JPS58196068A - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
- Publication number
- JPS58196068A JPS58196068A JP57078444A JP7844482A JPS58196068A JP S58196068 A JPS58196068 A JP S58196068A JP 57078444 A JP57078444 A JP 57078444A JP 7844482 A JP7844482 A JP 7844482A JP S58196068 A JPS58196068 A JP S58196068A
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- JP
- Japan
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- internal electrode
- electrode plates
- electrostrictive
- coated
- layer
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/063—Forming interconnections, e.g. connection electrodes of multilayered piezoelectric or electrostrictive parts
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、縦効果を利用し大型歪効果素子の構造に関す
る。
る。
電歪効果の大きな材料を用いて第１図に示すような積層
チップコンデンサ構造の素子を構成すると、低電圧で大
きな歪の発生する電歪効果素子が得られる。すなわち、
第１図（、）に示すように、電歪材料からなる膜ｉ九は
薄板ｌの間に正の内部電極板２．負の内部電極板２′を
交互に挾んで積層し、内部電極板２，２′をそれぞれ外
部電極３ 、３’に接続し九構造である。しかし、上述
の従来の電歪効果素子は、同図伽）の平面図から理解さ
れるように１内部電極板２と２′との重な多部分が素子
面の全面積よシ小とな）、周辺部分では両電極は重なっ
ていない。従って、外部電極３，３′関に電圧を印加す
ると上記電極の重な多部分のみ電界強度が強く表如、周
辺部分の電界強度は弱い。この喪め素子周辺部分は変形
しないばかシでなく、素子全体の変形を阻害し材料固有
の歪蓋を得ることができないという欠点がある。さらに
１変形する部分と、変形しない部分との境界に応力集中
が起こり、高電圧印加、＜）返し印加または長時間印加
等によ□。
チップコンデンサ構造の素子を構成すると、低電圧で大
きな歪の発生する電歪効果素子が得られる。すなわち、
第１図（、）に示すように、電歪材料からなる膜ｉ九は
薄板ｌの間に正の内部電極板２．負の内部電極板２′を
交互に挾んで積層し、内部電極板２，２′をそれぞれ外
部電極３ 、３’に接続し九構造である。しかし、上述
の従来の電歪効果素子は、同図伽）の平面図から理解さ
れるように１内部電極板２と２′との重な多部分が素子
面の全面積よシ小とな）、周辺部分では両電極は重なっ
ていない。従って、外部電極３，３′関に電圧を印加す
ると上記電極の重な多部分のみ電界強度が強く表如、周
辺部分の電界強度は弱い。この喪め素子周辺部分は変形
しないばかシでなく、素子全体の変形を阻害し材料固有
の歪蓋を得ることができないという欠点がある。さらに
１変形する部分と、変形しない部分との境界に応力集中
が起こり、高電圧印加、＜）返し印加または長時間印加
等によ□。
）機械的に素子が破壊するという欠点もある。
上述の欠点を改嵐するため、第２図−、（ｂ）Ｋ示すよ
うな構造にすることが考えられる。すなわち、同ＷＪ（
ａ）に示すように、内部電極板２，２′を電歪材料の膜
（まえは薄板）ｌの全面に交互に形成して積層し、複数
の内部電′ｌ１７Ａ板２の端部を相互に接続して外部端
子Ａに接続し、接散の内部電極板２′は外部端子Ｂに接
続した構造である。従って同図（ｂ）Ｋ示すように内部
電極板２および２′は素子全面に形成されているので、
電極端子ム、Ｂ間に電圧を印加すると、電歪材料の膜１
内の電界分布が一様となシ、素子は均一に変形し、応力
集中も起こら−ない、すなわち、素子はほぼ材料固有の
変形量を示しかつ破壊しＫ＜くなる。しかし、内部電極
板２．２′が接近しているので、内部電極板２相互間お
よび内部電極板２′相互間を電気的に接続することが非
常ＫＪｌｉｉＬい。
うな構造にすることが考えられる。すなわち、同ＷＪ（
ａ）に示すように、内部電極板２，２′を電歪材料の膜
（まえは薄板）ｌの全面に交互に形成して積層し、複数
の内部電′ｌ１７Ａ板２の端部を相互に接続して外部端
子Ａに接続し、接散の内部電極板２′は外部端子Ｂに接
続した構造である。従って同図（ｂ）Ｋ示すように内部
電極板２および２′は素子全面に形成されているので、
電極端子ム、Ｂ間に電圧を印加すると、電歪材料の膜１
内の電界分布が一様となシ、素子は均一に変形し、応力
集中も起こら−ない、すなわち、素子はほぼ材料固有の
変形量を示しかつ破壊しＫ＜くなる。しかし、内部電極
板２．２′が接近しているので、内部電極板２相互間お
よび内部電極板２′相互間を電気的に接続することが非
