JPH0235785A - 積層型変位素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、産業用ロボットのアクチュエータ。

超音波モータ等に使用する電気機械変換素子に関するも
のであり、特に電気機械変換材料からなる薄板を、内部
電極を介して複数枚積層することにより、変位量を増大
させた積層型変位素子の改良に関するものである。

〔従来の技術〕

従来、ｘ−ｙステージの位置決め機構や制動ブレーキ等
に用いられている変位用素子に使用する積層型圧電素子
は１所定の形状に加工した圧電セラミック材料からなる
薄板に電極を設けて分極した後、直接若しくは薄い金属
を介して有機系の接着剤で接合する方法が採用されてい
る。しかし上記のように接着剤を使用して積層したもの
は、使用条件により、圧電素子の振動による変位を接着
剤層が吸収したり７高温の環境若しくは長期間の使用に
より接着剤が劣化する等の欠点がある。

このため、最近では積層チップコンデンサ構造方式の積
層型圧電素子が実用化されている。すなわち１例えば特
公昭！５９−３２０４０号公報に記載のように、原料粉
末にバインダーを添加、混練したペースト状の圧電セラ
ミック材料を、所定の厚さの薄板に形成し、この薄板の
一方の面若しくは両面に銀−パラジウム等の導電材料を
塗布して内部電極を形成する。上記薄板を所定枚数積層
して圧着し更に所定の形状に加工した後、焼成すること
によってセラミック化し、積層体の両側面に外部電極を
形成したものである。上記構成の積層型圧電素子は、圧
電セラミック材料からなる薄板と内部電極の接合部の密
着性に優れると共に、熱的特性も安定であるため高温環
境においても充分に使用可能であり、また長期間に亘っ
て劣化が極めて少ない等の利点がある。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記構成の積層型圧電素子においては、電子部品のよう
に電極間に直流高電圧を連続印加して変位を得るという
使用形態の場合には、電極材料として銀系の材料を使用
すると、高湿度雰囲気において所謂マイグレーションを
生じ、遂には絶縁破壊に至るという問題点がある。すな
わち電極を構成するＡｇは酸化しやすい元素であるが、
高湿度雰囲気においてイオン化（Ａｇ＋）Ｌ、印加電圧
によって負電極に吸引され、負電極側に堆積する。

このような堆積物は時間の経過と共に杉葉状に成長して
、電極間の絶縁抵抗を低下させ、遂には短絡するのであ
る。このようなマイグレーションを防止する手段として
、電極を例えばＰｔ、Ｐｄのような高融点の貴金属材料
によって形成することも考えられるが、性能の向上はと
もかくとして。

コストが高騰する結果となるので好ましくない。

また銀系材料によって形成した内部電極の露出部分を、
銀より小さなマイグレーション特性を有する金属からな
る膜によって被覆するという提案がされている（例えば
特開昭５ｚ−６２ｓ７ｎ公報参照）。

しかしながら積層体に形成した後において露出部分を被
覆する作業は極めて煩雑であると共に、金属膜によって
必ずしも完全に被覆することができず２例えばピンホー
ル等を介して外部の湿気の侵入を許容することがあり、
信頬性の点で未だ不満足な点がある。以上の他にも高湿
度の雰囲気における水分の侵入を防止する手段として２
例えば樹脂材料からなる被膜によるコーティング手段、
金属製容器内に密封する手段等が試みられている。

しかしながら樹脂材料からなる被膜でコーティングして
も、被膜は必ずしも非透水性が完全でないのみならず、
素子の作動により微小なりラックを生じ、若しくはリー
ド線との境界部に若干の隙間を生じ、これらを介して水
分が侵入する場合がある。また金属製容器内に密封した
場合には、素子の変位量が抑制されるのみならず、全体
の体積の増大を招来し、更にコスト高となる欠点がある
。

