JPS586998A - 平担な平面加工物の高速めつき装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は一般的には連続めっき装置における全体的に平
坦な平面加工物のめつきに関し、より詳細にはモルレー
ルから吊下げられた印刷回路基板の高速めつきに関する
。この場合、基板はそれぞれの平面に沿って運ばれ電解
めっき槽を含む機械の中におけるいくつかの個別処理工
程を通って移動する。この処理工程は従来装置では得ら
れなかった特徴５を有する改良電解めっき槽を用いて行
なわれるものであり、すなわち基板が下方に移動して電
解液表面下に沈められ比較的高い電流密度で且つ比較的
高速でメッキが行なわれる。

本発明の１つの目的は電解液の中にラックな浸漬するこ
とができ且つ対立する不溶性電極グリルの間に画成され
る径路に沼ってランクを移動させるためのモルレールか
ら吊下ったフレームすなわちラックの中に回路基板が取
付けられている電解めっき装置を提供することにある。

この不溶性電極グリルは被めっき陽極金属がめつき中の
陰極加工物に相対する１つの電圧に置かれるような構造
になっている。また回路基板がこのように取付けらねる
ことによって不溶性電極グリルを異なる電位に保持し以
って電解セルのめつき特性を向上させるのである。

本発明の別の目的は電解液を圧力マニホルド′を通して
連続的に循環させろ改良された電解めっき装置を提供す
ることにある。電解液は加工物である回路基板が電解め
っき槽の一端から他端に連続的に移動する時に電解液を
所望する程度に攪拌するためにかなり高い圧力と流速で
もって液内ノズルから被めっき回路基板の表面に向けて
吹きつけられるのである。

本発明のさらに別の目的は前述の特性を合成し前述の１
つまたはそれ以上の目的な実施するにあたり以下のこと
が要求される。すなわち本発明に係る電解めっき装置は
個別の全体的に平坦な平面加工物が径路に沿って移動す
るためにその中に吊下っているランクを移送するに適し
た頭上モルレールを含む。この径路に浴って回路基板の
生産ラインのいくつかの個別工程が与えられている。

またこの径路は受は器の中に画成された水平直線部分を
含んでおり、この受は器は電解液を受容するためのもの
である。そしてこの電解液を通って加工物が取付けられ
たランクが対立する不溶性電極グリルの間を移動する。

圧力マニホルドが電解めっき槽の底に配設されている。

直立ノズルを画成しているタワーは上記の不溶性電極グ
リルの直ぐ背後から電解液を吹き出し℃槽の中を下流に
移動中の回路基板に連続的に当っている。被めっき　　
　　　　　　□ｉパ′金属は圧力マニホルドノズルを画
成しているタワーの背後にある受は器に収納されている
。また加工物ランクと陽極バスケットは整流器等の一次
電源に接続している。加工物ランクと両側の不溶性陽極
グリルは二次電源すなわ、ち補助電源に接続してお幻、
これによね２つの整流器の出力を互（・に独立させて変
化せしめて以ってこれらの加工物の移動径路に沿って最
適職密度を達成−するのである。

また排出マニホルドが電解液を収容している受は器すな
わち槽のへりに沼って配設されており且つ被めっき金属
を収容している陽極）（スケットの背後に位置して槽外
にあるポンプに電解液を返還させるようにしている。こ
のポンプは電解液を圧力マニホルド及び上、記のノズル
画成タワーに古ひ送るものである。各電極グリルは加工
物である回路基板の表面から２．５４乃至７．６２ｃｍ
離れて配置することが好ましく、また電解液をグリルを
通して加工物に吹きつけるためのノズルは不浴性寛物グ
リルから２．５４ｃｒｒＬ以内の位置にあることが好ま
い％。またこのノズルは電解めつぎ槽を移動中の加工物
）両側に開口グリルを通して電解液を吹きつげる働きを
持つ。加工物は前述の様に個々のランクの中に支持され
、また各ランクはトロリーに振子状に支えられている。

このトロリーは電解めっき装置全体にわたって回路基板
をある箇所から別の箇所に移送するためにモルレールに
洛って移動する。

各ランクは上記の様に振子状に支えられつつ電解めっき
槽に向つ℃下方に下降して電解液中に浸漬する。そして
モノノールの電解めっき槽の直上の部分に係合している
平行世線バーがトロリーに配設されているシューにかみ
合い、これによりランクが電解めつき槽中を移動してい
る時２つの整流器と加工物との間に２つの異なる電気接
続を与えるようにしている。

印刷回路基板の製造現場では少なくとも１つ以上のめつ
き工程１時には数個のめつき工程を用（・るのが一般的
である。そし℃各めっき工程はそれぞれ解決すべき問題
を持っている。斯かる基板はエポキシもしくは他のフリ
スチンク等の絶縁材料の支持体すなわちコアーを含む。

