JPS6317354B2 - - Google Patents
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- JPS6317354B2 JPS6317354B2 JP57078444A JP7844482A JPS6317354B2 JP S6317354 B2 JPS6317354 B2 JP S6317354B2 JP 57078444 A JP57078444 A JP 57078444A JP 7844482 A JP7844482 A JP 7844482A JP S6317354 B2 JPS6317354 B2 JP S6317354B2
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 25
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 14
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 6
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 3
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 2
- 239000005041 Mylar™ Substances 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- FKSZLDCMQZJMFN-UHFFFAOYSA-N [Mg].[Pb] Chemical compound [Mg].[Pb] FKSZLDCMQZJMFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/063—Forming interconnections, e.g. connection electrodes of multilayered piezoelectric or electrostrictive parts
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、縦効果を利用した電歪効果素子の構
造に関する。
造に関する。
電歪効果の大きな材料を用いて第１図に示すよ
うな積層チツプコンデンサ構造の素子を構成する
と、低電圧で大きな歪の発生する電歪効果素子が
得られる。すなわち、第１図ａに示すように、電
歪材料からなる膜または薄板１の間に正の内部電
極板２、負の内部電極板２′を交互に挟んで積層
し、内部電極板２，２′をそれぞれ外部電極３，
３′に接続した構造である。しかし、上述の従来
の電歪効果素子は、同図ｂの平面図から理解され
るように、内部電極板２と２′との重なり部分が
素子面の全面積より小となり、周辺部分では両電
極は重なつていない。従つて、外部電極３，３′
間に電圧を印加すると上記電極の重なり部分のみ
電界強度が強くなり、周辺部分の電界強度は弱
い。このため素子周辺部分は変形しないばかりで
なく、素子全体の変形を阻害し材料固有の歪量を
得ることができないという欠点がある。さらに、
変形する部分と、変形しない部分との境界に応力
集中が起こり、高電圧印加、くり返し印加または
長時間印加等により機械的に素子が破壊するとい
う欠点もある。
うな積層チツプコンデンサ構造の素子を構成する
と、低電圧で大きな歪の発生する電歪効果素子が
得られる。すなわち、第１図ａに示すように、電
歪材料からなる膜または薄板１の間に正の内部電
極板２、負の内部電極板２′を交互に挟んで積層
し、内部電極板２，２′をそれぞれ外部電極３，
３′に接続した構造である。しかし、上述の従来
の電歪効果素子は、同図ｂの平面図から理解され
るように、内部電極板２と２′との重なり部分が
素子面の全面積より小となり、周辺部分では両電
極は重なつていない。従つて、外部電極３，３′
間に電圧を印加すると上記電極の重なり部分のみ
電界強度が強くなり、周辺部分の電界強度は弱
い。このため素子周辺部分は変形しないばかりで
なく、素子全体の変形を阻害し材料固有の歪量を
得ることができないという欠点がある。さらに、
変形する部分と、変形しない部分との境界に応力
集中が起こり、高電圧印加、くり返し印加または
長時間印加等により機械的に素子が破壊するとい
う欠点もある。
上述の欠点を改良するため、第２図ａ，ｂに示
すような構造にすることが考えられる。すなわ
ち、同図ａに示すように、内部電極板２，２′を
電歪材料の膜（または薄板）１の全面に交互に形
成して積層し、複数の内部電極板２の端部を相互
に接続して外部端子Ａに接続し、複数の内部電極
板２′は外部端子Ｂに接続した構造である。従つ
て同図ｂに示すように内部電極板２および２′は
素子全面に形成されているので、電極端子Ａ，Ｂ
間に電圧を印加すると、電歪材料の膜１内の電界
分布が一様となり、素子は均一に変形し、応力集
中も起こらない。すなわち、素子はほぼ材料固有
の変形量を示しかつ破壊しにくくなる。しかし、
内部電極板２，２′が接近しているので、内部電
極板２相互間および内部電極板２′相互間を電気
的に接続することが非常に難しい。
すような構造にすることが考えられる。すなわ
ち、同図ａに示すように、内部電極板２，２′を
電歪材料の膜（または薄板）１の全面に交互に形
成して積層し、複数の内部電極板２の端部を相互
に接続して外部端子Ａに接続し、複数の内部電極
板２′は外部端子Ｂに接続した構造である。従つ
