JPS63143884A - 磁気抵抗素子 - Google Patents
磁気抵抗素子Info
- Publication number
- JPS63143884A JPS63143884A JP61290537A JP29053786A JPS63143884A JP S63143884 A JPS63143884 A JP S63143884A JP 61290537 A JP61290537 A JP 61290537A JP 29053786 A JP29053786 A JP 29053786A JP S63143884 A JPS63143884 A JP S63143884A
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- JP
- Japan
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- resistance
- pattern
- magnetic field
- same
- respect
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 18
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- 238000009966 trimming Methods 0.000 claims description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N50/00—Galvanomagnetic devices
- H10N50/10—Magnetoresistive devices
Landscapes
- Hall/Mr Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
磁気抵抗素子であって、パーマロイなどの磁気抵抗体を
用いた帯状の抵抗パターン上に、該パターンの長手方向
に対し、＋４５°±３０’及び−４５°±３０“の方向
に配置した２種類の導体パターンを設け、外部磁界に対
して出力を零とすることにより、検出用素子の参照用と
して用い、温度及び電源電圧の変動を補償可能とする。
用いた帯状の抵抗パターン上に、該パターンの長手方向
に対し、＋４５°±３０’及び−４５°±３０“の方向
に配置した２種類の導体パターンを設け、外部磁界に対
して出力を零とすることにより、検出用素子の参照用と
して用い、温度及び電源電圧の変動を補償可能とする。
本発明は磁界検出用のバーバーポール型磁気抵抗素子の
温度特性などを補償する参照用の磁気抵抗素子に関する
ものである。
温度特性などを補償する参照用の磁気抵抗素子に関する
ものである。
第４図はバーバーポール型の磁気抵抗素子を示す図であ
る。このバーバーポール型磁気抵抗素子は第４図に示す
ように一軸磁気異方性を付与された抵抗パターン２の上
に一定の間隔で且つ斜に導体電極３を付着していわゆる
バーバーポール状としたもので、磁化の方向はＭで示さ
れるように抵抗パターンと平行になっている。そしてこ
れと直角方向に外部磁界Ｈｅｘをかけると最初パターン
と平行になっていた磁化Ｍが外部磁界Ｈｅｘの増大にと
もなって次第に傾き、強い磁界をかけると最終的には外
部磁界Ｈｅｘと同じ磁化Ｈｓとなる。第５図はこのとき
の磁化の方向Ｍと磁気抵抗効果との関係を示す図でａ図
のように抵抗パターンに流れる電流ｉに対し、外部磁界
Ｈｅｘによる磁化の方向Ｍの成す角度θが、ｂ図のよう
に０度からπ／４→π／２→π３／４→π・・・と増大
すると、磁化の方向Ｍと電流ｉの成す角度θが０度と１
８０度すなわち平行となる状態で磁気抵抗効果は最大と
なり、９０度のところ、すなわち互いに直角を成す状態
で最小の磁気抵抗効果となる。このような抵抗パターン
に電流を流し、再出力端子間の電位差を測定することで
磁界の大きさ及び極性を検出することができる。このと
き第６図ａ、ｂに示すように導体電極３と３′の方向が
異なると第６図Ｃのように抵抗変化は逆転する。
る。このバーバーポール型磁気抵抗素子は第４図に示す
ように一軸磁気異方性を付与された抵抗パターン２の上
に一定の間隔で且つ斜に導体電極３を付着していわゆる
バーバーポール状としたもので、磁化の方向はＭで示さ
れるように抵抗パターンと平行になっている。そしてこ
れと直角方向に外部磁界Ｈｅｘをかけると最初パターン
と平行になっていた磁化Ｍが外部磁界Ｈｅｘの増大にと
もなって次第に傾き、強い磁界をかけると最終的には外
部磁界Ｈｅｘと同じ磁化Ｈｓとなる。第５図はこのとき
の磁化の方向Ｍと磁気抵抗効果との関係を示す図でａ図
のように抵抗パターンに流れる電流ｉに対し、外部磁界
Ｈｅｘによる磁化の方向Ｍの成す角度θが、ｂ図のよう
に０度からπ／４→π／２→π３／４→π・・・と増大
すると、磁化の方向Ｍと電流ｉの成す角度θが０度と１
８０度すなわち平行となる状態で磁気抵抗効果は最大と
なり、９０度のところ、すなわち互いに直角を成す状態
で最小の磁気抵抗効果となる。このような抵抗パターン
に電流を流し、再出力端子間の電位差を測定することで
磁界の大きさ及び極性を検出することができる。このと
き第６図ａ、ｂに示すように導体電極３と３′の方向が
