JPH02125675A - 電歪効果素子 - Google Patents

電歪効果素子

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Publication number
JPH02125675A
JPH02125675A JP63279773A JP27977388A JPH02125675A JP H02125675 A JPH02125675 A JP H02125675A JP 63279773 A JP63279773 A JP 63279773A JP 27977388 A JP27977388 A JP 27977388A JP H02125675 A JPH02125675 A JP H02125675A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
tube
electrostrictive
sintered body
effect element
electrostrictive element
Prior art date
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Pending
Application number
JP63279773A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Nishizawa
西澤 猛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Priority to EP88120173A priority patent/EP0319038B1/en
Priority to DE3850641T priority patent/DE3850641T2/de
Publication of JPH02125675A publication Critical patent/JPH02125675A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は圧電アクチュエータに用いられる電歪効果素子
に関する。
〔従来の技術〕
最近、光または磁気ディスクヘッド、各種光学装置、精
密工作機械等のM密位置決め装置、その他の機械的駆動
素子として圧電アクチユエータがきわめて有窒視されて
いる。
しかしながら、電歪効果による機械的変位は木質的にき
わめて小さいのでアクチユエータの駆動源となるべき電
歪効果素子には、例えば、昭和58年9月発11の1電
子通信学会誌」が開示するように、電歪セラミック部材
あるいは圧電セラミック部材と内部電極導体とを超多用
に積層して圧電の縦効果を高めた構造のものが通常用い
られている。すなわち、この電歪効果素子はペロブスカ
イト結晶構造をもつ多成分固溶体セラミック粉末に有機
バインダを混合してグリーンシート化し、その上に銀電
極導体層をペースト状に塗布した後、数十層(例えば7
2層)に積層して焼結したちのである。この焼結体は焼
成さ、れた鍛Ti極導体層を1層おきに交互に接続して
2つのくし歯形内部電極を形成し、外部から90V程度
の直流電圧を与えると、約8IJJRの静的変位を容易
に発生する。したがって、[てこRff+との併用によ
って、本質的にきわめて小さい電歪効果の機械的変位の
問題点は一応解決されている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、この焼結体からなる電歪効果素子は、内部電極
を形成する金属に銀が使用されでいるので潟性雰IJ1
+気内においてマイグレーションを生じ圧電セラミック
部材の側面を著しく tl S ”lる。すなわち銀糸
電極導体層の端部は積層焼結体の側面に全て露出してい
るので、マイグレーシ」ンを生じ易く、汚染された圧電
セラミック部材の側面はその絶縁特性を@敞に低下せし
める。したがって、耐湿試験を行なうと側面または角隅
で放電するものが続出し、ル留りおよび信頼性に大きな
障害を与える。
そこで、絶縁性を有する樹脂を被覆して湿気の浸入を防
ぐ試みが行なわれているが、耐湿性は充分満足するもの
ではない。
〔課題を解決するための手段〕
本発明の電歪効果素子は、積層焼結体の一方の端面に、
外部?1!極とリード線により接続された1対のリード
端子が設けられた金属部材が、他方の端面に金属部材が
それぞれ固着され、かつ金属部材との隙間に密14材が
挿入された管によって前記電歪効果素子の側面が被われ
、前記管と電歪効果素子との間の空間が絶縁性液体によ
って充填されている。
〔作用〕
したがって、外気からの湿気の浸入を防ぐことができ、
信頼性が大幅に向上する。
〔実施例〕
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
第1図は本発明の電歪効果素rの第1の実施例を示す縦
断面図である。
本実施例の電歪効果素fは、積層焼結体の一方の端部に
、外部電極導体層とリード線4により接続された1対の
リード端子2が設けられたステンレスからなる円板形の
金属部材1が固着され、積層焼結体の他方の端部に金属
部材1と同一外径の円板形の金属部材5が固着され、金
属部材1.5との隙間がエポキシ樹脂7が封止されてい
る、材質がステンレスで肉厚0.5 #llの管6によ
って電歪効果素子の側面が被われ、管6とTi歪効EA
素子の間の空間にシリ」−ンオイル8が充填されている
次に、本実施例の電歪効果素子の製造方法について説明
する1゜ まず、従来例でのべたようにペロブスカイト結晶構造を
もつ多成分固溶体セラミック粉末に有機バインダーを混
合して100m程度の厚みのグリーンシート化し、′そ
の上にペースト状の銀白部電極導体層を塗布、乾燥侵、
数十層(例えば721i)に積層して焼結した焼結体を
用意する。この焼結体の側面には銀白部電極導体層の端
部が露出しているので、端部を選択的にガラス絶縁膜で
被覆した後、外部電極を側面に形成して銀白部電極導体
層を一層おきに交互に接続して2つのくし歯形内部電極
を形成する。リード線を外部電極に半田付で接続して取
り出す。このようにして製作され1こ電歪効果素子3を
、金属部材1,5、管6、シリ」−ンオイル8を取り付
けて密封処理する。すなわち、金属部材1にリード端子
2を取り付け、電歪効果素子3のリード線4とリード端
子2の一端を半田付で接続する。金属部材1と金属部材