銅クラツドの１つ又はそれ以上の薄銅シートが支持体の
少なくと′　も表面に適用され、そして所望回路）くタ
ーンによつて定められる所定の位置に穴が穿孔される。

これらの穴は後に加えられる部品に電気的接続を与える
か、もしくは単に基板の銅層を接続する作用を有する。

本発明に係る装置は斯かる穴に銅を回路基板の露出した
銅層の所定表面部分にめっきされた銅の厚さに少なくと
もほぼ等しい厚みにめっきする能力を主目的の１つとし
て有する。

技術的背景を述べるには回路基板製造技術を簡単に論す
るのが適切である。以下の一連の工程又は副工程を用い
ると上記の型式の基板上に特定の設計を有する所定回路
パターンを作ることができる。すｔわち 一般的には銅を適切に処理して酸化物等を除去した後、
露出している銅層上にフォトレジスト材を塗布する工程
。

フォトレジスト層の上にマスクを置いて除去したい銅層
の部分だけ露出させ、これにより最終的に特定の回路パ
ターンを画成する領域を保護する工程。

マスクしない部分に通常は紫外領域にある光を当ててこ
の部分を硬化せしめる工程、 フォトレジスト層を現像して上記の硬化した部分を定着
し且つ光に露出しなかった領域を除去する工程。

現像工程中に露出してないフォトレジスト材が除去され
たためにフォトレジストが失なわれたボードの薄銅層上
に銅を電解めっきする工程。

銅めっきしたこれらの部分にはんだめっきを施こして後
に基板に加えられる部品と電気的に接続できる能力を向
上する工程。

硬化して現像されたフォトレジストをはがす工程。

フォトレジストをはがした部分の下の銅をエンチックに
よって除去して遍在適所に必要な厚みの銅とはんだめっ
き層を有する所望回路パターンを得る工程 を含む一連の工程である。

本発明に係る装置は銅めつき工程又は副工程に　　　　
　　、゛・、１関する。そして第１３図のＷに示すよう
に個々の゛基板をより大きな基板すなわち加工物の上に
配設することができる。互いに同等かもしくはそうでな
い数枚の回路基板Ｂは一枚の加工物Ｗの上に画成されて
おち、且つこれらの基板は未処理の状態で電解めっき槽
の中に置かれるのが一般的である。

ここで未処理とは、すなわち現像されたフォトレジスト
で保護されており、またゆずき工程及び／又は酸浴、工
程で以って適当に処理して電解めっきに備えた状態をい
う。本発明は詳細に斯かる回路基板処理装置における銅
の電解めっきに関する。

斯かる槽の片半分を第１図及び第６図の符号１２に全体
的に示す。これらの第１図の平面図と第６図の側面図に
は斯かる槽の上流端部のみが示されているが、下流端部
は上流端部と実質的に鏡像関係にある。

第６図について説明する。頭上モノレール１０は第１６
図のＷＫよく示されるような加工物を移送するようにな
っている。各加工物は以下に説明するトロリーから支柱
１４ａによって吊下っている全体的に四角形の開口フレ
ームの中に保持されている。斯かる加工物の各ラック１
４は上流の酸吹キつけ部（図示せず）からモノレール１
０ａの傾斜部へ移動する。この傾斜部によってラックが
第″３図の符号１８によって全体的に示される径路ＫＧ
つて下降し、これによりランクと加工物Ｗが電解液Ｅに
浸漬され且つ槽１２中に画成された。

さらに詳しくは槽の縦方向中心線に泪って画成された径
路に沿って移動する。

圧力マニホルドパイプ２０が第１図によく示すように檜
の中央に且つ槽底に隣接した部分に配設されている。各
ラック１４．さらに詳しくは支柱部１４ａはトロリー１
６に振子状に支えられている。このような状態で支えら
れることによりラック１４と関連の加工物Ｗは槽１２の
縦方向に且つそれ自体の平面に油って移動する。電解め
っき装置は第２図に示すようにＡＵＸとＰの標示な有す
る整流器の形を取る少なくとも２つの電源を含む。

１次整流器Ｐは被めっき金属めっきと加工物自体を接続
する働きを持つ。ペレットは第１図及び第６図の符号２
２に全体的に示される容貌中に備えられる。加工物自体
はトロリー１６に係合したシューと以下に説明する縦方
向に延伸した母線バー２４を経由して上記の２つの整流
器に接続している。これらの母線バーは第２図の縦方向
に延伸している線２４ａ及び２４ｂによって代表される
。

−次整流器Ｐの正極端子は縦方向延伸母線バー２６に電
気的に接続している。母線バー２６は第２図にも略示さ
れている。また母線バー２６は第１図と第４図によく示
すように陽極バスケット２２に対する物”埋的支持体を
含む。

さらに詳しく説明すると、斯かる縦方向延伸母線バー２
６の各々は第４図によく示されるように垂直柱２８の上
に支えられている。この柱２８は述部２８ａによって槽
１２内に支持されている。

さらに柱２８は第４図の符号６０によって全体的に示さ
れるように槽の側部に結合された上部を有する。陽極ベ
レット容器２２は電気は導通するがセル内の電解作用を
干渉しない機能を有する不活性材料から構成される。こ
れらのバスケットは第４図の符号６２でよく示される金
属フックによって母！バー２６に支えられており、且つ
母線バー２６に直接、接続しているため整流器Ｐとバス
ケント２２中の陽極ペレットとの間に電気接続を与えて
いる。

本発明によると、不溶性電極手段が槽１２内に配設され
且つさらに詳細には前記の状態で槽の中を移動中の加工
物及び係合シックによって取られる径路に密接な関係で
配置している。各不溶性電極手段は一連の相互接続グリ
ルを含むのが好ましい。各グリルは第８図に詳細に示し
たようなプラスチゾル被覆四角形フレームを有し、各フ
レームは複数の縦方向に間隔をあけた垂直延伸ロンド４
゜を有している。これらのロンドは鉛材料もしくは同等
の材料で被覆するのが好ましい。その目的はセル中で導
通性を持たせるためと、加工物の径路に隣接した部分Ｋ
Ｑける電解作用を向上するためと、さらに詳細には本明
細書に開示された改良された高速電解めっき装置の成果
として得られる槽内高電流密夏を達成させるためにある
。　　　　　　　　　　　　：・、・第２図についても
う一度説明する◎第２図には不溶性電極グリルが縦方向
延伸線６４によって全体的に示されている。この線６４
は線５４ａを経由して補助整流器の一方の端子に接続し
ている。

第２図に示す補助整流器の他方の端子はモルレールトロ
リーと加工物Ｗを支持するためのラック構造体１４と係
合している母線バー２４ａの一方に電気的に接続してい
る。′ここで注目すべきことは他方の母線バー２４ｂが
前述のように整流器Ｐをラック１４と加工物Ｗに接続し
ていることである。

かくしてトロリー１６に係合している各母線バー２４ａ
及び２４ｂは整流器ＡＵＸ及びＰの１つから付勢される
ようになっている。第２図に略示するようにこれらの接
続は互いに独立している。これらの整流器の負極端子は
両方とも共通の電位に置かれているが、２つの互いに独
立して制御可能な整流器な用いることによってまたそれ
らの正極端子は異なる電圧を持つこ・とができるという
事実によってセル内のそれぞれの電解回路に印加される
電圧を独立に制御することができる。このようにして従
来は一般的に不可能であった制御度が可能となり、また
加工物の運動径路のそばに不溶性電極手段を置くことに
よって電解液中の電界を非常に高精度に制御して加工物
の連続運動径路に沿う電流密度を最適化することができ
且つ最短時間で所定厚さにめっきを施こすことができる
。

本装置の電解めっき特性をさらに向上させるために加工
物径路の領域の電解液を攪拌するための手段が配設され
ている。そしてこの手段は第６図によく示されるように
加工物の表面に直接、電解液を吹きつけるような形状を
取ることが好ましい。

縦方向延伸圧力マニホルドパイプ２０は第６図において
垂直方向延伸ノズル画成タワー６６を有する状態で示さ
れている。各タワー３０は第５図によく示されるように
ニンプル６８によって圧力マニホルド２０に直接、接続
されている。ポンプ手段（図示せず）によって加圧電解
液を毎分４．５４Ｋｌの速度で圧力マニホルドパイプ２
０の入口端部２０Ｈに供給する。７２本の斯かるノズル
画成パイプすなわたタワー６６がマニホルド２０に配設
されている。また各パイプは第６図に示すように配置し
ている５４個のノズル開口を有している。この構成によ
って中央列の開口部が被めっき表面に垂直に電解液を吹
きつけるようになっている。またコンパニオンノズル開
口部が上記の垂直方向吹出しに対して略４５度の角・度
に配置しており、且つその加工物表面に対する傾斜角度
がタワー６６に隣接したこれらの傾斜ノズル開口部がタ
ワー３６が吹きつげる加工物Ｗの部分と同じ部分に吹き
つけてこめ領域に乱流反応をもたらすような角度になっ
ている。そしてこの乱流反応によって金属イオンの析出
を促進して以って電解めっき工程の全効率を向上するも
のである。この構成配置によると１６１４．６アンペア
／ｍ２の電流密度が可能である。

そしてここで注目されることは第６図のように７ズル開
口部から放出される電解液は前述の不溶性１場極グリル
部の垂直延伸ワンド４００間を通って吹き出されること
である。

不溶性陽極４０の開口四角形フレームは第６図の符号４
２によって全体的に示される。モしてさ／ らに詳細に説明するとこの四角形フレーム′の水平延伸
辺がロンド４０の端部を支えており、且つこ垂直延伸フ
レーム足部４４によって支えられている。電極ロンド４
０をこのように支えるための四角形フレームの各垂直延
伸部４４はプラスチゾル被覆ブラケット４６が溶接され
ていれブラケット４６は水平延伸プラスチック部材４８
が第１図及び第６図によく示されるように不溶性電極フ
レームを図示位置に支持することができるような切れ込
み下端部４６ａを有し℃いる。部材４８は塩化ポリビこ
−ル（ＰＶＣ）等の壬意の不活性プラスチックで構成し
てもよい。そしてこのプラスチック材料はかなり重いフ
レーム４２．４４を上述のように支えるために第６図に
示すようにＰＶＣニンプルに適宜に溶接できるものであ
ることが必要となる。

４不溶性電極フレームの上部は第１図によく示されるよ
うに水平延伸母線バーランナー５ｏによりて支えられて
いる。とのランナー５ｏはその内方　　　　　　　ｒ゛
端を符号４４によって全体的に示される垂直フレーム片
の上部に連通せしめている。またランナー５０は槽−１
２の上部ヘリに配設されている母線バー５２に連通して
いる。縦方向延伸母線バー５２は第２図によく１．示さ
れるように補助整流器の正極端子に直接、接続されてい
るために不溶性陽極グリルと同じ電位に置かれる。

本装置には電解液を圧力マニホルド２０の入口端部２０
ａに移送するための手段が配設されている。そしてこの
移送手段は前述のポンプ手段を含むだけでなく、四角形
槽１２の下部縦方向延伸角部に隣接して配設されている
縦方向延伸返還導管５４の形状を有する返還マニホルド
手段を含むことが好ましい。これらの導管はポンプ手段
（図示せず）に連通して圧力マニホルド２０に連続的電
解液源を与えている出力端５４ａを有している。

各返還導管５４はその下端部を返還マニホルド導管５４
に連通せしめている直立バイブ５６を有している。そし
てこのパイプ５６は陽極容器２２の直ぐ背後の領域の電
解液を収容するのに適当な開口部を有する。このように
電解液を収容することによって局部的に濃度が集中した
銅イオンを含有する電解液を除去して陽極金属の周辺に
銅イオンが局部的に集中しないようにしている。除去し
た電解液はポンプに返還され再びマニホルド圧力手段２
０に送られる。かくして、銅イオンに富む電解液を前述
のノズルから効率的に吹き出させて被めっき加工物表面
にあてることができる。

しかしここで注目すべきことはこれらの垂直方向排出チ
ューブ５６と水平方向延伸母線バー２６との間には十分
な間隔があるため陽極が入っているバスケット２２を取
外したり交換することが簡単であることである。本装置
にはこの装置を長期間使用した後の槽１２内の電解液を
冷却するため手段が配設されることが好ましい。そして
この冷却手段は排出チューブ５６と陽極バスケット２２
との間の領域の下部に配置される熱交換器（図示せず）
の形を取ることが望ましい。これらの熱交換器によって
電解液自体から発生する過大な熱を除去するために水道
の冷水が循環する。さらに、且つ従来の貫習によって、
ヒーターを槽１２の上流端部及び下流端部、すなわち第
１図の符号５８で全体的に示す領域に配設して初期の開
始作用の際、槽１２内の電解液を電気的に加熱してもよ
い。

このように加熱することにより電解液の温度を２１．１
℃乃至４３．６℃の範囲にもたらすものである（この温
度範囲は一般的に硫酸銅浴の望ましい使用範囲である）
。

次に加工物Ｗが取付けられている全体的に開口している
四角形フレーム１４を振子状に支持するためのトロリー
１６についてさらに詳細に説明する。第９図に固定モル
レールチャンネル１０を示す。チャンネル１０は任意の
フレームワーク（図示せず）に支えられるようになって
いる。またこのモルレールは本明細書に記載の型式の電
解めっき装置を含む典型的な装置の中のある処理工程部
から別の処理工程部に移動中の加工物及びラックが取る
径路を画成するようになっている。

電解めつき槽１２の中を移動中の加工物が取る径路を画
成しているモルレール１０の特定の部分に沼って２つの
縦方向延伸母線バー２４２及び２４ｂを配設させること
が好ましい。なお各母線バーはブラケット６０によって
モルレール１０に直接支えられている。第１図に斯かる
ブラケット６０を示す。しかしここで明らかなことは図
示の如く縦方向延伸母線バー２４ａ、２４ｂを支えるた
めに他のブラケットが必然的に必要となるといりことで
ある。これらの母線バー２４ａ及び２４ｂは槽１２がめ
っきを行なう部分、すなわち第６図に示すように槽１２
の直上部の直線走行部にのみ要求されるため、漏斗２４
ｃを各母線バー２４ａ及び２４ｂの上流端に配設してト
ロリー１６のシューを第９図に示すようにこれらの母線
バーの千ヤンネル形状内面中に導くことが好ましい。

第１２図に示すようにモノノール１０は複数のローラー
６２を有する一種のローラーチェーンである。ローラー
６２はチェーンを任意の位置から駆動してローラーとチ
ェーンリンクを連続的に動かしランクをトロリーに洛っ
て進ませることかできるようにリンク６４（・１個のみ
図示）によって　　　　　　　　、、１．１互いに連結
されている。垂下リンク６６は第１２図に示すように隣
接のローラー６２の軸の上端部に支えられており、また
クロスリンク６８はこれらの垂下リンクに枢支接続され
ている。ラック１４゜すなわちさらに詳細にはその支柱
部１４ａはただ１本のボルト７０によってクロスリンク
６８に枢支状に支持されているためラックの支柱１１ａ
は常に全体的に垂直な配向を行ない、これにより回路基
板を所定の配向に保持し且つ槽１２内での垂直運動平面
を確保することができる。これはトロリーとモルレール
１０の内部に配設された２つの隣接シたローラーチェー
ンのローラーを上記のように連結することによって達成
されるのである。

トロリー１６の先行端部にＵ字ブラケント７２が直接、
クロスリンク６８に取付けられている。

またブラケット７２はブロック７４ａ及び７４ｂを備え
た直立達部７２ａ及び７２ｂを有している。

このブロックの中には垂直に配向したビン７６が配設さ
れ第１０図に示すようにレノ（−アーム７８を枢支状に
支えている。これらのレノ【−アーム７８はモルレール
から離れるように外方に付勢されるべくバネ偏倚されて
いる。期かろ）くネは第１０図及び第１１図の符号８０
で全体的に示されている。

２つの斯かるバネが各レバーアーム７８に配設され、ア
ーム７８の外方端に配設された電気ピンクアンプシュー
を付勢して固定母線バー２４ａ及び２４ｂに係合せしめ
る作用を果している。斯かるシューの各々はシューと前
述の固定母線バーの凹所との係合度を高めるために内部
バネ８４をさらに含む。電気接続リード線８６はランク
とランクに係合した加工物Ｗを第２図の説明で述べたよ
うに整流器ＡＵＸ及びＸに連続的に結合するために各シ
ュー８６とラック１４の支柱部１４ａとを電気的に接続
する作用をなす。

各ラック１４は第１６図に示すように全体的に開口状の
四角形フレームを含む。そして複数のプラスチゾル被覆
金属クリップ１５がフレームの内側に取付けられている
。これは印刷回路基板Ｗを弾性的に支持するためであり
且つ基板の周辺の複数の位置のヘリと電気的に接続して
加工物Ｗの所望の電位を保持し且つ電解液槽で画成され
た電解セルの状態を最適化するためである。フレーム１
４の下部先行端にプラスチック支柱９２の下端に取付け
られた小ローラー９ｏが配設されている。支柱９２は符
号９４で全体的に示されるプラスチックボルトによって
フレームに取付けられている。

このローラー９０によって槽に向って降下中のランク１
４が電解液Ｅの反動及び槽１２の中に入って電解液Ｅに
係合してわずかに停止したラックと加工物Ｗの前進モー
メントによって傾むいてもローラー９０が圧力マニホル
ド２０の上面に係合するような適当な位置を確保できる
ようになっている。−担ローラー９０が圧力マニホルド
２０の上面に係合すると、ラック１４は槽内に画成され
た径路に沿い且つ不溶性陽極と前記の圧力７ニホルドタ
ワーとの間を通って進むような水す位置を必然的に取る
のである。

第５図に示すように、ラック１４は符号９６で全体的に
示すようにフレーム１４の最下端レール１４ｂｌＣ沿っ
て配設された全体的にＵ字形のブラスチンフカイドを含
んでいてもよい。これはフレームがプラスチゾル被覆フ
レーム４２により℃画成された不溶性陽極グリムの下部
の間に導かれるようにするためである。これらの不溶性
陽極、さらに詳細にはその下部が電解めつき槽内に画成
された径路に沿って移動するランクのために適当なガイ
ドな画成していることは本発明の１つの特徴である。こ
のＵ字形プラスチックガイド部は第１４図にも図示され
ている。そしてここで明らかなことは、従動ローラー９
０及びプラスチックガイド９６が第５図に示すようにフ
レーム１４を陽極ロッド４０間に正確に位置づけている
ことである。

この構成配置によって、タワー６６の傾斜ノズルから吹
出されて加工物Ｗの両側面にあたる電解液が第６図に示
すような液流を確実に達成できることは前記の通りであ
る。タワー６６のノズル開口部から吹出される電解液の
流速は毎分約５０．８ｍであり、またその液圧は約０．
２１乃至０．５　Ｆ＃／ｉであることか好ましい。各ノ
ズル開口部の直径は約０．１５にである。　　　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　バ、、。

これらの７′スズル成タワーは加工物Ｗの両側に互い違
いに配置している。このように配置すると加工物のスル
ーホールのめっき効果が向上する。

それは全てのノズルから垂直方向に出た電解液が対向す
るノズルから傾斜して吹き出された電解液の作用線とぶ
つかるためである。

【図面の簡単な説明】

第１図は下流部すなわち片半分が図示された部分と同等
でしかも鏡像関係にある電解めっき槽の上流端の平面図
、第２図は不溶性電極グリルと被めっき金属を収容して
いる陽極バスケントを加工物ランクを付勢する母線バー
に対して付勢するのに用いられる２つの整流器に対する
電気的接続を示す略電気回路図、第３図は第１図の電解
めつき槽内に配置している種々のニレメントラ示す第１
図の線３−５についての垂直断面図、第４図は第１図の
線４−４についての垂直断面図、第５図は第４図に示す
圧力マニホルドのさらに詳細な垂直断面図であるととも
にめっき中のラックと加工物の一部分を示す図、第６図
は第５図の線６−６についての水平断面図、第７図は第
６図の線７−７についての断面図、第８図は第１図の電
解めっき槽内の８個のユニットの１つである不溶性陽極
グリルの側車面図、第９図は第６図の線９−９について
の第６図よりも縮尺の大きい垂直断面図、第１０図は第
９図のトロリーを母線バーとモルレールの一部分をトロ
リーとその電気シューの詳細を露出して示すために切欠
いた状態で示す平面図。 第１１図は第９図と第１０図に示すトロリーの側車面図
、第１２図は第１０図の線１２−１２についての垂直断
面図、第１３図はただ１枚の学−加工物基板に年収され
た複数の印刷回路基板を含むただ１枚の加工物を取扱う
のに適当な１つのラックの倒立面図、第１４図は第１６
図のランクの端面図。 １２・・・・・・受は器　　１４・・・・・・ランク１
６・・・・・・移送手段　　　　１８・・・・・・径　
　路２０・・・・・・圧力マニホルド手段 ２２・・・・・・被めっき金属支持手段２４ａ、２４ｂ
・・・・・・接続手段 ６６・・・・・・ノズル画成タワー Ｗ・・・・・・・・・・・・加工物　　Ｐ・・・・・・
−次電源ＡＵＸ・・・・・・補助電源　　　Ｅ・・・・
・・電解　液。 ＦＩＧ、　　ＩＩ Ｆｌ（１１２

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）加工物の片面もしくは両面に小さな開口を持ち得
   る全体的に平坦な平面加工物を電解めっきするための装
   置において。 各加工物を全体的に垂直な平面内に支持するラック： 各ランクを径路であつ℃その一部分が上記の様にそのラ
   ックに支持された加工物の平面内にある径路に削って移
   動させるための移送手段；上記ラックが上記径路の上記
   部分に沿って移動する際に通り抜ける電解液を収容する
   ための受は器を画成している手段： 上記受は器の底部に配設された圧力マニホルド手段； 上記マニホルド手段に加圧電解液を供給する手段； 少なくとも２つの縦方向延伸列状に配設された複数のノ
   ズル画成タワーであって、上記タワーは上記マニホルド
   手段から上方に突出し且つノズルが上記受は器内の上記
   加工物の上記径路の部分に向けられ、上記タワー間を移
   動中の加工物の′両面に電解液を吹きつけるようになっ
   ているノズル画成タワー； 電源： 上記ラックを上記電源の一方の端子に接続するための手
   段：及び 上記受は器内の被めっき金属を支持するための手段であ
   つ℃、上記金属支持手段が上記電源の他方の端子に接続
   されている手段： を含み上記マニホルド手段に電解液を供給する上記手段
   がボップ手段と電解液を再循環させ且つ上記タワー内の
   上記ノズルに所望の電解液圧及び流速を供給するだめの
   上記受は器内の返還マニホルド手段を含むことを特徴と
   する装置。 （２）前記の被めっき金属を支持するだめの手段がペレ
   ット状の被めっき金属を収容するようにした２つの縦方
   向延伸列の容器を含み、且つ上記容器列が前記タワーの
   列のそれぞれの背後に配向されてそのために上記容器で
   生成する金属イオンが前記タワー間を移動して前記ラン
   ク内の加工物に到達することを特徴とする特許請求の範
   囲第１項記載の装置。 （３）前記ラック移送手段がモルレール１０及び上記モ
   ルレールに各ラックを支持させるためのトロリー１６を
   含み、上記モルレールが前記ラックを上記トロリーに振
   子状に支持させることによって前記径路部分を前記ノズ
   ルタワー間に画成していることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項記載の装置。 （４）各ラックが加工物の平面と同じ平面内に配向され
   たフレーム１４を含み且つ加工物のヘリに係合すること
   によって平面加工物を支持するための手段１５を有する
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の装置。 （５）各トロリーが前記ラック用振子状支持体から側面
   方向に且つ外方に突出し℃いる少なくとも１つの電気ピ
   ックアップシュー８２を含み、且つ前記ラックを前記電
   源の一方の端子に接続するための手段が前記モルレール
   部分に支えられている少なくとも１つの母線バー２４８
   を含み、また上記の１つの電気ピックアップシューが前
   記トロリーの前記モルレール部分に沿う移動期間中に上
   記の１つの母線バーと保合可能であることを特徴とする
   特許請求の範囲第６項記載の装置。 （６）前記モルレールが前記ランクを前記タワー間に移
   動させるための直線状径路部分の上流端と下流端にそれ
   ぞれ下方に傾斜した部分１０ａと上方に傾斜した部分値
   し、上記傾斜部分が前記ラックを前記トロリーに振子状
   に支えながら、前記受は器内に降下させまた前記受は器
   から上昇させるように作用していることを特徴とする特
   許請求の範囲第６項記載の装置。 （７）前記圧力マニホルド手段が前記受は器の縦方向中
   心線に配置された導管２０を含み、前記タワーが直立パ
   イプであってその下端部が上記導管と直　　　　　、１
   １１、接連通して上記パイプ間に前記ラックを受容する
   ための間隔を画成する直立パイプを含み、且つ少なくと
   も前記ラックの下端部をその中間に受容するためのラッ
   ク案内レール４２が上記パイプに取付けられこれにより
   ラックが前記ノズル画成タワーすなわちパイプの間の前
   記径路の前記部分に削って移動する期間中ラックを案内
   することを特徴とする特許請求の範囲第６項記載の装置
   。 （８）前記ラックの各々がラックが前記ノズル画成タワ
   ーすなわちパイプ間を移動期間中に横揺れが起きないよ
   うに前記圧力マニホルド導管の上面に係合するためのガ
   イドローラー９０をその下端部の先行端部に配設してい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第７項記載の装置。 （９）前記ノズルが前記パイプの側面開口部によって画
   成され、上記開口部が各パイプに垂直方向に間隔をあけ
   た直線状に配置していることを特徴とする特許請求の範
   囲第７項記載の装置。 （１０）各パイプの前記ノズル開口部が複数の垂直方向
   に間隔をあけたパターンに配置され、１つの開口列が前
   記垂直平面内の加工物表面に対して垂直に電解液を向け
   るように配向され、且つ他方の開口列が前記加工物表面
   に対して鋭角に電解液を向けるように配向されているこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第９項記載の装置。 （１１）前記ノズル画成パイプが前記列に水平方向に間
   隔をあけて配置され、且つ前記径路の片面のパイプが中
   間を通るランクのための径路に対して反対側のパイプの
   はｔＣｎ間に配置されていることを特徴とする特許請求
   の範囲第７項記載の装置。 （１２）前記ノズルが前記パイプの側面開口部によって
   画成され、上記開口部が各パイプに垂直方向に間隔をあ
   けた直線パターンで配設されていることを特徴とする特
   許請求の範囲第１１項記載の装置。 （１３）各パイプの前記ノズル開口部が複数の垂直方向
   に間隔をあけたパターンに配置され、１つの開口列が前
   記垂直平面内の加工物表面に対して垂直に電解液を向け
   るように配向され、且つ他方の開口列が前記加工物表面
   に対して鋭角に電解液を向けるように配向されているこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１２項記載の装置。 （１４）前記ラックの各々が前記ノズル画成タワーすな
   わちパイプ間を移動期間中に横揺れが起きないように前
   記圧力マニホルド導管の上面に係合するためのガイドロ
   ーラー７０をその下刻部の先行端部に配設していること
   を特徴とする特許請求の範囲第１２項記載の装置。 （１５）前記案内レールを電源に電気的に接続して′電
   解液中の電解セル作用を向上させるための手段５０゜５
   ２をさらに含むことを特徴とする特許請求の範囲第７項
   記載の装置。 （１６）被めっき加工物を径路であってその二部分が電
   解液中を通っている径路に清って移動させるための移送
   手段を有する電解めっき装置において。 主電源Ｐ； 上記加工物Ｗを上記主電源の一方の端子に接続する手段
   ； 被めっき金属を電解液に浸漬するように支持するための
   手段； 上記波めっき金属を上記主電源の他方の端子に接続する
   手段； 補助電源ＡＵＸ； 続する手段； 電解液中の上記径路の部分の両側面に配設された不溶性
   電極手段；及び 上記不溶性電極手段を上記補助電源の他方の端子に接続
   する手段； を含むことを特徴とする装置。 （１７）被めっき加工物が全体的に平面の構成配置を持
   ち、且つその平面に沿い電解液の中を通って移動するよ
   うになっており、また前記不溶性電極手段が前記径路の
   前記部分の両側面に２つの平行列に且つ端から端まで配
   置されていることを特徴とする特許請求の範囲第１６項
   記載の装置。 （１８）前記不溶性電極手段が電解液中の前記加工物に
   対しである電位に保持され、この電位は電解液中の前記
   加工物に灯する前記被めっき金属の電位と同じでないこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１６項記載の装置。 （１９）前記不溶性電極手段が電解液中の前記加工物に
   対しである電位に保持され、この電位は電解液中の前記
   加工物に対する前記被めっき金属の電位と同じでないこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１７項記載の装置。 −（２０）全体的に四角形の各グリルが不溶性プラスチ
   ックで被覆した導電性金属でできた全体的に四角形の開
   口フレーム４２．４４を含金、平行ロッド４０が上記フ
   レームに対して互いに対向する端部に取付けられ、上記
   ロンドが導電性金属でできており。 且つ上記ロンドが電解液と反応しない不活性金属で被覆
   されていることを特徴とする特許請求の範囲第１９項記
   載の装置。 （２１）前記不溶性電極ロンド４０が２．５４乃至７．
   ５２ｃｐｎの範囲の距離をもって前記平面加工物の径路
   に隣接していることを特徴とする特許請求の範囲第２０
   項記載の装置。 （２２）加工物の片面もしくは両面に小さな開口を持ち
   得る全体的に平坦な平面加工物を電解めっきするための
   装置において。 各加工物を全体的に垂直な平面内に支持する／ ラック； 各ラックを径路であってその一部分が上記の゛　様にそ
   のランクに支持された加工物の平面内にある径路に沿っ
   て移動させるための移送手段；上記ラックが上記径路の
   上記部分に溢って移動する際に通り抜ける電解液を収容
   するための受は器を画成している手段： 上記受は器の底部に配設された圧力マニホルド手段： 上記マニホルド手段に加圧電解液を供給する手段： 少なくとも２つの縦方向延伸列状に配設された複数のノ
   ズル画成タワーであって、上記タワーは上記マニホルド
   手段から上方に突出し且つノズルが上記受は器内の上記
   加工物の上記径路の部分に向けられているノズル画成タ
   ワー； −次電源Ｐ； 上記ランクを上記−次電源の一方の端子に接続するため
   の手段： 上記受は器内の被めっき金属を支持するだめの手段であ
   って、上記−次電源の他方の端子に接続され上記電解液
   内に電解セルを造っている手段；上記ノズル画成タワー
   間の上記径路す部分に隣接した不溶性電極手段；及び その端子をそれぞれ上記不溶性電極手段と上記ランクに
   接続せしめて上記電解セル作用を向上する補助電源ＡＵ
   Ｘ； を含むことを特徴とする装置。 （２３）前記不溶性電極手段が前記ノズル画成タワー間
   の前記径路の両側面に配設された平行グリル４２゜４４
   を含むことを特徴とする特許請求の範囲第２２項記載の
   装置。 （２４）前記ランク移送手段がモルレール１ｏ及び上記
   モルレールに各ラックを支持させるためのトロリー１６
   を含み、上記モルレールが前記ランクを上記′トロリー
   に振子状に支、持させることにょっ℃前記径路部分を前
   記ノズルタワー間に画成していることを特徴とする特許
   請求の範囲第２２項記載の装置。 （２５）各ラックが加工物の平面と同じ平面内に配向さ
   れたフレーム４２．４４を含み且つ加工物のヘリに係合
   することによって平面加工物を支持するための手段１５
   を有することを特徴とする特許請求の範囲第２２項記載
   の装置。 （２６）前記マニホルド手段に電解液を供給する前記手
   段がポンプ手段と電解液を再循環させ且つ前記タワー内
   の前記ノズルに所望の電解液圧及び流速を供給するため
   の前記受は器内の返還マニホルド手段を含むことを特徴
   とする特許請求の範囲第２２項記載の装置。 （２７）前記移送手段がモルレール１０及び上記モルレ
   ールに各ランクを支持させるためのトロリー１６を含み
   、上記モルレールが前記ラックを上記トロリーに振子状
   に支持させることによって前記径路部分を前記ノズルタ
   ワー間に画成していることを特徴とする特許請求の範囲
   第２６項記載の装置。 （２８）各ラックが加工物の千′面と同じ平面内に配向
   されたフレーム４２．４４を含み且つ加、１物のヘリに
   係合することによちて平面加工物を支持するた　　　　
   　　１゛１めの手段１５を有することを特徴とする特許
   請求の範囲第２３項記載の装置。 （２９）前記マニホルド手段に電解液を供給する前記手
   段がポツプ手段と電解液を再循環させ且つ前記タワー内
   の前記ノズルに所望の電解液圧及び流速を供給するため
   の前記受杆器内の返還マニホルド手段を含むことを特徴
   とする特許請求の範囲第２３項記載の装置。　　７ （３０）各トロリーが前記ランク用振子状支持体から側
   面方向に且つ外方に突出している少なくとも１つの電気
   ピンクアップシュー８２を含み、且つ前記ラックを前記
   −次電源の端子に接続するへめの手段が前記モルレール
   部分に支えられている少なくとも１つの母線パー２４ａ
   を含み、また上記の１つの電気ピックアップシューが前
   記トロリーの前記モルレール部分に沼う移動期間中に上
   記の１つの母線バーと保合可能であることを特徴とする
   特許請求の範囲第２４項記載の装置。 （３１）各トロリーが前記トロリ′−の前記の１つのピ
   ンクアップシューからほぼ反対に突出している第２電気
   ピツクアツプシユー８２を含み、前記ランクを前記補助
   電源に接続するための前記手段が前記モルレール部分九
   支えられている第２母線バー、２４ｂを含み、上記第２
   母線バーが前記モルレールを中心にして前記第１母線バ
   ーの反対側に配置され、且つ上記第２ピンクアツプシユ
   ーが前記トロリーの前記モルレール部分に沿う移動期間
   中に上記第２母線バーと保合可能であることを特徴とす
   る特許請求の範囲第６０項記載の装置。