JPS63165435A - 有機金属重合組成物の製造方法 - Google Patents

有機金属重合組成物の製造方法

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Publication number
JPS63165435A
JPS63165435A JP61311617A JP31161786A JPS63165435A JP S63165435 A JPS63165435 A JP S63165435A JP 61311617 A JP61311617 A JP 61311617A JP 31161786 A JP31161786 A JP 31161786A JP S63165435 A JPS63165435 A JP S63165435A
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JP
Japan
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group
metal
water
carbon atoms
yttrium
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Application number
JP61311617A
Other languages
English (en)
Inventor
Satoru Okita
大北 哲
Minoru Sasaki
稔 佐々木
Makoto Hori
誠 堀
Takao Kanai
隆雄 金井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Krosaki Harima Corp
Nippon Steel Chemical and Materials Co Ltd
Niterra Co Ltd
Original Assignee
Kurosaki Refractories Co Ltd
NGK Spark Plug Co Ltd
Nippon Steel Corp
Nippon Steel Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、セラミックス前駆体としての1ila金属徂
金属酸物の製造方法に関するものである。詳しく述べる
と、酸化物系セラミックスの繊維、薄膜、シート等を得
るのに好適な原料となる有機金属重合組成物の製造方法
に関するものである。
(従来の技術) 各種金属アルコキシドを加水分解し、金属酸化物や水酸
化物を得る方法は、数多く知られている(例えば工業材
料輩、Nα5,85〜89;同輩、Nα6゜101〜1
10:エレク1−ロニク・セラミクス1986年3月号
;特開昭58−2,205号:特開昭56−9.427
号等)。また、緻密かつ透明な塊状物を作製するために
、特に酸系、例えば塩酸等の触媒を用いて金属アルコキ
シドを加水分解してゲル状物を作製したのち、徐々に加
熱することも行なわれている。
(発明が解決しようとする問題点) しかしながら、従来の技術は、金属アルコキシドを加水
分解して重合物を得る方法であるが、多くは粒子を形成
し、得られた粒子状組成物から各種形状物を得ているた
め、繊維、薄膜、シート等の特殊形状物を得るのが困難
であった。また、酸系触媒で金属アルコキシドを加水分
解してゲル状物を得る方法は、加熱処理後の収縮が40
〜70%と大きく、また曳糸性に乏しいため、繊維、薄
膜、シート等の特殊形状物を得るのが困難であった。さ
らに、amを例にした場合、従来の技術は金属アルコキ
シドを加水分解して重合物を得、該重合物を紡糸する際
に曳糸性を付与するために長い反応時開が必要であった
り(特公昭52−47.052号)、高分子水溶液の添
加が必要であったり(特開昭56−9.427@ ’)
 t、た。
したがって、本発明の目的は、セラミックス前駆体とし
ての有機金属重合組成物の製造方法を提供することにあ
る。本発明の伯の目的は、酸化物系セラミックスの繊維
、薄膜、シート等の特殊形状物を得るのに好適な原料と
なる有機金属重合組成物の製造方法を提供することにあ
る。
