JPS5816090A - メツキ装置 - Google Patents

メツキ装置

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JPS5816090A
JPS5816090A JP9917181A JP9917181A JPS5816090A JP S5816090 A JPS5816090 A JP S5816090A JP 9917181 A JP9917181 A JP 9917181A JP 9917181 A JP9917181 A JP 9917181A JP S5816090 A JPS5816090 A JP S5816090A
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plated
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Kenji Yamamoto
健治 山本
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Electroplating Engineers of Japan Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • H05K3/241Reinforcing the conductive pattern characterised by the electroplating method; means therefor, e.g. baths or apparatus
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/42Plated through-holes or plated via connections
    • H05K3/423Plated through-holes or plated via connections characterised by electroplating method

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  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はメッキ装置、4Iはプリント配線板その他の微
小孔を有するメッキ物をメッキするのに最適なメッキ装
置に関する。
微小孔を有するメッキ物、例えばプリント配線板をメッ
キする装置としては従来より多くの技術が提案されて−
る。例えば特公昭55−46475号「板を貫通する孔
の内面をメッキする装置」や、特公昭55−12477
1号「多層プリント板のスルーホールメッキ方法」が知
られている。前者は陰極化したガイドレールを介しプリ
ント配線板を1わば水平状態で移動させそのパスライン
の上方に設けたメッキ液槽の底部開口よりメッキ液を流
下することでプリント配線板の微小孔内にメッキ液を流
下させるようにしている。そしてこの微小孔内を流下す
るメッキ液の液束を通電路とし上記パスラインの下方に
別途設けた陽極板より電流が流れるようにしてメッキす
るものである。又後者はプリント配線板の微小孔の両側
に微小孔位置に合わせてノズルを各々設は双方のノズル
より微小孔内ヘメッキ液を噴射して施し析出電圧、電流
の測定値Vc口じた印加電極と微小孔間の間隔を調整し
つつメッキするものである。しかしながら、このような
従来例にあっては、前者の場合、微小孔内にメッキ液を
通すのにいわば重力を利用してメッキ液を流下させるだ
けなので微小孔のサイズが極めて小さいとその微小孔内
にメッキ液が入りづらくなるという不具合がある。又後
者の場合、上記のような前者の不具合は解決できるもの
のノズルを微小孔の位置に合わせて設ける必要があるた
め多数の微小孔に対する多数のノズルの位置決めが大変
で装置全体が相当に複雑化してしまうという不具合があ
る。
そこで本出願人はこのような従来のメッキ装置に着目し
て「メッキ液をオーバーフローさせるメッキ処理槽内で
メッキ物を垂直状態のまま移動できるようにし、そのパ
スラインの両側にメッキ物の移動方向で位置をずらして
対向させ且つパスラインに各々近接配置した複数のノズ
ルよ゛り高速でメッキ液流を噴射自在とし、メッキ物の
ノズル開口と対応する部位へこのメッキ液流を衝突せし
めることにより、メッキ物特にプリント配線板の如き微
小孔を有するメッキ物の、微小孔内への、メッキを効率
よく行なうことができるメッキ装置」を別途提案した。
本発明はこの別途提案したメッキ装置特にそのノズルを
更に改良したものである。
以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。
@1図〜第6図は本発明の一実施例を示す図であり、先
ずその構成を説明すると、このメッキ装置は主にメッキ
処理槽1、搬送手段2及びノズル3より成っている。
メッキ処理槽1にはメッキ液が充満させてあり、図示の
例ではこのメッキ処理槽1は、メッキ液をオーバーフロ
ーさせるもので、オーバーフロー用の凹部4を上辺に備
え且つ排出孔5を有している。但し、オーバーフロータ
イプ以外も十分採用可能である。メッキ処理槽1の外側
はケース6で囲繞され、オーバーフローしたメッキ液の
回収手段(図示せず)がこのケース6に設けである。メ
ッキ処理槽1及びケース6の上面は、後述するメッキ物
の搬送用通路を残して全体的に上張〔図示せず〕で覆わ
れて−る。
メッキ処理槽1及びケース6の入側〔第1図左側〕及び
出側〔第1図右側IKはメッキ物Tのサイズに見合う縦
方向のスリツ)8% 9.10.11が各々形成しであ
る。メッキ処理槽1内にはメッキ物7のパスライン12
に沿って「ガイドローラ群」が配置されている。メッキ
処理槽1の入側・出側の両スリット8.9の近辺には対
にしたガイドローラ13.14が配置され、特に出側の
ガイドローラ14には液の持出しを防ぐ機能が与えてあ
り、更にエアーナイフとなる一対のエアノズル15が付
設されて液の持出しを一層防ぐようにしである。対をな
すガイドローラ16の両側〔第1図中上下側〕には仕切
り板17が設けられ仕切り板17.17間の区域18.