異なると第６図Ｃのように抵抗変化は逆転する。
パーマロイ等の磁気抵抗素子は、正の温度係数を持つた
め、磁界による抵抗変化と温度変化による抵抗変化を区
別できない。又素子に電流を流すことによる温度上昇も
無視できない。
め、磁界による抵抗変化と温度変化による抵抗変化を区
別できない。又素子に電流を流すことによる温度上昇も
無視できない。
本発明はこのような点に鑑みて創作されたもので、磁気
検出用の磁気抵抗素子の温度変化や電流変化等の変動要
因を相殺することができる参照用の磁気抵抗素子を提供
することを目的としている。
検出用の磁気抵抗素子の温度変化や電流変化等の変動要
因を相殺することができる参照用の磁気抵抗素子を提供
することを目的としている。
このため本発明においては、第１図に例示するように、
パーマロイなどの磁気抵抗体を用いた帯状の抵抗パター
ンＩＯの上に、該パターンの長手方向に対し±４５°±
３０°方向に電流を流すための導体電極１１．１２が設
けられる磁気抵抗素子において、参照用抵抗として、検
出用素子と同一構成で、導体電極１１．１２の方向のみ
が同一抵抗パターン１０内で、検出用素子の導体電極と
同方向の電極１１と、抵抗パターンに垂直な面に前記電
極１１と対称な導体電極１２を具備し、外部磁界に対し
て出力が零となるように構成されたことを特徴としてい
る。
パーマロイなどの磁気抵抗体を用いた帯状の抵抗パター
ンＩＯの上に、該パターンの長手方向に対し±４５°±
３０°方向に電流を流すための導体電極１１．１２が設
けられる磁気抵抗素子において、参照用抵抗として、検
出用素子と同一構成で、導体電極１１．１２の方向のみ
が同一抵抗パターン１０内で、検出用素子の導体電極と
同方向の電極１１と、抵抗パターンに垂直な面に前記電
極１１と対称な導体電極１２を具備し、外部磁界に対し
て出力が零となるように構成されたことを特徴としてい
る。
抵抗パターンｌＯ上に傾き角が該抵抗パターンの長手方
向に対して対称となるように２種類の導体電極を設けた
ことにより外部磁界に対しては出力が零となり、且つ抵
抗値は検出用素子と同一とすることができ、参照用抵抗
に用いて検出用素子の温度変化による抵抗変化を外部磁
界の影響なしに補償することが可能となる。
向に対して対称となるように２種類の導体電極を設けた
ことにより外部磁界に対しては出力が零となり、且つ抵
抗値は検出用素子と同一とすることができ、参照用抵抗
に用いて検出用素子の温度変化による抵抗変化を外部磁
界の影響なしに補償することが可能となる。
第１図は本発明の第１の実施例を示す図である。
本実施例はパーマロイなどの磁気抵抗体を用いた帯状の
抵抗パターン１０の上に、該パターンの長手方向に対し
４５°±３０’方向に配置した導体電極１１と、抵抗パ
ターンに垂直な面に前記電極１１と対称な導体電極１２
とを同数設けたものである。
抵抗パターン１０の上に、該パターンの長手方向に対し
４５°±３０’方向に配置した導体電極１１と、抵抗パ
ターンに垂直な面に前記電極１１と対称な導体電極１２
とを同数設けたものである。
このように構成された本実施例は、導体電極１１を配置
したＡ部分と、導体電極１２を配置したＢ部分では外部
磁界に対し一方が抵抗増加、他方が減少となり全対では
変らない。従って検出用素子と同じ構成で同じ製法を用
いれば検出素子と同一抵抗になり、その温度変化による
抵抗変化も同一となるので、検出用素子でブリッジを組
むときの参照用抵抗として用いることができる。
したＡ部分と、導体電極１２を配置したＢ部分では外部
磁界に対し一方が抵抗増加、他方が減少となり全対では
変らない。従って検出用素子と同じ構成で同じ製法を用
いれば検出素子と同一抵抗になり、その温度変化による
抵抗変化も同一となるので、検出用素子でブリッジを組
むときの参照用抵抗として用いることができる。
第２図は本発明の第２の実施例を示す図である。
本実施例は、第１図に示した前実施例のＡ部とＢ部の境
目から１８０°折り曲げてつづら折れ状に形成したもの
である。
目から１８０°折り曲げてつづら折れ状に形成したもの
である。
このように構成された本実施例は、列によって外部磁界
による抵抗変化が異なり全体としては変らない、従って
前実施例と同様に参照抵抗として用いることができる。
による抵抗変化が異なり全体としては変らない、従って
前実施例と同様に参照抵抗として用いることができる。
第３図は本発明の第３の実施例を示す図である。
本実施例はつづら折れ状に形成された磁気抵抗素子１３
の一端にトリミング用のパターン１４を複数個設けたも
のである。
の一端にトリミング用のパターン１４を複数個設けたも
のである。
このように構成された本実施例は適宜トリミングパター
ン１４を切断することにより外部磁界に対する出力を零
とするように調整することができる。
ン１４を切断することにより外部磁界に対する出力を零
とするように調整することができる。
以上述べてきたように、本発明によれば、極めて簡易な
構成で、外部磁界に対する出力が零である磁気抵抗素子
が得られ、検出用素子に対する参照用抵抗として用いる
ことができ、実用的には極めて有用である。
構成で、外部磁界に対する出力が零である磁気抵抗素子
が得られ、検出用素子に対する参照用抵抗として用いる
ことができ、実用的には極めて有用である。