(問題点を解決するためのf段) 前記開目的は、一般式■およびII RM  (OR” 4−m      (I)  a RnMb (OR’ > 3−n      (II 
)(ただし、式中、mは1または2、nは1、Rはアル
キル基、アリール基、アリル基、ビニル基またはキレー
トを形成する有機残基、R′はアルキル基、Maは四価
の金属であり、またMbは三価の金属である。)で表わ
される有機金属化合物の少なくとも11を、その加水分
解条件下で重合させることを特徴とする有機金属重合組
成物の製造方法により達成される。
(作用) 本発明による有機金属重合組成物の製造方法は、一般式
IおよびII RM  (OR” 4−m      (I)a RnMb(OR’ > 3−n      (II)で
表わされる有機金属化合物の少なくとも1種をその加水
分解条件下で重合させることにより行なわれる。
しかして、上記式IおよびIIにおいて、mは1または
2、nは1、Rはアルキル基、アリール基、アリル基、
ビニル基、またはキレートを形成する有機残基であり、
好ましくは炭素原子数1〜4のアルキル基、炭素原子数
6〜8のアリール基、炭素原子数3〜5のアリル基、炭
素原子数2のビニル基または炭素原子数2〜10のキレ
ートを形成する有機残基である。R′はアルキル基でめ
り、好ましくは炭素原子数1〜7のアルキル基、Maは
アルコキシドを形成し得る四価の金属、例えばケイ素、
チタン、ジルコニウム、錫、ゲルマニウム、ハフニウム
等があり、好ましくはケイ素、チタンおよびジルコニウ
ム等であり、またMbはアルコキシドを形成し得る三価
の金属、例えばンアルミニウム1、イツトリウム、ホウ
素、鉄、ガリウム、インジウム、タリウム、スカンジウ
ム等があり、好ましくはアルミニウム、イツトリウムで
ある。
一般式■で表わされる化合物としては、例えばトリメト
キシメチルシラン、トリメトキシエチルシラン、トリメ
トキシn−プロピルシラン、トリメトキシイソプロピル
シラン、トリメトキモロープチルシラン、トリメトキシ
イソブチルシラン、トリメトキシt−ブチルシラン、ト
リメトキシアリルシラン、トリメ1〜キシビニルシラン
、トリメトキシフェニルシラン、トリメトキシ(アセチ
ルアセトナート)シラン Isリエトキシメチルシラン
、トリエトキシエチルシラン、トリエトキシn−プロピ
ルシラン、トリエトキシイソプロピルシラン、トリエト
キシブチルシラン類、トリエトキシエチルシラン、トリ
エトキシフェニルシラン、トリエトキシ(アセチルアセ
トナート)シラン、トリーn−プロポキシメチルシラン
、トリーn−プロポキシエチルシラン、トリーn−プロ
ポキシn−プロピルシラン、トリーn−プロポキシブチ
ルシラン類、トリイソプロポキシメチルシラン、トリイ
ソプロポキシエチルシラン、トリイソプロポキシフェニ
ルシラン類、トリイソプロポキシ(アセチルアセトナー
ト)シラン、トリプトキシメチルシラン類、トリブトキ
シ(エチルアセチルアセテート)シラン類、ジメトキシ
ジメチルシラン、ジメトキシジエチルシラン、ジメトキ
シジイソプロピルシラン、ジメトキシジ−n−ブチルシ
ラン、ジメトキシジイソブチルシラン、ジメトキシジフ
ェニルシラン、ジメトキシジー(アセチルアセ!・ナー
ト)シラン、ジェトキシジメチルシラン、ジェトキシジ
エチルシラン、ジェトキシジイソプロピルシラン、ジェ
トキシジプチルシラン類、ジェトキシジフェニルシラン
類、ジメトキシジ(アセチルアセトナート)シラン、ジ
−n−プロポキシジメチルシラン、ジ−n−プロポキシ
ジエチルシラン、ジ−n−プロポキシジフェニルシラン
類、ジ−n−プロポキシン(アセチルアセトナートシラ
ン、ジイソプロポキシジメチルシラン、ジイソプロポキ
シジエチルシラン、ジイソプロポキシジプロピルシラン
類、ジイソプロポキシジブチルシラン類、ジイソプロポ
キシジフェニルシラン類、ジイソプロボキシジ(アセチ
ルアセトナ−1−)シラン、ジブトキシジメチルシラン
類、ジブトキシジエチルシラン類、ジブトキシジプロピ
ルシラン類、ジブトキシジブチルシラン類、ジブトキシ
ジフェニルシラン類等のシラン化合物、トリメトキシメ
チルチタン リメトキシプロピルチタン類、トリメトキシアリルチタ
ン、、トリメトキシフェニルチタン類、トリメトキシ(