て同図ｂに示すように内部電極板２および２′は
素子全面に形成されているので、電極端子Ａ，Ｂ
間に電圧を印加すると、電歪材料の膜１内の電界
分布が一様となり、素子は均一に変形し、応力集
中も起こらない。すなわち、素子はほぼ材料固有
の変形量を示しかつ破壊しにくくなる。しかし、
内部電極板２，２′が接近しているので、内部電
極板２相互間および内部電極板２′相互間を電気
的に接続することが非常に難しい。
本発明の目的は、上述の事情に鑑み、素子全面
に形成された内部電極板を交互に容易かつ安定に
外部電極板に接続することが可能な電歪効果素子
の構造を提案することにある。
に形成された内部電極板を交互に容易かつ安定に
外部電極板に接続することが可能な電歪効果素子
の構造を提案することにある。
本発明の電歪効果素子は、表面の全域に内部電
極板が形成された同一寸法の電歪材料の膜または
薄板を複数枚積層して側面に前記内部電極板の端
面を露出させた積層チツプコンデンサ型電歪効果
素子を形成し、その１つの側面において前記内部
電極板の端面に一層おきに絶縁物質を塗布した上
から導電物質層を形成し、他の一側面においては
上記絶縁物質が塗布されなかつた方の内部電極板
の端面に絶縁物質を塗布した上から導電物質層が
形成されたことを特徴とする。
極板が形成された同一寸法の電歪材料の膜または
薄板を複数枚積層して側面に前記内部電極板の端
面を露出させた積層チツプコンデンサ型電歪効果
素子を形成し、その１つの側面において前記内部
電極板の端面に一層おきに絶縁物質を塗布した上
から導電物質層を形成し、他の一側面においては
上記絶縁物質が塗布されなかつた方の内部電極板
の端面に絶縁物質を塗布した上から導電物質層が
形成されたことを特徴とする。
次に、本発明について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第３図は、本発明の一実施例を示す断面図であ
る。すなわち、先ずマグネシウム・ニオブ酸鉛
Pb（Mg1/3Nb2/3）O3を主成分とする電歪材機の予
焼粉末に微量の有機バインダーを添加し、これを
有機溶媒中に分散させた泥漿を準備し、該泥漿
を、通常の積層チツプコンデンサを製造する成膜
機により、マイラーフイルム上に数100ミクロン
の厚さに塗布乾燥後マイラーフイルムから剥離し
て電歪材料膜３１を形成する。該電歪材料膜３１
の表面に、白金ペーストをスクリーン印刷して内
部電極板３２を形成する。上記内部電極板３２が
形成された電歪材料膜３１を所定の枚数（通常数
10枚）積層し、熱プレスにより１体化した後約
1250℃の温度で焼結すれば、電歪材料膜３１と内
部電極板３２の積層体が得られる。該積層体の側
面を所要寸法に切断し、内部電極板３２の図中左
側端面に１層おきに絶縁物質３３を塗布し、図中
右側端面には同様に一層おきに絶縁物質３３′を
塗布する。一層おきの塗布は、例えばスクリーン
印刷法等により容易に行なうことができる。そし
て、その上に導電物質層を形成して外部電極３
４，３４′とすれば、外部電極３４，３４′はそれ
ぞれ１層おきの内部電極板３２に接続される。上
述のように形成された電歪効果素子は、製造が容
易であり、内部電極板３２は交互に安定に外部電
極３４，３４′に接続されている。また内部電極
板３２は電歪材料膜３１の全面に形成されている
ため電歪材料膜３１に均一な電界強度を与えるこ
とができるため、応力集中を起こさないから破壊
のおそれがない。外部電極３４，３４′間に電圧
を印加すれば各膜の厚み方向すなわち図中上下方
向に伸びる。該伸び量は材量固有の変形量に応じ
素子全体の寸法によつて定まる。
る。すなわち、先ずマグネシウム・ニオブ酸鉛
Pb（Mg1/3Nb2/3）O3を主成分とする電歪材機の予
焼粉末に微量の有機バインダーを添加し、これを
有機溶媒中に分散させた泥漿を準備し、該泥漿
を、通常の積層チツプコンデンサを製造する成膜
機により、マイラーフイルム上に数100ミクロン
の厚さに塗布乾燥後マイラーフイルムから剥離し
て電歪材料膜３１を形成する。該電歪材料膜３１
の表面に、白金ペーストをスクリーン印刷して内
部電極板３２を形成する。上記内部電極板３２が
形成された電歪材料膜３１を所定の枚数（通常数
10枚）積層し、熱プレスにより１体化した後約
1250℃の温度で焼結すれば、電歪材料膜３１と内
部電極板３２の積層体が得られる。該積層体の側
面を所要寸法に切断し、内部電極板３２の図中左
側端面に１層おきに絶縁物質３３を塗布し、図中
右側端面には同様に一層おきに絶縁物質３３′を
塗布する。一層おきの塗布は、例えばスクリーン
印刷法等により容易に行なうことができる。そし
て、その上に導電物質層を形成して外部電極３
４，３４′とすれば、外部電極３４，３４′はそれ
ぞれ１層おきの内部電極板３２に接続される。上
述のように形成された電歪効果素子は、製造が容
易であり、内部電極板３２は交互に安定に外部電
極３４，３４′に接続されている。また内部電極
板３２は電歪材料膜３１の全面に形成されている
ため電歪材料膜３１に均一な電界強度を与えるこ
とができるため、応力集中を起こさないから破壊
のおそれがない。外部電極３４，３４′間に電圧
を印加すれば各膜の厚み方向すなわち図中上下方
向に伸びる。該伸び量は材量固有の変形量に応じ
素子全体の寸法によつて定まる。
以上のように、本発明においては、電歪材料膜
の表面に内部電極板を形成して積層し、前記内部
電極板の側端面に交互に絶縁物質を塗布した上に
導電物質層を形成して外部電極とする構造とした
