JPS63124783A - 非線形共振系を用いた超音波モ−タ - Google Patents
非線形共振系を用いた超音波モ−タInfo
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- JPS63124783A JPS63124783A JP61269908A JP26990886A JPS63124783A JP S63124783 A JPS63124783 A JP S63124783A JP 61269908 A JP61269908 A JP 61269908A JP 26990886 A JP26990886 A JP 26990886A JP S63124783 A JPS63124783 A JP S63124783A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0045—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with torsion or shear modes
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は超音波モータに係り、さらに詳しくはその周波
数特性を改良した非線形共振系を用いた超音波モータに
関する。
数特性を改良した非線形共振系を用いた超音波モータに
関する。
従来の超音波モータはそのステータに発生する強力な超
音波楕円振動を駆動源とするもので、これを発生させる
手段として超音波共振器を用いて来た。共振器は一般に
、損失の少ない品質係数（ＱｕａｌＨｙ ｆａｃｔｏｒ
： Ｑ）が高いほど振動が激しくなり、振幅増幅率が高
いので強力な振動を発生させるのに好都合である。しか
し、反面Ｑが高い共振系は共振周波数近傍における諸特
性の周波数依存性が太き（、しかも共振周波数そのもの
が一般に温度変化を示すので諸特性の温度依存性も太き
（なる。それ故Ｑの高い線形共振形を用いた超音波モー
タでは、駆動信号の周波数をモータの周囲温度、自己発
熱に併せて精密に制御しなければならず、その上負荷変
動があるとＱの変化を通して周波数変動となり、実用性
がないので、Ｑを低下させ共振特性を鈍くして使用する
ことになり、それだけ効率の悪い使い方をせざるを得な
かったというような欠点があった。
音波楕円振動を駆動源とするもので、これを発生させる
手段として超音波共振器を用いて来た。共振器は一般に
、損失の少ない品質係数（ＱｕａｌＨｙ ｆａｃｔｏｒ
： Ｑ）が高いほど振動が激しくなり、振幅増幅率が高
いので強力な振動を発生させるのに好都合である。しか
し、反面Ｑが高い共振系は共振周波数近傍における諸特
性の周波数依存性が太き（、しかも共振周波数そのもの
が一般に温度変化を示すので諸特性の温度依存性も太き
（なる。それ故Ｑの高い線形共振形を用いた超音波モー
タでは、駆動信号の周波数をモータの周囲温度、自己発
熱に併せて精密に制御しなければならず、その上負荷変
動があるとＱの変化を通して周波数変動となり、実用性
がないので、Ｑを低下させ共振特性を鈍くして使用する
ことになり、それだけ効率の悪い使い方をせざるを得な
かったというような欠点があった。
なお、この種の超音波モータとしては、本願出願人の出
願にかかる特開昭６１−５２１６３号公報に記載された
ものを挙げることができる。
願にかかる特開昭６１−５２１６３号公報に記載された
ものを挙げることができる。
この発明は、従来の線形共振系を用いた超音波モータが
持っていた諸特性の周波数依存性、温度依存性が大きす
ぎ、動作帯域が挟ますぎたという欠点を解決し、以って
周波数特性、温度特性を安定にし、ドリフトの少ない超
音波モータを提供することを目的とする。
持っていた諸特性の周波数依存性、温度依存性が大きす
ぎ、動作帯域が挟ますぎたという欠点を解決し、以って
周波数特性、温度特性を安定にし、ドリフトの少ない超
音波モータを提供することを目的とする。
非線形共振系の例として鉄共振の現象が古くから知られ
ている。第４図は鉄共振現象の説明図であって、横軸に
周波数を、縦軸に振幅を示す。鉄共振とは鉄片を片持梁
状に支え、支持部の加振周波数を変えながら梁先端の振
幅の大きさを測定すると、小振動で加振したときは、共
振周波数で鋭い共鳴が見られ、振幅の周波数変化は共振
周波数の位置だけに鋭いピークが現れる。しかし大振動
で加振すると、小振動での共振周波数でピークが現れる
が、周波数が高くなっても消えず、共振周波数が連続に
ずれる様相を呈し、さらに周波数が高くなると突然振幅
が小さい値にジャンプする（第４図（ａ））。このジャ
ンプ周波数は、加振周波数を増し乍ら測った場合と、減
じ乍ら測・つた場合とで異なり、履歴を示すのが普通で