アセチルアセテート)チタン、トリエトキシメチルチタ
ン、トリエトキシエチルチタン、トリエトキシプロピル
チタン類、トリメトキシビニルチタン、トリエトキシフ
ェニルチタン類、トリプロポキシメチルチタン類、トリ
プロポキシエチルチタン類、トリプロポキシフェニルチ
タン類、トリブトキシメチルチタン類、トリプトキシ(
アセチル7セトナート)チタン類、ジメトキシジメチル
チタン、ジメトキシジエチルチタン、ジメトキシジプロ
ピルチタン類、ジメトキシジプチルチタン類、ジメトキ
シジ(アセチルアセトナート)チタン、ジェトキシジメ
チルチタン、ジェトキシジエチルチタン、ジェトキシジ
プロピルチタン類、ジプロポキシジメチルチタン類、ジ
プロポキシジエチルチタン類、ジブトキシジメチルチタ
ン類、ジブトキシジエチルチタン類、ジメトキシジ(ア
セチルアセトナート)チタン類、ジイソプロポキシビス
(アセチルアセトナート)チタン、ジイソプロポキシビ
ス(2−エチルヘキサンジオナート)チタン、ジ−n−
ブトキシビス(トリエタノール7ミナト)チタン等のチ
タン化合物、トリメトキシメチルジルコニウム、トリメ
1〜キシエチルジルコニウム、トリメトキシプロピルジ
ルコニウム類、トリメトキシブチルジルコニウム類、ト
リメトキシアリルジルコニウム、トリメトキシフェニル
ジルコニウム、トリメトキシ(アセチルアセトナート)
ジルコニウム、トリエトキシメチルジルコニウム、°ト
リエトキシエチルジルコニウム、トリエトキシプロピル
ジルコニウム類、トリエトキシビニルジルコニウム、ト
リエトキシフェニルジルコニウム、トリプロポキシメチ
ルジルコニウム類、トリプロポキシプロビルジルコニウ
ム類、トリプトキシメチルジルコニウム類、ジメトキシ
ジメチルジルコニウム、ジメトキシジエチルジルコニウ
ム、ジメトキシジプロピルジルコニウム類、ジメトキシ
ジフェニルジルコニウム、ジメトキシジ(アセチルアセ
トナート)ジルコニウム、ジェトキシジメチルジルコニ
ウム、ジェトキシジエチルジルコニウム、ジェトキシジ
プロピルジルコニウム類、ジプロポキシジメチルジルコ
ニウム類、ジプロポキシジプロピルジルコニウム類、ジ
プトキシジメチルジルコニウム、ジブトキシジプチルジ
ルコニウム類、等のジルコニウム化合物等がある。
一般式11で表わされる化合物としては、ジメトキシメ
チルアルミニウム、ジメトキシエチルアルミニウム、ジ
メトキシn−プロピルアルミニウム、ジメトキシイソプ
ロビルアルミニウム、ジメトキシn−ブチルアルミニウ
ム、ジメトキシアリナナルアルミニウム、ツメ1〜キシ
ビニルアルミニウム、ジメトキシフェニルアルミニウム
、ジメトキシ(アセトアセテート)アルミニウム、ジェ
トキシメチルアルミニウム、ジェトキシエチルアルミニ
ウム、ジェトキシイソプロピルアルミニウム、ジェトキ
シ(アセトアセテート)アルミニウム、ジ−n−プロポ
キシメチルアルミニウム、ジ−n−プロポキシエチルア
ルミニウム、ジイソプロポキシメチルアルミニウム、ジ
イソプロポキシエチルアルミニウム、ジイソプロポキシ
イソプロピルアルミニウム、ジイソプロポキシフェニル
アルミニウム、ジイソプロポキシ(アセトアセテート)
アルミニウム、ジイソプロポキシエチルアセトアセテー
トアルミニウム等のアルミニウム化合物、ジェトキシエ
チルイツトリウム、ツメ1−キシエチルイツトリウム、
ジメトキシイソプロピルイツトリウム、ジェトキシエチ
ルイツトリウム、ジメトキシ(アセトアセテート)イツ
トリウム、ジェトキシメチルイツトリウム、ジェトキシ
エチルイツトリウム、ジェトキシイソプロピルイツトリ
ウム、ジェトキシ(アセトアセテート)イツトリウム、
ジ−n−プロポキシメチルイツトリウム、ジーn−プロ
ポキシエチルイツトリウム、ジーn−プロポキシn−プ
ロピルイツトリウム、ジーn−プロポキシイソプロピル
イツトリウム、ジ−n−プロポキシブチルイツトリウム
類、ジーn−プロポキシフェニルイツトリウム、ジ−n
−プロポキシ(7セトアセテート)イツトリウム、シイ
ソプロポキシメチルイッ1〜リウム、ジイソプロポキシ
エチルイツトリウム、ジイソプロポキシ(7セトアセテ
ート)イツトリウム、ジブトキシメチルイツトリウム類
