JPS59185179A - 超音波モ−タ - Google Patents

超音波モ−タ

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JPS59185179A
JPS59185179A JP58059604A JP5960483A JPS59185179A JP S59185179 A JPS59185179 A JP S59185179A JP 58059604 A JP58059604 A JP 58059604A JP 5960483 A JP5960483 A JP 5960483A JP S59185179 A JPS59185179 A JP S59185179A
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JP
Japan
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vibrator
elastic
motor
pressure
moving body
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JP58059604A
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JPH0477554B2 (ja
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Kenji Abe
健志 安部
Kazuo Ishikawa
和男 石川
Ichiro Shimizu
一郎 清水
Mitsuhiro Otogawa
音川 光弘
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication of JPH0477554B2 publication Critical patent/JPH0477554B2/ja
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    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/10Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
    • H02N2/16Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
    • H02N2/163Motors with ring stator

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は超音波毎−タ、特に、弾性振動子に進行弾性波
を発生させ、これにより移動体を駆動する様な超音波モ
ータに関する。
(従来技術) 超音波モータとは、例えば、固定体と移動体を備え、こ
れらの固定体と移動体のうち少なくとも一方は複数の電
歪素子で駆動される少なくとも一つの振動子を含み、前
記電歪素子の引出しリードは駆動電源に接続され、固定
体と移動体はトルクを伝達するために振動子の表面上の
少なくとも一点において互いに押し合い、そして電歪素
子忙加える超音波電気エネルギーを機械振動エネルギー
に変換させ、該機械的振動エネルギーを移動体の一方向
運動に変える様な装置であり、この種の装置に関しては
、すでに特開昭52−29192号公報等で開示されて
いる。
特にここでは機械的振動エネルギーとして、表面弾性波
を用い、該弾性波によって移動体を早擦駆動する様にし
、且つ、その際少なくとも一つの電歪素子の振動によっ
て定在波を発生させる様な構成のモータについて述べる
第1図はこの種のモータの駆動原理を示すもので、1を
移動体、2を弾性振動子とする。X軸は振動子2の表面
上に起きる表面波の進行方向を示しZ軸をその法線方向
とする。
弾性振動子2に不図示の電歪素子により振動を与えると
、表面弾性波が発生し振動子表面上を伝搬していく。こ
の弾性波は縦波と横波を伴った表面波で、その質点の運
動は楕円軌道を描く振動となる。質点Aについて着目す
ると、縦振巾U、横振巾Wの楕円運動を行っており、表
面波の進行方向を+X方向とすると楕円運動は反時計方
向に回転している。この表面波は一波長ごとに頂点A。
A′・・・・を有し、その頂点速度はX成分のみであっ
て、■=2πfu(但しfは振動数)である。そこでこ
の表面に移動体10表面を加圧接触させると移動体表面
は頂点A 、 A’・・・・のみに接触するh・ら、移
動体1は振動子2との間の摩擦力により矢印Nの方向に
駆動されることになる。
矢印N方向の移動体1の移動速度は振動数fに比例する
。又、加圧接触による摩擦駆動を行うため縦振巾Uばか
りでなく、横振巾Wにも依存する。
即ち、移動体1の移動速度は楕円運動の大きさに比例し
、楕円運動の大きい方が速度が高℃・。従って、移動体
速度は電歪素子に加える電圧に比9IJ −3−る。
第2図は第1図に示しだ弾性振動子2 r(表面波を発
生させるための原理を示すものである。6a及び6bは
弾性振動子2の共振周波数から最も効率よく弾性波を得
ることのできる様な間隔で弾性振動子2に貼り付けた、
例えば、PzT等の電歪素子であり、3aは線Aに、6
