JPS63124782A - ホメオステイシス特性を有する超音波モ−タ - Google Patents
ホメオステイシス特性を有する超音波モ−タInfo
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- JPS63124782A JPS63124782A JP61269907A JP26990786A JPS63124782A JP S63124782 A JPS63124782 A JP S63124782A JP 61269907 A JP61269907 A JP 61269907A JP 26990786 A JP26990786 A JP 26990786A JP S63124782 A JPS63124782 A JP S63124782A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/103—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors by pressing one or more vibrators against the rotor
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/001—Driving devices, e.g. vibrators
- H02N2/0045—Driving devices, e.g. vibrators using longitudinal or radial modes combined with torsion or shear modes
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野
本発明は超音波モータに係り、さらに詳しくはその動作
特性が外部刺激に対して身の破滅を避けるような応答、
つまり自律神経を有する生体が示すような応答、を外部
からの指令によることなく自発的にとるような特性を具
備したホメオステイシス特性を有する超音波モータに関
する。なおこの種の応答を本発明ではメカトロニク・フ
ィード・バックと呼ぶ。
特性が外部刺激に対して身の破滅を避けるような応答、
つまり自律神経を有する生体が示すような応答、を外部
からの指令によることなく自発的にとるような特性を具
備したホメオステイシス特性を有する超音波モータに関
する。なおこの種の応答を本発明ではメカトロニク・フ
ィード・バックと呼ぶ。
従来の超音波モータは超音波共振系を構成することによ
りステータに強力な楕円振動を発生させていた。ロータ
を圧着するとその圧着力に応じた強さの回転トルクが得
られるが、圧着力に応じて共振系の品質係数Qも低下す
るので、圧着力を大きくするとロータの回転が無負荷時
でも低速回転になってしまうという欠点があった。また
、負荷を掛けるとさらに回転数が低下し、最大負荷トル
クに達すると回転が停止してしまう。しかしながら共振
系の0が低いためステータは負荷に影響されることなく
振動を維持しようとし、圧着面に激げしい摩耗が生じた
り、金属性のきしみ音が発生するなどのような欠点があ
った。駆動電圧が低下した場合も同じであり、駆動電圧
が低下するとロータに作用する浮力が小さくなるので圧
着力のためロータがステータに押し付けられたまま、ス
テータが駆動することになり、ロータは停止したままス
テータで削られ摩耗が生じるというような欠点があった
。
りステータに強力な楕円振動を発生させていた。ロータ
を圧着するとその圧着力に応じた強さの回転トルクが得
られるが、圧着力に応じて共振系の品質係数Qも低下す
るので、圧着力を大きくするとロータの回転が無負荷時
でも低速回転になってしまうという欠点があった。また
、負荷を掛けるとさらに回転数が低下し、最大負荷トル
クに達すると回転が停止してしまう。しかしながら共振
系の0が低いためステータは負荷に影響されることなく
振動を維持しようとし、圧着面に激げしい摩耗が生じた
り、金属性のきしみ音が発生するなどのような欠点があ
った。駆動電圧が低下した場合も同じであり、駆動電圧
が低下するとロータに作用する浮力が小さくなるので圧
着力のためロータがステータに押し付けられたまま、ス
テータが駆動することになり、ロータは停止したままス
テータで削られ摩耗が生じるというような欠点があった
。
