JPS631248Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案はIC試験装置に関し、特にICの端子
の直流的な特性を試験するIC試験装置の改良に
関するものである。

＜考案の背景＞ LSIのようなICを試験する試験方法には下記の
２種類が存在する。

ICの各端子の直流的な特性を試験する直流
特性試験、 ICの内部回路が所定の動作を行なうか否か
を試験する機能試験、 簡単な組合せ回路では直流特性試験により素子
の良否を判定することができる。然し乍ら順序動
作が可能なIC或は複雑なLSIになると直流試験だ
けでは素子の良否を判定することができないため
一般には直流特性試験と機能試験とが併用され
る。

直流特性試験によれば例えばケーシング側のピ
ンとチツプ間を結ぶボンデングの不良等が直ちに
解るため、不良素子の早期発見に有効であり主に
機能試験の前に実施される。

直流特性試験は第１図に示す電流印加電圧測定
モードと、第２図に示す電圧印加電流測定モード
の２種のモードで試験が実行される。第１図及び
第２図において１０１はパフオーマンスボード１
０３に装着された被試験IC、１０２ａは現在直
流特性試験を行なつている端子、１０２ｂ〜１０
２ｎはその他の状態にある端子、１０４は被試験
IC１０１に動作電圧を与える電源、１０５は直
流特性試験を行なう試験用電源である。第１図の
場合は電流源１０５ａであり、第２図の場合は電
圧源１０５ｂが接続される。直流試験を行なつて
いない他の端子１０２ａ〜１０２ｎにはこゝでは
特に図示しないが実動状態に近い条件の回路が接
続されて例えば入力ピンにはＨ又はＬ論理の仮想
信号が与えられ、出力ピンにはレベル判定回路が
負荷として接続される。

第１図の電流印加電圧測定モードでは電流源１
０５ａから端子１０２ａに電流を与え、このとき
の端子１０２ａの電圧を電圧測定手段１０６によ
り測定し、電圧が規定した電圧の範囲内にあるか
否かを測定し、その端子の電流特性を判定する。

第２図の電圧印加電流測定モードでは電源１０
５は電圧源１０５ｂとされ、測定しようとする端
子ピン１０２ａに規定範囲内の電圧を与えそのと
きの電流を電流測定手段１０７により測定し、電
圧特性を判定する。

この直流特性試験は各端子１０２ａ〜１０２ｎ
毎に行なわれ、一つの端子の試験が終了すると電
源１０５は他の端子に接続され、順次全ての端子
について直流試験が行なわれる。

このため実際には第３図に示すようにパフオー
マンスボード１０３の各端子１０２ａ〜１０２ｎ
にリレー３０１，３０２，３０３，３０４を含む
ピン制御部３０５ａ，３０５ｂ，……３０５ｎが
接続され、リレー３０１〜３０４を制御して直流
特性試験モードと機能試験モードの切換を行な
い。試験用電源１０５内に設けたリレー３１３と
３１４により直流試験の電流印加モードと、電圧
印加モードの切換を行なうようにしている。

尚３０６はパターン信号発生源を示し、機能試
験の場合に端子１０２ａが入力端子であつたとき
はリレー３０１をオンにし、パターン信号発生源
３０６から出力されるパターン信号をドライバ３
０７を通じて端子１０２ａに与える。また端子１
０２ａが出力端子の場合はリレー３０２をオンに
し、レベル判定回路３０８により読出のタイミン
グにおいて規定したＨ論理又はＬ論理の電圧値を
出力するか否かを判定し、その判定結果を論理比
較器３０９に供給し、この論理比較器３０９にお
いてパターン発生器３０６から与えられる期待値
と比較され、その一致不一致により被試験IC１
０１の機能が正常に動作しているか否かを判定す
る。

直流特性試験の場合に端子１０２ａを試験する
ときはリレー３０１，３０２はオフとされ、リレ
ー３１３又は３１４をオンに制御して端子１０２
ａに電圧又は電流を与える。電圧を与えたときは
そのとき端子１０２ａに流入又は流出する電流を
電流測定手段１０７により測定し、また電流を与
えたときは端子１０２ａの電圧を電圧測定手段１
０６によつて測定し、端子１０２ａの直流に対す
る特性を測定する。このとき試験対象でない他の
ピン制御部３０５ｂ………３０５ｎでは端子１０
２ｂ………１０２ｎが入力か出力端子かによりリ
レー３０１又は３０３がオンとされ、入力端子の
場合はドライバ３０７からＨ論理又はＬ論理の何
れか一方の信号が与えられ、また出力端子の場合
はレベル判定回路３０８が接続される。

各ピン制御部３０５ａ〜３０５ｎに設けたリレ
ー３０１〜３０４の制御は制御用プロセツサ３１
１により行なわれる。この制御用プロセツサ３１
１により各ピン制御部３０５ａ−３０５ｎのリレ
ー３０１〜３０４を制御して、機能試験モードと
直流特性試験モードの切換を行なうと共に直流特
性試験モードにおいては試験用電源１０５内に設
けたリレー３１３，３１４を制御して電圧印加モ
ードと電流印加モードの切換制御を行ない。また
リレー３０３，３０４を制御して被試験端子の切
換を行なう。更に試験用電源１０５の出力電圧及
び出力電流の制御も行なう。