ある。
ている。第４図は鉄共振現象の説明図であって、横軸に
周波数を、縦軸に振幅を示す。鉄共振とは鉄片を片持梁
状に支え、支持部の加振周波数を変えながら梁先端の振
幅の大きさを測定すると、小振動で加振したときは、共
振周波数で鋭い共鳴が見られ、振幅の周波数変化は共振
周波数の位置だけに鋭いピークが現れる。しかし大振動
で加振すると、小振動での共振周波数でピークが現れる
が、周波数が高くなっても消えず、共振周波数が連続に
ずれる様相を呈し、さらに周波数が高くなると突然振幅
が小さい値にジャンプする（第４図（ａ））。このジャ
ンプ周波数は、加振周波数を増し乍ら測った場合と、減
じ乍ら測・つた場合とで異なり、履歴を示すのが普通で
ある。
この鉄共振現象ではピークを示す周波数帯域が広くなる
ので、Ｑを低くして振幅を大幅に犠牲にすることなく、
大振幅のまま平坦な周波数特性が得られる。鉄共振の生
ずる原因は鉄の弾性定数が、大振幅の場合、振動の大き
さに応じて変化するためであると知られている。振幅が
大きくなると硬くなる漸硬ばねでは第４図（ａｌ、振幅
が大きくなると軟らかくなる酒飲ばねでは第４図（ｂ）
のような曲線を描く。ここでは超音波モータを構成する
ステータとロータを圧着する機構に非線形効果を持たせ
ることにより、鉄共振現象を再現させた。
ので、Ｑを低くして振幅を大幅に犠牲にすることなく、
大振幅のまま平坦な周波数特性が得られる。鉄共振の生
ずる原因は鉄の弾性定数が、大振幅の場合、振動の大き
さに応じて変化するためであると知られている。振幅が
大きくなると硬くなる漸硬ばねでは第４図（ａｌ、振幅
が大きくなると軟らかくなる酒飲ばねでは第４図（ｂ）
のような曲線を描く。ここでは超音波モータを構成する
ステータとロータを圧着する機構に非線形効果を持たせ
ることにより、鉄共振現象を再現させた。
超音波モータを構成するステータとロータを圧着する構
造に非線形ばね機構を用いたことにより、Ｑを大幅に低
下させることなく、広い周波数帯域に亘って、回転数、
トルク及び入出力等の諸特性をほぼ一定に保つことがで
きる動作特性が得られる。
造に非線形ばね機構を用いたことにより、Ｑを大幅に低
下させることなく、広い周波数帯域に亘って、回転数、
トルク及び入出力等の諸特性をほぼ一定に保つことがで
きる動作特性が得られる。
以下、本発明の非線形共振系を用いた超音波モータを、
ねじり結合子型超音波モータに適用した場合を一実施例
として以下に説明する。ここに用いたねじり結合子型超
音波モータの構造、動作原理、形状などは、本発明者が
特開６１−５２１６３を初めとし数１０件を超して提案
して来たものと同じであり、差異は圧着機構に非線形効
果を持たせたこと、すなわち非線形ばねを利用して非線
形共振系を構成した点にある。
ねじり結合子型超音波モータに適用した場合を一実施例
として以下に説明する。ここに用いたねじり結合子型超
音波モータの構造、動作原理、形状などは、本発明者が
特開６１−５２１６３を初めとし数１０件を超して提案
して来たものと同じであり、差異は圧着機構に非線形効
果を持たせたこと、すなわち非線形ばねを利用して非線
形共振系を構成した点にある。
第１図は本発明による非線形共振系を用いた超音波モー
タの一実施例の構造を示す部分断面図であって、１はね
じり結合子、１°は梁、ｌ”は三日月状端面、２は胴部
、３，３”は圧電体、４゜４°は端子板、５は座金、６
はキャップボルト、７はロータ、８はボルト、９はベア
リング、１０は非線形ばね、１）はシャフトである。
タの一実施例の構造を示す部分断面図であって、１はね
じり結合子、１°は梁、ｌ”は三日月状端面、２は胴部
、３，３”は圧電体、４゜４°は端子板、５は座金、６
はキャップボルト、７はロータ、８はボルト、９はベア
リング、１０は非線形ばね、１）はシャフトである。
例えばＰｂ （ＺｒＴｉ）０３系セラミツクからなる２
枚のドーナツ状圧電体３，３゛は端子板４“をはさんで
配置され、圧電体３側に端子Ｆｉ４、さらにアルミニウ
ムからなるドーナツ状の胴部２が配置されている。また
、圧電体３゛側には、アルミニラム等からなるドーナツ
状の座金５が配置されている。これら胴部２）圧電体３
． ３’ 、座金５は同一外径、内径であって、例えば
、各々３０龍、３１）１）である。また、胴部２）座金
５の厚さは例えば１）１重であり、圧電体３，３”の厚
さは例えば２重−である。例えば燐青銅板からなる端子
板４，４′は一方が正極用、他方が負極用であってリー
ド線が付いており、厚さは例えば０．２ｍｍである。
枚のドーナツ状圧電体３，３゛は端子板４“をはさんで
配置され、圧電体３側に端子Ｆｉ４、さらにアルミニウ
ムからなるドーナツ状の胴部２が配置されている。また
、圧電体３゛側には、アルミニラム等からなるドーナツ
