anode
plating liquid
opening
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JP56084567A
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Kenji Yamamoto
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NIPPON EREKUTOROPUREITEINGU ENJINYAAZU KK
Original Assignee
NIPPON EREKUTOROPUREITEINGU ENJINYAAZU KK
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Publication date
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/08Electroplating with moving electrolyte e.g. jet electroplating

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はメツキ装置、特にプリント配線板その
他の微小孔を有するメツキ物をメツキするのに最
適なメツキ装置に関する。
微小孔を有するメツキ物、例えばプリント配線
板をメツキする装置としては従来より多くの技術
が提案されている。例えば特公昭55−46473号
「板を貫通する孔の内面をメツキする装置」や、
特公昭53−124771号「多層プリント板のスルーホ
ールメツキ方法」が知られている。前者は陰極化
したガイドレールを介しプリント配線板をいわば
水平状態で移動させそのパスラインの上方に設け
たメツキ液槽の底部開口よりメツキ液を流下する
ことでプリント配線板の微小孔内にメツキ液を流
下させるようにしている。そしてこの微小孔内を
流下するメツキ液の液束を通電路とし上記パスラ
インの下方に別途設けた陽極板より電流が流れる
ようにしてメツキするものである。又後者はプリ
ント配線板の微小孔の両側に微小孔位置に合わせ
てノズルを各々設け双方のノズルより微小孔内へ
メツキ液を噴射して施し析出電圧、電流の測定値
に応じた印加電極と微小孔間の間隔を調整しつつ
メツキするものである。しかしながら、このよう
な従来例にあつては、前者の場合、微小孔内にメ
ツキ液を通すのにいわば重力を利用してメツキ液
を流下させるだけなので微小孔のサイズが極めて
小さいとその微小孔内にメツキ液が入りづらくな
るという不具合がある。又後者の場合、上記のよ
うな前者の不具合は解決できるもののノズルを微
小孔の位置に合わせて設ける必要があるため多数
の微小孔に対する多数のノズルの位置決めが大変
で装置全体が相当に複雑化してしまうという不具
合がある。
そこで本出願人はこのような従来のメツキ装置
に着目して『メツキ液をオーバーフローさせるメ
ツキ処理槽内でメツキ物を垂直状態のまま移動で
きるようにし、そのパスラインの両側にメツキ物
の移動方向で位置をずらして対向させ且つパスラ
インに各々近接配置した複数のノズルより高速で
メツキ液流を噴射自在とし、メツキ物のノズル開
口と対応する部位へこのメツキ液流を衝突せしめ
ることにより、メツキ物特にプリント配線板の如
き微小孔を有するメツキ物の、微小孔内への、メ
ツキを効率よく行なうことができるメツキ装置』
を別途提案した。本発明はこの別途提案したメツ
キ装置を更に改良したものである。
以下図面を参照して本発明の詳細を説明する。
第1図〜第6図は本発明の一実施例を示す図で
あり、先ずその構成を説明すると、このメツキ装
置は主にメツキ処理槽1、搬送手段2及びノズル
3より成つている。
メツキ処理槽1は、メツキ液をオーバーフロー
させるもので、オーバーフロー用の凹部4を上辺
に備え且つ排出孔5を有している。メツキ処理槽
1の外側はケース6で囲繞されオーバーフローし
たメツキ液の回収手段(図示せず)がこのケース
6に設けてある。メツキ処理槽1及びケース6の
上面は、後述するメツキ物の搬送用通路を残して
全体的に上蓋〔図示せず〕で覆われている。メツ
キ処理槽1及びケース6の入側〔第1図左側〕及
