JPS58196071A - 電歪効果素子 - Google Patents
電歪効果素子Info
- Publication number
- JPS58196071A JPS58196071A JP57078447A JP7844782A JPS58196071A JP S58196071 A JPS58196071 A JP S58196071A JP 57078447 A JP57078447 A JP 57078447A JP 7844782 A JP7844782 A JP 7844782A JP S58196071 A JPS58196071 A JP S58196071A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- internal electrode
- electrostrictive
- internal electrodes
- electrodes
- electrode plates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/01—Manufacture or treatment
- H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
- H10N30/063—Forming interconnections, e.g. connection electrodes of multilayered piezoelectric or electrostrictive parts
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、縦効果を利用したＩＥ金効米素子の構造に関
する。
する。
電歪効果の大きな材料を用いて第１図に示すような積層
チップコンデンサ構造の素子を構成すると、低電圧で大
きな歪の発生する電定効釆索子が得られる。すなわち、
第１図（ａｌｌ）に示すように、電歪材料からなる膜ま
たは薄板１０開に正の内部電極板２．負の内部電極板２
′を交互に挾んで積層し、内部電憔板２，２′をそれぞ
れ外部電極３．３′に接続した構造である。しかし、上
述の従来の電歪効果素子は、同図（ｂ）の平面図から理
解されるように、内部電極板２と２′との重なり部分が
単子面の全面積より小となり、周辺部分では両電極は重
なっていない。従って、外部電極３，３′間に電圧を印
加すると上記電極の重なり部分のみ電界強度が強くなり
、周辺部分の電界強度Ｆ１弱い。このため素子周辺部分
は変形しないばかりでなく、素子全体の変形を阻害し材
料固有の歪量を得る仁とができないという欠点がある。
チップコンデンサ構造の素子を構成すると、低電圧で大
きな歪の発生する電定効釆索子が得られる。すなわち、
第１図（ａｌｌ）に示すように、電歪材料からなる膜ま
たは薄板１０開に正の内部電極板２．負の内部電極板２
′を交互に挾んで積層し、内部電憔板２，２′をそれぞ
れ外部電極３．３′に接続した構造である。しかし、上
述の従来の電歪効果素子は、同図（ｂ）の平面図から理
解されるように、内部電極板２と２′との重なり部分が
単子面の全面積より小となり、周辺部分では両電極は重
なっていない。従って、外部電極３，３′間に電圧を印
加すると上記電極の重なり部分のみ電界強度が強くなり
、周辺部分の電界強度Ｆ１弱い。このため素子周辺部分
は変形しないばかりでなく、素子全体の変形を阻害し材
料固有の歪量を得る仁とができないという欠点がある。
さらに、変形する部分と、変形しない部分との境界に応
力集中が起こり、高電圧印加、くシ返し印加または長時
間部加勢により機械的に素子が破壊するという欠点もあ
る。
力集中が起こり、高電圧印加、くシ返し印加または長時
間部加勢により機械的に素子が破壊するという欠点もあ
る。
上述の欠点を改良するため、第２図（ａ） 、 （ｂ）
に示すような構造にすることが考えられる。すなわち、
同図（＆）に示すように、内部電極板２．２′を電歪材
料の膜（または薄板）１の全面に交互に形成して積層し
、複数の内部電極板２の４部を相互に接続して外部端子
ＡＫ接続し、複数の内部電極板２′は外部端子Ｂに接続
した構造である。従って同図（ｂ）に示すように内部電
極板２および２′は索子全問に形成されているので、電
極端子Ａ、Ｂ間に電圧を印加すると、電歪材料の１１内
の電界分布が一抹となり、素子は均一に変形し、応力集
中も起らない。すなわち、素子はほぼ材料固有の変形Ｉ
Ｉｋをボしかつ破壊し２にくくなる。しかし、内部電＆
＆２゜２′が接近しているので、内部電極＆２相互間お