19.20に後述するノズル3’、3bx3Cが各々位
置するようになる。前記のオーツ(−ブロー用の凹部4
と排出孔5はノズル3’%3bx3cの両側〔第1図左
右側〕に形成してあり、仕切り板17,17は区域1B
、19゜20内のメッキ液が隣の区域へ流れるよりもこ
の凹部4及び排出孔5の方向へ流れるように案内する機
能並びに区域1B、19,20内のメッキ液の攪拌が隣
の区域に於ける同様のメッキ液の攪拌に干渉しないよう
にする機能を持っている。伺51.52.53は他のア
ノードとしての溶解性アノードで、ノズル3’x 3b
s3Cの対向側で且つ各区域18.19.2G内にそれ
ぞれ配置してあり、メッキ物Tのノズルに対しての反対
面側をも積極的にメッキでとるようにしである。
残りのガイドローラ21は区域18,19.20内にあ
って、ノズル3as3bx3aと対向する位置でパスラ
イン12の向う側に設けてアルカ、ノズル3as 3b
、36のノズル開口22と対応する位置よりも若干左右
方向〔第1図〕でずれた位置に配置しである。このガイ
ドローラ21は高速でメッキ液流がメッキ物7に衝突す
る際、メッキ物7の他側にあってメッキ物Iを支持する
機能を備えて−る。
搬送手段2は、メッキ処理槽1の上方に張設したチェー
ンコンベア23と、絶縁性ペース24を介して一対吊下
げた挾持クリップ25とから構成されている。挟持クリ
ップ25はメッキ物Tを吊下げて垂直状態とするもので
、その移動ライン26には給電ブラシ27が設けてあり
、これら給電ブラシ27及び挾持クリップ25を介して
メッキ物Tは陰極化されるようにしである。搬送手段2
はメッキ物7を垂直状態のまま移動・位置決め自在とす
るもので、メッキ時その垂直面上でメッキ物7を上下、
左右又は円を描いて運動するようにしてもよい。
ノズル3は、複数〔図示の例では5個のノズル3as3
bs3C)設けられるもので、メッキ物パスライン12
の両側にそしてメッキ物7の移動方向で位置をずらして
対向配置され且つパスライン12に各々近接配置される
ものである。ノズル3’% 3bx 3cの形状、構造
は同一なので、以下ではノズル3aについてのみ説明す
ることにする。
ノズル3aは、第3図〜第5図で示すように、メッキ物
7の高さhに相応する高さを有し且つ適宜の広幅Wを有
するノズル開口22を備えている。このノズル開口22
Fi不溶性アノード部28で形成されしかもノズル開口
220間にも不溶性アノード部29が配置しである。ノ
ズル開口22を広幅Wのものにしたのはメッキ物7に対
するメッキ液の噴射面積を大とくすることによりメッキ
の処理効率を上げるためである。
そして広幅Wのノズル開口22に対応する面積内で均一
なメッキをメッキ物7に対して施すため、このノズル開
口22にはその両側に不溶性アノード部28がそして中
央に他の不溶性アノード部29が各々設けられ、電流分
布が不均一とならぬようにしているものである。不溶性
アノード部28.29のノズル開口22に於ける取付は
方及び配置の仕方は自由てあり、勿論図示の例に特定さ
れるものでもなく、要はノズル開口220面積に応じて
複数の不溶性アノードを設は電流分布を均一化できれば
よい。又、ノズル開口22&Ct1絶縁材30を配置し
、メッキ物7の端にメッキの厚く着くことを抑制するも
のである。
次に作用を説明する。
メッキ物T〔例えばプリント配線板〕の上辺な挾持クリ
ップ25で挾持してチェーンコンベア23を介し、即ち
搬送手段2を使用して、パスライ/12上でメッキ物1
を垂直状態のまま移動する。挟持クリップ25がその移
動ライン26に近接して設けた給電ブラシ27と接触す
ることによりメッキ物7は陰極化される。搬送手段2に
よる移動で、メッキ物7はメッキ処理槽1内のパスライ
/12上をガイドローラ群、即ち入側のガイドローラ1
3、仕切り板17近辺のガイドローラ16、ノズル3 