び出側〔第1図右側〕にはメツキ物7のサイズに
見合う縦方向のスリツト8,9,10,11が
各々形成してある。メツキ処理槽1内にはメツキ
物7のパスライン12に沿つて「ガイドローラ
群」が配置されている。メツキ処理槽1の入側・
出側の両スリツト8,9の近辺に対にしたガイド
ローラ13,14が配置され、特に出側のガイド
ローラ14には液の持出しを防ぐ機能が与えてあ
り、更にエアーナイフとなる一対のエアノズル1
5が付設されて液の持出しを一層防ぐようにして
ある。対をなすガイドローラ16の両側〔第1図
中上下側〕には仕切り板17が設けられ仕切り板
17,17間の区域18,19,20に後述する
ノズル3a,3b,3cが各々位置するようにな
る。前記のオーバーフロー用の凹部4と排出孔5
はノズル3a,3b,3cの両側〔第1図左右
側〕に形成してあり、仕切り板17,17は区域
18,19,20内のメツキ液が隣の区域へ流れ
るよりもこの凹部4及び排出孔5の方向へ流れる
ように案内する機能並びに区域18,19,20
内のメツキ液の撹拌が隣の区域に於ける同様のメ
ツキ液の撹拌に干渉しないようにする機能を持つ
ている。
残りのガイドローラ21は区域18,19,2
0内にあつて、ノズル3a,3b,3cと対向す
る位置でパスライン12の向う側に設けてある
が、ノズル3a,3b,3cのノズル開口22と
対応する位置よりも若干左右方向〔第1図〕でず
れた位置に配置してある。このガイドローラ21
は高速でメツキ液流がメツキ物7に衝突する際、
メツキ物7の他側にあつてメツキ物7を支持する
機能を備えている。
搬送手段2は、メツキ処理槽1の上方に張設し
たチエーンコンベア61と、絶縁性ベース23を
介して一対吊下げた挾持クリツプ24とから構成
されている。挾持クリツプ24はメツキ物7を吊
下げて垂直状態とするもので、その移動ライン2
5には給電ブラシ26が設けてあり、これら給電
ブラシ26及び挾持クリツプ24を介してメツキ
物7は陰極化されるようにしてある。搬送手段2
はメツキ物7を垂直状態のまま移動・位置決め自
在とするもので、メツキ時その垂直面上でメツキ
物7を上下、左右又は円を描いて運動するように
してもよい。
ノズル3は、複数〔図示の例では3個のノズル
3a,3b,3c〕設けられるもので、メツキ物
パスライン12の両側にそしてメツキ物7の移動
方向で位置をずらして対向配置され且つパスライ
ン12に各々近接配置されるものである。ノズル
3a,3b,3cの形状、構造は同一なので、以
下ではノズル3aについてのみ説明することにす
る。第3図及び第4図で示す如く、このノズル3
aはメツキ物7の高さhに相応する高さで適宜の
幅wを有するノズル開口22を備えている。
ノズル3aはその内部にメツキ液流出路27,
28を備えまたこのメツキ液流出路27,28と
沿う位置、図示の例ではメツキ液流出路27,2
8の間の位置、にアノード室29を区画して備え
ている。アノード室29はその先端にメツキ液流
入用の開口30を有しこの開口30には網体31
が設けてある。またアノード室29内には例えば
チタン製のアノードケース32が挿入自在にして
ありアノードケース32内には溶解性アノード3
3が収納自在にしてある。銅メツキの場合、溶解
性アノード33としてはボール状、チツプ状、板
状、棒状等の銅製アノードがアノードケース32
内に充填される。この溶解性アノード33はメツ
キ処理に従い溶解して量的に減少していくので適
宜補充できるようアノードケース32には開閉蓋
34が取付けてあり且つノズル3aの上側板の一
部35が取外し自在にしてある。またアノードケ
ース32は内部の溶解性アノード33が溶け出し
やすいように多数の通孔36を備え、支持バー3
7を介しアノード室29内でその上下に空間38
を残すようにして位置決めされる。上下に空間3
8を設けたのはメツキの際電気的にメツキ物7の
上下縁部へアノードイオンが集まらないようにし
均一なメツキを施せるようにするためなので、こ
の機能が得られれば空間38に代えて他の手段を
採用することも十分可能である。更にこのアノー
ドケース32はその全体が例えばポリプロピレン
製のアノードバツク39にて囲繞されるものであ
る。このアノードバツク39は溶解性アノード3
3のスラツジ化、即ちメツキ物7の表面にスラツ