から、前記内部電極板は、それぞれ一層おきに別
の外部電極に接続される。本構造の素子は、製造
容易であり、工業的生産能率を向上させるという
効果がある。しかも内部電極板は電歪材料膜の全
面に形成されているため電歪材料に応力集中を起
こさず素子を破壊させるおそれがなく、素子全体
の伸びは、電歪材料固有の変形量に応じ、従来の
ように周辺部の無電界部分による伸びの妨害作用
はない。
の表面に内部電極板を形成して積層し、前記内部
電極板の側端面に交互に絶縁物質を塗布した上に
導電物質層を形成して外部電極とする構造とした
から、前記内部電極板は、それぞれ一層おきに別
の外部電極に接続される。本構造の素子は、製造
容易であり、工業的生産能率を向上させるという
効果がある。しかも内部電極板は電歪材料膜の全
面に形成されているため電歪材料に応力集中を起
こさず素子を破壊させるおそれがなく、素子全体
の伸びは、電歪材料固有の変形量に応じ、従来の
ように周辺部の無電界部分による伸びの妨害作用
はない。
第１図ａおよびｂは従来の積層チツプコンデン
サ型電歪効果素子の一例を示す断面図および平面
図、第２図ａ，ｂは内部電極板を素子全面に形成
した構造の積層型電歪効果素子を示す断面図およ
び平面図、第３図は本発明の一実施例を示す断面
図である。 図において、１……電歪材料の膜または薄板、
２，２′……内部電極板、３，３′……外部電極、
３１……電歪材料膜、３２……内部電極板、３
３，３３′……絶縁物質、３４，３４′……外部電
極。
サ型電歪効果素子の一例を示す断面図および平面
図、第２図ａ，ｂは内部電極板を素子全面に形成
した構造の積層型電歪効果素子を示す断面図およ
び平面図、第３図は本発明の一実施例を示す断面
図である。 図において、１……電歪材料の膜または薄板、
２，２′……内部電極板、３，３′……外部電極、
３１……電歪材料膜、３２……内部電極板、３
３，３３′……絶縁物質、３４，３４′……外部電
極。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 表面の全域に内部電極板３２が形成された膜
または薄板状の電歪材料が積層された積層チツプ
コンデンサ型電歪効果素子において、 その積層チツプの一方の側面において前記内部
電極板の端面に一層おきに絶縁物質３３が塗布さ
れた上から一方の電極となる導電物質層３４が形
成され、 他方の側面においては上記一方の側面において
絶縁物質が塗布されなかつた内部電極板の端面に
一層おきに絶縁物質３３′が塗布された上から他
方の電極となる導電物質層３４′が形成された ことを特徴とする電歪効果素子。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57078444A JPS58196068A (ja) | 1982-05-12 | 1982-05-12 | 電歪効果素子 |
| DE8383104556T DE3378393D1 (en) | 1982-05-11 | 1983-05-09 | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
| EP83104556A EP0094078B1 (en) | 1982-05-11 | 1983-05-09 | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
| AU14422/83A AU553391B2 (en) | 1982-05-11 | 1983-05-10 | Multilayer electrostrictive element |
| CA000427828A CA1206193A (en) | 1982-05-11 | 1983-05-10 | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
| US06/493,583 US4523121A (en) | 1982-05-11 | 1983-05-11 | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57078444A JPS58196068A (ja) | 1982-05-12 | 1982-05-12 | 電歪効果素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58196068A JPS58196068A (ja) | 1983-11-15 |
| JPS6317354B2 true JPS6317354B2 (ja) | 1988-04-13 |
Family
ID=13662207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57078444A Granted JPS58196068A (ja) | 1982-05-11 | 1982-05-12 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58196068A (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0740613B2 (ja) * | 1983-12-05 | 1995-05-01 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | 積層型圧電体の製造方法 |