なお、この種の超音波モータとしては、本願出願人の出
願にかかる特開昭61−52163号公報記載のものを
挙げることができる。
願にかかる特開昭61−52163号公報記載のものを
挙げることができる。
この発明は、上記従来の超音波モータが持っていた高ト
ルク用モータでは、無負荷時でも回転数が低(なること
、許容トルクを超えた過大負荷トルクが掛けられると圧
着面で金属性きしみ音が発生したり、激げしい摩耗が生
じるなどという欠点を解決し、以って耐久性に優れた超
音波モータを提供することを目的とする。ここでホメオ
ステイシスとは生体の体調が自律神経によって保全され
ている機構のことであり、本発明は超音波モータに自律
神経による保全機構と同等の機能(ホメオスタテイツク
機能)を持たせようとするものである。
ルク用モータでは、無負荷時でも回転数が低(なること
、許容トルクを超えた過大負荷トルクが掛けられると圧
着面で金属性きしみ音が発生したり、激げしい摩耗が生
じるなどという欠点を解決し、以って耐久性に優れた超
音波モータを提供することを目的とする。ここでホメオ
ステイシスとは生体の体調が自律神経によって保全され
ている機構のことであり、本発明は超音波モータに自律
神経による保全機構と同等の機能(ホメオスタテイツク
機能)を持たせようとするものである。
非線形共振系の例として鉄共振の現象が古くから知られ
ている。鉄共振とは鉄片を強制振動させた場合、共振曲
線の頂上が周波数に対して曲がり、振幅がジャンプし、
ジャンプする周波数の値が強制振動周波数を上げて行く
場合と、下げて行(場合とで履歴を示す、この鉄共振は
鉄片のばね定数が振動の振幅の大きさに伴って変化する
ことに起因する非線形現象である。超音波モータの場合
もロータの圧着ばねに非線形ばねを用いると鉄共振現象
が現られれ、駆動電圧を一定値に保ったまま、周波数を
変えると、突然ロータが回転し、周波数を変えても回転
数、トルク、入力パワー等がほぼ一定値を示す、さらに
周波数が変わると突然ロータの回転が停止し、入力も飛
躍的に減少する。この閾値周波数は駆動電圧及び負荷ト
ルクに依って敏感に変化し、一定周波数の駆動電圧に対
しては低電圧側で回転数がOにジャンプする閾値電圧が
見られ、周波数及び電圧共に一定の駆動入力に対しては
負荷トルクを大きくして行くと閾値トルクが現られれる
。そのため電圧変動、負荷変動が許容値をこえると超音
波振動が停止し、ロータも停止するので摩耗が避けられ
る。
ている。鉄共振とは鉄片を強制振動させた場合、共振曲
線の頂上が周波数に対して曲がり、振幅がジャンプし、
ジャンプする周波数の値が強制振動周波数を上げて行く
場合と、下げて行(場合とで履歴を示す、この鉄共振は
鉄片のばね定数が振動の振幅の大きさに伴って変化する
ことに起因する非線形現象である。超音波モータの場合
もロータの圧着ばねに非線形ばねを用いると鉄共振現象
が現られれ、駆動電圧を一定値に保ったまま、周波数を
変えると、突然ロータが回転し、周波数を変えても回転
数、トルク、入力パワー等がほぼ一定値を示す、さらに
周波数が変わると突然ロータの回転が停止し、入力も飛
躍的に減少する。この閾値周波数は駆動電圧及び負荷ト
ルクに依って敏感に変化し、一定周波数の駆動電圧に対
しては低電圧側で回転数がOにジャンプする閾値電圧が
見られ、周波数及び電圧共に一定の駆動入力に対しては
負荷トルクを大きくして行くと閾値トルクが現られれる
。そのため電圧変動、負荷変動が許容値をこえると超音
波振動が停止し、ロータも停止するので摩耗が避けられ
る。
超音波モータの可動周波数帯域を駆動電圧、及び/又は
負荷トルクの大きさに依存させ、電圧が下がるか、及び
/又は負荷トルクが大きくなると該可動周波数帯域が狭
くなるよう構成し、該駆動電圧及び/又は負荷トルクが
閾値を超すほど大きく変動すると、瞬時に回転が停止す
るホメオステイシス特性を具備せしめたことにより、摩
耗発生条件をモータ自身が回避する。
負荷トルクの大きさに依存させ、電圧が下がるか、及び
/又は負荷トルクが大きくなると該可動周波数帯域が狭
くなるよう構成し、該駆動電圧及び/又は負荷トルクが
閾値を超すほど大きく変動すると、瞬時に回転が停止す
るホメオステイシス特性を具備せしめたことにより、摩
耗発生条件をモータ自身が回避する。
本発明によるホメオステイシス特性を有する超音波モー
タは同時に出願中の非線形共振系を用いた超音波モータ