ジが付着することを防ぐためのものである。40
はエア抜きの導管である。
またノズル3aのノズル開口22の内側には整
流板41が取付けられる。尚ノズル開口22の外
側でノズル3aと一体的にガイド部42を形成す
るものとし〔第3図〕メツキ物7に衝突した後の
メツキ液流が分流となつてメツキ物7に沿つて流
れるよう案内し次いでオーバーフロー方向へ導く
ようにしてもよい。
次に作用を説明する。
メツキ物7〔例えばプリント配線板〕の上辺を
挾持クリツプ24で挾持してチエーンコンベア6
1を介し、即ち搬送手段2を使用して、パスライ
ン12上でメツキ物7を垂直状態のまゝ移動す
る。挾持クリツプ24がその移動ライン25に近
接して設けた給電ブラシ26と接触することによ
りメツキ物7は陰極化される。搬送手段2による
移動で、メツキ物7はメツキ処理槽1内のパスラ
イン12上をガイドローラ群、即ち入側のガイド
ローラ13、仕切り板17近辺のガイドローラ1
6、ノズル3a,3b,3cに対応させて設けて
ある支持ローラ兼用のガイドローラ21、そして
更に出側のガイドローラ14等に案内されつつ入
側より出側方向へと移動する。そして、この移動
の際、メツキ物7は区域18,19,20を順次
移動するもので、各区域18,19,20で、
各々メツキされる。
ノズル3、具体的には3個のノズル3a,3
b,3cにメツキ液が供給されるとそのノズル開
口22よりメツキ液はパスライン12めがけて噴
射されることになるが、ノズル3a内にはメツキ
液流出路27,28と沿う位置にアノード室29
が区画して設けてあるので、開口30、網体31
を通つてアノード室29内にメツキ液が上記メツ
キ液流出路27,28より流入するもののその撹
拌状態は比較的弱いものとなる。アノード室29
内に流入したメツキ液はそこに充満するのでアノ
ードケース32及びアノードバツク39を通つて
溶解性アノード33がメツキ液に溶け込む。アノ
ード室29にメツキ液が充満する際アノード室2
9内にあつたエアーはエア抜き導管40を介して
ノズル3a外へと排出される。
ノズル開口22よりパスライン12めがけて噴
射されたメツキ液はメツキ処理槽1の各区域1
8,19,20を満たしついで凹部4よりオーバ
ーフローするとともに排出孔5よりメツキ処理槽
1の外へ排出されていく。
今、パスライン12上で、ノズル3aの前にメ
ツキ物7が位置する場合を想定すれば、メツキ物
7全体は区域18内に満ちているメツキ液に浸漬
した状態にあり、しかもノズル3aよりメツキ液
が噴射されることによりノズル開口22のサイズ
に相応する断面縦長形状のメツキ液流Aがメツキ
物7のノズル開口22と対応する部位に高速で衝
突することとなる。ノズル3aはパスライン12
に近接配置されているため、メツキ液流Aは区域
18内にメツキ液が充満しているにも拘らず激し
い勢いでメツキ物7に衝突することとなる。そし
て、メツキ物7に微小孔7aが多数設けてある場
合には断面縦長形状の上記メツキ液流Aが衝突す
ることでその衝突する部位、即ちノズル開口22
と対応する部位、に存在する全部の微小孔7a内
に第3図及び第6図で示す如くメツキ液流Aが入
り込みメツキ物7の他側へ抜ける〔矢示B参照〕。
この時メツキ物7の表面でメツキ液は激しく撹拌
し、いわばメツキ物7の表面に「動圧」が掛けら
れた状態となり、他方メツキ物7の他側〔ノズル
3aより見てパスライン12の向う側〕にあるメ
ツキ液は比較的静かな状態にあるのでメツキ液流
Aは矢示Bの如く容易に微小孔7a内を他側へ抜
けて流れる。メツキ物7がプリント配線板であれ
ば、第6図で示すようにその両面に銅箔43が貼
着され、両面に貫通して形成してある微小孔7a
の内面には予め前工程で施こした無電解銅メツキ
処理により無電解銅メツキ層44が形成されてい
るので、メツキ液流Aの微小孔7a内への流入に
よりアノードケース32からこの銅メツキ層44
に電流が流れ、メツキ液のアノードイオン〔例え
ばメツキ液がCuSO4であれば、Cu++〕が微小孔7
a内の銅メツキ層44上に析出することとなる。
メツキ液流Aは上述の如くメツキ物7に微小孔
7aがあればその一部が矢示Bの如く微小孔7a
を通り抜けてゆくが、残りの部分は分流してメツ
キ物7の面に沿つて流れるメツキ液流Cとなつて