何れにしても上記従来の構成のものではマイグレーショ
ンを完全に防止することが困難であり、寿命が著しく短
いという問題点がある。

本発明は、上記従来技術に存在する問題点を解決し、コ
ストの高謄を招来することなく、マイブレ・−ジョンを
完全に防止し得る積層型変位素子を提供するごとを目的
とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために２本願の第１の発明において
は、電気機械変換材料からなる薄板をこの薄板の大部分
を被覆するように形成した内部電極を介して複数枚積層
して積層体を形成し、この積層体の側面に前記内部電極
と交互に一層おきに接続すべき一対の外部電極を設けて
なる積層型変位素子において、内部電極の周縁外方にこ
の内部電極を包囲するように非変位部を形成し、内部電
極の一部と外部電極とをリード部を介して電気的に接続
し、前記非変位部に縁部材を一体に設けて内部電極と外
気との接触を遮断するように形成する。という技術的手
段を採用した。

なお上記第１の発明において、内部電極およびリード部
を銀系材料で形成し、外部電極を非銀系材料で形成する
ことができる。

また内部電極を銀系材料で形成し５　リード部および外
部電極を非銀系材料で形成することができる。

また本願の第２の発明においては、上記第１の発明に加
えて、積層体の側面部近傍に形成される非変位部と積層
体の内部に形成される変位部との間に緩衝部を設けると
共に、緩衝部における変位量が非変位部と接する部位に
おける０％から変位部と接する部位における１００％ま
で順次増大するように形成する。という技術的手段を採
用した。

なお上記第２の発明において、緩衝部における内部電極
の存在比率が非変位部における０％から変位部における
１００％まで順次増大するように形成すると好ましい。

また上記第２の発明において、緩衝部を形成する材料の
圧電歪定数ｄと薄板を形成する材料の圧電歪定数ｄ０と
の比ｄ／ｄ、の値を、非変位部と接する部位における０
から変位部と接する部位における１まで順次増大するよ
うに形成してもよい。

更に上記第２の発明において、緩衝部を形成する薄板上
に厚さｔｌなる絶縁層と厚さ１ｔなる電極層をこの順に
固着し、内部電極の厚さ口こ対して１．＋１．＝１とな
るように形成すると共に。

絶縁層の厚さ１．を非変位部と接する部位におけるｔか
ら変位部と接する部位におけるＯまで順次減少するよう
に形成することもできる。

次に本発明においては、電気機械変換材料として圧電材
料若しくは電歪材料を使用することが好ましい。

また薄板上に内部電極、電極層および絶縁層を設ける手
段としては、スクリーン印刷を使用するのが有効である
。

〔作　用〕

上記の構成により５例えば銀系材料からなる内部電極を
積層体内に完全に密封し、外気との接触を遮断すること
ができるから、外気中に含まれる水分の積層体内への侵
入を阻止することができる。

また積層体の側面部近、傍に形成される非変位部と積層
体の内部に形成される変位部との間に緩衝部を設け、緩
衝部における変位を段階的若しくは連続的に変化するよ
うに形成したことにより、非変位部と変位部との境界に
発生する変位の急激な変化に起因する応力集中を防止す
る作用を期待できる。

〔実施例〕

第１図は本発明の第１実施例を示す要部正面図である。

同図において、１は薄板であり、圧電セラミンク材料に
よって例えばｌ　１２２１．　Ｑ　ｍ　ｍ　、厚さ１０
０、ｕｍの正方形状に形成する。２は内部電極であり、
後述する導電性の材料によって形成し。

薄板ｌの表面に設ける。次に３は外部電極であり。

Ｎｉ、Ｐｔ等の非銀系の導電性材料によって形成し３前
記薄板１を例えば１００枚積層して形成した積層体の両
側面部に、−層おきに内部電極２の一部とり一ト部（図
示せず）を介して接続し。