bは線Bに接続されている。4はこのモータの駆動用の
電源であり、V=Vosin”t  という電圧を供給
しており、図からも明らかなように、線AにはV==V
osin”t  の電圧が加わる。線Bには90°位相
シフタ5によりV−フタ5によって+90°位相をずら
す場合と一900位相をすら一′f場合によって移動体
進行方向が異なる。
(イ)〜に)は時間に応じた振動子2の振動状態を示弾
性波は第2図中右方向に進むが、振動子2の駆動面の任
意の質点は反時計方向の楕円運動を行う。従って駆動面
に圧接される不図示の移動体は左方向に移動する。
第6図は、以上説明した原理に基づいて構成した超音波
モータの一従来例を示すもので、図において、6は回転
体、7は摩擦体(例えばゴム)で、これらは接着されて
一体構成とされる。8は振動子、9は振動吸収部材で、
これらはホルダ10に取付けられる。回転体6は調圧バ
ネ11と調圧ナツト12により摩擦体7を介して振動子
8に、適度に加圧接触される。そして、振動子80表面
8aに、その裏面に固着された不図示の電歪素子を通じ
て進行弾性波を発生させる事により、回転体6が駆動さ
れる。振動吸収部材9は振動子8とホルダ10との間で
振動による悪影響が出ないよう、例えばフェルトの様な
振動を吸収する材料で出来ている。
以上に述べた従来の超音波モータではその原理上、回転
体6と振動子8を加圧接触させる必猥があるため、バネ
11等の機械的手段を用いて加圧接触を行っていた。そ
のため、第3図のように、バネ11と回転体6が接触す
る事により回転体60回転の妨げとなり、モータの効率
を悪くしていた。
又、機構的にも複雑になり、小型化の妨げになっていた
(目  的) 本発明は上述従来例の欠点を除去し、駆動効率に優れ、
構造も簡単で煩雑な調整も不要となる新規な超音波モー
タを提供せんとするものである。
(実施例) 第4図は、本発明の一実施例を示すもので、図中、13
は回転体、14は永久磁石、15は摩擦体で、これら1
3,14.15で示す要素は接着され一体構成とされて
いる。16は振動子、17は振動吸収部材で、これら1
6.17で示す袂素は接着され、ホルダ18に取9付け
られる。ホルダ18は磁性体で出来ている。
回転体16は永久磁石14の、磁性ホルダ18に対する
磁力による吸着力により、振動子16に対し加圧接触さ
せられる。そして、振動子16の表面16aに、その裏
面16bに固着された不図示の電歪素子を通じて進行弾
性波を発生させる事により、回転体16が駆動される。
第5図は、本発明の他の実施例を示すもので、図中21
.22は永久磁石で、互いに面方向に反発するように配
置されている1、26は回転体、24は摩擦体で、これ
ら22.23.24で示す要素は接着され一体構成とさ
れる。25は振動子、26は振動吸収部材で、27で示
す下ホルダに取付けられる。永久磁石21は20で示す
上ホルダに取付けられている。上ホルダ20と下ホルダ
27は19a、19b、19cで示すねじビスにより結
合され、超音波モータを構成する。ここで磁石21と2
2は接触せず、磁力により互いに反発し合っている。回
転体2′5と振動子25は磁石21.22の互いの磁力
による反発力により適度に加圧接触させられる。そして
、振動子250表面25aに、その裏面に固着された不
図示の電歪素子を通じて進行弾性波を発生させる事によ
り、回転体26が駆動される。
特にこのようなドーナツ形のモータの場合、従来におい
ては、機械的加圧手段(バネ等)による加圧は回転体に
対し、その回転中心付近では行えないため加圧手段と回
転体との間の接触による駆動損失は太きかったが、本実
施例によれば、斯かる駆動損失がなくなるものである。
以上、2つの実施例では、回転型のモータについて説明
しだが、リニア”型であっても振動子と移動体とを加圧
接触させるのに磁力を用いる構造は同様に有効である。
(効 果) 以上、説明したように本発明によれば、振動子に弾性進
行波を発生させ、これにより移動体を駆動する超音波モ
ータとし、振動子と移動体の加圧接触を磁力により行う
ため、必要な圧力だけで振動子と移動体が接触し、従来
のように移動体の駆動の妨げになる加圧手段と移動体と
の間の機械的接触がなく、モータの駆動効率が飛躍的に
向上する。特K、ドーナツ形のモータについては加圧を
回転中心により近い位g、で行う方が接触による損失が
少ない処、ドーナツ形のノとめそれが行えず、損失が極
めて大きかったものが、加圧手段と移動体とが無接触で
あるためモータの駆動効率が飛躍的に向上する。
又、加圧するための構造も、磁力により吸着あるいは反
発する一組の錬構を持つだけで済むため極めて簡単化さ
れ小型化できると共に、煩雑な調整の手間も省ける様に
なる等、多大の利点が得られる様になる
【図面の簡単な説明】
第1図は弾性振動子の表面弾性波を利甲した超音波モー
タの原理説明図、第2図は超音波モータの駆動方法の説
明図、第6図は超音波モータの−従来例を示す分解余1
視図、第4図は本発明に係る超音波モータの一実施例の
分解斜視図、第5図は本発明の他の実施例の分解斜視図
である。 13;23・・・・移動体(回転体)、16;25・・
・・振動子、15;24・・・・摩擦体、15;21,
22・・・・・永久磁石、18・・・・磁性ボルダ。 特許出願人 キャノン株式会社