メツキ物7の面とノズル3aのガイド部42との
間を流れる。この「区間」ではメツキ液流Cも相
当激しい勢いで流れるのでそこではメツキ液の撹
拌が大いに行なわれやはり「動圧」が掛かつてい
るのでこの「区間」に相当するメツキ物7の部位
に他の微小孔7bがあれば先と同様にメツキ液流
Cの一部がそこへ流入してゆき微小孔7b内をメ
ツキしてゆくことになる。
次いで、メツキ液流Cは仕切り板17その他で
ガイドされ隣りの区域19へ流れるよりもオーバ
ーフロー用の凹部4や排出孔5よりメツキ処理槽
1の外へ流出してゆく〔矢示D,E参照〕。
メツキ液がノズル3aより噴射されている間、
メツキ物7は停止していてもよく又、ゆつくり移
動していてもよい。そして上記した区域18に於
けるのと同様のメツキ処理が隣接する区域19,
20で繰返してメツキ物7に対し行なわれるもの
であり、しかもノズル3bはノズル3a,3cに
対して対向する逆側の位置にあるためメツキ物7
の両面メツキが、又メツキ物7に微小孔7a,7
bがあれば微小孔7a,7b内に両側方向からの
メツキが順次重ねて行なわれることになる。更
に、ノズル3a,3b,3cの対向側に他のアノ
ード51,52,53を配置しておけば、メツキ
物7のこれらノズルに対する反対側面にもメツキ
が積極的に着けられるものである。
次に他の実施例を第7図〜第9図に基づき説明
する。先の実施例では第3図で示す如く、アノー
ド室29がノズル3a内のメツキ液流出路27,
28と「沿う位置」として、これら両メツキ液流
出路27,28の間の位置に設けられ且つメツキ
液流入用の開口30がアノード室29の先端に設
けてあつたが、第7図の実施例ではメツキ液流出
路45がノズル3a内の中央に形成されその両側
にアノード室46が配置してある。そして、アノ
ード室46は開口47とその開口47に張設した
網体48を介してメツキ液流出路45と連通され
ている。開口47の位置は、メツキ液流出路45
よりメツキ液がアノード室46内へ流入し易くそ
れでいて流入の際液の撹拌が生ぜぬような位置と
してある。又、第8図の実施例では、第7図の実
施例と同様にしてアノード室49がメツキ液流出
路50の両側に配置されているが2ケ所に第1開
口51と第2開口52が設けられ且つ各々の第
1、第2開口51,52に網体53,53が設け
てある。更に第9図の実施例では、第7図及び第
8図と同様にアノード室55がメツキ液流出路5
6の両側に配置されそして2ケ所に網体57付き
の第1開口58及び第2開口59が設けてある。
尚第1開口58は、第8図の第1開口51がノズ
ル3aのいわば内側でメツキ液流出路50に臨む
位置に設けてあるのに比べて、ノズル3aのいわ
ば先端に相応するアノード室55の先端に設けて
あり従つて、メツキ液流出路56より流出・噴射
されてゆくメツキ液はその一部が第2開口59よ
りアノード室55内に流入し第1開口58より流
出・噴射されてゆく。このため先の実施例ではノ
ズル開口22に相応する断面サイズのメツキ液流
Aがメツキ物7めがけて噴射・衝突せしめられた
のに比べこの第9図の実施例ではメツキ液流Aの
断面サイズはノズル開口22を含む第1開口5
8,58間のサイズ60に相応することとなる。
このように第9図で第1開口58をアノード室5
5の先端としたのはノズル3aの先端に溶解性ア
ノード33が位置しメツキ物7に対して近接した
位置となること、それでいて第2開口59及びア
ノード室55自体がメツキ液流出路56と沿う位
置にあることによりアノード近辺の撹拌は少なく
できること等の理由に因る。
第7図〜第9図の実施例のその他の構成及び作
用については、先の実施例〔第1図〜第6図〕と
ほぼ同様につき同一乃至類似部分を図中同一符号
で示し重複説明を省略する。尚第7図〜第9図で
はアノードケース32、アノードバツク39その
他の図示を省略している。
又以上の説明に於いて図面に示したパネル状の
メツキ物7に例をとつて説明を行なつたが、勿論
メツキ物はこれに特定されずコイル状のものでも
十分適応されるものである。
以上説明してきたように、本発明によれば、そ
の構成を、メツキ液をオーバーフローさせるメツ
キ処理槽内で、搬送手段を介しメツキ物を垂直状
態のまま移動自在且つ陰極化自在とし、メツキ処
理槽内のメツキ物パスライン両側にメツキ物移動