状の座金５が配置されている。これら胴部２）圧電体３
． ３’ 、座金５は同一外径、内径であって、例えば
、各々３０龍、３１）１）である。また、胴部２）座金
５の厚さは例えば１）１重であり、圧電体３，３”の厚
さは例えば２重−である。例えば燐青銅板からなる端子
板４，４′は一方が正極用、他方が負極用であってリー
ド線が付いており、厚さは例えば０．２ｍｍである。
胴部２の端面側に配置されるねじり結合子１は、アルミ
ニウム等からなり、例えば直径３０ｍ１、厚さ３ ｍｍ
の円板部の一方の面（下面）に、例えば、幅８酊、深さ
ｌ ａｍの溝が刻まれて２つの三日月状端面１”が形成
されるとともに、この溝の中心に例えば直径８ｍｍ、深
さ７１■のねし孔が設けられ、さらに、この円板部の他
方の面（上面）に、上記溝と対角位に例えば高さ１０龍
、厚さ７１■で幅方向の端面が上記円板部の外周に一致
する梁１°が一体に設けられている。このねじり結合子
１は三日月状端面１”が胴部２の端面側となるように配
置される。
ニウム等からなり、例えば直径３０ｍ１、厚さ３ ｍｍ
の円板部の一方の面（下面）に、例えば、幅８酊、深さ
ｌ ａｍの溝が刻まれて２つの三日月状端面１”が形成
されるとともに、この溝の中心に例えば直径８ｍｍ、深
さ７１■のねし孔が設けられ、さらに、この円板部の他
方の面（上面）に、上記溝と対角位に例えば高さ１０龍
、厚さ７１■で幅方向の端面が上記円板部の外周に一致
する梁１°が一体に設けられている。このねじり結合子
１は三日月状端面１”が胴部２の端面側となるように配
置される。
キャップボルト６は座金５側から圧電体３°、端子板４
”、圧電体３、端子板４、胴部２を通してねじり結合子
１のねし孔に嵌め込まれ、トルクレンチによって１５０
ｋｇｆ−ωのトルクでこれを締めつけ一体化することに
より、ねじり結合子１を有する超音波楕円振動子が構成
され、これがステータとなる。このステータにおけるね
じり結合子１の梁１゛の端面にロータ７が圧着される。
”、圧電体３、端子板４、胴部２を通してねじり結合子
１のねし孔に嵌め込まれ、トルクレンチによって１５０
ｋｇｆ−ωのトルクでこれを締めつけ一体化することに
より、ねじり結合子１を有する超音波楕円振動子が構成
され、これがステータとなる。このステータにおけるね
じり結合子１の梁１゛の端面にロータ７が圧着される。
ロータ７は鋼からなり、例えば直径３０１朧、厚さ７重
嘗の円板状をなしている。このロータフの中心部には厚
さ方向に貫通孔が設けられ、この貫通孔の一部は例えば
直径１０ｎ、他の部分は例えば直径１５１）である。こ
のロータフの貫通孔の直径が大きい方何に例えば内径１
５１）、高さ３０龍、肉［１０の円筒状の例えば鋼製シ
ャフト１）が一体に設けられている。このシャフト１）
の内面はロータフの貫通孔の大きい直径部分の内面と連
続している。
嘗の円板状をなしている。このロータフの中心部には厚
さ方向に貫通孔が設けられ、この貫通孔の一部は例えば
直径１０ｎ、他の部分は例えば直径１５１）である。こ
のロータフの貫通孔の直径が大きい方何に例えば内径１
５１）、高さ３０龍、肉［１０の円筒状の例えば鋼製シ
ャフト１）が一体に設けられている。このシャフト１）
の内面はロータフの貫通孔の大きい直径部分の内面と連
続している。
一方、ねじり結合子１の梁１′の端面側には、例えば直
径５ｎのねし孔が設けられている。ロータフの貫通孔の
大きな直径の部分には、例えば外径１５１）、内径６寵
のベアリング９が底の棚で止まるように挿入されており
、非線形ばね１０を通した例えば直径６鰭、長さ２５ｔ
ｍの先端に径５酊のねじを施したボルト８を、シャフト
１）の内孔からベアリング９を通り、ねじり結合子１の
梁１°に設けられたねし孔に嵌め込む。そして、このボ
ルト８を締めつけてシャフト１）と一体のロータ７を梁
１°の端面に正置する。圧着力が３０ｋｇｆになるまで
ボルト８を締めつけたところ、ロータ７はステータに強
く圧着され、ロータ７を手で回わそうとしても回わらな
かった。
径５ｎのねし孔が設けられている。ロータフの貫通孔の
大きな直径の部分には、例えば外径１５１）、内径６寵
のベアリング９が底の棚で止まるように挿入されており
、非線形ばね１０を通した例えば直径６鰭、長さ２５ｔ
ｍの先端に径５酊のねじを施したボルト８を、シャフト
１）の内孔からベアリング９を通り、ねじり結合子１の
梁１°に設けられたねし孔に嵌め込む。そして、このボ
ルト８を締めつけてシャフト１）と一体のロータ７を梁
１°の端面に正置する。圧着力が３０ｋｇｆになるまで
ボルト８を締めつけたところ、ロータ７はステータに強
く圧着され、ロータ７を手で回わそうとしても回わらな
かった。
第２図は、第１図に示した本発明による非線形共振系を
用いた超音波モータの一実施例の回転数の周波数特性の
