JPS63166100A - アドレス変換方式 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、メモリなどのＩＣの検査を行うためのＩＣ
Ｍ査装置において、パターン発生部により発生されたア
ドレス信号の論理アドレスから物理アドレスへの変換（
アドレス・スクランブル）を行うためのアドレス変換方
式に関する。

［従来の技術］ 従来のＩ（ＪＪ査装置におけるアドレス変換方式は、１
個のアドレス変換テーブル（一般にランダムアクセスメ
モリに置かれる）を備え、パターン発生部から出力され
たアドレス信号をアドレス情報として用いアドレス変換
テーブルの読み出しを行うことにより、アドレス変換後
のアドレス信号を得る構成であった。

また、アドレス変換テーブルは一般に、ＩＣ検査装置の
中央処理部（ＣＰＵ）により書き換え可能となっている
。

［解決しようとする問題点コ このようなアドレス変換方式にあっては、アドレス変換
テーブルに格納されたＨｆｔ類の変換条件によってしか
、アドレス変換を行うことができなかった。

勿論、中央処理部からアドレス変換テーブルの書き換え
を杼うことにより、変換条件を変更することは可能であ
るが、その書き換えにかなり長い時間がかかるため、検
査の中断時間が増加し、検査の効率が低下する。また、
検査中にアドレス変換条件をダイナミックに切り換える
ことは不ｎ１能である。

［発明の［１的コ この発明は、そのような従来の問題点を解消し、変換条
件を短時間で切り換えることができるようにした、ＩＣ
検査装置のアドレス変換方式を提供することにある。

［問題点を解決するための手段コ この］１的を達成するために、この発明にあっては、複
数のアドレス変換テーブルと、この複数のアドレス変換
テーブルを選択的に有効にさせるためのテーブル選択信
号を保持する手段とが備えられ、ＩＣ検査装置のパター
ン発生部より出力されたアドレス信号が前記複数のアド
レス変換テーブルに共通にアドレス信号として入力され
、前記テーブル選択信号により有効にされた一つの前記
アドレス変換テーブルからアドレス変換されたアドレス
信号が出力される。

［作用］ このように、複数のアドレス変換テーブルを選択的に用
いてアドレス変換が行われるから、予め異なった変換条
件を各アドレス変換テーブルに登録しておけば、変換条
件を短時間で切り換えることができる。

したがって、従来のようにアドレス変換条件の切り換え
のために、検査が長時間にわたって中断されることがな
くなり、検査処理の効率を政庁できる。

また、検査装置の中央処理部によりテーブル選択信号を
直接制御させるようにすれば、アドレス変換条件を実時
間でダイナミックに切り換えながら検査を行うことも可
能である。

さらに、あるアドレス変換テーブルを用いて検査中に、
他のアドレス変換テーブルの書き換えを行うとこができ
るため、従来のように、アドレス変換条件の変更のため
に、検査が中断されることもな（なる。

［実施例］ 以下、図面を参照し、この発明の一実施例について詳細
に説明する。

第１図は、この発明によるアドレス変換方式の一実施例
を示す概略ブロック図である。

この図において、■はＩＣ検査装置のパターン発生部で
ある。このパターン発生部ｌは−・般にアルゴリズミッ
ク・パターン発生回路であり、ＩＣ検査装置の中央処理
部（ＣＰＵ）２からロードされたプログラムに従ってア
ドレス信号Ａさらにはデータパターン、その他の制御信
号などを発生する。

３はランダムアクセスメモリであり、これには複数のア
ドレス変換テーブル４１〜４ｎが格納される。このラン
ダムアクセスメモリ３は中央処理部２からアクセスがｉ
Ｉ能であり、検査に先立って各アドレス変換テーブル４
に異なった変換条件のアドレス変換情報が書き込まれる
。

Ｓはアドレス変換テーブル４を選択的に有効にするため
のテーブル選択信号であり、これは中央処理部２からレ
ジスタ５に設定される。当然、このテーブル選択信号Ｓ
は中央処理部２により制御＋’＋１能である。

前記アドレス信号Ａおよび前記テーブル選択信号Ｓは、
ランダムアクセスメモリ３に対してアドレス情報信号と
して入力される。

巳のような構成において、パターン発生部１から出力さ
れたアドレス４９号Ａおよびテーブル選択信号Ｓをアド
レス情報信号として、ランダムアクセスメモリ３がアク
セスされる。

その結果、テーブル選択信号Ｓにより有効にされた一つ
のアドレス変換テーブル４の、前記アドレス信号Ａによ
って決定されるアドレスの情報が読み出され、アドレス
変換後のアドレス信号Ｂとしてランダムアクセスメモリ
３より出力される。

アドレス変換条件の切り換えが必要となった場合、中央
処理部２側から、必要なアドレス変換テーブル４を有効
にするためのテーブル選択信号Ｓがレジスタ５に再設定
されることにより、そのアドレス変換テーブル４に対応
する変換条件でアドレス信号Ａのアドレス変換が行われ
る。

このようなテーブル選択信号Ｓの設定操作は短時間で打
うことができるから、アドレス変換条件の切り換えのた
めの検査の中断時間は極めて短くすることができる。し
たがって、アドレス変換条件を実時間でダイナミックに
切り換えながら検査を行うことも可能である。

また、従来は一つのアドレス変換テーブルの内容の書き
換え中は、そのアドレス変換テーブルを必要とする検査
は実行できなかった。これに対し、この実施例において
は、あるアドレス変換テーブル４を用いてアドレス変換
を行いつつ検査が実行されている間に、他のアドレス変
換テーブル４の内容を中央処理部２から書き換えること
も可能である。

以上、この発明の一実施例について説明したが、この発
明はそれだけに限定されるものではなく、様々な変形が
許されるものである。

例えば、各アドレス変換テーブルを独立のメモリチップ
にそれぞれ格納し、テーブル選択信号によりチップ選択
を行うことにより、アドレス変換テーブルを選択的に有
効にさせるようにしてもよい。

また、パターン発生部のプログラムによってテーブル選
択信号を制御させることも可能である。

［発明の効果］ 以−Ｉ−の説明から明らかなように、この発明によれば
、複数のアドレス変換テーブルを選択的に用いてアドレ
ス変換が杼われるから、予め異なった変換条件を各アド
レス変換テーブルに登録しておけば、変換条件を短時間
で切り換えることができるため、従来のようにアドレス
変換条件の切り換え、もしくは変更のために検査が長時
間にわたって中断されることがなくなり、検査処理の効
率を改善できるとともに、アドレス変換条件を実時間で
ダイナミックに切り換えながら検査を行うことも容易と
なる。

【図面の簡単な説明】 第１図は、この発明によるアドレス変換方式の一実施例
を示す概略ブロック図である。 １・・・パターン発生部、２・・・中央処理部、３・・
・ランダムアクセスメモリ、４１〜４ｎ・・・アドレス
変換テーブル、５・・・レジスタ、Ａ・・・変換前アド
レス信号、Ｂ・・・変換後アドレス信号、Ｓ・・・テー
ブル選択信号。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）ＩＣ検査装置において、パターン発生部より出力
   されるアドレス信号のアドレス変換を行うためのアドレ
   ス変換方式であって、複数のアドレス変換テーブルと、
   この複数のアドレス変換テーブルを選択的に有効にさせ
   るためのテーブル選択信号を保持する手段とを有し、前
   記パターン発生部から出力されたアドレス信号が前記複
   数のアドレス変換テーブルに共通にアドレス信号として
   入力され、前記テーブル選択信号により有効にされた一
   つの前記アドレス変換テーブルからアドレス変換された
   アドレス信号が出力されることを特徴とするアドレス変
   換方式。
2. （２）テーブル選択信号を保持するための手段はＩＣ検
   査装置の中央処理部より制御されるレジスタであり、前
   記テーブル選択信号は前記中央処理部により前記レジス
   タに設定されることを特徴とする特許請求の範囲第１項
   に記載のアドレス変換方式。
3. （３）各アドレス変換テーブルの内容はＩＣ検査装置の
   中央処理部より書き換えることが可能であことを特徴と
   する特許請求の範囲第１項または第２項に記載のアドレ
   ス変換方式。