方向で位置をずらして対向させ且つパスラインに
各々近接配置した複数のノズルよりメツキ液を
各々噴射自在とし、これらノズルにはノズル内の
メツキ液流出路と沿う位置にアノード室を区画し
て備えアノード室内には溶解性アノードを収納自
在とし、そしてメツキ物のノズル開口と対応する
部位に高速でメツキ液流を衝突せしめることとし
たため、メツキ物に対するメツキ処理を以下に列
挙するように効率良く行なうことができる。
即ち、 (イ) メツキ物が微小孔を有しておればその微小孔
の内面をも効率よくメツキでき、 (ロ) 複数のノズルをメツキ物パスラインの両側で
メツキ物の移動方向に位置をずらして対向させ
たので、メツキ物の両側面にそして微小孔があ
ればその両側開孔より微小孔の内面に、順次且
つ交互にメツキを施こすことができて、均一層
のメツキ層を確実に析出でき、又メツキが微小
孔の両側開孔部分にのみ厚く着くということが
防止でき、 (ハ) 噴射されたメツキ液流の衝突する部位に複数
の微小孔があればこれらを同時にメツキ処理で
き、 (ニ) しかも、パスラインに近接配置されたノズル
は、その内部にメツキ液流出路と沿う位置にア
ノード室を区画して備えこのアノード室には溶
解性アノードを収納自在としたので、メツキ物
の近辺では激しく液を撹拌できるもののノズル
内のアノード近辺では液の撹拌を比較的弱くす
ることができ、又、メツキ物がプリント配線板
のときはより一層質のよいメツキ処理を行なう
ことができ、 (ホ) アノード室内にアノードケースを収納するよ
うにし又アノードバツクで囲繞すれば溶解性ア
ノードを使用してもアノードのスラツジが浴中
に混入することを未然に防止でき、 (ヘ) アノード室に第1及び第2の両開口を設けし
かも第1開口をアノード室の先端に設ければメ
ツキ物に対してアノードを近接配置できること
となるという多くの効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係かるメツキ装置の一実施例
を示す上蓋を外した概略平面図、第2図はその要
部の拡大斜視図、第3図はノズルを破断して示す
同じく要部の拡大平面図、第4図は第3図中の矢
示−線に沿う断面図、第5図は第3図中の矢
示−線に沿う断面図、そして第6図はメツキ
物の微小孔内へ流入するメツキ液流の拡大説明
図、第7図は他の実施例としてのノズルを示す第
3図相当の拡大平面図、そして第8図は更に他の
実施例を示すノズルの部分断面図、そして第9図
は更に他の実施例を示すノズルの部分断面図であ
る。 1……メツキ処理槽、2……搬送手段、3,3
a,3b,3c……ノズル、7……メツキ物、7
a,7b……微小孔、12……メツキ物のパスラ
イン、13,14,16,21……ガイドロー
ラ、18,19,20……区域、22……ノズル
開口、26……給電ブラシ、27,28,45,
50,56……メツキ液流出路、29,46,4
9,55……アノード室、30,47……開口、
51,58……第1開口、52,59……第2開
口、32……アノードケース、33……溶解性ア
ノード、39……アノードバツク、A……衝突す
るメツキ液流。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 メツキ液をオーバーフローさせるメツキ処理
    槽内で、搬送手段を介しメツキ物を垂直状態のま
    ま移動自在且つ陰極化自在とし、メツキ処理槽内
    のメツキ物パスライン両側にメツキ物移動方向で
    位置をずらして対向させ且つパスラインに各々近
    接配置した複数のノズルよりメツキ液を各々噴射
    自在とし、そしてメツキ物のノズル開口と対応す
    る部位に高速でメツキ液流を衝突せしめるメツキ
    装置において、上記ノズルは、ノズル内のメツキ
    液流出路と沿う位置にアノード室を区画して備
    え、該アノード室内には溶解性アノードを収納自
    在としたことを特徴とするメツキ装置。
JP56084567A 1981-06-02 1981-06-02 Plating apparatus Granted JPS57200598A (en)

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