よび内部電極板２′相互間を電気的に飯枕することが非
常に難しい。
に示すような構造にすることが考えられる。すなわち、
同図（＆）に示すように、内部電極板２．２′を電歪材
料の膜（または薄板）１の全面に交互に形成して積層し
、複数の内部電極板２の４部を相互に接続して外部端子
ＡＫ接続し、複数の内部電極板２′は外部端子Ｂに接続
した構造である。従って同図（ｂ）に示すように内部電
極板２および２′は索子全問に形成されているので、電
極端子Ａ、Ｂ間に電圧を印加すると、電歪材料の１１内
の電界分布が一抹となり、素子は均一に変形し、応力集
中も起らない。すなわち、素子はほぼ材料固有の変形Ｉ
Ｉｋをボしかつ破壊し２にくくなる。しかし、内部電＆
＆２゜２′が接近しているので、内部電極＆２相互間お
よび内部電極板２′相互間を電気的に飯枕することが非
常に難しい。
本発明の目的は、上述の事情に鑑み、素子全面に形成さ
れた内部電極板を交互に容易かつ安定に外部電極板に接
続することが可能な電歪効果素子の構造を提案すること
にるる。
れた内部電極板を交互に容易かつ安定に外部電極板に接
続することが可能な電歪効果素子の構造を提案すること
にるる。
本発明の電歪効果素子は、電歪材料のｍまたは薄板と内
部電極板とを交互に一一シて側端面に前記内部電極板の
端面が露出している積層体を形成し、該積層体の１４１
Ｉ端面に感光性樹脂膜を形成し、該感光性樹脂膜は感光
およびエツチングにより一部が除去されて前記内部電極
板の端面を一層おきに露出させ、その上から導電物質が
塗布されたことを特徴とする。
部電極板とを交互に一一シて側端面に前記内部電極板の
端面が露出している積層体を形成し、該積層体の１４１
Ｉ端面に感光性樹脂膜を形成し、該感光性樹脂膜は感光
およびエツチングにより一部が除去されて前記内部電極
板の端面を一層おきに露出させ、その上から導電物質が
塗布されたことを特徴とする。
次に、本発明について、図面を参照して詳細に説明する
。
。
第３図は、本発明の一実施例を示す断面図である。すな
わち、先ずマグネシウム・ニオブ酸鉛Ｐｂ （Ｍｇ １
．、 Ｎｂ 、 ７． ）Ｏｎを主成分とする電歪材料
の予焼粉末に微量の有機バインダーを添加し、これを有
機溶媒中に分散させた泥漿を準備し、核泥漿を、通常の
積層チップコンデンサを製造する成膜徐によシ、マイラ
ーフィルム上に数１０ｏミｌｏンの厚さに塗布乾燥後マ
イラーフィルムカラ剥離して電歪材料膜３１を形成する
。該電歪材料膜３１の表面に、白金ペーストをスクリー
ン印刷して内部電極板３２′ｔ−形成する。上記内部電
極板謬 ３２が形成された電歪材料膜３１を画定の枚数（通常数
１０枚）積層し、熱プレスにより１体化した後約１２５
０℃の温度で焼結すれば、′シ歪材料膜３１と内部電極
板３２の積層体が得られる。
わち、先ずマグネシウム・ニオブ酸鉛Ｐｂ （Ｍｇ １
．、 Ｎｂ 、 ７． ）Ｏｎを主成分とする電歪材料
の予焼粉末に微量の有機バインダーを添加し、これを有
機溶媒中に分散させた泥漿を準備し、核泥漿を、通常の
積層チップコンデンサを製造する成膜徐によシ、マイラ
ーフィルム上に数１０ｏミｌｏンの厚さに塗布乾燥後マ
イラーフィルムカラ剥離して電歪材料膜３１を形成する
。該電歪材料膜３１の表面に、白金ペーストをスクリー
ン印刷して内部電極板３２′ｔ−形成する。上記内部電
極板謬 ３２が形成された電歪材料膜３１を画定の枚数（通常数
１０枚）積層し、熱プレスにより１体化した後約１２５
０℃の温度で焼結すれば、′シ歪材料膜３１と内部電極
板３２の積層体が得られる。
該積層体の側面を所要寸法に切断すれば、ｌ１１１面に
内部電極板３２の端面が露出する。該積層体の側面全体
に光硬化性樹脂３３を均一な厚さに塗布し、１つの側面
に、絶縁体を形成すべき部分、すなわち内部電極板３２
の端面（直線状）部を交互に覆うマスタを介して紫外線
ｔ一層射する。もう１つ別の側面においては、同様に上
記と１段ずれたマスクによシ紫外線照射を行なう。その
後、有機溶済でエツチングすると紫外線の当らなかった
部分は溶済にとけて除去される。この状態で９００℃根
度に加熱し、残った絶縁体部分を焼付ける。その上から
例えば蒸着により金属−を形成して外部電極３４ 、３
４’とする。内部電極板３２は、勿論一層おきにそれぞ
れ外部電極３４ 、３４’に交互に接続されている。
内部電極板３２の端面が露出する。該積層体の側面全体
に光硬化性樹脂３３を均一な厚さに塗布し、１つの側面
に、絶縁体を形成すべき部分、すなわち内部電極板３２
の端面（直線状）部を交互に覆うマスタを介して紫外線
ｔ一層射する。もう１つ別の側面においては、同様に上
記と１段ずれたマスクによシ紫外線照射を行なう。その
