JPS60121784A - 積層型圧電体 - Google Patents
積層型圧電体Info
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- JPS60121784A JPS60121784A JP58230392A JP23039283A JPS60121784A JP S60121784 A JPS60121784 A JP S60121784A JP 58230392 A JP58230392 A JP 58230392A JP 23039283 A JP23039283 A JP 23039283A JP S60121784 A JPS60121784 A JP S60121784A
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Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
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Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は各種アクチュエータとして用いる積層型圧電体
に関するものである。
に関するものである。
従来の積層型圧電体は、例えば円形を有していて両面に
電極が形成された圧電板と、この圧電板と略同形である
とともに周縁に１ｌｌｌｉｌの突起を有する金属板とを
備え、これらの圧電板と金属板とは単に交互に積層され
ており、各金属板の突起を隣接するものとは反対方向を
向いていて１枚おいた隣りの金属板の突起と電気的に接
続され、正電極及び負電極が形成されている。ところが
このような積層型圧電体においては、圧電板と金属板は
接着作用がな（圧電板が金属板に対して径方向に移動可
能なため、積層後直ちにケーシングの中に収めるか、あ
るいはケーシングの中に直接積層しなければ、積層状態
を維持することが困難で、取り扱いが面倒であった。従
って、この従来の積層型圧電体に用いられる圧電板は、
予め分極したものである必要があり、製造コストが高く
なるという問題があった。さらにこの種の圧電体は変位
量を多くするため通常高電圧を印加して用いるが、従来
の圧電体においては圧電板の径方向への相対移動のため
に金属板どうしが直接対向し、空気の絶縁破壊□を起こ
しし両電極間で放電するおそれがあった。
電極が形成された圧電板と、この圧電板と略同形である
とともに周縁に１ｌｌｌｉｌの突起を有する金属板とを
備え、これらの圧電板と金属板とは単に交互に積層され
ており、各金属板の突起を隣接するものとは反対方向を
向いていて１枚おいた隣りの金属板の突起と電気的に接
続され、正電極及び負電極が形成されている。ところが
このような積層型圧電体においては、圧電板と金属板は
接着作用がな（圧電板が金属板に対して径方向に移動可
能なため、積層後直ちにケーシングの中に収めるか、あ
るいはケーシングの中に直接積層しなければ、積層状態
を維持することが困難で、取り扱いが面倒であった。従
って、この従来の積層型圧電体に用いられる圧電板は、
予め分極したものである必要があり、製造コストが高く
なるという問題があった。さらにこの種の圧電体は変位
量を多くするため通常高電圧を印加して用いるが、従来
の圧電体においては圧電板の径方向への相対移動のため
に金属板どうしが直接対向し、空気の絶縁破壊□を起こ
しし両電極間で放電するおそれがあった。
また、従来の積層型圧電体は圧電板と金属板が一体にな
っていないため、両者の表面粗度の違い等により両者の
接触面にわずかの空隙が介在し、圧電板に電圧を印加し
た時に生ずる変位が上記空隙部分で吸収されてしまい、
積層型圧電体全体の変位量が減少するという問題点も有
している。
っていないため、両者の表面粗度の違い等により両者の
接触面にわずかの空隙が介在し、圧電板に電圧を印加し
た時に生ずる変位が上記空隙部分で吸収されてしまい、
積層型圧電体全体の変位量が減少するという問題点も有
している。
本発明は上記の点に鑑み、積層型圧電体の圧電板と金属
板の間に電気伝導性を有するペーストを付着させて、圧
電板と金属板を相互に重合積層して接着し一体化形成し
たことにより、製造において積層状態の維持が容易で、
分極を積層後に行なうことができ、しかも高電圧の印加
により放電する恐れがなく、変位量の吸収のないａ層型
圧電体を提供することを目的とする。
板の間に電気伝導性を有するペーストを付着させて、圧
電板と金属板を相互に重合積層して接着し一体化形成し
たことにより、製造において積層状態の維持が容易で、
分極を積層後に行なうことができ、しかも高電圧の印加
により放電する恐れがなく、変位量の吸収のないａ層型
圧電体を提供することを目的とする。
以下、本発明を図示した実施例に基づいて説明する。
第１図〜第４図は本発明の第１実施例を示すものである
。第１図（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、圧電素子を
円板状に成形して得られた圧電板１は、直径１５龍、厚
さ約０．５鶴であり、その両面には直径１３ｍ、厚さ約
３〜１５ミクロンの電気伝導性を有するペースト、例え
ば銀ペースト２が同心円状に付着される。第２図に示さ
れるように、金属板３は直径約１３鶴、厚さ約５０ミク
ロンを有し、外周縁には突起４が形成される。突起４は
金属板３の径方向外方を向き、幅約１ｍ、長さ約３ｍ１
Ｉである・ 第３図に示すようにこれらの圧電板１と金属板３とは銀
ペースト２が接着能力を有する時に交互に重合積層され
、銀ペースト２の接着作用により、これら圧電板１と金
属板３は接着され、乾燥後５００〜７００℃で５〜３０
分熱処理をして両者の積層体は第３図に示すように一体
化形成される。
。第１図（Ａ）、（Ｂ）に示されるように、圧電素子を
円板状に成形して得られた圧電板１は、直径１５龍、厚
さ約０．５鶴であり、その両面には直径１３ｍ、厚さ約
３〜１５ミクロンの電気伝導性を有するペースト、例え
ば銀ペースト２が同心円状に付着される。第２図に示さ
れるように、金属板３は直径約１３鶴、厚さ約５０ミク
ロンを有し、外周縁には突起４が形成される。突起４は
金属板３の径方向外方を向き、幅約１ｍ、長さ約３ｍ１
Ｉである・ 第３図に示すようにこれらの圧電板１と金属板３とは銀
ペースト２が接着能力を有する時に交互に重合積層され
、銀ペースト２の接着作用により、これら圧電板１と金
属板３は接着され、乾燥後５００〜７００℃で５〜３０
分熱処理をして両者の積層体は第３図に示すように一体
化形成される。
また、各金属板３の突起４は、第３図に示されるように
、隣接する金属板３の突起とは１８０℃偏れた方向に位
置する。すなわち、金属板３の突起４は、１枚おいた所
に位置する金属板３の突起４と同じ角度位置にある。こ
れらの突起４は、第３図に示されるように、軸方向に折
曲されて、金属板３の突起４は１つおいた隣りの金属板
３の突起４と干渉し、これらの突起４は、第３図に示す
ようにスポットｆａ接され電気的接続される。この圧電
板ｌと金属板３の積層体Ａは、軸方向長さが約４０１、
外径が約１６鶴である。積層体Ａの軸方向に並ぶ第１の
組の突起４には、電源（図示せず）の正電極に接続され
たり一ドＩＩ ７が溶接あるいはハンダ付けにより取付
けられ、この第１の組の突起４と対向する第２の組の突
起４には、電源の負電極に接続されたリード線８が取付
けられる。
、隣接する金属板３の突起とは１８０℃偏れた方向に位
置する。すなわち、金属板３の突起４は、１枚おいた所
に位置する金属板３の突起４と同じ角度位置にある。こ
れらの突起４は、第３図に示されるように、軸方向に折
曲されて、金属板３の突起４は１つおいた隣りの金属板
３の突起４と干渉し、これらの突起４は、第３図に示す
ようにスポットｆａ接され電気的接続される。この圧電
板ｌと金属板３の積層体Ａは、軸方向長さが約４０１、
外径が約１６鶴である。積層体Ａの軸方向に並ぶ第１の
組の突起４には、電源（図示せず）の正電極に接続され
たり一ドＩＩ ７が溶接あるいはハンダ付けにより取付
けられ、この第１の組の突起４と対向する第２の組の突
起４には、電源の負電極に接続されたリード線８が取付
けられる。
以上の構成を有する積層型圧電体Ａは、その両端に５０
０〜７００ｖの電圧が印加されると、軸方向に数十ミク
ロン伸縮し、これによりアクチュエータとして作用する
。本実施例は圧電板ｌと金属板３が銀ベースト２を介在