の応用に関するものであり、その原理をねじり結合子型
超音波モータに適用した場合を一実施例として以下に発
明する。ねじり結合子型超音波モータとは、本発明者が
特開昭61−52163号を初めとし、既にr1i10
件に亘って提案して来たものである。
タは同時に出願中の非線形共振系を用いた超音波モータ
の応用に関するものであり、その原理をねじり結合子型
超音波モータに適用した場合を一実施例として以下に発
明する。ねじり結合子型超音波モータとは、本発明者が
特開昭61−52163号を初めとし、既にr1i10
件に亘って提案して来たものである。
第1図は本発明による超音波モータの構造を説明する部
分断面図であって、3及び3′はP b (Z rT
l) 03系圧電セラミツクからなる例えば直径30m
m厚さ2mmのドーナツ状厚み振動子を構成する圧電体
であり、その正極性面同志の中間に、リード線16のつ
いた端子板4を挟んで重ね、さらにリード線15の付い
た端子板4′を重ね、これにアルミニウム等の直径30
mm厚さ12.5mmの円板の中心にセットした直径8
mm長さ25mmのキャップボルト6を通し、その上に
直径30mm厚さ1)mmのアルミニウム円板を重ね、
円板の中心からはみ出しているキャップボルト6の先端
をねじり結合子1のねし孔にはめる。ねじり結合子1は
外径30mm、高さ18mmで、外径30厚さ8mmの
円板の上に厚さ7mm幅3Qmm高さ10mmの矩形断
面を有する梁1′を固定した構造になっており、円板の
底部中心には8mmのキャップボルト用ねじ孔があり、
梁り′上面にはロータ圧着ボルト用ねじ孔が施されてい
る。直径8mmのキャップボルト6をトルクレンチで1
00kg−cmを超すトルクで締め付は上記部品を一体
化するとステータが構成される。直径30mm厚さ7m
mの円板の中心に外径17mm肉厚1mm高さ22mm
の円筒状出力シャフト1)のついた焼き入れ調製等のロ
ータ7を非線形ばね10と外径15mm内径(imm、
高さ5mmのベアリング9に通したボルト8によって、
ステータの梁1′の上面に圧着する。非線形ばね10は
コイルスプリング、ウレタンスプリング。
分断面図であって、3及び3′はP b (Z rT
l) 03系圧電セラミツクからなる例えば直径30m
m厚さ2mmのドーナツ状厚み振動子を構成する圧電体
であり、その正極性面同志の中間に、リード線16のつ
いた端子板4を挟んで重ね、さらにリード線15の付い
た端子板4′を重ね、これにアルミニウム等の直径30
mm厚さ12.5mmの円板の中心にセットした直径8
mm長さ25mmのキャップボルト6を通し、その上に
直径30mm厚さ1)mmのアルミニウム円板を重ね、
円板の中心からはみ出しているキャップボルト6の先端
をねじり結合子1のねし孔にはめる。ねじり結合子1は
外径30mm、高さ18mmで、外径30厚さ8mmの
円板の上に厚さ7mm幅3Qmm高さ10mmの矩形断
面を有する梁1′を固定した構造になっており、円板の
底部中心には8mmのキャップボルト用ねじ孔があり、
梁り′上面にはロータ圧着ボルト用ねじ孔が施されてい
る。直径8mmのキャップボルト6をトルクレンチで1
00kg−cmを超すトルクで締め付は上記部品を一体
化するとステータが構成される。直径30mm厚さ7m
mの円板の中心に外径17mm肉厚1mm高さ22mm
の円筒状出力シャフト1)のついた焼き入れ調製等のロ
ータ7を非線形ばね10と外径15mm内径(imm、
高さ5mmのベアリング9に通したボルト8によって、
ステータの梁1′の上面に圧着する。非線形ばね10は
コイルスプリング、ウレタンスプリング。
平ばね、ゼンマイばね等を用いることができるが、いづ
れもR適圧着力(ここでは30Kgf)が印加されると
十分に縮み、それを超す荷重に対しては急に硬くなる非
線形効果を示す特性を持つものである。なお、同図にお
いて、1#はねしり結合子1に設けた三日月状端面、2
は胴部、5は座金、1)はシャフト、15.16はリー
ド線である。
れもR適圧着力(ここでは30Kgf)が印加されると
十分に縮み、それを超す荷重に対しては急に硬くなる非
線形効果を示す特性を持つものである。なお、同図にお
いて、1#はねしり結合子1に設けた三日月状端面、2
は胴部、5は座金、1)はシャフト、15.16はリー
ド線である。
第1図に示したように、非線形特性を有するばねを用い