常ＫＪｌｉｉＬい。
本発明の目的は、上述の事情に＃ｉみ、素子全面に形成
された内部電極板を交互に容易かつ安定に外部電極板に
接続することが可能な電歪効果素子の構造を提案するこ
とＫある。
された内部電極板を交互に容易かつ安定に外部電極板に
接続することが可能な電歪効果素子の構造を提案するこ
とＫある。
本発明め電歪効果素子は、表面の全壊に内部電極板が形
成された同一寸法の電歪材料の膜または薄板を複数枚積
層して側面に前記内部電極板の端面な露出させた積層チ
ップコンデンサ型電歪効果素子を形成し、その１つの側
面において前記内部電極板の端面に一層おきに絶縁物質
を塗布した上から導電物質層を形成し、他の一側面にお
いては上記絶縁物質が塗布されなかった方の内部電極板
の端面に絶縁物質を塗布した上から導電物質層が形成さ
れ九ことを特徴とする。
成された同一寸法の電歪材料の膜または薄板を複数枚積
層して側面に前記内部電極板の端面な露出させた積層チ
ップコンデンサ型電歪効果素子を形成し、その１つの側
面において前記内部電極板の端面に一層おきに絶縁物質
を塗布した上から導電物質層を形成し、他の一側面にお
いては上記絶縁物質が塗布されなかった方の内部電極板
の端面に絶縁物質を塗布した上から導電物質層が形成さ
れ九ことを特徴とする。
次に１本発明について、図面を参照して詳細に脱刷する
。
。
第３図は、本発明の一実施例を示す断面図である。すな
わち、先ずマグネシウム・ニオブ酸鉛Ｐ ｂ （Ｍ ｔ
ｔ７ｓ Ｎ ｂ ｚ７ｓ） Ｏｓを主成分とする電歪材
機の予焼粉末に微量の有機バインダーを添加し、これを
有機溶媒中に分散させ九泥漿を準備し、骸泥漿を、通常
の積層チップコンデンサを製造する成膜機により、マ°
イラーフィルム上に数１００ミクロンの厚さに塗布乾燥
後マイラーフィルムから剥離して電歪材料ｊ！ｌｌ３１
を形成する。該電歪材料ＩＩＩ！３１の表面に、白金ペ
ーストをスクリーン印刷して内部電極板３２を形成する
。上記内部電極板３２が形成された電歪材料膜３゛１を
所定の枚数（通常数１０枚）積層し、熱プレスにより１
体化した後約１２５０℃の温度で焼結すれば、電歪材料
膜３１と内部電極板３２の積層体が得られる。
わち、先ずマグネシウム・ニオブ酸鉛Ｐ ｂ （Ｍ ｔ
ｔ７ｓ Ｎ ｂ ｚ７ｓ） Ｏｓを主成分とする電歪材
機の予焼粉末に微量の有機バインダーを添加し、これを
有機溶媒中に分散させ九泥漿を準備し、骸泥漿を、通常
の積層チップコンデンサを製造する成膜機により、マ°
イラーフィルム上に数１００ミクロンの厚さに塗布乾燥
後マイラーフィルムから剥離して電歪材料ｊ！ｌｌ３１
を形成する。該電歪材料ＩＩＩ！３１の表面に、白金ペ
ーストをスクリーン印刷して内部電極板３２を形成する
。上記内部電極板３２が形成された電歪材料膜３゛１を
所定の枚数（通常数１０枚）積層し、熱プレスにより１
体化した後約１２５０℃の温度で焼結すれば、電歪材料
膜３１と内部電極板３２の積層体が得られる。
該積層体の側面を所要寸法に切断し、内部電極板３２０
図中左側端面に１層おきに絶縁物質３３を塗布し、図中
右側端面には同様に一層おきＫＩＡ耐物質３３′を塗布
する。一層おきの塗布は、例えばスクリーン印刷法等に
よシ容易に行なうことができる。そして、その上に導電
物質層を形成して外部電極３４ 、３４’とすれば、外
部電極３４．３４’はそれぞれ１層おきの内部電極板３
２に接続される。上述の１５ＶＣ形成され走電歪効果素
子は、製造が容易であシ、内部電極板３２は交互に安定
に外部電極３４ 、３４’に接続されている。また内部
電極板３２は電歪材料膜３１の全面に形成されている九
め電歪材料膜３ＨＣ均一な電界強度を与える仁とができ
るため、応力集中を起こさないから破壊のおそれが力い
。外部電極３４ 、３４’間に電圧を印加すれば各膜の
厚み方向すなわち図中上下方向に伸びる。皺伸び量は材
量固有の変形量に応じ素子全体の寸法によって定まる。
図中左側端面に１層おきに絶縁物質３３を塗布し、図中
右側端面には同様に一層おきＫＩＡ耐物質３３′を塗布
する。一層おきの塗布は、例えばスクリーン印刷法等に
よシ容易に行なうことができる。そして、その上に導電
物質層を形成して外部電極３４ 、３４’とすれば、外
部電極３４．３４’はそれぞれ１層おきの内部電極板３
２に接続される。上述の１５ＶＣ形成され走電歪効果素
子は、製造が容易であシ、内部電極板３２は交互に安定
に外部電極３４ 、３４’に接続されている。また内部
電極板３２は電歪材料膜３１の全面に形成されている九
め電歪材料膜３ＨＣ均一な電界強度を与える仁とができ
るため、応力集中を起こさないから破壊のおそれが力い
。外部電極３４ 、３４’間に電圧を印加すれば各膜の
厚み方向すなわち図中上下方向に伸びる。皺伸び量は材
量固有の変形量に応じ素子全体の寸法によって定まる。
以上のように、本発明においては、電歪材料膜の表面に
内部電極板を形成して積層し、前記内部電極板の側端面
に交互に絶縁物質を塗布した上に導電物質層を形成しそ
外部電極とする構造としたから、前記内部電極板は、そ
れぞれ一層おきに別の外部電極に接続される。本構造の
素子は、製造容易であり、工業的生産能率を向上させる
という効果がある。しかも内部電極板は電歪材料膜の全
面く形成されているため電歪材−料に応力集中を起こさ
ず素子を破壊させるおそれがなく、素子全体の伸びは１
１５．電歪材料固有の変形量に応じ、従来のように周辺