後、有機溶済でエツチングすると紫外線の当らなかった
部分は溶済にとけて除去される。この状態で９００℃根
度に加熱し、残った絶縁体部分を焼付ける。その上から
例えば蒸着により金属−を形成して外部電極３４ 、３
４’とする。内部電極板３２は、勿論一層おきにそれぞ
れ外部電極３４ 、３４’に交互に接続されている。
本実施例によれば、製造工程が容易であり、工業的大量
生産に適するという効果がある。すなわち、低電圧で歪
効果の大きい電歪効果素子を工業的に容□易に製造可能
である。なお、露光した部分が溶済にとける検知の絶縁
性樹脂を使用しても、一様に必要部分に絶縁膜を形成で
きることは勿論である。
生産に適するという効果がある。すなわち、低電圧で歪
効果の大きい電歪効果素子を工業的に容□易に製造可能
である。なお、露光した部分が溶済にとける検知の絶縁
性樹脂を使用しても、一様に必要部分に絶縁膜を形成で
きることは勿論である。
以・上のように、本発明においては、電歪材料のＭまた
は薄板の全面に内部電極板を形成して積層し、該積層体
の側面に露出した前記内部−極板の端面を感光性樹脂に
よって一層おきに絶縁した上から外部電極を形成するよ
うに構成したから、製造が容易で大量生産に適するとい
う効果がある。
は薄板の全面に内部電極板を形成して積層し、該積層体
の側面に露出した前記内部−極板の端面を感光性樹脂に
よって一層おきに絶縁した上から外部電極を形成するよ
うに構成したから、製造が容易で大量生産に適するとい
う効果がある。
また積層構造であるから、低電圧によって縦効果を利用
した大きな歪を得ることができることは勿論であり、さ
らに内部電極板と素子断面積とが二致しているため電歪
材料に集中応力を起こさ□ず一層を破壊させず、従来の
ように素子周辺部の無電界部による伸びの妨害作用はな
い。
した大きな歪を得ることができることは勿論であり、さ
らに内部電極板と素子断面積とが二致しているため電歪
材料に集中応力を起こさ□ず一層を破壊させず、従来の
ように素子周辺部の無電界部による伸びの妨害作用はな
い。
す型の電歪効果素子の二側を示す断面図および平面図、
第２図（ａ） 、伽）は内部電極板を素子全面に形成し
た構造の積層型電歪効果素子を示す一面図および平面図
、第３図は本発明の一実施例を示す断面図である。 図において、ｌ・・・電歪材料の換または薄板、２１２
′・・・内部電極板、３．３’・・・外部電極、３１・
・・電歪材料の膜、３２・・・内部電極板、３３・・・
光硬化性樹脂、３４．３４’−・外部電極。 代理人弁理士 住 １）俊 宗 纂１図 ！ 冥２図 第３図
第２図（ａ） 、伽）は内部電極板を素子全面に形成し
た構造の積層型電歪効果素子を示す一面図および平面図
、第３図は本発明の一実施例を示す断面図である。 図において、ｌ・・・電歪材料の換または薄板、２１２
′・・・内部電極板、３．３’・・・外部電極、３１・
・・電歪材料の膜、３２・・・内部電極板、３３・・・
光硬化性樹脂、３４．３４’−・外部電極。 代理人弁理士 住 １）俊 宗 纂１図 ！ 冥２図 第３図
Claims (1)
- 電歪材料ＯＩＩまたは薄板と内部電極板とを交互に積層
して側端面に前記内部電極板の端面が露出してｂる積層
体を形成し、該積層体の側ｊＩＩＩＷＪに感光性樹脂膜
を形成し、該感光性樹脂膜は感光およびエツチングによ
り一部が除去されて前記内部電極板の端面を一層おきに
露出させ、その上から導電物質が塗布されたことを特徴
とする電歪効果素子。
Priority Applications (6)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57078447A JPS58196071A (ja) | 1982-05-12 | 1982-05-12 | 電歪効果素子 |
| EP83104556A EP0094078B1 (en) | 1982-05-11 | 1983-05-09 | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
| DE8383104556T DE3378393D1 (en) | 1982-05-11 | 1983-05-09 | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
| CA000427828A CA1206193A (en) | 1982-05-11 | 1983-05-10 | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