対とする。

次に第２図は第１図における薄板ｌを示す平面図、第３
図は第２図におけるＡ−Ａ線断面図である。両図におい
て、ｌａは縁部材、２ａはリード部である。すなわち内
部電極２は３例えば従来から使用されている銀−パラジ
ウム合金により１例えば１辺９ｍｍに形成すると共に２
　リード部２ａを一体に設けて薄板１の縁辺に臨ませる
か、若しくは突出させる。リード部２ａの幅ｗ、は例え
ば１ｍｍに形成する。次に縁部材１ａは薄板ｌと同一材
料によって、前記内部電極２の外方に、この内部電極２
を包囲するように１幅Ｗｚ＝０．５ｍｍの額縁状に形成
する。なお縁部材１ａは内部電極２と同一の厚さに形成
するが、縁部材１ａ、　　リード部２ａおよび内部電極
２は薄板１の表面に１例えばスクリーン印刷手段によっ
て設けることができる。すなわち、まず！〕ｂ　（Ｚｒ
、Ｔｉ）０３粉末に２有機バインダー、可塑剤、好機溶
剤等を添加混合した原材料により１例えばドクターブレ
ード法により厚さ１）００ｐの薄板１を形成する。

次にこの薄板１０表面に１銀−パラジウム合金からなる
ペーストをスクリーン印刷によって固着し第２図および
第３図に示す内部電極２を形成する。

この場合リード部２ａも同時に形成する。内部電極２お
よびリード部２ａの厚さは３〜．５　ｔｔ　ｍ前後とす
るのがよい。次に、：の内部電極２の周縁部に縁部材１
ａをスクリーン印刷によって形成するのであるが、この
場合には内部電極２およびリード部２ａの部分をマスキ
ングして行なうとよい。なお内部電極２およびリード部
２ａと縁部材１ａの形成順序を逆にしてもよい。上記の
ように形成した薄板１を例えば１００枚積層して圧着し
た後。

１０５０〜１．２０　Ｑ℃において１〜５時間焼成する
ことにより、】辺１０ｍｍ角の焼結積層体を得ることが
できる。なおこの焼結積層体の両側面に設けるべき外部
電極３は１例えばＮｉメツキまたはＮｉ、Ａｕメツキの
併用等によって形成する。

上記の構成により、銀−パラジウムからなる内部電極２
は、上下面を薄板１により５周縁部を縁部材１ａによっ
て完全に遮蔽若しくは密封されるから、外気に全く露出
することがない。従って銀系材料に特有なマイグレーシ
ョンの発生を完全に防止できるのである。

更に内部電極２を恨−パラジウムにより形成し。

リード部２ａおよび外部電極３を各々白金およびＮｉメ
ツキ、すなわち非銀系材料によって形成することにより
、銀系材料からなる内部電極２が外気に全く露出しない
ため、恨のマイグレーションの発生をより完全に防止で
きる。この場合白金からなるリード部２ａは微小領域で
あるため、高価な白金の使用量は僅少であり９コスト高
の懸念はない。

次に前記構成の素子は、マイグレーションの発生を完全
に防止し得るという効果を有する一方において若干の改
良点を有する。すなわち第２図および第３図に示すよう
に、内部電極２の重合する部分が変位部を形成するので
あるが、その周縁の縁部材１ａを設けた部分には内部電
極２が存在しないため非変位部となり１雨音の境界部に
わいては大きな歪が発生して応力が集中することとなる
。

このため薄板ｌ若しくは素子全体が割れる場合がある。

また非変位部が変位部の変位を阻害し、圧電セラミック
材料固有の変位を得ることができない場合がある。本願
の第２の発明においては上記の点を更に改良して、電気
機械変換効率および信頼性を更に向上させることを目的
としてなされたものである。上記の目的達成のために、
前記したように、縁部材１ａに代表される非変位部と、
内部電極に代表される変位部との間に後記するような緩
衝部を設けたものである。

この緩衝部を設けたことにより、非変位部さ変位部との
境界部に発生する大なる歪を解消し、従って応力集中に
よる薄板１．更には変位素子全体の破壊を防止するので
ある。すなわち上記緩衝部においては、非変位部と接す
る部位においては変位は０であるが、変位部に至る間は
変位が段階的若しくは連続的に変化するように形成しで
あるためである。

第４図ないし第６図は夫々本発明の第２実施例における
緩衝部を形成する例を示す要部拡大平面図であり、同一
部分は第２図および第３図と同一の参照符号で示す。ま
ず第４図において緩衝部Ｃは内部電極２で代表される変
位部ａと縁部材１ａで代表される非変位部すとの間に設
ける。２１は部分電極であり、縁部材１ａと略平行に複
数の縞状に形成すると共に、縞の幅寸法を内部電極２側
から縁部材ｌａ側に向かって順次減少するように形成す
る。部分電極２１は内部電極２の一部として機能させる
ため２部分電極２１相互間および部分電極２１と内部電
極２との間には導通部材２１、」を設ける。なお第４図
においヱは理解を容易にするため内部電極２１部分電極
２１および導通部材２１ａには、断面ではないがハンチ
ングを付して表示しである。

以上の構成により１部分電極２１を設けた緩衝部Ｃにお
いては、内部電極２を設けた変位部ａにおける程ではな
いが、夫々の縞の幅に相当する変位を生じ、かつこれら
の変位は縁部材１ａを設けた非変位部すと接する部位に
おける０％から、変位部ａと接する部位における１００
％まで順次増大するから、変位の緩衝作用を期待できる
。

次に第５図に示すものは１部分電極２１を内部電極２側
を底辺とする複数の三角形によって形成したもの、第６
図は部分電極２１を複数個の円によって形成すると共に
、変位部ａに近い側の直径を大に、非変位部すに近い側
の直径を小に形成したものであり、何れも前記第４図に
示すものと同様の変位緩衝作用がある。

次に上記のよ・うに部分電極２１を設けた薄板を前記実
施例と同様に積層して、第１図に示すような積層型変位
素子とした。なお第４図ないし第５図に示す部分電極２
１および導通部材２１ａは例えばスクリーン印刷によっ
て内部電極２と同時に印刷可能であることは当然である
。

上記のようにして製作した積層型変位素子に２００〜４
００■の電圧を１０分間印加して分極処理を行ない特性
を測定した。第７図および第８図は各々変位量と印加電
圧および駆動回数との関係を示す図である。なお比較例
として、上記と同一の圧電セラミック薄板材料を使用し
、前記第４図ないし第６図に示す部分電極２１若しくは
緩衝部Ｃを欠如する構成の積層型変位素子を製作した。

第７図および第８図から明らかなように１本実施例のも
のを示すＡは、比較例のものを示すＢより。

同一印加電圧に対する変位量が２０〜３０％大であると
共に、駆動回数すなわち寿命も大幅に向上していること
が認められる。なお第８図におけるＢ、は絶縁破壊発生
による寿命到達点である。

次に第９図および第１０図は各々本発明の第３実施例を
示す要部拡大平面図であり、同一部分は前記第４図ない
し第６図と同一、の参照符号で示す。

まず第９図において、７は孔であり、緩衝部Ｃの領域に
おける薄板１上の内部電極２に複数個設けるのであるが
、非変位部す側の設置数の方が変位部ａ側よりも多くな
るように配設する。この場合内部電極２には、理解を容
易にするため断面ではないがハンチングを付して示した
。第９図に示すものは孔７の直径を同一に形成し、設置
間隔を変位部ａ側と非変位部す側とで異なるようにした
ものである。次に第１０図に示す実施例においては緩衝
部Ｃの領域における薄板１上の内部電極２に設ける孔７
の直径を異に形成し、設置間隔は同一であるが、非変位
部す側の孔７の直径を変位部ａ側のそれより大に形成し
たものである。なお第９図と第１Ｏ図に示すものを組合
せて形成してもよい。上記のような構成の内部電極２を
形成するためには、前記実施例と同様な銀−パラジウム
ペーストのスクリーン印刷手段を適用できるが、この場
合には予めスクリーン上に孔７に相当するマスキングを
しておけばよい。

