JPS631737B2 - - Google Patents

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JPS631737B2
JPS631737B2 JP55027871A JP2787180A JPS631737B2 JP S631737 B2 JPS631737 B2 JP S631737B2 JP 55027871 A JP55027871 A JP 55027871A JP 2787180 A JP2787180 A JP 2787180A JP S631737 B2 JPS631737 B2 JP S631737B2
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JP
Japan
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layer
substrate
aperture
layers
parallel
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JP55027871A
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English (en)
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JPS55120122A (en
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Been Rainharuto
Pakoniiku Horusuto
Zeebatsuhiaa Geruharuto
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
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Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
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Publication of JPS631737B2 publication Critical patent/JPS631737B2/ja
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/005Electrodes
    • H01G4/015Special provisions for self-healing
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/14Organic dielectrics
    • H01G4/145Organic dielectrics vapour deposited
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/43Electric condenser making
    • Y10T29/435Solid dielectric type

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Stopping Of Electric Motors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、少なくとも2つの対向極の金属層お
よびグロー重合体からなる誘電体層が基板上にあ
つて、金属層および誘電体層は合同かつ平行四辺
形に形成され、しかも相互に横方向にずらされて
おり、そして2つの互いに対向する辺にそれぞれ
1つの極の金属層が接触帯に沿つて接触している
ような自己回復性積層コンデンサに関する。
この種のコンデンサは他の立場で既に提案され
ている。このコンデンサにおいては2つの対向極
の金属層が辺をそろえて重なり合つていて、誘電
体層によつてのみ互いに隔てられている。それに
よつて辺の付近に表面絶縁破壊が生じ、これはそ
れらの層の自己回復性によつて回復するが、しか
し十分な絶縁が生ぜしめられるまでそれらの層の
比較的幅の広い帯部分を破壊する。
さらに誘電体層は側方の境界部付近に、原則的
にグロー重合体層の公知の製造方法によつては避
けられ得ない弱点部を有する。
ドイツ連邦共和国実用新案第1965296号からこ
の種の層を台形状に形成し、その台形の互いに平
行な側面に対して直角な方向にずらして配置する
ことが既に知られている。しかし、この種のコン
デンサは原則的に基板の比較的低い面利用率を前
提とする。というのは、一方では台形が矩形から
僅かしかはずれていない場合に斜めの台形側面の
ところで必要な絶縁帯を得るには個々の層の比較
的大きい相互のずらしが必要であるからであり、
他方では矩形から大きくはずれている場合にこれ
によつて非常に短くなる台形の互いに平行する辺
のうちの短い方の辺における接触が問題となるか
らである。また、十分な接触を保証するために、
台形の互いに平行な辺の間隔を非常に短く選定す
る場合には、接触帯の幅は容量性有効幅に比べて
著しく重要となる。従つてこの場合も、非常に低
い基板面利用率が生じることになる。
この種のコンデンサを個別に、即ち特に層回路
に集積化しないで販売しようとする場合には、製
造技術上の理由から分離装置を簡単に構成するこ
とができるようにするために構成素子の2つの互