5を電歪効果素子3に接着剤で固定する。次に、金属部
材1.5と電歪効果素子3を管6でつつみ、金属部材5
と管6との隙間を密封材としてエポキシ樹脂7を用いて
封止する。そこで、管6の内部にシリコーンオイル8を
充填したのち、金属部材1と管6との隙間をエポキシ樹
脂7で封止する。
このようにしてできあがった電歪効果素子を温度40℃
、湿度90〜95%Rl−(、印加電圧15ovocの
条件下で1000時間試験を行って6不具合は発生しな
かった。
第2図は本発明の電歪効果素子の第2の実施例の縦断面
図である。
本実施例が第1の実施例と異なる点は、エポキシ樹脂7
の代りにOリング9を用いて密封処理を行っている点で
ある。
金属部材1、金属部材5に0リング9が挿入でき、かつ
Oリング9の圧縮率が0.85〜0.65になるように
溝を設けておく。その溝にシリコーングリースを塗った
Oリング9を入れ、材質がステンレスで肉厚0.5 m
の管6を一方から圧入する。
このようにしてできあがった電歪効果素子も第1の実施
例と同一の条件で試験を行っても不具合は発生しなかっ
た。
なお、上述した第1、第2の実施例では樹脂、Oリング
で密封処理した例を述べたが、ロー付、ガラス封止、ガ
スケット等の方法によっても同様の効果がある。また、
管内部に充填する絶縁性液体としてシリコーンオイルを
取り上げているが、フロン系Aイル、鉱物油等同様の効
果がある。
(発明の効果〕 以上説明したように本発明は、電歪効果素子の十]・而
に金属部材を取り付け、側面を管で被い、管の内部を絶
縁性液体で充填し、管と金属部材の隙間を樹脂とかOリ
ングで密封処理することにより、外気からの湿気の浸入
を防ぐことがぐきる効果があり、ざらに電歪効果素子の
表面が絶縁性液体で被覆されるので樹脂による外装を施
さなくても耐圧が」会得られる効果があり、ざらに絶縁
性液体を充填しであるので密封処理も容易にできる効果
がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の電歪効果素fの第1の実施例の縦断面
図、第2図は本発明の電歪効果素子の第2の実施例の縦
断面図である。 1・・・金属部材、    2・・・リード端子、3・
・・電歪効果索r、 4・・・リード線、5・・・金属
部材、    6・・・管、7・・・エポキシ樹脂、 
8・・・シリコーンオイル、9・・Oリング。 特許出願人[]本′市気株式会社 代 理 人 弁理士 内  原     晋−第 図 第 図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.シート状の圧電セラミック部材と内部電極導体とが
    交互に積層された積層焼結体と、該積層焼結体の対向す
    る側面に露出する内部電極導体の一方の端面を各側面に
    おいて1層おきに絶縁する絶縁層と、露出する内部電極
    導体の他方の端面を電気的に接続して2つのくし歯形電
    極を構成せしめる1対の外部電極とを含む電歪効果素子
    において、前記積層焼結体の一方の端面に前記外部電極
    とリード線により接続された1対のリード端子が設けら
    れた金具が、他方の端面に金具がそれぞれ固着され、前
    記両金具との隙間に密封材が挿入された管によって前記
    電歪効果素子の側面が被われ、前記管と前記電歪効果素
    子の間の空間に絶縁性液体が充填されていることを特徴
    とする電歪効果素子。
JP63279773A 1987-12-02 1988-11-04 電歪効果素子 Pending JPH02125675A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63279773A JPH02125675A (ja) 1988-11-04 1988-11-04 電歪効果素子
EP88120173A EP0319038B1 (en) 1987-12-02 1988-12-02 Sealing structure of an electrostrictive element
DE3850641T DE3850641T2 (de) 1987-12-02 1988-12-02 Struktur zur Versiegelung eines elektrostriktiven Elements.

Applications Claiming Priority (1)

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JP63279773A JPH02125675A (ja) 1988-11-04 1988-11-04 電歪効果素子

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JPH02125675A true JPH02125675A (ja) 1990-05-14

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ID=17615714

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JP63279773A Pending JPH02125675A (ja) 1987-12-02 1988-11-04 電歪効果素子

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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS58196068A (ja) * 1982-05-12 1983-11-15 Nec Corp 電歪効果素子
JPS60104762A (ja) * 1983-11-10 1985-06-10 Nippon Soken Inc 電歪式アクチュエータ及びそれを用いた燃料噴射弁
JPS61132864A (ja) * 1984-11-30 1986-06-20 Omron Tateisi Electronics Co 工具折損検出装置
JPS61258485A (ja) * 1985-05-13 1986-11-15 Aisan Ind Co Ltd 圧電変換器

Patent Citations (4)

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