”% 3 bs3cに対応させて設けである支持ローラ
兼用のガイドローラ21、そして更に出側のガイドロー
ラ14等に案内されつつ入側より出側方向へと移動する
。そして、この移動の際、メッキ物Tは区域18.19
.20を順次移動するもので、各区域1B、19.2G
で、各々メッキされる。
ノズル3、具体的にF151mlのノズk 3a、 3
b。
3cにメッキ液が供給されるとそのノズル開口22より
メッキ液はパスライン12めがけて噴射されることにな
るが、このノズル開口22d広幅Wなので、広幅Wに応
じたメッキ液流Aがノズル3.3G% 3b、3cより
各々噴射されるものである。
ノズル開口22よりパスライン12めがけて噴射された
メッキ液はメッキ処理槽1の各区域18.19.20を
満たしついで凹部4よりオーバーフローするとともに排
出孔5よりメッキ処理槽1の外へ排出されてφく。
今、パスライン12上で、ノズル3aの前にメッキ物7
が位置する場合を想定すれば、メツキ物7全体は区域1
8内に満ちているメッキ液に浸漬した状態にあり、しか
もノズル31!Lよりメッキ液が噴射されることにより
ノズル開口22の広幅W1高さhのサイズに相応する形
状のメッキ液流人がメッキ物7のノズル開口22と対応
する部位に高速で衝突することとなる。ノズル3aはパ
スライン12に近接配置されているため、メッキ液流A
t1区域18内にメッキ液が、充満しているにも拘らず
激しい勢iでメッキ物7に衝突することとなる。そして
、メッキ物7に微小孔7aが多数段けである場合には、
広幅W1高ghのサイズのノズル開口22のサイズに応
じた断面形状の上記メッキ液流人が衝突することでその
衝突する部位、即ちノズル開口22と対応する部位、に
存在する全部の微小孔Ta内に第3図及び第6図で示す
如くメッキ液流人が入り込みメッキ物7の他側へ抜ける
〔矢示B参照〕。この時メッキ物7の表面でメッキ液は
激しく攪拌し、いわばメッキ物70表面に「動圧」が掛
けられた状態となり、他方メッキ物Tの他側〔ノズル3
aより見てパスライン12の向う側〕にあるメッキ液は
比較的静かな状態にあるのでメッキ液流人は矢示Bの如
く容易に微小孔7a内を他側へ抜けて流れる。メッキ物
Tがプリント配線板であれば、第6図で示すようにその
両面に銅箔31が貼着され、両面に貫通して形成しであ
る微小孔7aの内面には予め前工程で施こした無電解鋼
メッキ処理により無電解鋼メッキ層32が形成されてi
るので、メッキ液流Aの微小孔Ia内への流入により不
溶性アノード部2B、29からこの銅メッキ層32に均
一な電流分布で電流が流れ、メッキ液のアノードイオン
〔例えばメッキ液がCuSO4であれば、Cu〕が微小
孔Ta内の銅メツキ層32上に析出することとなる。
メッキ液fiAFi上述の如くメッキ物1に微小孔7a
があればその一部が矢示Bの如く微小孔7aを通り抜け
てゆくが、残りの部分は分流してメッキ物Tの面に沿っ
て流れるメッキ液NOとなって流れる。この「区間」で
はメッキ激流Cも相当激しい勢いで流れるのでそこでは
メッキ液の攪拌が大いに行なわれ、やはり「動圧」が掛
かつているのでこの「区間」に相当するメッキ、物7の
部位に他の微小孔7bがあれば先と同様にメッキ液流C
の一部がそこへ流入してゆき微小孔Tb内をメッキして
ゆくことになる。
次いで、メッキ液流Cは仕切り板17その他でガイドさ
れ隣りの区域19へ流れるよりもオーバーフロー用の凹
部4や排出孔5よりメッキ処理槽1の外へ流出してゆく
〔矢示D%E参照〕。
メッキ液がノズル3aより噴射されている間、メッキ物
1は停止していてもよく又、ゆっくり移動していてもよ
い。そして上記し九区域18に於けるのと同様のメッキ
処理が隣接する区域19.20で繰返してメッキ物7に
対し行なわれるものであり、しかもノズル3bはノズル
3’%3cK対して対向する逆側の位置にあるためメッ