説明図であって、横軸に周波数を、縦軸に回転数を示す
。
用いた超音波モータの一実施例の回転数の周波数特性の
説明図であって、横軸に周波数を、縦軸に回転数を示す
。
第３図は従来の線形共振系を用いた超音波モータの回転
数の周波数特性図であって、本発明の詳細説明のための
ものである。
数の周波数特性図であって、本発明の詳細説明のための
ものである。
さて、第２図の曲線１００．２００及び３００は第１図
に示すモータのリード線１５及び１６の間に、それぞれ
８０ボルト、１００ボルト、１２０ボルトの正弦波電圧
を印加した場合の無負荷回転数の周波数特性である。６
０ボルトではロータは回転しなかった。
に示すモータのリード線１５及び１６の間に、それぞれ
８０ボルト、１００ボルト、１２０ボルトの正弦波電圧
を印加した場合の無負荷回転数の周波数特性である。６
０ボルトではロータは回転しなかった。
これを第３図に示す従来の超音波モータの無負荷回転数
の周波数特性図と比較すると、本発明による非線形共振
系を用いた超音波モータの無負荷回転数が周波数依存性
の少ないこと、つまり一定の大きさの駆動電圧に対して
広い周波数帯域に亘って一定の回転数が得られることが
わかる。第３図の曲線２１．２２．２３及び２４は第１
図に示す本発明のモータと外観同一の従来モータに正弦
波駆動電圧６０ボルト、７５ボルト、１００ボルト、１
２０ボルトを印加した場合の無負荷回転数の周波数特性
であり、同一駆動電圧に対する無負荷回転数が本発明の
モータの半分以下であること、及び本発明のモータの場
合は定格電圧約１００ボルトに対して闇値電圧が約８０
ボルトであり、定格電圧の１７２電圧では全く回転しな
いこと、これに対して従来モータでは定格電圧（ここで
は約１００ボルト）の１７２電圧が闇値電圧になること
などが示されている。
の周波数特性図と比較すると、本発明による非線形共振
系を用いた超音波モータの無負荷回転数が周波数依存性
の少ないこと、つまり一定の大きさの駆動電圧に対して
広い周波数帯域に亘って一定の回転数が得られることが
わかる。第３図の曲線２１．２２．２３及び２４は第１
図に示す本発明のモータと外観同一の従来モータに正弦
波駆動電圧６０ボルト、７５ボルト、１００ボルト、１
２０ボルトを印加した場合の無負荷回転数の周波数特性
であり、同一駆動電圧に対する無負荷回転数が本発明の
モータの半分以下であること、及び本発明のモータの場
合は定格電圧約１００ボルトに対して闇値電圧が約８０
ボルトであり、定格電圧の１７２電圧では全く回転しな
いこと、これに対して従来モータでは定格電圧（ここで
は約１００ボルト）の１７２電圧が闇値電圧になること
などが示されている。
第１図に示す本発明による非線形共振系を用いた超音波
モータは、前記した如く直径３０１ｍ厚さ２龍の圧電素
子３．３°の２枚をリード線１５及び１６の付いた燐青
銅製の端子板でサンドイッチし、直径３０１ｍ厚さ１２
．５鰭のアルミニウム円板５と同じくアルミニウムの直
径３０ｍ５厚さ１）鶴の円板２とにセットした直径８ｎ
長さ２５．２龍のスチール製キャップボルトによって直
径３０鶴厚さ７鶴の円板をベースとするねじり結合子１
のねし孔に締め付けて一体化したステータに直径３０ｍ
厚さ７鶴の焼入れ鋼からなる円板に内径１５龍の円筒が
付いた形状のロータフの内側にセットした外径１５ｍ内
径６１）のベアリング９に直径６１ｍのキャップボルト
８に通した非線形ばね１０を用いてロータをステータに
圧着したものである。ここで非線形効果に重要な役割を
果たすばね１０は通常のコイルスプリングを、コイルが
丁度互いに重なり合うまで締め付けて用いても良いし、
ウレタンスプリングの径を適当な大きさに選んだもの、
又は座屈ばね等を用いてもよい。
モータは、前記した如く直径３０１ｍ厚さ２龍の圧電素
子３．３°の２枚をリード線１５及び１６の付いた燐青
銅製の端子板でサンドイッチし、直径３０１ｍ厚さ１２
．５鰭のアルミニウム円板５と同じくアルミニウムの直
径３０ｍ５厚さ１）鶴の円板２とにセットした直径８ｎ
長さ２５．２龍のスチール製キャップボルトによって直
径３０鶴厚さ７鶴の円板をベースとするねじり結合子１
のねし孔に締め付けて一体化したステータに直径３０ｍ
厚さ７鶴の焼入れ鋼からなる円板に内径１５龍の円筒が
付いた形状のロータフの内側にセットした外径１５ｍ内
径６１）のベアリング９に直径６１ｍのキャップボルト
８に通した非線形ばね１０を用いてロータをステータに
圧着したものである。ここで非線形効果に重要な役割を
果たすばね１０は通常のコイルスプリングを、コイルが
丁度互いに重なり合うまで締め付けて用いても良いし、
ウレタンスプリングの径を適当な大きさに選んだもの、
又は座屈ばね等を用いてもよい。
以上説明したように、本発明によれば、超音波楕円振動