ると共振系に漸硬ばねを用いた鉄共振現象が見られる。
ると共振系に漸硬ばねを用いた鉄共振現象が見られる。
その結果、でき上った超音波モータに一定電圧の交流電
圧を印加し、電圧をパラメータとし、周波数を掃引しな
がらロータの回転数を測定すると第2図に示す平坦な周
波数特性が得られる。
圧を印加し、電圧をパラメータとし、周波数を掃引しな
がらロータの回転数を測定すると第2図に示す平坦な周
波数特性が得られる。
第2図は第1図に示した超音波モータの周波数と回転数
の関係を示す特性図であって、100は60ボルト、2
00は80ボルト、300は100ボルトを印加した場
合に得られた回転数の周波数特性である。従来の線型共
振系を用いた超音波モータの場合には定格電圧の半分よ
り高い電圧を印加すれば可動する周波数帯域が存在した
が、このモータでは定格電圧が100ボルトであるが5
0〜60ボルトの範囲では回転せず、60ボルトが閾値
電圧である。閾値より高電圧なら無負荷回転数が測定で
きるが回転数は低周波から高周波への周波数変化に対し
て成る周波数に達すると突然回転が始まり回転数は一定
値へジャンプし1.比較的広い平坦特性を示したのち高
周波側で突然Oヘジャンプする。高周波側のジャンプ周
波数は電圧とともに大きく高周波にシフトする。第2図
の曲線は駆動電圧を定格値(ここでは100ボルト)で
一定に保ち、負荷を変えたときも同じ傾向となり、30
0は無負荷、200は2.25Kg f−cm。
の関係を示す特性図であって、100は60ボルト、2
00は80ボルト、300は100ボルトを印加した場
合に得られた回転数の周波数特性である。従来の線型共
振系を用いた超音波モータの場合には定格電圧の半分よ
り高い電圧を印加すれば可動する周波数帯域が存在した
が、このモータでは定格電圧が100ボルトであるが5
0〜60ボルトの範囲では回転せず、60ボルトが閾値
電圧である。閾値より高電圧なら無負荷回転数が測定で
きるが回転数は低周波から高周波への周波数変化に対し
て成る周波数に達すると突然回転が始まり回転数は一定
値へジャンプし1.比較的広い平坦特性を示したのち高
周波側で突然Oヘジャンプする。高周波側のジャンプ周
波数は電圧とともに大きく高周波にシフトする。第2図
の曲線は駆動電圧を定格値(ここでは100ボルト)で
一定に保ち、負荷を変えたときも同じ傾向となり、30
0は無負荷、200は2.25Kg f−cm。
lは3.4Kgf−cmに対応し、3.5 K g f
−cmでは回転しなくなった。
−cmでは回転しなくなった。
第3図は駆動電圧を変えたときの回転数の変化を測定し
た結果を示す特性図であって、回転数は定格電圧■。の
半分−V、を基点として、駆動室圧Vに対して直線を描
く、すなわちV−−Voに比例した回転数が得られるが
、閾値eVいを下廻わると回転は突然停止し、電圧を上
昇すると■■いて突然回転が始まる。電圧を降下すると
きと上昇するときとで閾値電圧に履歴が現われるのが特
徴である。
た結果を示す特性図であって、回転数は定格電圧■。の
半分−V、を基点として、駆動室圧Vに対して直線を描
く、すなわちV−−Voに比例した回転数が得られるが
、閾値eVいを下廻わると回転は突然停止し、電圧を上
昇すると■■いて突然回転が始まる。電圧を降下すると
きと上昇するときとで閾値電圧に履歴が現われるのが特
徴である。
第4図は定格電圧を印加した状態で、負荷トルクを変え
ながら測定した回転数負荷曲線(n−Tカーブ)を示す
特性図である。この場合も定格トルクを遇す負荷を印加
したとき、最大負荷に達する前に閾値トルク■Tいがみ
られ(ここでは3.4KHr−cm)回転は急に停止す
る。−旦停止すると負荷を多少軽くしても回転せず、G
Tth(ここでは3Kgf−cm)よりも軽くすると突
然回転し始める。電圧及び負荷トルクに対する閾値の履
歴は実験ごとに多少のばらつきは見られるが、平均特性
として図示した傾向は再現性よく見られた。なお、電圧
又は負荷が閾値を超えるほど大きく変動すると回転が停
止してしまうので、従来モータのようにきしみ音を発し
ながら回転し、激げしい摩耗を引き起すような現象は見
られなかった。
ながら測定した回転数負荷曲線(n−Tカーブ)を示す
特性図である。この場合も定格トルクを遇す負荷を印加
したとき、最大負荷に達する前に閾値トルク■Tいがみ
られ(ここでは3.4KHr−cm)回転は急に停止す