キ物10両面メッキが、又メッキ物7に微小孔7a、7
bがあれば微小孔7axTb内に両側方向からのメッキ
が順次重ねて行なわれるこメッキ物7のこれらノズルに
対する反対側面にもメッキが積極的に着炒られるもので
ある。
次に第7図〜第9図に基づぎ他の実施例を説明する。こ
れらの各実施例はノズル3.3a。
3 b−30+7)/ スル開口22に於ける不溶性ア
ノード部28.29の形状、取付は位置等に変化を持た
せ、広幅Wのノズル開口22よりメッキ物7に対して噴
射されるメッキ液流人を介して、なるぺ〈広範囲のメッ
キ対象部位に均一なメッキが施せるようにしたものであ
る。即ち第7図(イ)、(ロ)に於いて不溶性アノード
部28は′ノズル3.31% 3b% 3cの前面に露
呈するアノード部34を一体的に備えてイオンの供給を
容易とし、第8図0)、←)に於いて不溶性アノード部
28.29はノズル3.3a% 3b%  3cの前面
より若干奥まった部位に配置されメッキ物7の端にメッ
キが厚く着かぬようにし、そして第9図0)、(ロ)に
於いて不溶性7ノード部35、36は先の各実施例がい
わば縦形のアノードを示していたのに対しいわば横形の
アノードとしてあり且つメッキ液流Aの噴射方向に対し
て両端が後退した円弧形状のものとしていわゆる「ドツ
グボーン現象」が生ぜぬようにしている。
その他の構成及び作用については先の実施例(第1図〜
第6図)と略同様につぎ重複説明を省略する。向、アノ
ード部28.29.34.35.36の形状及び縦形・
横形の構造等については自由に組合わせることかできる
第10図及び第11図扛更に他の実施例を示す図である
。この実施例に於いて、ノズル3.3 a s 3 b
s 3 ’はノズル開口22に配した不溶性アノード部
28.29に加えて溶解性アノード部37を備えている
。即ち、ノズル3a先端部の両側相当位置にアノード室
38が設けられ、アノード室38は開口39とこの開口
39に張設した網体40を介しノズル3a内のメッキ液
流出路41と連通されてりる。またアノード室38内に
は例えばチタン製のアノードケース42が挿入自在にし
てありアノードケース42内には溶解性アノード43が
収納自在にしである。鋼メッキの場合、溶解性アノード
43としてはボール状、チップ状、板状、棒状等の銅製
アノードがアノードケース42内に充填される。
この溶解性アノード43はメッキ処理に従い溶解して量
的に減少していくので適宜補充でとるようアノードケー
ス42には開閉蓋44が取付けてあり且つノズル3aの
上側板の一部45力;取外し自在にしである。ま九アノ
ードケース42は内部の溶解性アノード43が溶は出し
やすいように多数の通孔46を備え、支持−’−47を
介しアノード室38内でその上下に空間48を残すよう
にして位置決めされる。上下に空間48を設けたのはメ
ッキの際電気的にメッキ物Tの上下縁部へアノードイオ
ンが集まらないようにし均一なメッキを施せるようにす
るためなので、この機能が得られれば空間48に代えて
他の手段を採用することも十分可能である。爽にこのア
ノードケース42はその全体が例えばポリプロピレン製
のアノードバック49にて囲繞されるものである。この
アノ−トノ(ツク49は溶解性子ノード43のスラッジ
化、即ちメッキ物7の表面にスラッジが付着することを
防ぐためのものである。50tiエア抜との導管である
この実施例によれば、溶解性アノード部31、具体的に
は溶解性アノード43をイオン供給用或は電極として使
用することかでと不溶性アノ−)’152B、29との
併用によって、より一層効率のよいメッキ処理を行なう
ことができるものである。
閘、その他の作用・効果については先の実施例と略同様
につぎ重複説明を省略するものとする。
以上説明してとたよりに、本発明によれば、その構成を
、メッキ液をオー/(−70−させるメッキ処理槽内で