をするステータに圧着されたロータが摩擦力を介して受
ける回転トルクを利用した超音波モータにおいて、楕円
振動を発生する共振系に非線形共振特性を示す非線形共
振系を用いて超音波モータを構成したから、Ｑを大幅に
低下させることなく、広い周波数帯域に亘って、回転数
、トルク及び入出力などの緒特性がほぼ一定に保たれる
動作特性を得ることができ、しかも、回転数、出力とも
に従来の超音波モータの数倍の値を示し、その上温度変
動、時間変動が少ないので、−２０’Ｃから８０６Ｃに
至る実用温度範囲内を同一周波数電源で駆動することが
できたなど、実用上顕著な特性安定の効果がある。
をするステータに圧着されたロータが摩擦力を介して受
ける回転トルクを利用した超音波モータにおいて、楕円
振動を発生する共振系に非線形共振特性を示す非線形共
振系を用いて超音波モータを構成したから、Ｑを大幅に
低下させることなく、広い周波数帯域に亘って、回転数
、トルク及び入出力などの緒特性がほぼ一定に保たれる
動作特性を得ることができ、しかも、回転数、出力とも
に従来の超音波モータの数倍の値を示し、その上温度変
動、時間変動が少ないので、−２０’Ｃから８０６Ｃに
至る実用温度範囲内を同一周波数電源で駆動することが
できたなど、実用上顕著な特性安定の効果がある。
第１図は本発明による非線形共振系を用いた超音波モー
タの一実施例の構造を示す部分断面図、第２図は本発明
による非線形共振系を用いた超音波モータの無負荷回転
数の周波数依存特性図、第３図は従来の線形共振系を用
いた超音波モータの無負荷回転数の周波数依存特性図、
第４図は鉄共振現象を示す説明図であり、（ａ）は漸硬
ばね山）は溜飲ばねの鉄共振曲線であり振幅がジャンプ
する周波数の履歴を示している図である。 １・−・・−・ねじり結合子、２．５−・−・−・アル
ミニウム円板、３，３°・−・−圧電素子、７・−・・
ロータミ８−・−−−一−・圧着ボルト、９−・−・ベ
アリング、１０−・−・−非線形ばね、１５．１６−−
−−−−−リード線。 第１図 第２図 周吸救ｆ（にＨｚ） 第３図 周波教（にＨｚ） （ａ） （ｂ）
タの一実施例の構造を示す部分断面図、第２図は本発明
による非線形共振系を用いた超音波モータの無負荷回転
数の周波数依存特性図、第３図は従来の線形共振系を用
いた超音波モータの無負荷回転数の周波数依存特性図、
第４図は鉄共振現象を示す説明図であり、（ａ）は漸硬
ばね山）は溜飲ばねの鉄共振曲線であり振幅がジャンプ
する周波数の履歴を示している図である。 １・−・・−・ねじり結合子、２．５−・−・−・アル
ミニウム円板、３，３°・−・−圧電素子、７・−・・
ロータミ８−・−−−一−・圧着ボルト、９−・−・ベ
アリング、１０−・−・−非線形ばね、１５．１６−−
−−−−−リード線。 第１図 第２図 周吸救ｆ（にＨｚ） 第３図 周波教（にＨｚ） （ａ） （ｂ）
Claims (5)
- （１）超音波楕円振動をするステータに圧着されたロー
タが摩擦力を介して受ける回転トルクを利用した超音波
モータにおいて、前記楕円振動を発生する共振系に非線
形共振特性を示す非線形共振系を用いた超音波モータ。 - （２）特許請求の範囲第（１）項記載の非線形共振系を
用いた超音波モータにおいて、前記超音波モータのステ
ータ単体は鋭い線形共振特性を示し、ロータが最適圧着
力で圧着されモータとして構成された状態で非線形共振
特性を示す非線形共振系を用いた超音波モータ。 - （３）特許請求の範囲第（１）項記載の非線形共振系を
用いた超音波モータにおいて、前記共振系が非線形共振
特性を示す要因をロータ圧着機構としたことを特徴とす
る非線形共振系を用いた超音波モータ。 - （４）特許請求の範囲第（１）項記載の非線形共振系を
用いた超音波モータにおいて、前記超音波モータのロー
タを除去するか又は該ロータの圧着力を所定値から変更
すると、前記超音波モータのステータが共振状態から逸
脱することを特徴とする非線形共振系を用いた超音波モ
ータ。 - （５）特許請求の範囲第（１）項記載の非線形共振系を
用いた超音波モータにおいて、前記ロータ圧着機構に非
線形ばねを用いたことを特徴とする超音波モータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61269908A JP2512726B2 (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 | 非線形共振系を用いた超音波モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61269908A JP2512726B2 (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 | 非線形共振系を用いた超音波モ−タ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63124783A true JPS63124783A (ja) | 1988-05-28 |