上記したように機能試験の場合は端子１０２ａ
〜１０２ｎが出力端子か入力端子であるかにより
リレー３０１〜３０４の状態は固定されるが、直
流試験の場合はリレー３０１〜３０４の切換制御
は頻繁に行なわれる。このためリレー３０１〜３
０４及びその他のリレー３１２，３１３，３１４
は全て高速応等形のリレーが用いられる。高速応
答形のリレーは応答を速くするために接片の質量
を可及的に小さく設計し、高速応答を可能として
いる。従つて電流容量としては小さなものとなつ
ている。

このようにリレーの接点容量が小さいことから
リレー３０３，３０４をオンにしたとき仮にIC
の端子が共通電位点にシヨートされていた場合に
はリレー３０３，３０４に大きな電流が流れ、接
点を破損させるおそれがある。つまり試験用電源
１０５には電流制限機能を持たせることができる
から、この電源１０５から大きい電流が流出する
ことは阻止することができる。よつて電源１０５
内のリレー３１２，３１３，３１４はICの端子
がシヨート状態にあつても保護することができ
る。

これに対しリレー３０３，３０４は電源１０５
から離れたピン制御部３０５ａ〜３０５ｎに設け
られるため、電源１０５とピン制御部３０５ａ〜
３０５ｎの間の距離が長いと、そのケーブルにお
いて共通電位との間に浮遊容量が発生し、この浮
遊容量に充電された電荷がリレー３０３，３０４
を通じて放電することによりリレー３０３，３０
４の接点が破損する事故が起きるおそれがある。

＜従来の欠点＞ このような点から従来はリレー３０３，３０４
をオンにする場合には電源１０５の出力電圧及び
出力電流値を低下させ、リレー３０３，３０４を
オンにしてから電源１０５の電圧及び電流値を規
定の値となるように上昇させている。よつて直流
特性試験では被測定端子を切換る毎に試験用電源
１０５は電圧を低下させ、接続完了後に電圧を上
昇させるように電源１０５を制御する必要があつ
た。

従つてこの電圧制御のために時間を必要とし、
試験時間が長くなる欠点がある。また電源１０５
の電圧制御は制御用プロセツサ３１１で行なうた
め制御用プロセツサ３１１のソフトウエアの負担
が重くなる欠点がある。

＜考案の目的＞ この考案では直流特性試験において試験を行な
う端子を切換る場合でも試験用電源１０５の出力
電圧を低下させなくて済み、従つて試験時間を短
縮することができるIC試験装置を提供しようと
するものである。

＜考案の概要＞ この考案ではピン制御部３０５ａ〜３０５ｎと
電源１０５の間を結ぶケーブルの少なくともピン
制御部３０５ａ〜３０５ｎ側に電流制限抵抗器を
設け、この電流制限抵抗器によりICの端子が他
の回路等にシヨートされていたとしてもリレー３
０３及び３０４に大きな電流が流れることを制限
するようにしたものである。

従つてこの考案によれば直流試験において試験
しようとする端子を切換る場合でも試験用電源１
０５の電圧を低下させなくてよく、その時間だけ
測定時間を短縮できる実益が得られる。

＜考案の実施例＞ 第４図にこの考案の一実施例を示す。図中第３
図と対応する部分には同一符号を付して示す。

この考案においては試験用電源１０５とピン制
御部３０５ａ〜３０５ｎを結ぶケーブル４０１の
ピン制御部３０５ａ〜３０５ｎ側の端部に電流制
限用抵抗器４０２，４０３を直列に接続するもの
である。こゝで電圧及び電流を被試験IC１０１
に与える側のライン４０４に挿入した抵抗器４０
３には並列にスイツチ４０５を接続し、被試験
IC１０１に大きい電流を供給するような場合に
このスイツチ４０５をオンにし、大きな電流を供
給できるようにしたものである。

＜考案の効果＞ 上記したようにケーブル４０１のピン制御部側
に抵抗器４０２，４０３を直列に挿入したことに
よりケーブル４０１において発生する浮遊容量４
０６，４０７が存在しても、この抵抗器４０２，
４０３によつて電流が制限されるため試験用電源
１０５は電圧又は電流を出力することができる状
態のままピン制御部３０５ａ〜３０５ｎに設けた
リレー３０３，３０４を制御することができる。

従つてリレー３０３，３０４を切換制御して直
流特性試験を行なう端子を切換る場合に、その都
度試験用電源１０５の電圧及び電流値を絞る操作
を行なわなくて済む。よつて試験用電源１０５の
状態に制御しなくてよく、それだけ直流特性試験
の試験時間を短縮できる利点が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はICの直流特性試験における電流印加
電圧測定モードを説明するための接続図、第２図
はICの直流特性試験における電圧印加電流測定
モードを説明するための接続図、第３図は従来の
IC試験装置を説明するためのブロツク図、第４
図はこの考案の一実施例を示すブロツク図であ
る。 １０１……被試験IC、１０５……試験用電源、
３０５ａ〜３０５ｎ……ピン制御部、４０１……
ケーブル、４０２，４０３……電流制限抵抗器。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 Ａ 電流出力モード及び電圧出力モードに切換る
   ことができる試験用電源と、 Ｂ 被試験ICの端子に機能試験モードと直流特
   性試験モードの回路を切換接続するピン制御部
   と、 Ｃ 上記試験用電源とピン制御部を結ぶケーブル
   と、 Ｄ このケーブルの上記ピン制御部側に直列接続
   した電流制限用抵抗器と、 から成るIC試験装置。