部の無電界部分による伸びの妨害作用はない。
内部電極板を形成して積層し、前記内部電極板の側端面
に交互に絶縁物質を塗布した上に導電物質層を形成しそ
外部電極とする構造としたから、前記内部電極板は、そ
れぞれ一層おきに別の外部電極に接続される。本構造の
素子は、製造容易であり、工業的生産能率を向上させる
という効果がある。しかも内部電極板は電歪材料膜の全
面く形成されているため電歪材−料に応力集中を起こさ
ず素子を破壊させるおそれがなく、素子全体の伸びは１
１５．電歪材料固有の変形量に応じ、従来のように周辺
部の無電界部分による伸びの妨害作用はない。
第１図（ａ）および（ｂ）Ｆｉ従来の積層チップコンデ
ンサ型電歪効果素子の一例を示す断面図および平面図、
第２１ｇ（ａ） 、伽）は内部電極板を素子全面に形成
した構造の積層型電歪効果素子を示す断面図および平面
図、第３図は本発明の一実施例を示す断面図である。 図において、ｌ・・・電歪材料のｊＩ！または薄板、２
゜２′・・・内部電極板、３ ＊ ３’・・・外部電極
、３１−電歪材料膜、３２・・・内部電極板、３３．３
３’・・・絶縁物質、３４．３４−外部電極。 代理人弁理士 住 １）俊 宗 纂ｌ閃 冥２ 図 第３図
ンサ型電歪効果素子の一例を示す断面図および平面図、
第２１ｇ（ａ） 、伽）は内部電極板を素子全面に形成
した構造の積層型電歪効果素子を示す断面図および平面
図、第３図は本発明の一実施例を示す断面図である。 図において、ｌ・・・電歪材料のｊＩ！または薄板、２
゜２′・・・内部電極板、３ ＊ ３’・・・外部電極
、３１−電歪材料膜、３２・・・内部電極板、３３．３
３’・・・絶縁物質、３４．３４−外部電極。 代理人弁理士 住 １）俊 宗 纂ｌ閃 冥２ 図 第３図
Claims (1)
- 表面の全域に内部電極板が形成され九同−寸法の電歪材
料の膜ま九は薄板を複数枚積層して側面に前記内部型！
板の端面を露出させ九積層チップコンデンサ薯電歪効果
素子を形成し、その１つの側面において前記内部電極板
Ｏ端面に一層おきに絶縁物質を塗布し九上から導電物質
層を形成し、他の一側面においては上記絶縁物質が塗布
されなかつ先方の内部電極板の端面に絶縁物質を塗布し
先止から導電物質層が形成され九ことを特徴とする電歪
効果素子。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57078444A JPS58196068A (ja) | 1982-05-12 | 1982-05-12 | 電歪効果素子 |
| EP83104556A EP0094078B1 (en) | 1982-05-11 | 1983-05-09 | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
| DE8383104556T DE3378393D1 (en) | 1982-05-11 | 1983-05-09 | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
| CA000427828A CA1206193A (en) | 1982-05-11 | 1983-05-10 | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
| AU14422/83A AU553391B2 (en) | 1982-05-11 | 1983-05-10 | Multilayer electrostrictive element |
| US06/493,583 US4523121A (en) | 1982-05-11 | 1983-05-11 | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57078444A JPS58196068A (ja) | 1982-05-12 | 1982-05-12 | 電歪効果素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58196068A true JPS58196068A (ja) | 1983-11-15 |
| JPS6317354B2 JPS6317354B2 (ja) | 1988-04-13 |
Family
ID=13662207
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57078444A Granted JPS58196068A (ja) | 1982-05-11 | 1982-05-12 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58196068A (ja) |
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1982
- 1982-05-12 JP JP57078444A patent/JPS58196068A/ja active Granted
Cited By (32)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6317354B2 (ja) | 1988-04-13 |
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