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 弾性振動子に進行弾性波を発生させ、これにより移動体
    を駆動する超音波モータにおいて、振動子と移動体との
    間の加圧接触を永久磁石の磁力を利用して得るようにし
    たことを特徴とする超音波モータ。
JP58059604A 1983-04-04 1983-04-04 超音波モ−タ Granted JPS59185179A (ja)

Priority Applications (1)

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JP58059604A JPS59185179A (ja) 1983-04-04 1983-04-04 超音波モ−タ

Applications Claiming Priority (1)

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JP58059604A JPS59185179A (ja) 1983-04-04 1983-04-04 超音波モ−タ

Publications (2)

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JPS59185179A true JPS59185179A (ja) 1984-10-20
JPH0477554B2 JPH0477554B2 (ja) 1992-12-08

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ID=13118020

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61173683A (ja) * 1985-01-28 1986-08-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波駆動モ−タ
JPS63121479A (ja) * 1986-11-07 1988-05-25 Nikon Corp 超音波モ−タ
JPS63124783A (ja) * 1986-11-14 1988-05-28 Hitachi Maxell Ltd 非線形共振系を用いた超音波モ−タ
JPS63242181A (ja) * 1987-03-27 1988-10-07 Hitachi Maxell Ltd 回転振動子型磁気圧着超音波モ−タ
JPS63294281A (ja) * 1987-05-25 1988-11-30 Hiroshi Shimizu 圧電駆動装置
JPS63294280A (ja) * 1987-05-25 1988-11-30 Hiroshi Shimizu 圧電駆動装置
US7425770B2 (en) 2005-05-31 2008-09-16 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave motor

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61173683A (ja) * 1985-01-28 1986-08-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 超音波駆動モ−タ
JPS63121479A (ja) * 1986-11-07 1988-05-25 Nikon Corp 超音波モ−タ
JPS63124783A (ja) * 1986-11-14 1988-05-28 Hitachi Maxell Ltd 非線形共振系を用いた超音波モ−タ
JP2512726B2 (ja) * 1986-11-14 1996-07-03 日立マクセル株式会社 非線形共振系を用いた超音波モ−タ
JPS63242181A (ja) * 1987-03-27 1988-10-07 Hitachi Maxell Ltd 回転振動子型磁気圧着超音波モ−タ
JPS63294281A (ja) * 1987-05-25 1988-11-30 Hiroshi Shimizu 圧電駆動装置
JPS63294280A (ja) * 1987-05-25 1988-11-30 Hiroshi Shimizu 圧電駆動装置
JPH0458273B2 (ja) * 1987-05-25 1992-09-17 Hiroshi Shimizu
JPH0458272B2 (ja) * 1987-05-25 1992-09-17 Hiroshi Shimizu
US7425770B2 (en) 2005-05-31 2008-09-16 Canon Kabushiki Kaisha Vibration wave motor

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