| JP2512726B2 JP2512726B2 (ja) | 1996-07-03 |
Family
ID=17478897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61269908A Expired - Lifetime JP2512726B2 (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 | 非線形共振系を用いた超音波モ−タ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2512726B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02294282A (ja) * | 1989-05-09 | 1990-12-05 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波モータ |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59185179A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-20 | Canon Inc | 超音波モ−タ |
| JPS6118370A (ja) * | 1984-07-03 | 1986-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電モ−タ |
| JPS61116978A (ja) * | 1984-11-08 | 1986-06-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波駆動モ−タ |
| JPS61224885A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-06 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPS62203575A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-09-08 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 超音波振動を利用した表面波モ−タ− |
-
1986
- 1986-11-14 JP JP61269908A patent/JP2512726B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59185179A (ja) * | 1983-04-04 | 1984-10-20 | Canon Inc | 超音波モ−タ |
| JPS6118370A (ja) * | 1984-07-03 | 1986-01-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電モ−タ |
| JPS61116978A (ja) * | 1984-11-08 | 1986-06-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波駆動モ−タ |
| JPS61224885A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-06 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
| JPS62203575A (ja) * | 1985-11-20 | 1987-09-08 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 超音波振動を利用した表面波モ−タ− |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02294282A (ja) * | 1989-05-09 | 1990-12-05 | Olympus Optical Co Ltd | 超音波モータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2512726B2 (ja) | 1996-07-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |