JPS63164345A - 半導体集積回路用パツケ−ジ - Google Patents
半導体集積回路用パツケ−ジInfo
- Publication number
- JPS63164345A JPS63164345A JP61309634A JP30963486A JPS63164345A JP S63164345 A JPS63164345 A JP S63164345A JP 61309634 A JP61309634 A JP 61309634A JP 30963486 A JP30963486 A JP 30963486A JP S63164345 A JPS63164345 A JP S63164345A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cap
- base
- ring
- package
- chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 11
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 abstract description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/161—Cap
- H01L2924/1615—Shape
- H01L2924/16152—Cap comprising a cavity for hosting the device, e.g. U-shaped cap
Landscapes
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体集積回路用パッケージに関し、特にそ
のベースとキャップとの封止手段を改良した半導体集積
回路用パッケージに関する。
のベースとキャップとの封止手段を改良した半導体集積
回路用パッケージに関する。
従来の半導体回路用パッケージは、チップを内部に封止
するにあたり、ベースとキャップとをろう付けにより接
着封止するものであった。
するにあたり、ベースとキャップとをろう付けにより接
着封止するものであった。
第3図はかかる従来の一例を示すパッケージの断面図で
ある。
ある。
第3図に示すように、従来のパッケージは半導体チップ
1を固定したベース2に金属等のキャップ3をろう付は
等によって固定するもので、特に直接ベース2のキャッ
プ固定部7に接着させる構造であり、これによりチップ
1の気密を保持していた。
1を固定したベース2に金属等のキャップ3をろう付は
等によって固定するもので、特に直接ベース2のキャッ
プ固定部7に接着させる構造であり、これによりチップ
1の気密を保持していた。
上述した従来の封止構造は、ベースとキャップが接着さ
れでいるため、チップやそのキャップのパッドとベース
の端子とを接続する配線等の状況を見たり、直接パッド
等に接触するには、キャップの開封が必要であった。し
かしながら、上述のとおり、キャップはろう付は等がさ
れているために容易に開封出来ないこと、更には一度開
封すると再封止することは困難であること等の問題があ
った。
れでいるため、チップやそのキャップのパッドとベース
の端子とを接続する配線等の状況を見たり、直接パッド
等に接触するには、キャップの開封が必要であった。し
かしながら、上述のとおり、キャップはろう付は等がさ
れているために容易に開封出来ないこと、更には一度開
封すると再封止することは困難であること等の問題があ
った。
本発明の目的はかかるキャップの開封を容易にし、且つ
開封した後も再びチップ気密封止を行える半導体集積回
路用パッケージを提供することにある。
開封した後も再びチップ気密封止を行える半導体集積回
路用パッケージを提供することにある。
本発明はチップを内部に固定するベースとこのチップを
封止するためのキャップとを有する半導体集積回路用パ
ッケージにおいて、前記ベースのキャップ嵌合部の内部
および外側の少なくとも一方に弾力性を有するOリング
を備え、前記キャップが前記0リングを介して前記キャ
ップ嵌合部に嵌合することにより前記チップを気密に封
止するように構成される。
封止するためのキャップとを有する半導体集積回路用パ
ッケージにおいて、前記ベースのキャップ嵌合部の内部
および外側の少なくとも一方に弾力性を有するOリング
を備え、前記キャップが前記0リングを介して前記キャ
ップ嵌合部に嵌合することにより前記チップを気密に封
止するように構成される。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第1図(a)、(b)は本発明の第一の実施例を説明す
るためのパッケージの断面図であり、第1図(a)は封
止状態、第1図(b)は封止前又は開封状態をそれぞれ
示す。
るためのパッケージの断面図であり、第1図(a)は封
止状態、第1図(b)は封止前又は開封状態をそれぞれ
示す。
第1図(a)、(b)において、1はパッケージに搭載
されるチップ、2はパッケージのベース、3はパッケー
ジのキャップ、4はベース2の一部をなしキャップ3と
嵌合するキャップ嵌合部、5はベース2のキャップ嵌合
部4の外側の周囲に接着されベース2とキャップ3とを
密着させるためのOリング、6はキャップ3に設けられ
Oリング5と係合するリング係合部である。
されるチップ、2はパッケージのベース、3はパッケー
ジのキャップ、4はベース2の一部をなしキャップ3と
嵌合するキャップ嵌合部、5はベース2のキャップ嵌合
部4の外側の周囲に接着されベース2とキャップ3とを
密着させるためのOリング、6はキャップ3に設けられ
Oリング5と係合するリング係合部である。
第1図(a)、(b)に示すように、ベース2の外側周
辺に形成したキャップ嵌合部4とOリング5との封止は
接着剤等を使用して接着し、リング5と接触するキャッ
プ3はリング係合部6に凹部を形成する。第1図(a)
に示す封止状態においては、弾力性のあるOリング5が
キャップ3のリング係合部6の凹部に挿入されベース2
とキャップ3を密着させるので、チップ1の気密が保持
される。また、第1図(b)に示すキャップ3を開封す
る時は、ベース2とキャップ3とを引き離すことにより
、キャップ3はベース2から容易にはずすことができる
。従って、かかる構成により、何度でもキャップ3とベ
ース2との着脱が容易に行える。
辺に形成したキャップ嵌合部4とOリング5との封止は
接着剤等を使用して接着し、リング5と接触するキャッ
プ3はリング係合部6に凹部を形成する。第1図(a)
に示す封止状態においては、弾力性のあるOリング5が
キャップ3のリング係合部6の凹部に挿入されベース2
とキャップ3を密着させるので、チップ1の気密が保持
される。また、第1図(b)に示すキャップ3を開封す
る時は、ベース2とキャップ3とを引き離すことにより
、キャップ3はベース2から容易にはずすことができる
。従って、かかる構成により、何度でもキャップ3とベ
ース2との着脱が容易に行える。
第2図は本発明の第二の実施例を説明するためのパッケ
ージの封止状態における断面図である。
ージの封止状態における断面図である。
第2図に示すように、このパッケージはチップ1を搭載
したベース2に形成したキャップ嵌合部4の内側周辺に
Oリング5を接着し、キャップ3をベース2の内側で封
止する構造である。その他のキャップ3のリング係合部
6に0リング5と係合する凹部を形成する点については
前記第一の実施例と同様である。
したベース2に形成したキャップ嵌合部4の内側周辺に
Oリング5を接着し、キャップ3をベース2の内側で封
止する構造である。その他のキャップ3のリング係合部
6に0リング5と係合する凹部を形成する点については
前記第一の実施例と同様である。
この第二の実施例においても、第一の実施例同様にベー
ス2とキャップ3とを直接接着することなく内部の気密
を保持することができる。
ス2とキャップ3とを直接接着することなく内部の気密
を保持することができる。
以上説明した様に、本発明の半導体集積回路用パッケー
ジはベースとキャップの封正に弾力性を有するOリング
を用い且つそのOリングをベースのキャップ嵌合部の内
側もしくは外側に備えることにより、キャップの着脱を
容易にするとともにチップの気密封止をも完全に行える
効果がある。
ジはベースとキャップの封正に弾力性を有するOリング
を用い且つそのOリングをベースのキャップ嵌合部の内
側もしくは外側に備えることにより、キャップの着脱を
容易にするとともにチップの気密封止をも完全に行える
効果がある。
第1図(a>、(b)は本発明の第一の実施例を説明す
るための封止後および封止前のパッケージの断面図、第
2図は本発明の第二の実施例を示すパッケージの断面図
、第3図は従来の一例を示すパッケージの断面図である
。 1・・・チップ、2・・・ベース、3・・・キャップ、
4・・・キャップ嵌合部、5・・・0リング、6・・・
リング係合部。
るための封止後および封止前のパッケージの断面図、第
2図は本発明の第二の実施例を示すパッケージの断面図
、第3図は従来の一例を示すパッケージの断面図である
。 1・・・チップ、2・・・ベース、3・・・キャップ、
4・・・キャップ嵌合部、5・・・0リング、6・・・
リング係合部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、チップを内部に固定するベースと前記チップを封止
するためのキャップとを有する半導体集積回路用パッケ
ージにおいて、前記ベースのキャップ嵌合部の内側およ
び外側の少なくとも一方に弾力性を有するOリングを備
え、前記キャップが前記Oリングを介して前記キャップ
嵌合部に嵌合することにより前記チップを気密に封止す
ることを特徴とする半導体集積回路用パッケージ。 2、ベース嵌合部に備えたOリングが接着されている特
許請求の範囲第1項記載の半導体集積回路用パッケージ
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61309634A JPS63164345A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 半導体集積回路用パツケ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61309634A JPS63164345A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 半導体集積回路用パツケ−ジ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63164345A true JPS63164345A (ja) | 1988-07-07 |
Family
ID=17995397
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61309634A Pending JPS63164345A (ja) | 1986-12-26 | 1986-12-26 | 半導体集積回路用パツケ−ジ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63164345A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011007228B4 (de) | 2010-05-19 | 2019-08-22 | Mitsubishi Electric Corporation | Halbleitervorrichtung |
-
1986
- 1986-12-26 JP JP61309634A patent/JPS63164345A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102011007228B4 (de) | 2010-05-19 | 2019-08-22 | Mitsubishi Electric Corporation | Halbleitervorrichtung |
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