させて両者を接着しているから、圧電板ｌと金属板３の
間の空隙がなくなり、第４図に示したように、ただ単に
圧電板ｌと金属板３を積層して作製した積層型圧電体に
比して、同印加亀圧に対する積層体Ａの変位量が荷重５
０ｋｇ／−の時に７〜８ミクロン大きくなった。第４図
は印加電圧７００■における積層体に加える荷重（ｋｇ
／ｃｊ）と積層体の軸方向の変位量（μｍ）を示すもの
である。この伸縮動作の間、この積層体Ａには、圧電体
１と金属板３が銀ペースト２により接着されているので
、圧電板１と金属板３との相対的に位置偏れが起きるこ
とは全くない。従って積層体Ａが、例えば振動衝撃等の
大きな機械的力を受けても、隣接する金属板３が直積対
向することによりこれらの間に放電を起こす恐れがない
。また、本実施例に係る積層型圧電体は、一体的に成形
されているため、コンパクトで取り扱いが容易である。
０〜７００ｖの電圧が印加されると、軸方向に数十ミク
ロン伸縮し、これによりアクチュエータとして作用する
。本実施例は圧電板ｌと金属板３が銀ベースト２を介在
させて両者を接着しているから、圧電板ｌと金属板３の
間の空隙がなくなり、第４図に示したように、ただ単に
圧電板ｌと金属板３を積層して作製した積層型圧電体に
比して、同印加亀圧に対する積層体Ａの変位量が荷重５
０ｋｇ／−の時に７〜８ミクロン大きくなった。第４図
は印加電圧７００■における積層体に加える荷重（ｋｇ
／ｃｊ）と積層体の軸方向の変位量（μｍ）を示すもの
である。この伸縮動作の間、この積層体Ａには、圧電体
１と金属板３が銀ペースト２により接着されているので
、圧電板１と金属板３との相対的に位置偏れが起きるこ
とは全くない。従って積層体Ａが、例えば振動衝撃等の
大きな機械的力を受けても、隣接する金属板３が直積対
向することによりこれらの間に放電を起こす恐れがない
。また、本実施例に係る積層型圧電体は、一体的に成形
されているため、コンパクトで取り扱いが容易である。
さらに圧電板１が単体の状態で分極する必要はなく、積
層体Ａとして組立てた後、これを２０℃〜１００℃のシ
リコンオイル中に浸漬させてリード線７．８に０．５〜
２ＫＶの高電圧を１０〜６０分間印加することにより、
容易に分極できる。従って製造コストが非富に安価なも
のとなる。
層体Ａとして組立てた後、これを２０℃〜１００℃のシ
リコンオイル中に浸漬させてリード線７．８に０．５〜
２ＫＶの高電圧を１０〜６０分間印加することにより、
容易に分極できる。従って製造コストが非富に安価なも
のとなる。
なお、本実施例では突起４は１個だけの金属板３を用い
たが、複数個の突起４を有する金属板を用いてもよい。
たが、複数個の突起４を有する金属板を用いてもよい。
この場合、圧電板１と金属板３は完全に一体的に形成さ
れているため、万一圧電板ｌと金属板３の接着がはがれ
ても圧電板１と金属板３の位置偏れを防止することがで
きる。また、銀ペースト２の直径及び金属板３の直径も
圧電板１の直径とほぼ同一にすることも可能である。こ
の場合は、金属板３あるいは銀ペースト２と突起４の間
で放電を防ぐために、突起４を折曲げる前に、圧電体Ａ
の側面にシリコンゴム等の絶縁物をコーティングするこ
とが好ましい。
れているため、万一圧電板ｌと金属板３の接着がはがれ
ても圧電板１と金属板３の位置偏れを防止することがで
きる。また、銀ペースト２の直径及び金属板３の直径も
圧電板１の直径とほぼ同一にすることも可能である。こ
の場合は、金属板３あるいは銀ペースト２と突起４の間
で放電を防ぐために、突起４を折曲げる前に、圧電体Ａ
の側面にシリコンゴム等の絶縁物をコーティングするこ
とが好ましい。
次に他の実施例について第５図〜第８図に基づいて説明
する。
する。
本実施例は第６図に示すように厚さが約０．５鶴で一辺
が約１２鰭の四角形状で両面に銀ペースト２を付着した
圧電板１を第５図に示すように幅約１（ｌｓｍ、厚さ約
５０ミクロンのリボン状金属板３ａ、３ｂの間に挿入し
て銀ペースト２の接着作用により一体的に形成した構造
を有している。本実施例の積層方法を具体的に説明する
と、第７図において圧電板１を金属板３の上にセントし
た後金属板３ａを圧電板１の上にセットする９次に別の
圧電板１を金属板３ａの上にセントした後、金属板３ｂ
を下方へ折曲げる。さらに別の圧電板を金属板３ｂの上
にセットした後、金属板３ａを左側へ折曲げるという具
合に圧電板１と金属板３は交互に配列し、かつ金属板３
ａと金属板３ｂも交互に配列した構造をしている。そし
て、所定の寸法（約４０ｆｉ）まで積層した後、積層体
Ａの軸方向にテンションをかけた状態で加熱処理するこ
とにより、圧電板１と金属板３は両者の間に介在する銀
ペースト２により接着して一体的になる。本実施例で得
られた積層体Ａも前述の実施例と同様に、同印加電圧に
対する変位置は、接着しない場合従来のものに比して数
ミクロン大きくなった。尚、本実施例では金属板３ａと
金属板３ｂは直交するように構成しであるが、第ＢＴｌ
ｌｉに示すように金属板３ａ、３ｂを予め連続Ｅ字状に
成形しておき、金属板３ａ、３ｂを対向して重ね合わせ
た後、金属板３ａと金属板３ｂの間に前記圧電板１を挿
入した後、前記実施例と同様に成形することも可能であ
る。
が約１２鰭の四角形状で両面に銀ペースト２を付着した
圧電板１を第５図に示すように幅約１（ｌｓｍ、厚さ約
５０ミクロンのリボン状金属板３ａ、３ｂの間に挿入し
て銀ペースト２の接着作用により一体的に形成した構造
を有している。本実施例の積層方法を具体的に説明する
と、第７図において圧電板１を金属板３の上にセントし
た後金属板３ａを圧電板１の上にセットする９次に別の
圧電板１を金属板３ａの上にセントした後、金属板３ｂ
を下方へ折曲げる。さらに別の圧電板を金属板３ｂの上
にセットした後、金属板３ａを左側へ折曲げるという具
合に圧電板１と金属板３は交互に配列し、かつ金属板３
ａと金属板３ｂも交互に配列した構造をしている。そし
て、所定の寸法（約４０ｆｉ）まで積層した後、積層体
Ａの軸方向にテンションをかけた状態で加熱処理するこ
とにより、圧電板１と金属板３は両者の間に介在する銀
ペースト２により接着して一体的になる。本実施例で得
られた積層体Ａも前述の実施例と同様に、同印加電圧に
対する変位置は、接着しない場合従来のものに比して数
ミクロン大きくなった。尚、本実施例では金属板３ａと
金属板３ｂは直交するように構成しであるが、第ＢＴｌ
ｌｉに示すように金属板３ａ、３ｂを予め連続Ｅ字状に
成形しておき、金属板３ａ、３ｂを対向して重ね合わせ
た後、金属板３ａと金属板３ｂの間に前記圧電板１を挿
入した後、前記実施例と同様に成形することも可能であ
る。
以上、本発明の具体的実施例について説明してきたが、
圧電体ｌと金属板３の接着方法は必ずしも銀ペースト２
を用いて熱処理で行なうａ・要はなく、例えば銀ペース
ト２をスクリーン印刷した直後、圧電板１と金属板３を
積層した後、乾燥焼付を行ってもよい等、製造方法は上
述した範囲に限定するものではない。例えば、銀ペース
トの代わりに銀エポキシペーストを用いて、圧電板ｌと
金属板３を積層し一体化した後、熱処理を行っても同様
の効果が期待できる。また圧電板１と金属板３の積層態
様も上記実施例に限定するものではない。
圧電体ｌと金属板３の接着方法は必ずしも銀ペースト２
を用いて熱処理で行なうａ・要はなく、例えば銀ペース
ト２をスクリーン印刷した直後、圧電板１と金属板３を
積層した後、乾燥焼付を行ってもよい等、製造方法は上
述した範囲に限定するものではない。例えば、銀ペース
トの代わりに銀エポキシペーストを用いて、圧電板ｌと
金属板３を積層し一体化した後、熱処理を行っても同様
の効果が期待できる。また圧電板１と金属板３の積層態
様も上記実施例に限定するものではない。
なお、上記各実施例において用いた圧電板１はＰ ｂ
Ｔ ｉ Ｏ３、Ｐ ｂ Ｚ ｒ ０３にＰ ｂ （Ｃｏ
Ｉ／３Ｎｂ ２／３） ０３＋ Ｐ ｂ （Ｚｎ ｖ
３ Ｎｂ ２／３） ０３゜Ｐｂ （Ｎｉ ｌ／３Ｎｂ
２／３）０３．Ｐｂ （Ｙｌ／２Ｎｂｌ／２）Ｏ：］等
を固溶したもの、あるいはＮ ｂ ２０５、ＷＯ２等を
ドープしたものを用いているが、圧電効果を有するもの
であれば有機無機を問わず何れでもよく、好ましくは電
圧ｄ３３定数の太きいものがよい。
Ｔ ｉ Ｏ３、Ｐ ｂ Ｚ ｒ ０３にＰ ｂ （Ｃｏ
Ｉ／３Ｎｂ ２／３） ０３＋ Ｐ ｂ （Ｚｎ ｖ
３ Ｎｂ ２／３） ０３゜Ｐｂ （Ｎｉ ｌ／３Ｎｂ
２／３）０３．Ｐｂ （Ｙｌ／２Ｎｂｌ／２）Ｏ：］等
を固溶したもの、あるいはＮ ｂ ２０５、ＷＯ２等を