上記の構成により、緩衝部Ｃにおいては薄板１上の内部
電極２の存在比率が、非変位部すにおける０％から変位
部ａにおける１００％まで順次増大するから、緩衝部Ｃ
における変位量は内部電極２の存在比率に相当する変位
量となり、非変位部ｂにおけるＯから変位部ａにおける
最大変位量まで順次増大する。従って前記実施例と同様
の変位の緩衝作用が期待でき、変位素子全体としての変
位置の増大が可能であり、駆動回数、寿命を大幅に向上
させ得る。

第１）図は本発明の第４実施例を示す要部拡大平面図で
あり、同一部分は前記実施例と同一の符号で示す。第１
）図において非変位部すを薄板１）により、ならびに緩
衝部Ｃを薄板１２〜１４によって形成し、変位部ａを構
成する薄板１と一体的に固着すると共に、これらの薄板
上に内部電極（図示せず）を設けるゆ薄板１）〜１４に
は断面ではないが理解を容易にするためハンチングを付
しである。なお上記薄板１および１）〜１４の圧電歪定
数を夫々ｄ０およびｄｌｌへ・ｄＩ４としたとき＋’ｊ
ｌｌ憤Ｏおよびｄ、□〈ｄＩ３〈ｄｌ、〈ｄｏとなるよ
うに組成の異なる材料によって形成する。

般に緩衝部Ｃをｎ個の薄板１２〜（１）＋ｎ）で形成し
、た場合にｄＩ　＋　〈ｄ　＋　２　＜　　・・−”〈
’　＋　Ｉｎｎ　＜　ｄ　＠となるようにする。従って
ｎが大である程、相隣る薄板構成材料の圧電歪定数の差
を小さくすることができる。このような構成の薄板ｌ、
１）〜１４を形成ずろ６．′、は１例えば薄板１）へ１
４の幅に相当する厚さを有する積層体を形成後、この積
層体の端面と平行に薄板１の厚さに対応する」゛決死ス
ライスし、薄板１と共に厚さ方向にプレスする、二とに
より、第１Ｉ図に示すよ−）に一体化することができる
。

第１２図（ａ）　（ｂｌは各々前記第１）図に示す構成
の緩衝部Ｃの形成手段の例を示す平面図である。すなわ
ち前記のは、うに薄板１）−１）４の積層体を形成し、
この積層体の端面と平行に薄板１の１７さに対応する寸
法にスライスし、第１２図（ａ）に示すように短辺部を
４５″に切断して台形状の緩衝部片ＩＯを形成する。次
に第１２図（ｂｌに示すようＧ、二変位部を形成する′
ｉｉｊ板１の四辺に前記緩衝部枠工０を配設して額縁状
Ｇこ包囲し、プレス加工等４１：　、１って一体化する
ことができる。なお前記薄十反１）−・１４の積層体を
形成後、スライスせずに第１２図ｆａｌに示すような緩
衝部片１０を形成し、プロ）り状の薄板材１０ａの四側
面に緩衝部片１０を圧着した状態でスライスしてもよい
。

第１３図は前記第１）図番コ示す構成の緩衝部Ｃの形成
手段の他の例を示す平面図である。第１３図において、
額縁状に形成した薄板１）〜１４を、変位部を形成すべ
き薄板１の周囲に順次配設した後、プレス加工等によっ
て厚さ方向に圧着して一体化する。

上記のようにして薄板１および１）〜１４を一体に形成
した後、変位部ａおよび緩衝部Ｃ上に内部電極（図示せ
ず）を固着し、前記実施例と同様に積層する。

上記の構成により、緩衝部Ｃにおいては、夫々の薄板１
２〜１４を構成する材料の圧電歪定数ｄｄｚ〜ｄ１４に
対応する変位量を生じ、非変位部すにおける０から変位
部ａにおける最大値まで順次変位量を増大させることが
できる。従って前記実施例と同様の変位の緩衝作用およ
びこれに付随する効果を期待できるのである。