る。−旦停止すると負荷を多少軽くしても回転せず、G
Tth(ここでは3Kgf−cm)よりも軽くすると突
然回転し始める。電圧及び負荷トルクに対する閾値の履
歴は実験ごとに多少のばらつきは見られるが、平均特性
として図示した傾向は再現性よく見られた。なお、電圧
又は負荷が閾値を超えるほど大きく変動すると回転が停
止してしまうので、従来モータのようにきしみ音を発し
ながら回転し、激げしい摩耗を引き起すような現象は見
られなかった。
以上説明したように本発明によれば、超音波楕円振動を
するステータに圧着されたロータが摩擦力を介して受け
る回転トルクを利用した超音波モータにおいて、楕円振
動源に非線形共振系を用いたことにより、モータの可動
周波数帯域が、駆動電圧及び/又は負荷トルクの大きさ
に依存し、電圧が下がるか及び/又は9荷トルクが太き
(なると可動周波数帯域が狭くなるように構成したから
、駆動電圧及び/又は負荷トルクが閾値を超すほど大き
く変動すると瞬時に回転が停止する。従来モータは過少
電圧・過大負荷に対してもきしみ音を立てながら回転を
続けるのでロータステータ悶の圧着面が激げしく摩耗し
てしまった。摩擦力を利用する超音波モータでは多少僅
かでも圧着面に摩耗傷が付くと回転むらの原因となるの
で摩耗は端力避けねばならない。このような観点から本
発明のホメオステイシス特性を有する超音波モータでは
、致命傷となるかもしれない摩耗発生条件を自ら避ける
ことにより自律神経を有する生体のごとく保全を計って
いることは実用上長寿命化及び安全・信頼性を大幅に改
善したことにおいて顕著な効果がある。
するステータに圧着されたロータが摩擦力を介して受け
る回転トルクを利用した超音波モータにおいて、楕円振
動源に非線形共振系を用いたことにより、モータの可動
周波数帯域が、駆動電圧及び/又は負荷トルクの大きさ
に依存し、電圧が下がるか及び/又は9荷トルクが太き
(なると可動周波数帯域が狭くなるように構成したから
、駆動電圧及び/又は負荷トルクが閾値を超すほど大き
く変動すると瞬時に回転が停止する。従来モータは過少
電圧・過大負荷に対してもきしみ音を立てながら回転を
続けるのでロータステータ悶の圧着面が激げしく摩耗し
てしまった。摩擦力を利用する超音波モータでは多少僅
かでも圧着面に摩耗傷が付くと回転むらの原因となるの
で摩耗は端力避けねばならない。このような観点から本
発明のホメオステイシス特性を有する超音波モータでは
、致命傷となるかもしれない摩耗発生条件を自ら避ける
ことにより自律神経を有する生体のごとく保全を計って
いることは実用上長寿命化及び安全・信頼性を大幅に改
善したことにおいて顕著な効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明によるホメオステイシス特性を有する超
音波モータの一実施例の構造を説明する部分断面図、第
2図は第1図に示した超音波モータの周波数と回転数の
関係を示す特性図、第3図は第1図に示した超音波モー
タの駆動電圧を変えたときの回転数の変化を測定した結
果を示す特性図回転数−周波数特性図、第4図は第1図
に示した超音波モータにおいて定格電圧を印加した状態
で負荷トルクを変えながら測定した回転数−負荷曲線を
示す特性図である。 1・・・・・・・・・ねじり結合子、1′・・・・・・
・・・梁、1′・・・・・・・・・三日月状端面、2・
・・・・・・・・胴部、3.3′・・・・・・・・・圧
電体、4.4′・・・・・・・・・端子板、5・旧・・
・・・座金、6・・・・・・・・・キャップボルト、7
・・・・旧・・ロータ、9・・・・・・・・・ベアリン
グ、10・・・・・・・・・非線形ばね、1)・・・・
・・・・・シャフト、15.16・・・・・・・・・リ
ード線。 第1図 第2図 同yttf(にHz) 第3図
音波モータの一実施例の構造を説明する部分断面図、第
2図は第1図に示した超音波モータの周波数と回転数の
関係を示す特性図、第3図は第1図に示した超音波モー
タの駆動電圧を変えたときの回転数の変化を測定した結
果を示す特性図回転数−周波数特性図、第4図は第1図
に示した超音波モータにおいて定格電圧を印加した状態
で負荷トルクを変えながら測定した回転数−負荷曲線を
示す特性図である。 1・・・・・・・・・ねじり結合子、1′・・・・・・
・・・梁、1′・・・・・・・・・三日月状端面、2・
・・・・・・・・胴部、3.3′・・・・・・・・・圧