、ジブトキシプロピルイツトリウム類等のイツトリウム
化合物がある。
本発明において、R基に対するOR’ 基のモル比は1
〜3が好ましい。すなわち、該モル比が3を越えると、
得られるh°機金金属重合組成物三次元化が進み必要以
上に網状物を形成するので、繊維状物、薄膜、シート等
の形成が困難となり、一方、該モル比が1未満では高重
合物形成が困難となるからである。
加水分解条件下で重合させる方法としては、水および酸
またはアルカリの存在下で行なわれるが、より好ましく
は水および酸の存在下である。酸としては、塩酸、硝酸
、@酸、リン酸、炭酸、ホウ酸等の無機酸、ギ醒、酢酸
、プロピオン酸、酪酸、シュウ酸、マレイン酸、乳酸、
クエン酸、リンゴ酸等の有1酸等水溶性酸が使用できる
。また、アルカリとしては、水酸化ナトリウム、水酸化
カリウム、水酸化リチウム、アンモニア、メチルアミン
、エチルアミン、エタノールアミン等が使用できる。
/JO水分解に使用される水の覆は、有機金属化合物中
のアルコキシ基のモル数に対して0.3〜1゜0倍モル
が好ましく、特に0.3〜0.8倍モルが好ましい。ま
た、酸の量は、水のモル数に対しio〜0.5倍モルが
好ましく、特にO〜0.2倍モルが好ましい。酸の代り
にアルカリを使用する場合には、その署は、水のモル数
に対してO〜0.5倍モルが好ましく、特にO−0,2
倍モルが好ましい。
加水分解条件下での重合は、0〜ioo’c、好ましく
は20〜80℃の温度で撹拌下に行なわれる。反応は、
減圧下、常圧下または加圧下のいずれでも行なうことが
できる。この場合、水は反応混合液中に直接添加しても
よいが、水−不活性ガス(例えば窒素、アルゴン、ヘリ
ウム、メタン、エタン、プロパン等)混合気体として使
用してもよく、これにより加水分解の制御を容易にする
ことができる。酸、アルカリにおいても例えば塩化水素
、炭酸ガス、アンモニア等は水溶液にして添加してもよ
いが、ガス状で連続的に反応媒体中に吹き込んで使用し
てもよく、この場合不活性ガスとして上記不活性ガスが
使用でき、これにより加水分解の制御を容易にすること
ができる。また、該反応は無溶媒下に行なうこともでき
るが、アルコキシド系化合物を溶解し得る有機溶媒中で
行なうことが望ましい。有機溶媒としては、例えばメタ
ノール、エタノール、n−プロパツール、イソプロパツ
ール、n−ブタノール、イソブタノール、5eC−ブタ
ノール、ヘキサノール、オクタツール等のアルコール類
、n−ヘキナン、n−へブタン、n−オクタン、イソオ
クタン等の脂肪族炭化水素類、シクロヘキサン、シクロ
へブタン等の脂環式炭化水素類、酢酸エチル、酢酸イソ
プロピル等のエステル類、アセトン、メチルエチルケト
ン、メチルイソブチルケトン、シクロへキナノン等のケ
トン類、ジエチルエーテル、ジオキサン等のエーテル類
、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソ
ルブ等のセロソルブ類、ベンゼン、トルエン、キシレン
等の芳香族炭化水素類等がある。
(実施例) つぎに、実施例を挙げて本発明方法をさらに詳細に説明
する。
実施例1 トリエトキシメヂルシラン[Ct−h S i  (Q
C2H5>3 E 100重母部にエタノール100Φ
量部を混合し、この混合液に水15重量部および35%
塩@2重量部を添加し、室温で10時間撹拌し、゛減圧
下で溶媒の一部を除去し、透明な粘稠液体(10ポイズ
)を1qだ。この液体は、充分な曳糸性を有しており、
また鏡面板上にドクターナイフで一定の厚みになるよう
に流し、60℃の温度で5時間乾燥させたところ、厚さ
30μ空の薄膜が得られた。
実施例2 ジェトキシジメチルシラン[(CH3)231(QC2
H5)2 コ100@量部にエタノール100重量部を
混合し、この混合液に水12重量部および35%塩酸2
重量部を添加し、室温で8時間撹拌し、減圧下で溶媒の
一部を除去し、透明な粘稠液体(10ポイズ)を得た。
この液体は、充分な曳糸性を有しており、また鏡面板上
にドクターナイフで一定の厚みになるように流し、60
℃の温度で5時間乾燥させたところ、厚さ35μmの薄
膜が得られた。
実施例3 ジイソプロポキシ(エチルアセトアセテート)アルミニ
ウム[(i−C3HyO)2AΩ(QC(CH3)  
=C)ic  (QC2ト(5)=C)1100重量部
にイソプロパツール100重社部を混合し、この混合液
に撹拌しながら60℃の水−窒素混合気体(水/ガスモ
ル比=0.24/1)を水として9重量部に相当するよ
うに流通させて60℃の温度で8時間反応させ、減圧下
で溶媒の一部を除去し、黄色透明な粘稠液体(15ポイ
ズ)を得た。この液体は、充分な曳糸性を有しており、
また鏡面板上にドクターナイフで一定の厚みになるよう
に流し、40℃の温度で10時間乾燥させたところ、厚
さ40μ電の薄膜が得られた。
実施例4 ジイソプロポキシ(エチルアセトアセテート)アルミニ
ウム80重量部およびジェトキシジメチルシラン20重
部部にn−ヘキナン50重吊部およびイソプロパツール
50重量部を混合し、この混合液に撹拌しながら60℃
の水−窒素混合気体(水/ガスモル比−0,24/1)
を水として111重部に相当するように流通させて60
’Cの温度で8時間反応させ、減圧下に溶媒の一部を除
去し、異色透明な粘稠液体(5ポイズ)を得た。この液
体は、充分な曳糸性を有しており、また鏡面板上にドク
ターナイフで一定の厚みになるように流し、60℃の温
度で3時間乾燥させたところ、厚さ20μmの琳輪鈎−
11薄膜が17られた。
比較例1 テトラエトキシシラン[(C2l50)4 S iコ1
00ffi覆部をエタノール100Φ量部に混合し、こ
の混合液に水18重量部および35%塩酸2垂伝部を添
加して60℃の温度で40時間撹拌し、減圧下で溶媒の
一部を除去し、白濁粘稠液(20ポイズ)を冑た。この
液体は曳糸性に乏しく、また鏡面板上にドクターナイフ
で実施例1と同じ厚みになるように流し、60℃の温度
で5時間乾燥させたところ、薄膜は得られなかった。
比較例2 sec −ブトキシジイソプロポキシアルミニウム[(
i−Cs  ト170)  2 A  Ω  (sec
   −C4H90)1100重ffi部にイソプロパ
ツール100型口部を混合し、この混合液に撹拌しなが
ら60℃の水−窒素混合気体(水/ガスモル比=0.2
4/1)を水として12重ω部に相当するように流通さ
せて60℃の@度で200時間反応せ、減圧下に溶媒の
一部を除去し、白濁液(5ポイズ)を得た。
この液体は曳糸性に乏しく、また鏡面板上にドクターナ
イフで実施例1と同じ厚みになるように流し、60℃の
温度で5時間乾燥させたところ、薄膜は得られなかった
比較例3 sec −ブトキシジイソプロポキシアル429680
型口部、テト重最トキシ95220重ω部およびイソプ
ロパツール10011量部を混合し、この混合液に撹拌
しながら60℃の水−窒素混合気体(水/ガスモル比=
0.24/1)を水として18重量部に相当するように
流通させて60℃の温度で8時間反応させ、減圧下に溶
媒の一部を除去し、白濁液(10ポイズ)を得た。この
液体は曳糸性番こ乏しく、また鏡面板上にドクターナイ
フで実施例1と同じ厚みになるように流し、60℃の温
度で5時間乾燥させたところ、薄膜は得られれな゛かり
た。
実施例5 ジイソプロポキシジ−n−プロピルジルコニウム[(n
−03H7)2 Zr (i −C3H70)2110
0重!部とイソプロパツール100重ω部とを混合し、
この混合液に撹拌しながら60℃の水−窒素混合気体(
水/ガスモル比=0.24/1)を水として8重量部に
相当するように流通させて60℃の温度で3時間徐々に
加水分解を行い、減圧下に溶媒の一部を除去し、透明な
粘稠液体(15ポイズ)を得た。この液体は、充分な曳
糸性を有しており、また鏡面板上にドクターナイフで一
定の厚みになるように流し、40’Cの温度で8時間乾
燥させたところ、厚さ60μmの薄膜が得られた。
比較例4 テトライソプロポキシジルコニウム100重母部にイソ
プロパツール100重量部を混合し、この混合液に撹拌
しながら60℃の水−窒素混合気体(水/ガスモル比=
0.24/1)を水として15重!部に相当するように
流通させて60℃の温度で3時間反応させ、減圧下に溶
媒の一部を除去し、白濁液(8ボイズ)を得た。この液
体は曳糸性に乏しく、また鏡面板上にドクターナイフで
実施例5と同じ厚みになるように流し、40℃の@度で