| JPS60128683A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Tohoku Metal Ind Ltd | 積層型圧電アクチユエ−タの製造方法 |
| JPS62199074A (ja) * | 1986-02-27 | 1987-09-02 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 積層型圧電素子の製造方法 |
| JPH0695582B2 (ja) * | 1986-06-07 | 1994-11-24 | 株式会社ト−キン | 円筒状圧電アクチュエ−タの製造方法 |
| JP2567046B2 (ja) * | 1987-09-25 | 1996-12-25 | 日立金属株式会社 | 積層型変位素子 |
| JPH02125675A (ja) * | 1988-11-04 | 1990-05-14 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| JPH01147879A (ja) * | 1987-12-03 | 1989-06-09 | Toto Ltd | 積層型圧電素子の製造方法 |
| US5698244A (en) * | 1988-09-07 | 1997-12-16 | Omegatech Inc. | Method for raising animals having high concentrations of omega-3 highly unsaturated fatty acids |
| US6451567B1 (en) | 1988-09-07 | 2002-09-17 | Omegatech, Inc. | Fermentation process for producing long chain omega-3 fatty acids with euryhaline microorganisms |
| US7033584B2 (en) | 1988-09-07 | 2006-04-25 | Omegatech, Inc. | Feeding Thraustochytriales to poultry for increasing omega-3 highly unsaturated fatty acids in eggs |
| US5985348A (en) | 1995-06-07 | 1999-11-16 | Omegatech, Inc. | Milk products having high concentrations of omega-3 highly unsaturated fatty acids |
| US5340594A (en) * | 1988-09-07 | 1994-08-23 | Omegatech Inc. | Food product having high concentrations of omega-3 highly unsaturated fatty acids |
| US5340742A (en) * | 1988-09-07 | 1994-08-23 | Omegatech Inc. | Process for growing thraustochytrium and schizochytrium using non-chloride salts to produce a microfloral biomass having omega-3-highly unsaturated fatty acids |
| US5092360A (en) * | 1989-11-14 | 1992-03-03 | Hitachi Metals, Ltd. | Flow rated control valve using a high-temperature stacked-type displacement device |
| US5281885A (en) * | 1989-11-14 | 1994-01-25 | Hitachi Metals, Ltd. | High-temperature stacked-type displacement device |
| JP2965602B2 (ja) * | 1990-02-26 | 1999-10-18 | 日立金属株式会社 | 積層型変位素子 |
| DE4192278T (ja) * | 1990-09-13 | 1992-10-08 | ||
| JP3045531B2 (ja) * | 1990-10-01 | 2000-05-29 | 日立金属株式会社 | 積層型変位素子 |
| JPH04340778A (ja) * | 1991-01-30 | 1992-11-27 | Nec Corp | 積層圧電アクチュエータ素子 |
| KR20090064603A (ko) | 2000-01-28 | 2009-06-19 | 마텍 바이오싸이언스스 코포레이션 | 발효기 내에서 진핵 미생물의 고밀도 배양에 의한 고도불포화 지방산을 함유하는 지질의 증진된 생산 방법 |
-
1982
- 1982-05-12 JP JP57078444A patent/JPS58196068A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58196068A (ja) | 1983-11-15 |
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