、搬送手段を介しメッキ物を垂直状態のまま移動自在且
つ陰極化自在とし、メッキ処理槽内のメッキ物)くスジ
4フ両側にメッキ物移動方向で位置をずらして対向させ
且つパスラインに各々近接配置し九複数のノズルよりメ
ッキ液を各々噴射自在とじ、これらノズルのノズル開口
を広幅のものにし且つノズル開口を不溶性アノードで形
成し、加えてこのノズル開口の間にも不溶性アノード部
を配置することとし、そして広幅のノズル開口と対応す
るメッキ物の部位に高速でメッキ液流を衝突せしめるこ
ととした丸め、メッキ物に対するメッキ処理を以下に列
挙するように効率良く行なうことができる。
即ち、(イ) メッキ物が微小孔を有しておればその微
小孔の内面をも効率よくメッキでと、(ロ)複数のノズ
ルをメッキ物パスラインの両側でメッキ物の移動方向に
位置をずらして対向させたので、メッキ物の両11面に
そして微小孔があればその両側開孔より微小孔の内面に
、順次且つ交互にメッキを施こすことができて、均一厚
のメッキ層を確実に析出でき、又メッキが微小孔の両側
開孔部分にのみ厚く着くということが防止でき、 e→ 噴射されたメッキ液流の衝突する部位に複数の微
小孔があればこれらを同時にメッキ処理でき、 に) しかも、パスラインに近接配置されたノズルは、
ノズル開口が広幅で複数の不溶性7ノード部がこのノズ
ル開口に設けであるために、広幅に応じたメッキ面積内
で均一な電流分布によって均一なメッキを施すことかで
き、(ホ)溶解性アノード部を更にノズルへ設ければ、
この溶解性アノード部をイオン供給用、電極用にと使用
することができ、先の不溶性アノード部との併用により
、極めて効率のよいメッキ処理をメッキ物に対し施すこ
とができ、(へ)更にノズルの対向側に当るメッキ処理
槽内の部位に他のアノードを配置しておけば、メッキ物
のノズル対向反対側面にもメッキを積極的に施す÷こと
ができるとりう多くの効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係かるメッキ装置の一実施例を示す上
蓋を外した概略平面図、 第2図はその要部の拡大斜視図、 第゛3図はノズルを破断して示す同じく要部の拡大平面
図、 第4図は第5図中の矢示iv−■線に沿う断面図、 第5図はノズル先端の分解・組立斜視図、第6図はメッ
キ物の微小孔内へ流入するメッキ液流の拡大説明図、 第7図0)、←)及び第8図(イ)、(ロ)は他の実施
例としてのノズルを各々示す横断面図及びノズル開口の
正面図、 第9図0)、←)は他の実施例としてのノズルを示す斜
視図及び第9図0)中の矢示(ロ)−(ロ)線に沿う断
面図、 第10図は更に他の実施例を示す第5図相当のノズルの
断面図、そして 。 第11図は第10図中の矢示型−X[#[沿う溶解性ア
ノード部の部分断面図である。 1      ・・・ メッキ処理槽 2      ・・・ 搬送手段 3.3a% 31)% 3e ・・・  ノズルT  
    ・・・ メッキ物 yas7b    ・・・ 微小孔 12       ・・・ メッキ物の/ζスライン1
B、19.20  ・・・区域 22       ・・・ ノズル開口27     
  ・・・ 給電ブラシ37       ・・・ 溶
解性アノード部3B       ・・・ アノード室
42       ・・・ アノードケース43   
    ・・・ 溶解性アノード51.52.53  
 ・・・ 他のアノードA      ・・・ 衝突す
るメッキ液流W      ・・・ ノズル開口の広1
h      ・・・ ノズル開口の高さ第5図 T 第6図 第 7 図(() 第 8 図(イ)    第 第 8 図(tT) 2第 第10図 手続補正書(自発) 18111574911日 特許庁長官 若 杉 和 夫 殿 を事件の表示 昭和56年特許原第99171号 2発110名称 メッキ装置 1@正をする者 事件との関係  特許出願人 住 所 東京都中央区日本橋茅場町2丁目6番6号名 