第１図は本発明の第１の実施例を示す図、第２図は本発
明の第２の実施例を示す図、第３図は本発明の第３の実
施例を示す図、第４図は従来のバーバーポール型磁気抵
抗素子を示す図、 第５図は従来のバーバーポール型磁気抵抗素子の特性を
示す図、 第６図はバーバーポール型磁気抵抗素子において導体電
極の方向が異なる場合の特性を示す図である。 第１図、第２図、第３図において、 １０はｔ氏抗パターン、 １１．１２は導体電極、 １３は磁気抵抗素子、 １４はトリミングパターンである。
明の第２の実施例を示す図、第３図は本発明の第３の実
施例を示す図、第４図は従来のバーバーポール型磁気抵
抗素子を示す図、 第５図は従来のバーバーポール型磁気抵抗素子の特性を
示す図、 第６図はバーバーポール型磁気抵抗素子において導体電
極の方向が異なる場合の特性を示す図である。 第１図、第２図、第３図において、 １０はｔ氏抗パターン、 １１．１２は導体電極、 １３は磁気抵抗素子、 １４はトリミングパターンである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、パーマロイなどの磁気抵抗体を用いた帯状の抵抗パ
ターン（１０）の上に、該パターンの長手方向に対し±
４５°±３０°方向に電流を流すための導体電極（１１
、１２）が設けられる磁気抵抗素子において、 参照用抵抗として、検出用素子と同一構成で、導体電極
（１０、１１）の方向のみが同一抵抗パターン（１０）
内で、検出用素子の導体電極と同方向の電極（１１）と
、抵抗パターンに垂直な面に前記電極（１１）と対称な
導体電極（１２）を具備し、外部磁界に対して出力が零
となるように構成されたことを特徴とする磁気抵抗素子
。 ２、上記参照用抵抗が外部磁界に対する出力を零とする
ためのトリミングパターン（１４）を有することを特徴
とする特許請求の範囲第１項記載の磁気抵抗素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61290537A JPS63143884A (ja) | 1986-12-08 | 1986-12-08 | 磁気抵抗素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61290537A JPS63143884A (ja) | 1986-12-08 | 1986-12-08 | 磁気抵抗素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63143884A true JPS63143884A (ja) | 1988-06-16 |
Family
ID=17757307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61290537A Pending JPS63143884A (ja) | 1986-12-08 | 1986-12-08 | 磁気抵抗素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63143884A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018116743A1 (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 株式会社村田製作所 | 磁気抵抗素子、および磁気センサ |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS542552A (en) * | 1977-06-08 | 1979-01-10 | Hitachi Heating Appliance Co Ltd | High frequency heating device |
| JPS5534592A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-11 | Mitsubishi Electric Corp | Gunn diode oscillator |
-
1986
- 1986-12-08 JP JP61290537A patent/JPS63143884A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS542552A (en) * | 1977-06-08 | 1979-01-10 | Hitachi Heating Appliance Co Ltd | High frequency heating device |
| JPS5534592A (en) * | 1978-09-04 | 1980-03-11 | Mitsubishi Electric Corp | Gunn diode oscillator |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018116743A1 (ja) * | 2016-12-19 | 2018-06-28 | 株式会社村田製作所 | 磁気抵抗素子、および磁気センサ |
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