次に第１４図は本発明の第５実施例を示す要部拡大断面
図である。第１４図において、８は絶縁層であり、シト
変位部すおよび緩衝部Ｃを形成する薄板１上に固着する
と共に、緩衝部Ｃにおいては絶縁層８−ヒに内部電極２
の一部を積層する。なお緩衝部Ｃにおける絶縁１５８と
内部電極２の厚さり。

およびｔ、は、変位部ａにおける内部電極２の厚さｔと
の関係において、１．＋１．＝１とｔ「るように形成す
ると共に、絶縁層８の厚さｔＩを非変位部すと接する部
位におけるｔから、変位部ａと接する部位における０ま
で順次連続的に減少するように形成する。この場合上記
１．の変化を段階的若しくは非連続的に変化させてもよ
い。

以上の構成により、緩衝部ｒ、においては、厚さ１　、
なる絶縁層８が存在するから、薄板１に印加される駆動
電圧が変位部ａにおける値より小となり、非変位部すと
接する部位におけるＯから、変位部ａと接する部位にお
ける最大値まで順次連続的若しくは段階的に増大する。

従って変位量も駆動電圧と比例して変化するから、前記
実施例と同様な変位の緩衝作用およびこれに付随する効
果を期待できるのである。

本実施例においては、薄板および内部電極の平面外形輪
郭形状が正方形である場合を示したが正方形以外の円形
、矩形その他の幾何学的形状を任意に選定する、二とが
できる。また薄板を形成する電気機械変換材料としては
１本実施例に示すジルコン酸チタン酸鉛のような圧電セ
ラミック材料のみでなく、他の圧電材料は勿論のこと、
キュリー温度が室温より低いため１分極の必要がなく。

かつ変位量が大であると共にヒステリシスが少ない等の
特徴を有する電歪材ｎを使用した積層型変位素子につい
ても、前記と全く同様な作用を期待できる。このような
電歪材料としては１例えば。

（Ｐｂｏ、ｑ＋ｂ１．、ａｏ、ｏｓ４）（Ｚｒｏ、ｓｓ
　Ｔ’ｉｏ、ｚｓ）ｏ、ｑ、ｑ　Ｏ＋＋（Ｐｂｏ、ａｓ
　Ｓｒｏ、＋ｓ）　（Ｚｒｏ、ｓ＋　Ｔｌｏ、ｚａ　Ｚ
ｎｏ、ｏ＋ｚｓＮｉ、、。ｓｔｓ　Ｎｂｏ。１゜）０３
゜（Ｐｂｏ、ｓｓ　Ｓｒｏ、＋ｓ）　（Ｚｒｏ、５０　
Ｔ　：６．３ｏ　Ｚ　ｎＯ−０５Ｎｉｏ、ｏｓ　Ｎｂｏ
、＋ｏ）０３ 等を使用することができる。なお本実施例においては１
例えば第２実施例において、内部電極の一部を構成する
部分電極の構成例として縞、三角円形のものを示し２第
３実施例において内部電極に設ける孔の形として円形の
ものを示したが、これらの形状に限定されることなく、
他の任意の形状を選定することができる。すなわち要す
るに緩衝部における内部電極（部分電極も含む）の存在
比率が、非変位部における０％から変位部における１０
０％まで順次増大するように形成すればよい。また部分
電極および内部電極の形成手段としてスクリーン印刷法
を使用した例について記述したが、これに限定せず、メ
ツキ、蒸着、塗布等の他の手段によっても作用は同一で
ある。更に内部電極と外部電極とを電気的に接続するり
一ド部ならびに外部電極を形成する材料としては、Ａｕ
Ｐｔ、Ｐｄ、ｒｒ、Ｒｈ、Ｏｓ、Ｒｕの１種若しくは２
種以上またはこれらの合金を使用することができる。な
お一対の外部電極を積層体の対向面に配設する例を示し
たが、隣接面に各々設けてもよ（、−側面に一対を並設
してもよい。