8時間乾燥させたところ、薄膜は得られなかった。
実施例6 ジイソプロポキシジーn−プロピルジルコニウム100
重最部とイソプロパツール100重量部との混合液にジ
イソプロポキシn−プロピルイツトリウム[(n−Cs
 H7)Y (i −C3H70)2]をZrO2に対
しY2O3が3モル%となるように添加し、この混合液
に撹拌しながら60℃の水−窒素混合気体(水/ガスモ
ル比−〇、24/1)を水として8重量部に相当するよ
うに流通させて60℃の温度で5時間徐々に加水分解を
行ない、減圧下に溶媒の一部を除去し、員色を帯びた透
明な粘稠液体(20ボイズ)を得た。この液体は、充分
な曳糸性を有しており、また鏡面板上にドクターナイフ
で一定の厚みになるように流し、40℃の温度で4時間
乾燥させたところ、厚さ20μmの薄膜が得られた。
比較例5 テトライソプロポキシジルコニウム100’lU樋部と
イソプロパツールioo@a部とを混合した溶液にトリ
イソプロポキシイツトリウム[Y(i−C3t−h O
)3 ]をZrO2に対しY2O3が3モル%となるよ
うに添加し、この混合液に撹拌しながら60℃の水−窒
素混合気体(水/ガスモル比=0.24/1)を水とし
て15垂口部に相当するように流通させて60℃の温度
で5時間反応させ、減圧下に溶媒の一部を除去し、白濁
液(10ポイズ)を得た。この液体は曳糸性に乏しく、
また鏡面板上にドクターナイフで実施例6と同じ厚みに
なるように流し、40℃の温度で4時間乾燥させたとこ
ろ、薄膜は得られなかった。
(発明の効果) 以上述べたように、前記一般式■および■1で表わされ
る有機金属化合物の少なくとも1種を、その加水分解条
件下で重合させることを特徴とする有機金属重合組成物
の製造方法であるから、その線状性および網状性が充分
であり、このため該組成物は優れた曳糸性および成膜性
を有している。
したがって、該組成物を所定の形状に成形したのち焼成
すれば酸化物系セラミックスの繊維、薄膜、シート等を
得ることができる。また、該組成物を用いた場合、他の
各種アルコキシド化合物の加水分解物との併用において
もその均一性および成形付与性において優れており、そ
れぞれの特徴を付与できるのである。

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)一般式IおよびII R_mM_a(OR′)_4_−_m(I)R_nM_
    b(OR′)_3_−_n(II)(ただし、式中、m
    は1または2、nは1、Rはアルキル基、アリール基、
    アリル基、ビニル基またはキレートを形成する有機残基
    、R′はアルキル基、M_aは四価の金属であり、また
    M_bは三価の金属である。)で表わされる有機金属化
    合物の少なくとも1種を、その加水分解条件下で重合さ
    せることを特徴とする有機金属重合組成物の製造方法。
  2. (2)四価の金属はケイ素、チタン、ジルコニウム、錫
    、バナジウム、ゲルマニウムおよびハフニウムよりなる
    群から選ばれた少なくとも 1種の金属であり、また三価の金属はアルミニウム、イ
    ットリウム、ホウ素、鉄、ガリウム、インジウム、タリ
    ウムおよびスカンジウムよりなる群から選ばれた少なく
    とも1種の化合物である特許請求の範囲第1項に記載の
    製造方法。
  3. (3)Rは炭素原子数1〜4のアルキル基、炭素原子数
    6〜8のアリール基、炭素原子数3〜5のアリル基、炭
    素原子数2のビニル基、または炭素原子数2〜10のキ
    レートを形成する有機残基であり、またR′は炭素原子
    数1〜7のアルキル基である特許請求の範囲第1項また
    は第2項に記載の製造方法。
  4. (4)四価の金属はケイ素、チタンおよびジルコニウム
    よりなるなる群から選ばれた少なくとも1種の金属、三
    価の金属はアルミニウムおよびイットリウムよりなるな
    る群から選ばれた少なくとも1種の金属である特許請求
    の範囲第1項または第2項に記載の製造方法。
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