いに対向する面が互いにそれぞれ平行であること
が熱望される。これは従来のコンデンサの場合に
は利用される基板面の一層の減少をもたらす。
本発明の目的は冒頭に述べたコンデンサの静電
容量有効範囲のための基板面利用率を向上させる
ことにある。
この目的は本発明によれば、平行四辺形の誘電
体層もしくは金属層のそれぞれが直接に隣接する
金属層もしくは誘電体層に対してそれらの層のい
ずれの辺に対しても平行しない方向に平行移動さ
れていることによつて達成される。
互いに対向する接触帯に沿つて金属層を接触さ
せるためには、接触帯に対して直角方向の移動成
分は接触帯に平行な移動成分よりも大きいことが
好ましい。
誘電体層および金属層は矩形状に形成すること
が好ましい。比較的狭い接触帯の場合にはとくに
正方形の層が適当である。矩形状の層もしくは特
殊の場合で正方形の層については接触帯に対して
直角方向の移動成分が約200μmで接触帯に対して
平行方向の移動成分が約100μmであるならば適当
である。
接触帯に対して平行方向の移動成分はグロー重
合体の縁部層の厚み低下を考慮する。接触帯に対
して直角方向の移動成分は上記の厚み低下に加え
て接続要素もしくは接触層にとつて必要な両接続
要素もしくは接触層間の間隔の幅および許容誤差
を考慮する。この場合にそれぞれ金属層の重なり
合う部分が意のまゝになる。その幅が十分でない
場合には接触帯は上記の厚み低下にとつて必要で
あるよりも幅を広くされなければならない。
本発明によるコンデンサは、平行四辺形の絞り
口を有するただ1つの絞りが使用され、コーテイ
ングされるべき基板に対して2つの相前後する層
の形成間に横方向に移動されるような製造方法に
より作られると有利である。しかも、その製造方
法では絞りは少なくともグロー重合体層の形成前
に基板もしくは基板上にある最も上の層と接触さ
せられ、その絞りが層形成後基板から離され、絞
り口のどの辺にも平行でない方向に移動されるこ
とによつて基板に対して平行移動され、そして再
び基板もしくは最上層と接触させられる。
ただ1つの絞りの使用は合同な層の形成を可能
にする。既に形成された層が移動時に絞りによつ
て傷つけられないようにするために絞りの移動前
の持ち上げは不可欠である。とくに形成される層
が多い場合には容量性有効範囲がそれの周辺に対
して高くなる。したがつて絞りは既に形成された
層の全厚よりも大きい量だけ基板から離されて移
動される。
絞りを3つの定められた位置に適当な順序で移
動させることによつて正確に重なり合う同じよう
な層が得られる。それらの3つの定められた位置
のうちの1つずつがそれぞれ1つの極の金属層に
対応させられ、そして残りの1つがすべての誘電
体層に対応させられる。個々の位置が取られる順
序は形成すべき層順序にしたがつて決められる。
以下図面に示す2つの図を参照しながら本発明
をさらに詳細に説明する。なお本発明はこれらの
図に示された例に限定されるものではない。
第1図は本発明によるコンデンサを示し、第2
図は第1図の誘電体層の断面図を示す。
コンデンサの基板1と接触層2および8が物質
結合している。第1の金属層3が基板上に形成さ
れ接触層2と重なり合つている。この金属層3上
にはグロー重合体層が設けられている。このグロ
ー重合体層4は第1の金属層3に対して金属層3
のどの辺とも平行しない方向にずらされている。
このグロー重合体層4上には第2の金属層5が設
けられている。これは同様にグロー重合体層4に
対してグロー重合体層4のどの辺に対しても平行
でない方向に平行移動されている。移動は図示の
例では正方形に形成された層3〜5の対角線方向
に行なわれる。斜線で示されているグロー重合体
層4は厚みが急減して終には零になる縁部7を有
する。この縁部は例えば絞り口においてグロー重
合体層を形成するときに生じる。狭い斜線で示さ
れているコンデンサの静電容量的に有効な範囲6
の外側にある広い斜線で示されているグロー重合
体層の部分はグロー重合体層4の縁部7よりも幅
広である。これによつて静電容量有効範囲におい
て十分な誘電体強度およびそれにともなつて十分
な耐電圧が保証される。
第2の金属層6は接触帯9を形成する一方の辺
に沿つて第2の接触層8と重なり合う。第1の金
属層3は第1の接触層2との重なり範囲のところ
に同様の接触帯10を形成する。
個々の層を相互に斜めにずらすことによつて生
ぜしめられる静電容量的に有効でない層部分は、
接触させられない層の辺に対して平行にずらされ
る場合に生じ得る静電容量的に有効でない帯状部
分よりも著しく小さい。これはコンデンサ破壊時
における縁部範囲での表面絶縁破壊および回復ブ
レークダウンによつて生ぜしめられる。
コンデンサ破壊時には短絡除去に適した定格電
圧以上に達する電圧が金属層間に印加される。こ
れによつて、ぎざぎざの帯状部が焼尽除去され、
その帯状部の幅は本発明装置の整然とした狭い帯
状部よりも大きくなければならない。
さらに、破壊によつて接触帯に原則としてはか
なり強い負担がかかる。この負担は本発明によつ
て著しく軽減される。
グロー重合体層4は一般に金属層3もしくは5
よりも遥かに厚い。したがそてグロー重合体層4
によつておおわれる範囲はそれの周囲よりも高く
なる。静電容量的に有効な範囲ではそこに全部そ
ろつて存在する金属層によつて一層の高まりが生
じる。それにもかかわらず、コンデンサ製造時
に、それによつて既に形成された層を傷つけるこ
となく絞りを移動することができるようにするた
めに、その移動の前に一方の極の金属層の厚みを
除いた形成された層の総和よりも厚い量だけ絞り
が持ち上げられる。一方の極の金属層は積層体の
厚みの僅かの部分でしかないので、簡単に言え
ば、絞りは少なくともすべての形成された層の厚
みの和だけ持ち上げられることになるのである。
この値は測定技術的に容易に決めることができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるコンデンサの一実施例の
平面図、第2図は第1図の誘電体層の断面図を示
す。 1…基板、2,8…接触層、3,5…金属層、
4…グロー重合体層、6…静電容量的に有効な範
囲、9,10…接触帯。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 少なくとも2つの対向極の金属層と1つのグ
    ロー重合体からなる誘電体層とが基板上に設けら
    れ、金属層とおよび誘電体層は平行四辺形で合同
    に形成されて互いに横方向にずらして設けられ、
    2つの互いに対向する辺のそれぞれに一方の極の
    金属層が接触帯に沿つて接触させられているよう
    な自己回復性積層コンデンサにおいて、平行四辺
    形の誘電体層もしくは金属層のそれぞれは直接に
    隣り合う金属層もしくは誘電体層に対して層のど
    の辺にも平行でない方向に平行移動されているこ
    とを特徴とする自己回復性積層コンデンサ。 2 接触帯に対して直角な方向の移動成分は接触
    帯に対して平行な方向の移動成分よりも大きいこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載のコン
    デンサ。 3 誘電体層および金属層は長方形に形成されて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第1項また
    は第2項記載のコンデンサ。 4 誘電体層および金属層は正方形に形成されて
    いることを特徴とする特許請求の範囲第3項記載
    のコンデンサ。 5 接触帯に対して直角な方向の移動成分は約
    200μmであり、接触帯に対して平行な移動成分は
    約100μmであることを特徴とする特許請求の範囲
    第1項ないし第4項のいずれかに記載のコンデン
    サ。 6 平行四辺形の絞り口を有するただ1つの絞り
    が使用され、層を形成すべき基板に対して2つの
    相前後する層の形成間に横方向にずらされ、しか
    もその絞りは少なくともグロー重合体層形成前に
    基板もしくは基板上で最も上にある層と接触させ
    られ、その絞りは層形成後基板から離されて基板
    に対して絞り口のどの辺にも平行でない方向に基
    板に対し平行移動され、再び基板もしくは最上層
    と接触させられることを特徴とする自己回復性積
    層コンデンサの製造方法。 7 絞りは3つの定められた位置へ順番に動かさ
    れ、これら3つの定められた位置のうちの各1つ
    がそれぞれ1つの極の金属層に対応させられ、残
    りの1つがすべての誘電体層に対応させられるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第6項記載の製造
    方法。
JP2787180A 1979-03-05 1980-03-05 Selffrecovery laminated capacitor and method of manufacturing same Granted JPS55120122A (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19792908467 DE2908467A1 (de) 1979-03-05 1979-03-05 Regenerierfaehiger elektrischer schichtkondensator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS55120122A JPS55120122A (en) 1980-09-16
JPS631737B2 true JPS631737B2 (ja) 1988-01-13

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ID=6064481

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2787180A Granted JPS55120122A (en) 1979-03-05 1980-03-05 Selffrecovery laminated capacitor and method of manufacturing same

Country Status (7)

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US (1) US4379182A (ja)
EP (1) EP0015532B1 (ja)
JP (1) JPS55120122A (ja)
AT (1) ATE4756T1 (ja)
BR (1) BR8001289A (ja)
DE (1) DE2908467A1 (ja)
ES (2) ES249057Y (ja)

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Also Published As

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