電体、4.4′・・・・・・・・・端子板、5・旧・・
・・・座金、6・・・・・・・・・キャップボルト、7
・・・・旧・・ロータ、9・・・・・・・・・ベアリン
グ、10・・・・・・・・・非線形ばね、1)・・・・
・・・・・シャフト、15.16・・・・・・・・・リ
ード線。 第1図 第2図 同yttf(にHz) 第3図
Claims (3)
- (1)超音波楕円振動をするステータに圧着されたロー
タが摩擦力を介して受ける回転トルクを利用した超音波
モータにおいて、前記楕円振動源に非線形共振系を用い
、前記超音波モータの可動周波数帯域を駆動電圧及び/
又は負荷トルクの大きさに依存させ、電圧が下がるか及
び/又は負荷トルクが大きくなることに応じて該可動周
波数帯域が狭くなる様に構成したことを特徴とするホメ
オステイシス特性を有する超音波モータ。 - (2)特許請求の範囲第(1)項記載のホメオスタテイ
ツク超音波モータにおいて、駆動電圧が所定値を下廻る
か又は負荷トルクが所定値を上廻つた途端に回転が停止
する閾値特性を示すことを特徴とするホメオステイシス
特性を有する超音波モータ。 - (3)特許請求の範囲第(1)項記載のホメオスタテイ
シス超音波モータにおいて、駆動電圧及び/又は負荷ト
ルクが許容範囲を逸脱したとき回転が停止し、許容範囲
外から範囲内に入つて突然回転が始まる閾値、すなわち
回転がジヤンプする閾値が変化の向きに伴つて履歴現象
を示すことを特徴とするホメオステイシス特性を有する
超音波モータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61269907A JPS63124782A (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 | ホメオステイシス特性を有する超音波モ−タ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61269907A JPS63124782A (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 | ホメオステイシス特性を有する超音波モ−タ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63124782A true JPS63124782A (ja) | 1988-05-28 |
Family
ID=17478882
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61269907A Pending JPS63124782A (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 | ホメオステイシス特性を有する超音波モ−タ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63124782A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016182016A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
JP2019162027A (ja) * | 2019-04-11 | 2019-09-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
-
1986
- 1986-11-14 JP JP61269907A patent/JPS63124782A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016182016A (ja) * | 2015-03-25 | 2016-10-13 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
JP2019162027A (ja) * | 2019-04-11 | 2019-09-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電駆動装置及びその駆動方法、ロボット及びその駆動方法 |
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