ドープしたものを用いているが、圧電効果を有するもの
であれば有機無機を問わず何れでもよく、好ましくは電
圧ｄ３３定数の太きいものがよい。
本発明は積層型圧電体において圧電板と金属板との間に
電気伝導性を有するペースト介在させて両者を接着し一
体成形したことから、従来のものに比べ積層状態の維持
が容易で積層型圧電体が伸縮作動中はもちろん振動衝撃
等の大きな機械的力を受けても、圧電板と金属板との相
対的を位置偏れを起こすことがなくなり、高電圧の印加
に対しても金属板どうしの放電問題もなくなるという優
れた効果がある。また、圧電板と金属板の間には前記ペ
ーストが充填されているので、両者の間に圧電体の変位
量を吸収する空隙がなくなり、従来のものに比して印加
電圧に対する積層型圧電体の変位量が大きくなるという
効果がある。さらに、圧電板の表面粗度にばらつきのあ
る場合でも、接着層である前記ペーストにより表面が均
一となるため、変位量に及ぼす影響を最小にし、特性の
ばらつきを小さくすることもできる。
電気伝導性を有するペースト介在させて両者を接着し一
体成形したことから、従来のものに比べ積層状態の維持
が容易で積層型圧電体が伸縮作動中はもちろん振動衝撃
等の大きな機械的力を受けても、圧電板と金属板との相
対的を位置偏れを起こすことがなくなり、高電圧の印加
に対しても金属板どうしの放電問題もなくなるという優
れた効果がある。また、圧電板と金属板の間には前記ペ
ーストが充填されているので、両者の間に圧電体の変位
量を吸収する空隙がなくなり、従来のものに比して印加
電圧に対する積層型圧電体の変位量が大きくなるという
効果がある。さらに、圧電板の表面粗度にばらつきのあ
る場合でも、接着層である前記ペーストにより表面が均
一となるため、変位量に及ぼす影響を最小にし、特性の
ばらつきを小さくすることもできる。
第１図〜第４図は本発明の一実施例を説明するに供する
図で、第１図（Ａ）は圧電板の平面図、第１図（Ｂ）は
この圧電板の側面図、第２図は金属板を示す平面図、第
３図は積層体を示す平面図、第４図は印加電圧７００Ｖ
における荷重と積層体の変位量を示した図で（イ）は本
実施例を示し、（ロ）は従来例を示す。 第５図〜第８図は他の実施例を示す図で、第５図は積層
体を示す平面図、第６図（Ａ）は圧電板の平面図、第６
図（Ｂ）は圧電板の側面図、第７図は積層体の製造方法
の説明に供する平面図、第８図は他の実施例を示す平面
図。 １・・・圧電板、２・・・銀ペースト、３．３ａ、３ｂ
・・・金属板。 代理人弁理士 岡 部 隆 第１図 第２図 （Ａ） 第４図 ０ １００ ２００ ｃｒｔ （ｋｇ／ｃｍ’） 第５図 第６図 第７図 第８図
図で、第１図（Ａ）は圧電板の平面図、第１図（Ｂ）は
この圧電板の側面図、第２図は金属板を示す平面図、第
３図は積層体を示す平面図、第４図は印加電圧７００Ｖ
における荷重と積層体の変位量を示した図で（イ）は本
実施例を示し、（ロ）は従来例を示す。 第５図〜第８図は他の実施例を示す図で、第５図は積層
体を示す平面図、第６図（Ａ）は圧電板の平面図、第６
図（Ｂ）は圧電板の側面図、第７図は積層体の製造方法
の説明に供する平面図、第８図は他の実施例を示す平面
図。 １・・・圧電板、２・・・銀ペースト、３．３ａ、３ｂ
・・・金属板。 代理人弁理士 岡 部 隆 第１図 第２図 （Ａ） 第４図 ０ １００ ２００ ｃｒｔ （ｋｇ／ｃｍ’） 第５図 第６図 第７図 第８図
Claims (1)
- 圧電素子から成形された複数の圧電板と、圧電板の両面
に１１着した電気伝導性を有するペーストと、電気的に
接続されて電極となる複数の金属板とを具備し、前記ペ
ーストの付着された前記圧電板と前記金＠坂とを相互に
重合積層し、前記圧電板と前記金属板の間に介在する前
記ペーストが、両者間の空隙を充填し両者を接着して、