 称  日本エレタトロプレイティング・エンジニャー
ス株式会社代表者 1)中 淳一部 4代 理 人 〒105 住 所 東京都港区虎ノ門2丁I17番9号第1岡名ビ
ル (電話501−8768 )氏名(6720)弁理
士高月 猛 翫補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄及び図面亀補正の内
容 l) 明細書の第2頁第4行目に、「特はプリント配線
板」とあるを、r411にプリント配線板」と補正する
。 2)明細書の第14頁蕗2行目に、「他のアノード51
.52Jとあるを、「他のアノード7添付書類の目― 図iiiτ    1ml

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)  メッキ処理槽内で、搬送手段を介しメッキ物
    を垂直状態のまま移動自在且つ陰極化自在とし、メッキ
    処理槽内のメッキ物パスライン両側にメッキ物移動方向
    で位置をずらして対向させ且つパスラインに各々近接配
    置した複数のノズルよりメッキ液を各々噴射自在とし、
    そしてメッキ物のノズル開口と対応する部位に高速でメ
    ッキ液流を衝突せしめるメッキ装置に於いて、 上記ノズル開口は広幅を有し不溶性アノード部で形成さ
    れ且つそのノズル開口の間にも不溶性アノードが配置し
    であることを特徴とするメッキ装置。 (2)  ノズルは、溶解性アノード部を、備えている
    特許請求の範囲第1項記載のメッキ装置。 (8)  メッキ処理槽内のノズルの対向側には他のア
    ノードが配しである特許請求の範囲第1項又は第2項記
    載のメッキ装置。
JP9917181A 1981-06-26 1981-06-26 メツキ装置 Granted JPS5816090A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9917181A JPS5816090A (ja) 1981-06-26 1981-06-26 メツキ装置

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JP9917181A JPS5816090A (ja) 1981-06-26 1981-06-26 メツキ装置

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JPS5816090A true JPS5816090A (ja) 1983-01-29
JPS639036B2 JPS639036B2 (ja) 1988-02-25

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ID=14240197

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JP9917181A Granted JPS5816090A (ja) 1981-06-26 1981-06-26 メツキ装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04284691A (ja) * 1991-03-13 1992-10-09 Arumetsukusu:Kk プリント配線板の電気めっき方法

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Publication number Publication date
JPS639036B2 (ja) 1988-02-25

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