〔発明の効果〕

本発明は５以上記述のよ・）な構成および作用であるか
ら、銀系材料からなる内部電極を完全に密封することが
でき、マイグレーションを完全に防止することができる
。また非変位部と変位部との間に緩衝部を形成するため
、歪の増大若しくは応力集中による割れ等の発生を皆無
とすることができ、信頼性を大幅に向上し得るという効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例を示す要部正面図。 第２図は第１図における薄板を示す平面図、第３図は第
２図におけるＡ　−Ａ　線断面図、第４図〜第６図は夫
々本発明の第２実施例における緩衝部を形成する例を示
す要部拡大平面図、第７図および第８図は各々変位量と
印加電圧および駆動回数との関係を示す図、第９図およ
び第１０図は各々本発明の第３実施例を示す要部拡大平
面図、第１）図は本発明の第４実施例を示す要部拡大平
面図。 第１２図（ａｌ　（ｂｌは各々第１）図に示す構成の緩
衝部の形成手段の例を示す平面図、第１３図は第１）図
に示す構成の緩衝部の形成手段の他の例を示す平面図、
第１４図は本発明の第５実施例を示す要部拡大断面図で
ある。 １．１）〜１４：ＦｉＪ板、１ａ：縁部材、２：内部電
極、７：孔、８：絶縁層、ａ：変位部１　ｂ：非変位部
、ｃ：緩衝部。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. （１）電気機械変換材料からなる薄板を，この薄板の大
   部分を被覆するように形成した内部電極を介して複数枚
   積層して積層体を形成し，この積層体の側面に前記内部
   電極と交互に一層おきに接続すべき一対の外部電極を設
   けてなる積層型変位素子において，内部電極の周縁外方
   にこの内部電極を包囲するように非変位部を形成し，内
   部電極の一部と外部電極とをリード部を介して電気的に
   接続し，前記非変位部に縁部材を一体に設けて内部電極
   と外気との接触を遮断するように形成したことを特徴と
   する積層型変位素子。
2. （２）内部電極およびリード部を銀系材料で形成し，外
   部電極を非銀系材料で形成した請求項（１）記載の積層
   型変位素子。
3. （３）内部電極を銀系材料で形成し，リード部および外
   部電極を非銀系材料で形成した請求項（１）記載の積層
   型変位素子。
4. （４）積層体の側面部近傍に形成される非変位部と積層
   体の内部に形成される変位部との間に緩衝部を設けると
   共に，緩衝部における変位量が非変位部と接する部位に
   おける０％から変位部と接する部位における１００％ま
   で順次増大するように形成した請求項（１）ないし（３
   ）何れかに記載の積層型変位素子。
5. （５）緩衝部における内部電極の存在比率が非変位部に
   おける０％から変位部における１００％まで順次増大す
   るように形成した請求項（４）記載の積層型変位素子。
6. （６）緩衝部を形成する材料の圧電歪定数ｄと薄板を形
   成する材料の圧電歪定数ｄ＿０との比ｄ／ｄ＿０の値を
   ，非変位部と接する部位における０から変位部と接する
   部位における１まで順次増大するように形成した請求項
   （４）記載の積層型変位素子。
7. （７）緩衝部を形成する薄板上に厚さｔ＿１なる絶縁層
   と厚さｔ＿２なる電極層をこの順に固着し，内部電極の
   厚さｔに対してｔ＿１＋ｔ＿２＝ｔとなるように形成す
   ると共に，絶縁層の厚さｔ＿１を非変位部と接する部位
   におけるｔから変位部と接する部位における０まで順次
   減少するように形成した請求項（４）記載の積層型変位
   素子。