一体化形成したことを特徴とする積層型圧電体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58230392A JPH0740613B2 (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 積層型圧電体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58230392A JPH0740613B2 (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 積層型圧電体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60121784A true JPS60121784A (ja) | 1985-06-29 |
| JPH0740613B2 JPH0740613B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=16907154
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58230392A Expired - Lifetime JPH0740613B2 (ja) | 1983-12-05 | 1983-12-05 | 積層型圧電体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0740613B2 (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62291187A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-17 | Nippon Denso Co Ltd | 積層型圧電体 |
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| US5196756A (en) * | 1988-07-15 | 1993-03-23 | Hitachi Ltd. | Stack-type piezoelectric element, process for producing the same, and stack-type piezoelectric device |
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| US7765660B2 (en) | 2005-11-28 | 2010-08-03 | Fujifilm Corporation | Method of manufacturing a multilayered piezoelectric element having internal electrodes and side electrodes |
| DE102013114016A1 (de) * | 2013-12-13 | 2015-06-18 | Bürkert Werke GmbH | Verfahren zur Herstellung eines Piezostapels |
| JP2017183814A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 住友理工株式会社 | 静電型トランスデューサ |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4986816A (ja) * | 1972-12-26 | 1974-08-20 | ||
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| JPS58172392U (ja) * | 1982-05-10 | 1983-11-17 | 日本特殊陶業株式会社 | 連結圧電積層体 |
-
1983
- 1983-12-05 JP JP58230392A patent/JPH0740613B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| JP2017183814A (ja) * | 2016-03-28 | 2017-10-05 | 住友理工株式会社 | 静電型トランスデューサ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0740613B2 (ja) | 1995-05-01 |
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