| AU14422/83A AU553391B2 (en) | 1982-05-11 | 1983-05-10 | Multilayer electrostrictive element |
| US06/493,583 US4523121A (en) | 1982-05-11 | 1983-05-11 | Multilayer electrostrictive element which withstands repeated application of pulses |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57078447A JPS58196071A (ja) | 1982-05-12 | 1982-05-12 | 電歪効果素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58196071A true JPS58196071A (ja) | 1983-11-15 |
Family
ID=13662288
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57078447A Pending JPS58196071A (ja) | 1982-05-11 | 1982-05-12 | 電歪効果素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58196071A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60128683A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Tohoku Metal Ind Ltd | 積層型圧電アクチユエ−タの製造方法 |
| JPS61102078A (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-20 | Hitachi Metals Ltd | 積層圧電素子 |
| JPS61182056U (ja) * | 1985-05-01 | 1986-11-13 | ||
| JPH0236578A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-06 | Mitsubishi Kasei Corp | 積層型圧電素子 |
| JPH02137279A (ja) * | 1988-11-17 | 1990-05-25 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| JPH05259524A (ja) * | 1992-12-25 | 1993-10-08 | Hitachi Metals Ltd | 積層型圧電素子 |
-
1982
- 1982-05-12 JP JP57078447A patent/JPS58196071A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60128683A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Tohoku Metal Ind Ltd | 積層型圧電アクチユエ−タの製造方法 |
| JPS61102078A (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-20 | Hitachi Metals Ltd | 積層圧電素子 |
| JPS61182056U (ja) * | 1985-05-01 | 1986-11-13 | ||
| JPH0236578A (ja) * | 1988-07-26 | 1990-02-06 | Mitsubishi Kasei Corp | 積層型圧電素子 |
| US4994703A (en) * | 1988-07-26 | 1991-02-19 | Mitsubishi Kasei Corporation | Piezoelectric element of laminate type |
| JPH02137279A (ja) * | 1988-11-17 | 1990-05-25 | Nec Corp | 電歪効果素子 |
| JPH05259524A (ja) * | 1992-12-25 | 1993-10-08 | Hitachi Metals Ltd | 積層型圧電素子 |
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